一種用于晶圓目檢的顯微鏡的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造設備技術領域，尤其涉及一種用于晶圓目檢的顯微
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【背景技術】
[0002]晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。加工好的晶圓需要使用顯微鏡做外觀檢驗。顯微鏡檢驗晶圓前，為防止晶圓放入顯微鏡載物臺時，顯微鏡物鏡鏡頭刮傷晶圓，要求顯微鏡載物臺必須降到最低點，顯微鏡的物鏡的倍率調為最低50x，后將載物臺移至最右端，將晶圓放入載物臺，重新將載物臺移入物鏡下，調整顯微鏡的倍數，焦距，方可開始檢驗動作。但是這種操作，動作要求過多，作業(yè)人員容易忘記將載物臺降到最低點，或物鏡倍數未調整，晶圓傾斜放入載物臺，晶面會與物鏡碰觸，對晶面造成刮傷甚至破片。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的針對上述現有技術的問題，提供一種用于晶圓目檢的顯微鏡，通過在顯微鏡的載物臺上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預防物鏡對晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動作符合人體工學原理，操作簡單、方便易行。
[0004]為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是:
[0005]—種用于晶圓目檢的顯微鏡，包括目鏡、物鏡、載物臺，所述目鏡與物鏡通過筒體連接，所述筒體通過支架與載物臺相連接，所述載物臺上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中。
[0006]進一步地，所述底座為不銹鋼板底座。
[0007]進一步地，所述底座粘貼在載物臺上。
[0008]進一步地，所述載物臺上安裝有粗調臺。
[0009]進一步地，所述粗調臺上安裝有粗調桿。
[0010]進一步地，所述載物臺上安裝有微調臺。
[0011 ] 進一步地，所述微調臺上安裝有微調桿。
[0012]本實用新型的有益效果:一種用于晶圓目檢的顯微鏡，通過在顯微鏡的載物臺上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預防物鏡對晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動作符合人體工學原理，操作簡單、方便易行。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型用于目檢的顯微鏡結構圖；
[0014]相關元件符號說明:
[0015]1、目鏡；2、物鏡；3、底座；4、微調臺；5、粗調臺；6、粗調桿；7、微調桿；8、筒體；9、支架；10、載物臺。
【具體實施方式】
[0016]為了使本實用新型實現的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
[0017]具體實施時，結合圖1，一種用于晶圓目檢的顯微鏡，包括目鏡1、物鏡2、底座3、筒體8、支架9、載物臺10。目鏡I與物鏡2通過筒體8連接，筒體8通過支架9與載物臺10相連接。載物臺10上安裝有底座3，底座3為可拆卸底座，底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中。
[0018]底座3可以為不銹鋼板底座。底座可以粘貼在載物臺上。
[0019]為了便于載物臺的位置調節(jié)，載物臺上安裝有微調臺4和粗調臺5。為了便于手動操作微調臺和粗調臺，在粗調臺5上安裝有粗調桿6，在微調臺4上安裝有微調桿7。
[0020]晶圓檢測時，將帶有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中，即可保證晶圓在放入載物臺時不會與顯微鏡的物鏡發(fā)生撞擊，對晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動作符合人體工學原理，操作簡單、方便易行。
[0021]上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的構思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設計構思的前提下，本領域普通人員對本實用新型的技術方案做出的各種變型和改進，均應落入到本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種用于晶圓目檢的顯微鏡，包括目鏡、物鏡、載物臺，所述目鏡與物鏡通過筒體連接，所述筒體通過支架與載物臺相連接，其特征在于:所述載物臺上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中。2.按照權利要求1所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述底座為不銹鋼板底座。3.按照權利要求2所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述底座粘貼在載物臺上。4.按照權利要求1所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述載物臺上安裝有粗調臺。5.按照權利要求4所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述粗調臺上安裝有粗調桿。6.按照權利要求1所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述載物臺上安裝有微調臺。7.按照權利要求6所述的一種用于晶圓目檢的顯微鏡，其特征在于:所述微調臺上安裝有微調桿。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于晶圓目檢的顯微鏡，涉及半導體制造設備技術領域，包括目鏡、物鏡、載物臺，所述目鏡與物鏡通過筒體連接，所述筒體通過支架與載物臺相連接，所述載物臺上安裝有底座，所述底座為可拆卸底座，所述底座的兩邊帶有平行卡槽，有含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中。本實用新型用于晶圓目檢的顯微鏡，通過在顯微鏡的載物臺上安裝有可拆卸的帶有平行卡槽的不銹鋼底座，含有框架的晶圓從載物臺右端平行插入底座上的卡槽中，不僅可以有效預防物鏡對晶圓造成刮傷，而且晶圓放入動作符合人體工學原理，操作簡單、方便易行。
【IPC分類】G02B21/34, G02B21/26, G02B21/24
【公開號】CN205176374
【申請?zhí)枴緾N201520828876
【發(fā)明人】沈順金
【申請人】安徽超元半導體有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年10月22日