杠形態(tài)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸63，借助上述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)65進(jìn)行旋轉(zhuǎn);移動(dòng)部62，若上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸63旋轉(zhuǎn)，則可沿著上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸進(jìn)行雙向移動(dòng)；以及加壓桿61，借助上述移動(dòng)部62的移動(dòng)來聯(lián)動(dòng)，向上述增壓用加壓氣缸50提供加壓力。
[0073]上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60還可包括水平移動(dòng)軌道64，上述水平移動(dòng)軌道64以使上述移動(dòng)部62借助上述滾珠絲杠形態(tài)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸63的旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行水平移動(dòng)的方式形成于上述移動(dòng)部62的下端。
[0074]大致四角形狀的加壓板70介于借助導(dǎo)光板10和圖案形成用升降增壓氣缸40及增壓用加壓氣缸50進(jìn)行升降的多個(gè)圖案形成加壓部30之間，與被單獨(dú)劃分后升降的各個(gè)圖案形成加壓部30相對(duì)應(yīng)及聯(lián)動(dòng)，使得加壓版70得到局部加壓調(diào)節(jié)，由此可調(diào)整不均勻的加壓力(參照?qǐng)D4)。
[0075]另一方面，雖未圖示，但在本實(shí)用新型一實(shí)施例的導(dǎo)光板的圖案形成裝置I中，單獨(dú)的加熱器設(shè)于圖案本體部20的上方或下方，為了在導(dǎo)光板10容易形成光學(xué)圖案，可增加圖案本體部20的圖案部21或?qū)Ч獍?0的溫度或預(yù)熱上述圖案部21或?qū)Ч獍?0。
[0076]圖3為表示基于本實(shí)用新型另一實(shí)施例的導(dǎo)光板的圖案形成裝置的驅(qū)動(dòng)部及負(fù)荷傳感器的驅(qū)動(dòng)控制狀態(tài)的立體圖，圖4為表示利用本實(shí)用新型另一實(shí)施例的導(dǎo)光板的圖案形成裝置的加壓力的調(diào)節(jié)工作例例示圖。
[0077]如圖3所示，上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60如上所述，包括:驅(qū)動(dòng)馬達(dá)65，在上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60的下側(cè)配置成多列，分別用作驅(qū)動(dòng)源；滾珠絲杠形態(tài)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸63，借助上述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)65進(jìn)行旋轉(zhuǎn);移動(dòng)部62，若上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸63進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，則能夠沿著上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸進(jìn)行雙向移動(dòng);加壓桿61，借助上述移動(dòng)部62的移動(dòng)來聯(lián)動(dòng)，向上述增壓用加壓氣缸50提供加壓力；以及水平移動(dòng)軌道64，上述水平移動(dòng)軌道64以使上述移動(dòng)部62借助上述滾珠絲杠形態(tài)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸63的旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行水平移動(dòng)的方式形成于上述移動(dòng)部62的下端。
[0078]并且，在上述圖案本體部20的上方的多個(gè)位置設(shè)置多個(gè)壓力控制裝置66，上述壓力控制裝置66用于測(cè)定向各個(gè)區(qū)域的導(dǎo)光板10施加的壓力。
[0079]并且，雖未圖示，但本實(shí)用新型還包括用于接收上述壓力控制裝置66的測(cè)定值的控制部。上述控制部(未圖示)從上述多個(gè)壓力控制裝置66接收各個(gè)區(qū)域的加壓力，例如，為了引入或引出與上述圖案形成用升降增壓氣缸40相連接的上述增壓用加壓氣缸60的上述加壓桿61，使上述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)65向順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)來減少或增大相應(yīng)區(qū)域的加壓力，由此可控制各個(gè)區(qū)域的壓力分布呈均勻，上述圖案形成用升降增壓氣缸40根據(jù)加壓力的偏差，使與加壓力大于基準(zhǔn)值或者小于基準(zhǔn)值的區(qū)域相對(duì)應(yīng)的上述圖案形成加壓部30進(jìn)行升降。
[0080]S卩，在四角板狀的導(dǎo)光板10的情況下，當(dāng)然會(huì)存在加壓力的偏差。在這種情況下，由于當(dāng)用相同壓力對(duì)導(dǎo)光板10進(jìn)行加壓的情況下，根據(jù)加壓力的偏差會(huì)產(chǎn)生未形成圖案的部分和形成過度凹陷的圖案的部分，因此存在很難確保圖案的均勻度，而且也很難確保圖案形成的再現(xiàn)性的問題。
[0081]隨之，上述控制部從多個(gè)壓力控制裝置66(參照?qǐng)D3)接收各個(gè)區(qū)域的加壓力，并根據(jù)上述加壓力的偏差來控制上述多個(gè)壓力控制裝置66，來使與上述加壓力相對(duì)較小于基準(zhǔn)值的區(qū)域(A及B區(qū)域:參照?qǐng)D4)或者加壓力相對(duì)較大于基準(zhǔn)值的區(qū)域(C及D區(qū)域:參照?qǐng)D4)相對(duì)應(yīng)的圖案形成加壓部30的加壓力增加或減少，由此可確保圖案的均勻度及圖案形成的再現(xiàn)性。
[0082]在此情況下，用于測(cè)定向?qū)Ч獍?0施加的壓力的多個(gè)壓力控制裝置66可以為負(fù)荷傳感器或壓力傳感器，在壓力控制裝置66為上述壓力傳感器的情況下，根據(jù)向各個(gè)區(qū)域的導(dǎo)光板10施加的壓力為規(guī)定壓力以下或以上的情況，以減少或增加加壓力的方式使用與上述控制部電路連接的結(jié)構(gòu)。
[0083]另一方面，如圖4所示，選擇性地通過單獨(dú)的壓力注入部91來向上述圖案本體部20的上側(cè)注入氣壓或液壓，由此可對(duì)配置于圖案本體部20的上側(cè)的橫隔膜形態(tài)的袋部90實(shí)施向下方的加壓，使得可向?qū)Ч獍?0的上側(cè)形成均勻的向下方的加壓。
[0084]S卩，具有如下效果:若在圖案本體部20的上側(cè)設(shè)置與壓力注入部91相連通的袋部90，并通過壓力注入部91來向上述袋部90的內(nèi)部注入壓力，則上述袋部90在膨脹的過程中均勻地向下方對(duì)圖案本體部20進(jìn)行加壓，由此向?qū)Ч獍?0的上側(cè)形成均勻的向下方的加壓。
[0085]同時(shí)，具有如下效果:例如:如圖4所示，這種袋部90的作用如下:當(dāng)向“A部分”施加過度的壓力的情況下，與“A”部分相對(duì)應(yīng)的袋部90的左側(cè)內(nèi)部的空氣或工作油自然地向與“D”部分相對(duì)應(yīng)的袋部90的右側(cè)內(nèi)部移動(dòng)，可以均勻地維持左右整體均衡，并且也可以均勻地維持向?qū)Ч獍?0施加的加壓力，由此可提高在導(dǎo)光板10形成的圖案的可信度。
[0086]圖5A為表示本實(shí)用新型一實(shí)施例的導(dǎo)光板的圖案形成裝置的驅(qū)動(dòng)工作狀態(tài)的簡要工作狀態(tài)圖。
[0087]如圖5A所示，上述大致板形狀的圖案形成加壓板30可借助各個(gè)圖案形成用升降增壓氣缸40來聯(lián)動(dòng)并移動(dòng)。
[0088]S卩，在一個(gè)圖案形成用升降增壓氣缸40形成一個(gè)板形狀的圖案形成加壓部30，以此進(jìn)行加壓。
[0089]另一方面，如上所述，上述增壓用加壓氣缸50的形狀比上述圖案形成用升降增壓氣缸40薄而長，以從上述增壓用加壓氣缸50接收加壓力的方式與上述增壓用加壓氣缸50相連接的上述圖案形成用升降增壓氣缸40具有比上述增壓用加壓氣缸厚而短的形狀，當(dāng)需要較大行程的情況下，無需使用長度較長的圖案形成用升降增壓氣缸，而是與長度較短的圖案形成用升降增壓氣缸20—同使用增壓用加壓氣缸50來進(jìn)行加壓，從而可借助雙重連接工作來使裝置小型化。
[0090]優(yōu)選地，在多個(gè)上述圖案形成用升降增壓氣缸40的下側(cè)設(shè)置增壓流路51，以此，上述增壓流路51借助配置于上述增壓流路51的下側(cè)的多個(gè)增壓用加壓氣缸50的氣缸壓力來進(jìn)行增壓并升降，但并不局限于此。
[0091]上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60的工作如下:若啟動(dòng)上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)65(順時(shí)針旋轉(zhuǎn)或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn))來使轉(zhuǎn)動(dòng)軸63進(jìn)行旋轉(zhuǎn)工作，則移動(dòng)部62沿著上述移動(dòng)部62的下側(cè)的水平移動(dòng)軌道64向右側(cè)移動(dòng)。隨之，在移動(dòng)部62的上側(cè)連接為一體的水平加壓桿61向右側(cè)移動(dòng)，從而向增壓用加壓氣缸50傳遞驅(qū)動(dòng)力。
[0092]圖5B為為了說明設(shè)于本實(shí)用新型一實(shí)施例的導(dǎo)光板的圖案形成裝置的距離檢測(cè)傳感器和壓力傳感器而簡要示出的圖。
[0093]參照?qǐng)D5B，距離檢測(cè)傳感器45用于檢測(cè)圖案形成用升降增壓氣缸40的位置變化，例如，上述距離檢測(cè)傳感器45可由位移傳感器、線性差動(dòng)變壓器(LVDT，Linear VariableDifferential Transformer)等構(gòu)成。線性差動(dòng)變壓器為利用磁性原理的傳感器，從簡單的搜索線圈到利用超導(dǎo)現(xiàn)象的超導(dǎo)量子干涉儀(SQID，Super conducting QuantumInterference Device)種類繁多。這種線性差動(dòng)變壓器可進(jìn)行非接觸檢測(cè)，并且價(jià)格也相對(duì)便宜，因此，用于測(cè)定位移、壓力、液位、負(fù)重、振動(dòng)等。這種線性差動(dòng)變壓器利用根據(jù)圖案形成用升降增壓氣缸40的位置變化的數(shù)據(jù)變化來檢測(cè)圖案形成用升降增壓氣缸40的移動(dòng)距離或位移，并向控制部(未圖示)傳遞檢測(cè)到的數(shù)據(jù)變化。
[0094]壓力傳感器46用于檢測(cè)向圖案形成用升降增壓氣缸40傳遞的壓力，上述壓力傳感器46可設(shè)于增壓流路51，上述增壓流路51可設(shè)于圖案形成用升降增壓氣缸40的下側(cè)。這種壓力傳感器46通過檢測(cè)向圖案形成用升降增壓氣缸40傳遞的壓力來向控制部傳遞。
[0095]而且，若向控制部傳遞由距離檢測(cè)傳感器45或壓力傳感器46檢測(cè)的結(jié)果，則上述控制部使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)65(如圖5A所示)向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)來使圖案形成用升降增壓氣缸40上升或下降。因此，圖案形成加壓部30向圖案本體部20方向?qū)訅喊?0及導(dǎo)光板10進(jìn)行加壓，以此，在導(dǎo)光板10形成光學(xué)圖案。
[0096]圖6為表示本實(shí)用新型另一實(shí)施例的導(dǎo)光板的圖案形成裝置的驅(qū)動(dòng)工作狀態(tài)的簡要工作狀態(tài)圖，除了去除增壓用加壓氣缸50及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60之外，實(shí)際上與圖5A的結(jié)構(gòu)相同。
[0097]S卩，如圖6所示，當(dāng)對(duì)圖案形成加壓部30進(jìn)行加壓的行程短的情況下，即使不具有增壓用加壓氣缸50及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)60，也以通過利用單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)67來向圖案形成用升降增壓氣缸40提供壓力的方式構(gòu)成。
[0098]驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)67包括:流體供給部67a，用于向圖案形成用升降增壓氣缸40供給空氣或工作油;壓力控制部67b，可調(diào)整通過流體供給部67a供給的空氣或工作油的量。而且，利用壓力控制部67b來控制從流體供給部67a向圖案形成用升降增壓氣缸40供給的空氣或流體的量，由此，與圖案形成用升降