一種硅片用顯影機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片用顯影機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，硅片經(jīng)涂膠、曝光后需由顯影機(jī)將硅片上的圖形進(jìn)行顯影，機(jī)臺(tái)顯影能力直接影響硅片內(nèi)圖形線寬的均勻性和缺陷數(shù)目的多少。
[0003]硅片在進(jìn)行顯影處理時(shí)，為了提高顯影效率、節(jié)約處理時(shí)間，一般是將盛放多片硅片的花籃置于顯影液中，然后顯影液將覆蓋整個(gè)花籃中各個(gè)硅片，這樣就存在這樣一個(gè)問(wèn)題:將花籃從顯影液中取出較為困難，即便是采用夾子等輔助工具，也難以避免從花籃流出的顯影液的污染問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，提供一種在動(dòng)力部分帶動(dòng)下能升降花籃的顯影機(jī)，顯影前，將花籃掛接在掛架上，顯影完成后，掛架將花籃帶離顯影液，同時(shí)還可在顯影過(guò)程中晃動(dòng)花籃，以保證顯影的均勻性，采用的技術(shù)方案是:一種硅片用顯影機(jī)，包括機(jī)臺(tái)，在所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有顯影液槽，其特征在于:所述顯影機(jī)還包括花籃傳動(dòng)部分，所述花籃傳動(dòng)部分包括動(dòng)力部件，所述動(dòng)力部件包括轉(zhuǎn)軸，在所述轉(zhuǎn)軸上安裝有偏心輪，所述偏心輪連接掛架。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:所述偏心輪上設(shè)有銷(xiāo)軸，所述銷(xiāo)軸連接所述掛架。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:所述掛架包括與所述銷(xiāo)軸連接的連桿，所述連桿連接連接板，所述連接板連接掛板，在所述掛板的端部設(shè)有掛鉤。
[0007]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:裝有硅片的花籃連接在所述掛鉤上。
[0008]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有4個(gè)顯影液槽，每個(gè)顯影液槽均對(duì)應(yīng)一套花籃傳動(dòng)部分。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果在于:本新型在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上增設(shè)了花籃傳動(dòng)部分，該部分可帶動(dòng)連接在其上的花籃上升或者下降，從而可將硅片浸入顯影液或者從顯影液中提出，提出后花籃高于顯影液液面，殘留在硅片的液體可直接流入顯影液槽內(nèi)，避免了顯影液對(duì)機(jī)臺(tái)及周?chē)h(huán)境造成污染，顯影中還可通過(guò)傳動(dòng)部分晃動(dòng)花籃，以改善顯影效果;本新型具有顯影效果好、使用便利、對(duì)機(jī)臺(tái)無(wú)污染之優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0010]附圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖，其中I是機(jī)臺(tái)，2是動(dòng)力部件，3是轉(zhuǎn)軸，4是銷(xiāo)軸，5是掛架，51是連桿，52是連接板，53是掛板，54是掛鉤，6是顯影液槽，7是控制面板，8是偏心輪。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片用顯影機(jī)，該顯影機(jī)包括機(jī)臺(tái)1、花籃傳動(dòng)部分和控制部分，在機(jī)臺(tái)I上設(shè)有盛放顯影液的顯影液槽6，花籃傳動(dòng)部分包括動(dòng)力部件，動(dòng)力部件包括轉(zhuǎn)軸3，在轉(zhuǎn)軸3上安裝有偏心輪8，在偏心輪8上設(shè)有銷(xiāo)軸4，銷(xiāo)軸4連接掛架5，掛架5活動(dòng)連接花籃(圖中未示出)。
[0012]掛架5包括與銷(xiāo)軸固定連接的連桿51，連桿51連接連接板52，連接板52連接掛板53，在掛板53的端部設(shè)有掛鉤54，裝有硅片的花籃連接在掛鉤54上。
[0013]本實(shí)施例中機(jī)臺(tái)上設(shè)有4個(gè)顯影液槽，每個(gè)顯影液槽均對(duì)應(yīng)一套花籃傳動(dòng)部分。
[0014]當(dāng)然，上述說(shuō)明并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，本實(shí)用新型也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片用顯影機(jī)，包括機(jī)臺(tái)，在所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有顯影液槽，其特征在于:所述顯影機(jī)還包括花籃傳動(dòng)部分，所述花籃傳動(dòng)部分包括動(dòng)力部件，所述動(dòng)力部件包括轉(zhuǎn)軸，在所述轉(zhuǎn)軸上安裝有偏心輪，所述偏心輪連接掛架。2.按照權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)，其特征在于:所述偏心輪上設(shè)有銷(xiāo)軸，所述銷(xiāo)軸連接所述掛架。3.按照權(quán)利要求2所述的顯影機(jī)，其特征在于:所述掛架包括與所述銷(xiāo)軸連接的連桿，所述連桿連接連接板，所述連接板連接掛板，在所述掛板的端部設(shè)有掛鉤。4.按照權(quán)利要求3所述的顯影機(jī)，其特征在于:裝有硅片的花籃連接在所述掛鉤上。5.按照權(quán)利要求2所述的顯影機(jī)，其特征在于:所述機(jī)臺(tái)上設(shè)有4個(gè)顯影液槽，每個(gè)顯影液槽均對(duì)應(yīng)一套花籃傳動(dòng)部分。
【專利摘要】一種硅片用顯影機(jī)，包括機(jī)臺(tái)，在機(jī)臺(tái)上設(shè)有顯影液槽，顯影機(jī)還包括花籃傳動(dòng)部分，花籃傳動(dòng)部分包括動(dòng)力部件，動(dòng)力部件包括轉(zhuǎn)軸，在轉(zhuǎn)軸上安裝有偏心輪，偏心輪連接掛架。本新型在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上增設(shè)了花籃傳動(dòng)部分，該部分可帶動(dòng)連接在其上的花籃上升或者下降，從而可將硅片浸入顯影液或者從顯影液中提出，提出后花籃高于顯影液液面，殘留在硅片的液體可直接流入顯影液槽內(nèi)，避免了顯影液對(duì)機(jī)臺(tái)及周?chē)h(huán)境造成污染，顯影中還可通過(guò)傳動(dòng)部分晃動(dòng)花籃，以改善顯影效果；本新型具有顯影效果好、使用便利、對(duì)機(jī)臺(tái)無(wú)污染之優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類(lèi)】G03F7/26
【公開(kāi)號(hào)】CN205210515
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520930863
【發(fā)明人】張運(yùn), 孫者利
【申請(qǐng)人】濟(jì)南卓微電子有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年11月23日