半導(dǎo)體激光模塊的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體激光模塊，具備：半導(dǎo)體激光元件，其射出激光；光纖，其供從所述半導(dǎo)體激光元件射出的激光射入，且對(duì)該激光進(jìn)行波導(dǎo)；以及光纖保持部，其具有用于固定所述光纖的固定劑，并對(duì)所述光纖進(jìn)行保持，所述固定劑設(shè)置在射入所述光纖后向該光纖的外部放出的泄漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域。由此，提供在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。
【專利說(shuō)明】
半導(dǎo)體激光模塊
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體激光模塊。
【背景技術(shù)】
[0002] 以往，在從光纖輸出激光的半導(dǎo)體激光模塊中，已知通過(guò)透鏡等聚光部對(duì)從半導(dǎo) 體激光元件射出的激光進(jìn)行聚光，并使通過(guò)聚光部聚光后的激光與光纖耦合的結(jié)構(gòu)（例如 參照專利文獻(xiàn)1)。
[0003] 在該情況下，光纖通過(guò)UV固化樹(shù)脂、熱固化樹(shù)脂等有機(jī)粘接劑、或者由于YAG激光、 電熱加熱器而熔融的焊料、低熔點(diǎn)玻璃、無(wú)機(jī)粘接劑等固定劑而固定在光纖保持部等上(例 如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0004] 在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2004-96088號(hào)公報(bào) [0007] 專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2007-258480號(hào)公報(bào)
[0008]然而，在欲使從半導(dǎo)體激光元件射出的激光與光纖耦合的情況下，難以使激光與 光纖100%耦合，因此產(chǎn)生未與光纖耦合的非耦合光。存在該非耦合光向?qū)⒐饫w固定的固定 劑照射的情況。
[0009]在此，對(duì)于在激光加工的領(lǐng)域、醫(yī)療領(lǐng)域中使用的半導(dǎo)體激光模塊而言，從半導(dǎo)體 激光元件射出的激光的強(qiáng)度非常大，因此非耦合光的強(qiáng)度也變大。例如，在從半導(dǎo)體激光元 件射出的激光向光纖的耦合效率為85%的情況下，若作為來(lái)自光纖的光輸出強(qiáng)度而欲得到 56W，則產(chǎn)生10W左右的非耦合光。若強(qiáng)度這樣大的非耦合光向固定劑照射，則存在固定劑熔 融或者破損的情況。
[0010] 若像這樣固定劑熔融或者破損，則存在光纖從其固定位置偏移的可能性。在該情 況下，即使最初將光纖固定在與半導(dǎo)體激光元件的耦合效率最大的位置，但固定劑的熔融 或者破損會(huì)導(dǎo)致耦合損失增大，因此存在半導(dǎo)體激光模塊的可靠性降低的可能性。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0011] 實(shí)用新型所要解決的課題
[0012] 本實(shí)用新型是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高 的半導(dǎo)體激光模塊。
[0013] 用于解決課題的方案
[0014] 為了解決上述課題而實(shí)現(xiàn)目的，本實(shí)用新型的一個(gè)方式的半導(dǎo)體激光模塊的特征 在于，具備:半導(dǎo)體激光元件，其射出激光;光纖，其供從所述半導(dǎo)體激光元件射出的激光射 入，且對(duì)該激光進(jìn)行波導(dǎo)；以及光纖保持部，其具有用于固定所述光纖的固定劑，并對(duì)所述 光纖進(jìn)行保持，所述固定劑設(shè)置在射入所述光纖后向該光纖的外部放出的泄漏光的強(qiáng)度低 的區(qū)域。
[0015] 實(shí)用新型效果
[0016] 根據(jù)本實(shí)用新型，能夠?qū)崿F(xiàn)在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。
【附圖說(shuō)明】
[0017] 圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的俯視圖。
[0018] 圖2是圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的局部剖視圖。
[0019] 圖3是將圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊的光纖保持部放大后的示意性的x-z俯視圖。
[0020] 圖4是將圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊的光纖保持部放大后的示意性的y-z俯視圖。
[0021] 圖5是用于對(duì)激光與光纖耦合時(shí)產(chǎn)生的泄漏光進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。
[0022] 圖6是示出圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊的光纖保持部的泄漏光的圖。
[0023]圖7是示出環(huán)箍的變形例的圖。
[0024]圖8是對(duì)實(shí)驗(yàn)用的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0025] 圖9是表示驅(qū)動(dòng)電流與耦合效率及固定劑的溫度之間的關(guān)系的圖。
[0026] 圖10是表示模擬與光纖的透鏡側(cè)的前端相距3mm的位置處的泄漏光的強(qiáng)度分布的 結(jié)果的示意圖。
[0027] 圖11是表示圖9的A-A線剖面的光強(qiáng)度的圖。
[0028] 圖12是用于對(duì)測(cè)定泄漏光所通過(guò)的區(qū)域的方法進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0029] 圖13是表示測(cè)定泄漏光所通過(guò)的區(qū)域的結(jié)果的圖。
[0030] 圖14是用于對(duì)泄漏光所放射的區(qū)域進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。
[0031 ]圖15A是光纖保持部的變形例1的示意性的x-z俯視圖。
[0032]圖15B是示出臺(tái)座的變形例的圖。
[0033]圖15C是示出臺(tái)座的變形例的圖。
[0034]圖1?是示出臺(tái)座的變形例的圖。
[0035] 圖16是本實(shí)用新型的實(shí)施方式2的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的俯視圖。
[0036] 圖17是圖16所示的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的局部剖視圖。
[0037] 圖18是變形例2的光纖保持部的示意性的x-z俯視圖。
[0038] 圖19是變形例3的光纖保持部的示意性的x-z俯視圖。
[0039] 圖20是變形例4的光纖保持部的示意性的y-z俯視圖。
[0040] 圖21是變形例4的光纖保持部的示意性的y-z剖視圖。
[0041] 圖22是本實(shí)用新型的實(shí)施方式3的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的俯視圖。
[0042] 圖23是圖22所示的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的局部剖視圖。
[0043]圖24是圖22所示的光纖保持部的B-B線剖視圖。
[0044] 圖25是變形例5的光纖保持部的示意性的y-z剖視圖。
[0045] 圖26是變形例6的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。
[0046] 圖27是變形例6的光纖保持部的示意性的x-z俯視圖。
[0047]圖28是變形例7的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。
[0048]圖29是變形例8的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。
[0049]圖30是變形例9的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。
[0050]圖31是變形例9的光纖保持部的示意性的X-Z俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0051]以下，參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的半導(dǎo)體激光模塊的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明 的是，并不通過(guò)該實(shí)施方式來(lái)限定本實(shí)用新型。另外，在附圖的記載中，對(duì)相同或者對(duì)應(yīng)的 要素適當(dāng)?shù)貥?biāo)注相同的附圖標(biāo)記。另外，附圖是示意性的圖，需要注意各要素的尺寸的關(guān) 系、各要素的比率等有時(shí)與實(shí)際不同。在附圖的相互之間，有時(shí)也包含彼此的尺寸的關(guān)系、 比率不同的部分。
[0052](實(shí)施方式1)
[0053]首先，對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本實(shí)用新型 的實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的俯視圖。另外，圖2是圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊 的示意性的局部剖視圖。需要說(shuō)明的是，在以下的各圖中，將光纖的波導(dǎo)方向設(shè)為z方向，將 與z方向正交的方向中的水平方向設(shè)為x方向，將與z方向正交的方向中的垂直方向設(shè)為y方 向，各方向適當(dāng)?shù)赜涊d于各圖中。另外，在圖1、2中，封裝件的上蓋省略圖示。如圖1、2所示， 半導(dǎo)體激光模塊100在封裝件101內(nèi)，依次疊置固定有LD高度調(diào)節(jié)板102、輔助固定件103-1 ~103-6以及半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6。另外，在半導(dǎo)體激光模塊100上連接有引線銷 105。另外，與半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6對(duì)應(yīng)地，沿著-x方向依次配置有第一透鏡106-1 ~106-6、第二透鏡107-1~107-6以及反射鏡150-1~150-6。另外，在封裝件101內(nèi)，沿著z方 向依次配置有濾波器108、第三透鏡109以及光纖保持部111。在光纖保持部111上固定有光 纖112。該光纖112向封裝件101的外部延伸。
[0054] LD高度調(diào)節(jié)板102固定在封裝件101內(nèi)，如圖2所示，形成臺(tái)階部。輔助固定件103-1 ~103-6固定在LD高度調(diào)節(jié)板102上，分別載置半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6,并且輔助所 載置的半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6的散熱。半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6射出例如波長(zhǎng) 為900nm~lOOOnm的激光。半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6是射出的激光的強(qiáng)度為1W以上，甚 至例如為10W以上的高輸出的半導(dǎo)體激光元件。引線銷105向半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6 施加電壓，注入電流。所施加的電壓可以恒定，也可以是調(diào)制電壓。
[0055] 半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6由于LD高度調(diào)節(jié)板102的臺(tái)階部而配置為彼此高 度不同。另外，第一透鏡106-1~106-6、第二透鏡107-1~107-6、反射鏡150-1~150-6分別 與對(duì)應(yīng)的一個(gè)半導(dǎo)體激光元件配置在相同的臺(tái)階部上。
[0056] 第一透鏡106-1~106-6是使光在y方向上聚光的柱面透鏡，其焦距例如為0.3mm。 第二透鏡107-1~107-6是在與第一透鏡106-1~106-6正交的方向即x方向上使光聚光的柱 面透鏡，其焦距例如為10.5mm。第一透鏡106-1~106-6以及第二透鏡107-1~107-6使半導(dǎo) 體激光兀件104-1~104-6所射出的激光分別聚光。反射鏡150-1~150-6將由第一透鏡106-1~106-6以及第二透鏡107-1~107-6聚光的激光向?yàn)V波器108側(cè)反射。
[0057] 濾波器108是與半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6所射出的激光對(duì)應(yīng)地使900nm~ lOOOnm的波長(zhǎng)的光透過(guò)，而對(duì)從外部射入的多余的光、例如波長(zhǎng)為1060nm~1080nm的光進(jìn) 行反射的低通濾波器。第三透鏡109將透過(guò)的激光向光纖112的端面聚光，使之與光纖112耦 合。第三透鏡109的焦距例如為10mm。光纖112供激光射入，并對(duì)該激光進(jìn)行波導(dǎo)。光纖112例 如可以是芯直徑為105wii的多模光纖，也可以是單模光纖。
[0058] 光纖保持部111將光纖112固定在由第三透鏡109所聚光的激光與光纖112的耦合 效率最大的位置處。
[0059] 接下來(lái)，對(duì)該半導(dǎo)體激光模塊100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，從引線銷105向各半導(dǎo)體 激光元件104-1~104-6施加電壓并且注入電流，從各半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6向-x方 向射出激光。從各半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6射出的激光分別由于各第一透鏡106-1~ 106-6以及各第二透鏡107-1~107-6而成為大致平行光。具體而言，從各半導(dǎo)體激光元件 104-1~104-6射出的激光由于各第一透鏡106-1~106-6,能夠抑制y方向上的擴(kuò)散，從而在 y方向上成為大致平行光。接下來(lái)，激光由于各第二透鏡107-1~107-6,能夠抑制x方向上的 擴(kuò)散，從而在x方向上成為大致平行光。
[0060] 成為大致平行光的激光由反射鏡150-1~150-6反射。在此，如圖2所不，各半導(dǎo)體 激光元件104-1~104-6由于臺(tái)階部而配置為彼此高度不同。因此，激光由同樣由于臺(tái)階部 而配置為彼此高度不同的反射鏡150-1~150-6中的、與對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光元件104-1~ 104-6配置為相同高度的一個(gè)反射鏡反射，而反射成與光纖112的波導(dǎo)方向即z方向平行。由 此，從各半導(dǎo)體激光元件輸出的激光由反射鏡150-1~150-6中的、形成在其光路上的一個(gè) 反射鏡反射，且不會(huì)通過(guò)該反射鏡以外的反射鏡。通過(guò)這樣的臺(tái)階部結(jié)構(gòu)，從而防止使激光 產(chǎn)生不必要的損失。
[0061] 接下來(lái)，激光由作為聚光部的第三透鏡109聚光，并與光纖112耦合。與光纖112耦 合后的激光通過(guò)光纖112向半導(dǎo)體激光模塊100的外部波導(dǎo)、輸出。需要說(shuō)明的是，濾波器 108是用于去除從外部進(jìn)入的多余的光的構(gòu)件，也可以省略。
[0062]接下來(lái)，對(duì)光纖保持部111的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖3是將圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊的 光纖保持部放大后的示意性的x-z俯視圖。圖4是將圖1所示的半導(dǎo)體激光模塊的光纖保持 部放大后的示意性的y-z俯視圖。
[0063] 如圖3、4所不，光纖保持部111具備臺(tái)座11 la、作為保持構(gòu)件的環(huán)榧11 lb、以及固定 劑114a、114b。臺(tái)座11 la固定在封裝件101上。環(huán)箍11 lb通過(guò)固定劑114a固定在臺(tái)座11 la上。 光纖112穿過(guò)環(huán)箍111b，環(huán)箍111b與光纖112通過(guò)固定劑114b固定。由此，光纖保持部111對(duì) 光纖112進(jìn)行保持。另外，光纖112具備芯112a和包層112b，在面向第三透鏡109-側(cè)具有供 激光射入的光入射側(cè)的端部112c。
[0064] 環(huán)箍111b優(yōu)選不會(huì)因后述的激光的非耦合光而熔融，優(yōu)選由阻燃性的材料構(gòu)成、 或者對(duì)激光的光吸收率為30%以下。作為這樣的材料，環(huán)箍111b優(yōu)選使用耐熱溫度為500°C 以上的材料，例如由耐熱溫度為l〇〇〇°C以上的金屬、玻璃、或者陶瓷構(gòu)成。另外，為了不會(huì)因 激光而熔融，環(huán)箍111b可以為在第三透鏡109側(cè)(端部112c側(cè))具備反射膜的結(jié)構(gòu)，該反射膜 對(duì)激光的波長(zhǎng)的反射率為70%以上，更優(yōu)選為90%以上。作為這樣的材料，反射膜例如由金 屬膜或者電介質(zhì)多層膜構(gòu)成。另外，如后文所述，也可以采用對(duì)環(huán)箍111b的包括第三透鏡 109側(cè)的端面在內(nèi)的外表面由金屬等覆蓋的結(jié)構(gòu)。另外，固定劑114a以及固定劑114b例如由 UV固化樹(shù)脂、熱固化樹(shù)脂等有機(jī)粘接劑、焊料、低熔點(diǎn)玻璃、無(wú)機(jī)粘接劑構(gòu)成，根據(jù)操作容易 度而優(yōu)選使用環(huán)氧樹(shù)脂、聚氨酯系的樹(shù)脂。需要說(shuō)明的是，環(huán)氧樹(shù)脂、聚氨酯系的樹(shù)脂的耐 熱溫度為l〇〇°C左右。
[0065] 在此，激光由作為聚光部的第三透鏡109聚光，并與光纖112耦合，但其一部分不與 光纖112耦合而成為非耦合光。作為產(chǎn)生非耦合光的原因，有第三透鏡109所聚光的激光的 光斑直徑比光纖112的芯直徑大，一部分激光未導(dǎo)入至光纖112的芯112a的情況;和激光雖 然導(dǎo)入至光纖112的芯112a，但未被芯112a與包層112b之間的界面全反射而從光纖112的側(cè) 面作為泄漏光導(dǎo)出的情況。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100中，光纖 112的芯直徑為105wii，第三透鏡109所聚光的激光的光域(fi e 1 d)為六個(gè)橢圓形重疊而成的 形狀，橢圓形的長(zhǎng)徑為lOOym，短徑為30WI1左右。從而，第三透鏡109所聚光的激光的光斑直 徑比光纖112的芯直徑小，因此認(rèn)為非耦合光主要由泄漏光引起。
[0066]圖5是用于對(duì)激光與光纖耦合時(shí)產(chǎn)生的泄漏光進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。如圖5所示，從 紙面左側(cè)射入第三透鏡109的激光L由第三透鏡109聚光，之后導(dǎo)入至光纖112的芯112a。導(dǎo) 入的激光中的激光L0與光纖112耦合，在芯112a的中心進(jìn)行波導(dǎo)。激光L1在芯112a與包層 112b的邊界處被全反射，并與光纖112耦合。然而，如激光L2以及激光L3那樣，也存在在芯 112a與包層112b的邊界處不反射，未收攏于芯112a，向光纖112的外部導(dǎo)出而成為泄漏光的 激光。將如激光L2、L3這樣的泄漏光由泄漏光A來(lái)表示，將泄漏光A所通過(guò)的區(qū)域設(shè)為泄漏光 通過(guò)區(qū)域。需要說(shuō)明的是，在圖5中，實(shí)際上激光L0~L3在各光路上的各界面處發(fā)生折射，但 為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，將各光路設(shè)為直線。
[0067]因此，在角度相對(duì)于光纖112的波導(dǎo)方向足夠小而射入的激光與光纖112耦合的區(qū) 域，幾乎不向光纖112的外部放出泄漏光A，泄漏光足夠弱。將該區(qū)域設(shè)為內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1。 另外，在角度相對(duì)于光纖112的波導(dǎo)方向足夠大的區(qū)域，泄漏光也足夠弱。將該區(qū)域設(shè)為外 側(cè)固定區(qū)域S2。這樣，泄漏光足夠弱、也就是說(shuō)泄漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域即固定區(qū)域由內(nèi)側(cè)固 定區(qū)域和外側(cè)固定區(qū)域構(gòu)成。
[0068] 需要說(shuō)明的是，在此，泄漏光足夠弱是指x-y面上的泄漏光的強(qiáng)度小于130W/mm2、 更優(yōu)選小于l〇〇W/mm2的區(qū)域。
[0069] 另外，在射入光纖112的光的光域?yàn)闄E圓形的情況下，泄漏光相對(duì)于其長(zhǎng)軸方向 (光的光域中的直徑最長(zhǎng)的方向）的強(qiáng)度增強(qiáng)。需要說(shuō)明的是，若半導(dǎo)體激光元件的數(shù)量增 多，則光域的短軸方向與長(zhǎng)軸方向的直徑可能會(huì)成為同等程度、或短軸方向的直徑更長(zhǎng)。然 而，即使半導(dǎo)體激光元件的驅(qū)動(dòng)電流發(fā)生變化，短軸方向的直徑也幾乎不發(fā)生變化，因此 通過(guò)進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)而能夠充分減小泄漏光的強(qiáng)度。另一方面，在半導(dǎo)體激光元件的驅(qū)動(dòng) 電流發(fā)生變化時(shí)，長(zhǎng)軸方向的直徑有時(shí)會(huì)發(fā)生變化，因此即使在半導(dǎo)體激光元件的數(shù)量多 的情況下，對(duì)于長(zhǎng)軸方向也無(wú)需考慮泄漏光的強(qiáng)度。
[0070] 若這樣產(chǎn)生的泄漏光向由樹(shù)脂、焊料等構(gòu)成的固定劑照射，則存在固定劑熔融或 者破損的情況。這樣的現(xiàn)象例如容易在輸出為1W以上這種高輸出的半導(dǎo)體激光模塊中產(chǎn) 生。并且，半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6越是高輸出，則泄漏光的光強(qiáng)度越增大，因此容易 產(chǎn)生固定劑的熔融或者破損。
[0071] 與此相對(duì)，在本實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100中，如圖6所示，在x軸方向上，相 對(duì)于泄漏光A所通過(guò)的泄漏光通過(guò)區(qū)域，固定劑114a形成在外側(cè)固定區(qū)域S2,且固定劑114b 形成在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，所述x軸方向相當(dāng)于射入光纖112的激光L的光的光域的橢圓形的 長(zhǎng)軸方向。并且，泄漏光A由環(huán)箍111b的激光L入射側(cè)的端面反射。由此，向固定劑114a以及 固定劑114b照射的泄漏光足夠弱，固定劑114a以及固定劑114b不會(huì)熔融或者破損。因此，本 實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100成為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。需要說(shuō) 明的是，在半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6例如合計(jì)為10W以上的高輸出的情況下，泄漏光的 強(qiáng)度有時(shí)會(huì)成為130W/mm 2以上，若泄漏光向固定劑照射則存在固定劑熔融或者破損的情 況，并且在半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6例如合計(jì)為30W以上的高輸出的情況下，泄漏光的 強(qiáng)度容易成為130W/mm2以上，因此本實(shí)施方式1產(chǎn)生的防止固定劑114a以及固定劑114b熔 融或者破損的效果更加顯著。
[0072] 圖7是示出環(huán)箍的變形例的圖。如上所述，該環(huán)箍111c具備由玻璃構(gòu)成的環(huán)箍主體 lllca和由管狀的金屬構(gòu)成的保護(hù)體lllcb，所述保護(hù)體lllcb覆蓋環(huán)箍主體lllca的包括激 光L入射側(cè)的端面在內(nèi)的外表面。光纖112通過(guò)固定劑114b粘接在環(huán)箍主體lllca的插通孔 內(nèi)部。在具有該結(jié)構(gòu)的環(huán)箍111c中，非耦合光即泄漏光A由環(huán)箍111c的構(gòu)成激光L入射側(cè)的 端面的保護(hù)體lllcb反射，因此向固定劑114b照射的泄漏光足夠弱，固定劑114b幾乎不被照 射。另外，例如與金屬環(huán)箍相比，由玻璃構(gòu)成的環(huán)箍主體11 lea能夠更高精度地制成。因此， 也能夠高精度地制成光纖112的插通孔，故而能夠縮窄光纖112與插通孔之間的縫隙。其結(jié) 果是，能夠限制所使用的固定劑114b的量。另外，由于采用通過(guò)由金屬構(gòu)成的保護(hù)體lllcb 來(lái)覆蓋環(huán)箍主體lllca的外表面的結(jié)構(gòu)，因此還具有容易安裝使由于泄漏光A向環(huán)箍111c照 射而產(chǎn)生的熱散熱的結(jié)構(gòu)的效果。
[0073] 以下，對(duì)泄漏光足夠弱的區(qū)域即固定區(qū)域進(jìn)行更詳細(xì)地說(shuō)明。
[0074] 在以下說(shuō)明中使用的實(shí)驗(yàn)用的半導(dǎo)體激光模塊1000采用如下結(jié)構(gòu)，g卩，如圖8所 示，在實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊中，不使用環(huán)箍，而具有直接通過(guò)固定劑1014將光纖112 固定在平面狀的臺(tái)座1011a上的光纖保持部1011，除此以外的結(jié)構(gòu)與半導(dǎo)體激光模塊100相 同。
[0075] 首先，從六個(gè)半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6射出的激光的輸出設(shè)為在各元件中最 大為11W。從各半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6射出的激光的波長(zhǎng)相同，設(shè)為915nm。各第一透 鏡106-1~106-6的焦距設(shè)為0.3mm，各第二透鏡107-1~107-6的焦距設(shè)為10.5mm，第三透鏡 109的焦距設(shè)為10mm。另外，光纖112采用芯直徑為105wn、NA為0.15的多模光纖。而且，固定 劑1014采用環(huán)氧樹(shù)脂。固定劑1014設(shè)置在來(lái)自光纖112的泄漏光所照射的泄漏光強(qiáng)度強(qiáng)的 區(qū)域，即設(shè)置在與前端相距3mm的位置處。
[0076] 首先，在本半導(dǎo)體激光模塊1000中，當(dāng)提高驅(qū)動(dòng)電流而提高半導(dǎo)體激光模塊1000 的輸出時(shí)，對(duì)光纖112與激光的耦合效率和固定劑1014的溫度如何變化進(jìn)行測(cè)定。圖9是表 示驅(qū)動(dòng)電流與耦合效率及固定劑的溫度之間的關(guān)系的圖。如圖9所示，當(dāng)提高驅(qū)動(dòng)電流時(shí)， 耦合效率下降，固定劑的溫度上升。認(rèn)為這是由于，當(dāng)提高驅(qū)動(dòng)電流時(shí)，泄漏光的光強(qiáng)度也 增大，作為固定劑的環(huán)氧樹(shù)脂因成為高溫而發(fā)生軟化以及變形，從而耦合效率下降。例如， 在將驅(qū)動(dòng)電流設(shè)為12A的情況下，耦合效率降低至約80%，固定劑的溫度為100°C以上。在 此，環(huán)氧樹(shù)脂、聚氨酯系的樹(shù)脂在l〇〇°C左右熔融，因此存在固定劑熔融的情況。
[0077]在此，例如，在從各半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6射出光強(qiáng)度均為11W的激光，從 而合計(jì)66W的激光射入光纖112的情況下，耦合效率為85 %。換句話說(shuō)，激光中的56W與光纖 112耦合，剩余的約10W作為非耦合光即泄漏光，從光纖112的側(cè)面放出。這樣，當(dāng)半導(dǎo)體激光 模塊為高輸出時(shí)，泄漏光的強(qiáng)度也非常大。當(dāng)在這樣的條件下使用半導(dǎo)體激光模塊時(shí)，可靠 性顯著受損。
[0078]在設(shè)置有固定劑1014的位置處的泄漏光的強(qiáng)度為130W/mm2以上的情況下，容易產(chǎn) 生這種顯著的可靠性的降低。在射入光纖112的激光的強(qiáng)度為10W以上的情況下，有時(shí)會(huì)產(chǎn) 生這樣的問(wèn)題，特別是在30W以上的情況下，泄漏光的強(qiáng)度容易成為130W/mm 2以上。
[0079] 接下來(lái)，模擬泄漏光從光纖112的側(cè)面放出后通過(guò)哪個(gè)區(qū)域。圖10是表示模擬與光 纖112的透鏡(第三透鏡109)側(cè)的前端（即光入射側(cè)端部)相距3mm的位置處的泄漏光的強(qiáng)度 分布的結(jié)果的示意圖。圖10是模擬耦合效率為96%、非耦合光的強(qiáng)度為0.15W時(shí)的泄漏光的 強(qiáng)度分布的結(jié)果。圖10的一邊的長(zhǎng)度為2_，光纖112配置在圖的中心。圖中的白色部分表示 光強(qiáng)度強(qiáng)的部分。在此，在圖10中，在紙面左右方向、即x方向上存在泄漏光的強(qiáng)度強(qiáng)的區(qū) 域，另一方面，在紙面上下方向、即y方向上不存在泄漏光的強(qiáng)度強(qiáng)的區(qū)域。這是由于，在本 半導(dǎo)體激光模塊1000的條件下，射入光纖112的光的光域?yàn)樵趚方向上具有長(zhǎng)軸的橢圓形。 該橢圓例如長(zhǎng)徑為100M、短徑為30mi左右，長(zhǎng)徑以及短徑比光纖的芯直徑小。這樣，在射入 光纖的光的光域?yàn)闄E圓形的情況下，泄漏光的強(qiáng)度相對(duì)于長(zhǎng)軸方向（光的光域中的直徑最 長(zhǎng)的方向）增強(qiáng)，因此在長(zhǎng)軸方向上，與泄漏光所通過(guò)的區(qū)域（泄漏光的強(qiáng)度強(qiáng)的區(qū)域）相 比，需要將固定劑設(shè)置在遠(yuǎn)離光纖的位置等的、泄漏光的強(qiáng)度弱的區(qū)域。
[0080] 接下來(lái)，圖11是表示圖10的A-A線剖面的光強(qiáng)度的圖。如圖11所示，在射入光纖的 光的光域的長(zhǎng)軸方向上，泄漏光的強(qiáng)度足夠弱的區(qū)域?yàn)?，在與光纖112的光入射側(cè)端部相距 3mm的位置處距光纖112的中心的距離比0.8mm更靠外側(cè)的區(qū)域。該區(qū)域是外側(cè)固定區(qū)域。需 要說(shuō)明的是，光纖112的芯直徑為105wn，相對(duì)于0.8_充分小。因此，圖中的光強(qiáng)度強(qiáng)的區(qū)域 表示從光纖112放出的泄漏光。并且，根據(jù)圖11可知，在中心附近也存在泄漏光的強(qiáng)度足夠 弱的區(qū)域。該區(qū)域?yàn)閮?nèi)側(cè)固定區(qū)域。
[0081] 接下來(lái)，對(duì)于本半導(dǎo)體激光模塊1000,更詳細(xì)地測(cè)定泄漏光通過(guò)區(qū)域(泄漏光的強(qiáng) 度強(qiáng)的區(qū)域）。此時(shí)，從各半導(dǎo)體激光元件104-1~104-6射出光強(qiáng)度均為11W的激光，從而合 計(jì)66W的激光向光纖射入。調(diào)節(jié)為其中80~85 %左右的激光與光纖112耦合，且從光纖112射 出的光的輸出為50W。在這樣的條件下，在連續(xù)驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體激光模塊1000-小時(shí)的情況下， 對(duì)固定劑1014是否發(fā)生熔融或者破損，從光纖112射出的激光的輸出是否降低進(jìn)行測(cè)定。
[0082] 圖12是用于對(duì)測(cè)定泄漏光所通過(guò)的區(qū)域的方法進(jìn)行說(shuō)明的圖。如圖12所示，在射 入光纖112的激光L的光的光域的長(zhǎng)軸方向（紙面上下方向）上，將射入光纖112的激光L相對(duì) 于沿著光纖112的波導(dǎo)方向延伸的光纖的中心軸X所成的角(入射角）設(shè)為角度0 in。另外，在 激光L的光的光域的長(zhǎng)軸方向上，將泄漏光A從光纖112的聚光部側(cè)的端部112c的剖面中心 通過(guò)固定劑1014的區(qū)域的外側(cè)相對(duì)于光纖112的波導(dǎo)方向（中心軸X)所成的角設(shè)為角度0 a， 將光通過(guò)固定劑1014的區(qū)域的內(nèi)側(cè)相對(duì)于光纖112的波導(dǎo)方向（中心軸X)所成的角設(shè)為角 度9b。
[0083]而且，在該條件下，制造使0a以及0b變化的50個(gè)半導(dǎo)體激光模塊1000,并進(jìn)行了固 定劑1014是否破損的試驗(yàn)。表1、圖13是表示測(cè)定泄漏光所通過(guò)的區(qū)域的結(jié)果的圖表。
[0084]【表1】


[0086] 表1從左起表不各半導(dǎo)體激光模塊1000的編號(hào)、9in、9a、9b以及試驗(yàn)的結(jié)果。9 a以及 通過(guò)測(cè)定固定劑1014與光纖112之間的位置關(guān)系并換算成角度而求出。對(duì)于試驗(yàn)的結(jié)果， 將固定劑1014未破損的情況記載為"〇"，將固定劑1014破損的情況下記載為"X"。并且，作 為圖13,關(guān)于表1的結(jié)果，將橫軸設(shè)為入射的光的角度0in，在縱軸上圖示了各試驗(yàn)中的03與 0派夾的區(qū)域、即泄漏光向固定劑1014照射的區(qū)域。在圖13中，實(shí)線是與表1中的"〇"對(duì)應(yīng) 的固定劑1 〇 14未破損的情況，虛線是與表1中的" X "對(duì)應(yīng)的固定劑1014破損的情況。在該試 驗(yàn)中，即使泄漏光照射至固定劑1014的極小一部分，也認(rèn)為固定劑1014破損。因此，能夠?qū)?包含至少一個(gè)固定劑1014未破損的情況的區(qū)域視為泄漏光足夠弱的區(qū)域。而且，根據(jù)圖13 可知，當(dāng)在射入光纖112的光的光域的長(zhǎng)軸方向上求該泄漏光足夠弱的區(qū)域時(shí)，泄漏光足夠 弱的固定區(qū)域?yàn)?，從光纖112的聚光部側(cè)的端部112c的剖面中心起相對(duì)于光纖112的中心軸 X成15°以上的角度、即比角度01 = 15°更靠外側(cè)的區(qū)域（外側(cè)固定區(qū)域）、以及相對(duì)于光纖 112的中心軸X成02 = -1.150in+12.5°以下的角度、即比角度02更靠?jī)?nèi)側(cè)的區(qū)域（內(nèi)側(cè)固定區(qū) 域)。
[0087] 圖14是用于對(duì)泄漏光放射的區(qū)域進(jìn)行說(shuō)明的說(shuō)明圖。根據(jù)試驗(yàn)的結(jié)果，如圖14所 示，泄漏光A所通過(guò)的泄漏光通過(guò)區(qū)域是用斜線表示的角度0:與角度0 2之間的區(qū)域。與此相 對(duì)，泄漏光A足夠弱的區(qū)域是角度0:的外側(cè)的外側(cè)固定區(qū)域S2、和角度02的內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)固定 區(qū)域S1。其中，外側(cè)固定區(qū)域S2是相對(duì)于光纖112的中心軸X的角度大的區(qū)域，因此泄漏光A 不通過(guò)。另一方面，內(nèi)側(cè)固定區(qū)域是相對(duì)于光纖112的中心軸X的角度小的區(qū)域，因此是射入 的光與光纖112耦合而在該區(qū)域內(nèi)不作為泄漏光放出的區(qū)域，因而泄漏光A不通過(guò)。因此，通 過(guò)將固定劑形成在作為固定區(qū)域的外側(cè)固定區(qū)域S2以及內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1中的至少一方，能 夠?qū)⑾蚬潭▌┱丈涞男孤┕獬浞譁p弱至固定劑不會(huì)熔融或者破損的程度。此時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn) 在泄漏光為1W以上、甚至為10W這種非常高的輸出的條件下可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊，能 夠充分發(fā)揮本實(shí)用新型的效果。
[0088] (實(shí)施例）
[0089] 接下來(lái)，對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊具有本實(shí)施 方式1的半導(dǎo)體激光模塊1〇〇的結(jié)構(gòu)，與圖8所示的實(shí)驗(yàn)用的半導(dǎo)體激光模塊1000的結(jié)構(gòu)不 同，如圖6所示，固定劑114a、114b形成在外側(cè)固定區(qū)域S2以及內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1。各元件的輸 出光強(qiáng)度、焦距、材料等與實(shí)驗(yàn)用的半導(dǎo)體激光模塊的情況相同。實(shí)際制造這樣的實(shí)施例的 半導(dǎo)體激光模塊，將從光纖射出的激光的輸出設(shè)為30W，實(shí)施100小時(shí)的連續(xù)驅(qū)動(dòng)。此時(shí)，未 發(fā)現(xiàn)如圖9所示的溫度上升、耦合效率的降低。因此，證實(shí)了本實(shí)施例的半導(dǎo)體激光模塊是 在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。
[0090] 需要說(shuō)明的是，在上述光纖保持部111中，使用固定劑114a以及固定劑114b來(lái)保持 光纖112,但也可以僅使用固定劑114a與固定劑114b中的任一方。例如，也可以不使用固定 劑114a而僅設(shè)置固定劑114b，通過(guò)臺(tái)座111 a與金屬板夾持環(huán)箍111 b，并通過(guò)螺釘進(jìn)行固定。 即，也可以將固定劑114b僅配置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1。另外，例如，也可以不使用固定劑114b 而僅設(shè)置固定劑114a，將環(huán)箍111b的內(nèi)周、光纖112的外周加工為高精度地匹配，從而即使 不使用固定劑114b，光纖112也不會(huì)偏移。即，也可以使固定劑114a與光纖112分離，固定劑 114a僅形成在外側(cè)固定區(qū)域S2。在這樣構(gòu)成光纖保持部的情況下，固定劑也可以僅配置在 內(nèi)側(cè)固定區(qū)域以及外側(cè)固定區(qū)域中的任一方。
[0091](光纖保持部的變形例1)
[0092] 接下來(lái)，作為光纖保持部的一個(gè)變形例，對(duì)如上述那樣固定劑僅配置在內(nèi)側(cè)固定 區(qū)域的光纖保持部進(jìn)行說(shuō)明。
[0093] 圖15A是光纖保持部的變形例1的示意性的x-z俯視圖。該光纖保持部111A能夠與 實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100的光纖保持部111替換使用。
[0094] 光纖保持部111A具備臺(tái)座lllAa和固定劑114Ab。通過(guò)固定劑114Ab將光纖112粘接 固定在臺(tái)座11 lAa上，從而光纖保持部111A對(duì)光纖112進(jìn)行保持。固定劑114Ab由與固定劑 114b相同的材料構(gòu)成。
[0095]該光纖保持部111A的固定劑114Ab設(shè)置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，因此激光L射入光纖 112而產(chǎn)生的泄漏光A不會(huì)向固定劑114Ab照射。因此，具備該光纖保持部111A的半導(dǎo)體激光 模塊100成為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。
[0096] 需要說(shuō)明的是，為了這樣將固定劑114Ab設(shè)置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，例如優(yōu)選以下所 示的這種臺(tái)座。
[0097] 圖15B、圖15C、圖1?是示出臺(tái)座的變形例的圖。在圖15B中，通過(guò)縮小臺(tái)座lllAa的 寬度，從而容易將固定劑114Ab設(shè)置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，并且使之不易向泄漏光A所通過(guò)的 區(qū)域溢出。圖15C所示的臺(tái)座111Ab 1在固定劑114Ab的兩側(cè)設(shè)置有槽g 1，從而容易將固定劑 114Ab設(shè)置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，并且使之不易向泄漏光A所通過(guò)的區(qū)域溢出。圖15D所示的臺(tái) 座lllAb2設(shè)置有收容光纖112的槽g2,通過(guò)在槽g2內(nèi)配置光纖112以及固定劑114Ab，從而容 易將固定劑114Ab設(shè)置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，并且使之不易向泄漏光A所通過(guò)的區(qū)域溢出。 [0098](實(shí)施方式2)
[0099] 圖16是本實(shí)用新型的實(shí)施方式2的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的俯視圖。另外，圖17 是圖16所示的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的局部剖視圖。需要說(shuō)明的是，在圖16、圖17中，封 裝件的上蓋省略圖示。如圖16、圖17所示，半導(dǎo)體激光模塊100A在封裝件101A內(nèi)依次疊置有 LD高度調(diào)節(jié)板102A、輔助固定件103以及半導(dǎo)體激光元件104。另外，在半導(dǎo)體激光模塊100A 上連接有引線銷105。而且，在半導(dǎo)體激光元件104所輸出的激光的光路上，第一透鏡106、第 二透鏡107、濾波器108以及第三透鏡109依次固定在封裝件101內(nèi)。并且，與第三透鏡109對(duì) 置且固定于光纖保持部111的光纖112固定在封裝件101內(nèi)。另外，在封裝件101A中設(shè)置有光 纖插入口 101Aa。光纖112穿過(guò)光纖插入口 101Aa，光纖插入口 101Aa由插入部固定劑113密 封。
[0100] 封裝件101A相當(dāng)于實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100的封裝件101，對(duì)各光學(xué)元件 進(jìn)行固定。LD高度調(diào)節(jié)板102A相當(dāng)于LD高度調(diào)節(jié)板102,固定在封裝件101A內(nèi)，對(duì)半導(dǎo)體激 光元件104的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)。輔助固定件103、半導(dǎo)體激光元件104、引線銷105、第一透鏡 106、第二透鏡107、濾波器108、第三透鏡109以及光纖保持部111的結(jié)構(gòu)及作用具有與實(shí)施 方式1的半導(dǎo)體激光模塊100中的對(duì)應(yīng)的要素相同的結(jié)構(gòu)、作用，因此省略說(shuō)明。
[0101] 對(duì)該半導(dǎo)體激光模塊100A的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，從引線銷105向半導(dǎo)體激光元件 104施加電壓并且注入電流，從半導(dǎo)體激光元件104向z方向射出激光。從半導(dǎo)體激光元件 104射出的激光通過(guò)第一透鏡106以及第二透鏡107而成為大致平行光。成為大致平行光的 激光由作為聚光部的第三透鏡109聚光，并與光纖112耦合。與光纖112耦合的激光通過(guò)光纖 112向半導(dǎo)體激光模塊100A的外部波導(dǎo)、輸出。
[0102] 在此，在光纖保持部111中，與實(shí)施方式1的情況相同，在x軸方向上，相對(duì)于泄漏 光，固定劑114a形成在外側(cè)固定區(qū)域S2,且固定劑114b形成在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1，所述x軸方 向相當(dāng)于射入光纖112的光的光域的橢圓形的長(zhǎng)軸方向。由此，向固定劑114a以及固定劑 114b照射的泄漏光足夠弱，固定劑114a以及固定劑114b不會(huì)熔融或者破損。因此，本實(shí)施方 式2的半導(dǎo)體激光模塊100A成為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。
[0103] 以下，對(duì)實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100的變形例的半導(dǎo)體激光模塊進(jìn)行說(shuō)明。 需要說(shuō)明的是，變形例的半導(dǎo)體激光模塊具有將半導(dǎo)體激光模塊1〇〇的光纖保持部111替換 為變形例的光纖保持部而成的結(jié)構(gòu)，因此以下主要對(duì)變形例的光纖保持部進(jìn)行說(shuō)明。另外， 以下進(jìn)行說(shuō)明的變形例的光纖保持部也能夠在本實(shí)用新型的其他實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光 模塊中應(yīng)用。
[0104](變形例2)
[0105] 圖18是變形例2的光纖保持部的示意性的x-z俯視圖。如圖18所示，在本變形例2的 光纖保持部211中，環(huán)箍211b的激光L入射側(cè)的端面具有曲面211ba。而且，環(huán)箍211b通過(guò)固 定劑214a固定在未圖示的臺(tái)座上。并且，光纖112穿過(guò)環(huán)箍211b，且環(huán)箍211b與光纖112通過(guò) 固定劑214b固定。由此，光纖保持部211對(duì)光纖112進(jìn)行保持。需要說(shuō)明的是，固定劑214a、 214b由與固定劑114a、114b相同的材料構(gòu)成，且分別設(shè)置在外側(cè)固定區(qū)域S2、內(nèi)側(cè)固定區(qū)域 Sl〇
[0106] 在此，由激光L產(chǎn)生的泄漏光A的一部分向環(huán)箍照射。此時(shí)，在環(huán)箍的激光L入射側(cè) 的端面是與光纖112的波導(dǎo)方向（中心軸)垂直的平面的情況下，泄漏光A相對(duì)于激光L入射 側(cè)的端面大致垂直地照射。另一方面，在本變形例2的光纖保持部211中，環(huán)箍211b的激光L 入射側(cè)的端面具有曲面211ba，泄漏光A相對(duì)于曲面211ba具有角度地照射。這樣，通過(guò)具有 角度，從而與泄漏光A垂直地照射的情況相比，反射量增多，因此能夠減少泄漏光A被環(huán)箍 211b吸收的量。因此，能夠防止由于環(huán)箍211b吸收泄漏光A導(dǎo)致溫度上升而使固定劑214a或 者固定劑214b溶解的情況。并且，能夠防止反射至環(huán)箍211b的泄漏光向固定劑214a或者固 定劑214b照射。因此，使用這樣的本變形例2的光纖保持部211的半導(dǎo)體激光模塊為在高輸 出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。需要說(shuō)明的是，環(huán)箍211b的激光L入射側(cè)的端面不限 定于曲面211ba，也可以是相對(duì)于泄漏光A的入射方向而具有角度的傾斜面。
[0107](變形例3)
[0108]圖19是變形例3的光纖保持部的示意性的x-z俯視圖。如圖19所示，本變形例3的光 纖保持部311的環(huán)箍311b由對(duì)于泄漏光A大致透明的氧化鋯或者玻璃構(gòu)成。而且，環(huán)箍311b 通過(guò)固定劑314a固定在未圖示的臺(tái)座上。并且，光纖112穿過(guò)環(huán)箍311b，且環(huán)箍311b與光纖 112通過(guò)固定劑314b固定。由此，光纖保持部311對(duì)光纖112進(jìn)行保持。需要說(shuō)明的是，固定劑 314a、314b由與固定劑114a、114b相同的材料構(gòu)成，且分別設(shè)置在外側(cè)固定區(qū)域S2、內(nèi)側(cè)固 定區(qū)域S1。
[0109] 在該光纖保持部311中，向環(huán)箍311b照射的泄漏光A透過(guò)環(huán)箍311b。即，泄漏光A不 被環(huán)箍311b吸收。由此，能夠防止環(huán)箍311b的溫度上升而使固定劑314a或者固定劑314b溶 解的情況。因此，使用這樣的本變形例3的光纖保持部211的半導(dǎo)體激光模塊為在高輸出動(dòng) 作時(shí)可靠性更高的半導(dǎo)體激光模塊。需要說(shuō)明的是，為了使反射至環(huán)箍311b的泄漏光A不向 固定劑314a或者固定劑314b照射，也可以在環(huán)箍311b的激光L入射側(cè)的端面上形成有防反 射膜。
[0110] (變形例4) 圖20是變形例4的光纖保持部的示意性的x-z俯視圖，圖21是其剖視圖。如圖20、21 所示，在本變形例4的光纖保持部411中，金屬制的環(huán)箍411b直接固定在半導(dǎo)體激光模塊的 封裝件401上。光纖112通過(guò)未圖示的固定劑固定在環(huán)箍411b上。這樣，變形例4的光纖保持 部具有不使用臺(tái)座的結(jié)構(gòu)。而且，如圖21所示，固定劑414a、414b由與固定劑114a、114b相 同的材料構(gòu)成，且分別設(shè)置在位于外側(cè)固定區(qū)域S2、內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1內(nèi)的環(huán)箍411b的插通 孔內(nèi)。因此，使用這樣的本變形例4的光纖保持部411的半導(dǎo)體激光模塊為在高輸出動(dòng)作時(shí) 可靠性更高的半導(dǎo)體激光模塊。
[0112]需要說(shuō)明的是，環(huán)箍411b固定于封裝件401的位置與光纖112的激光L入射側(cè)的端 部充分分離，因此泄漏光足夠弱。因此，環(huán)箍411b可以通過(guò)固定劑414a固定在封裝件401上， 但也可以通過(guò)螺釘?shù)葯C(jī)械式的固定方法固定在封裝件401上。另外，光纖112能夠通過(guò)少量 的固定劑414b固定在環(huán)箍411b上，因此能夠容易地將固定劑414b形成在外側(cè)固定區(qū)域或者 內(nèi)側(cè)固定區(qū)域。由此，向固定劑414a、414b照射的泄漏光足夠弱，能夠防止固定劑熔融或者 破損。
[0113] (實(shí)施方式3)
[0114] 圖22是本實(shí)用新型的實(shí)施方式3的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的俯視圖。另外，圖23 是圖22所示的半導(dǎo)體激光模塊的示意性的局部剖視圖。如圖22、23所示，本實(shí)施方式3的半 導(dǎo)體激光模塊100B具有將實(shí)施方式1的半導(dǎo)體激光模塊100的光纖保持部111替換為光纖保 持部111B而成的結(jié)構(gòu)。
[0115] 圖24是圖22所示的光纖保持部的B-B線剖視圖。如圖24所示，光纖保持部111B具備 臺(tái)座lllBa，該臺(tái)座lllBa具有沿著光纖112的波導(dǎo)方向即z方向延伸的槽lllBaa。而且，光纖 112通過(guò)固定劑114B固定在槽lllBaa內(nèi)。此時(shí)，槽lllBaa的寬度十分狹窄，以便將固定劑 114B相對(duì)于泄漏光A收斂在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1。由此，固定劑114B設(shè)置在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域S1內(nèi)， 泄漏光A不向固定劑114B照射。因此，本實(shí)施方式3的半導(dǎo)體激光模塊100B成為在高輸出動(dòng) 作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。這樣，通過(guò)抑制固定劑的擴(kuò)散的結(jié)構(gòu)，將固定劑限定地形 成在內(nèi)側(cè)固定區(qū)域或者外側(cè)固定區(qū)域，由此能夠獲得本實(shí)用新型的效果。
[0116]需要說(shuō)明的是，在通過(guò)固定劑固定光纖時(shí)，固定劑隨著粘接后的固化而收縮，有時(shí) 會(huì)導(dǎo)致光纖偏移。若光纖偏移，則會(huì)導(dǎo)致耦合效率的惡化，故而不優(yōu)選。在此，在本實(shí)施方式 3的半導(dǎo)體激光模塊100B中，通過(guò)具有槽lllBaa的臺(tái)座lllBa來(lái)固定光纖112。此時(shí)，當(dāng)向槽 lllBaa注入固定劑114B時(shí)，在光纖112的剖面方向（xy面內(nèi)方向）上各向同性地產(chǎn)生與固定 劑114B的固化相伴的收縮，因此光纖112不會(huì)偏移。這樣，本實(shí)施方式3的半導(dǎo)體激光模塊 100B還抑制與固定劑114B的固化相伴的光纖112的偏移。
[0117] (變形例5)
[0118] 圖25是變形例5的光纖保持部的示意性的y-z剖視圖。如圖25所示，本變形例5的光 纖保持部611由作為保持構(gòu)件的光纖固定構(gòu)件61 lb、和固定劑614構(gòu)成，該光纖固定構(gòu)件 61 lb由光纖固定構(gòu)件61 lba以及光纖固定構(gòu)件61 lbb構(gòu)成。光纖固定構(gòu)件61 lba以及光纖固 定構(gòu)件611bb優(yōu)選不因激光的非耦合光、泄漏光而熔融，優(yōu)選由阻燃性的材料構(gòu)成、或者對(duì) 激光的光吸收率為30%以下。作為這樣的材料，光纖固定構(gòu)件611ba以及光纖固定構(gòu)件 611bb例如由耐熱溫度為1000°C以上的玻璃、或者陶瓷構(gòu)成。需要說(shuō)明的是，作為光纖固定 構(gòu)件611 b，優(yōu)選使用耐熱溫度為500 °C以上的材料。另外，為了使光纖固定構(gòu)件61 lba以及光 纖固定構(gòu)件611bb不因激光而熔融，也可以在第三透鏡109側(cè)（圖1、2參照）具備對(duì)激光的波 長(zhǎng)的反射率為70%以上、更優(yōu)選為90%以上的反射膜。作為這樣的材料，反射膜例如由金屬 膜或者電介質(zhì)多層膜構(gòu)成。另外，固定劑614例如由UV固化樹(shù)脂、熱固化樹(shù)脂等有機(jī)粘接劑、 焊料、低熔點(diǎn)玻璃、無(wú)機(jī)粘接劑構(gòu)成，根據(jù)操作容易度而使用環(huán)氧樹(shù)脂、聚氨酯系的樹(shù)脂。
[0119] 在該光纖保持部611中，還具有臺(tái)座的功能的光纖固定構(gòu)件611ba固定在封裝件 101內(nèi)。而且，通過(guò)固定劑614將光纖固定構(gòu)件61 lba與光纖固定構(gòu)件61 lbb粘接，從而光纖固 定構(gòu)件611ba與光纖固定構(gòu)件611bb從上下夾持并按壓光纖112,從而將其固定。由此，光纖 保持部611固定并保持光纖112。
[0120] 另外，固定劑614不與光纖112直接接觸而分離。由于該分離，從而與來(lái)自光纖112 的泄漏光的強(qiáng)度強(qiáng)的接近光纖112的區(qū)域相比，固定劑614配置在遠(yuǎn)離光纖112的位置、且配 置在泄漏光不通過(guò)的相當(dāng)于外側(cè)固定區(qū)域的區(qū)域。由此，泄漏光不向固定劑614照射，固定 劑614不會(huì)熔融或者破損。因此，使用這樣的本變形例5的光纖保持部611的半導(dǎo)體激光模塊 為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性更高的半導(dǎo)體激光模塊。
[0121] (變形例6)
[0122] 圖26是變形例6的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。圖27是變形例6的光纖保持 部的示意性的x-z俯視圖。如圖26所示，本變形例6的光纖保持部711由作為保持構(gòu)件的光纖 固定構(gòu)件711b、和固定劑714構(gòu)成，該光纖固定構(gòu)件711b由三個(gè)光纖固定構(gòu)件711ba、711bb、 711bc構(gòu)成。另外，如圖27所示，在光纖固定構(gòu)件711ba上，沿光纖112的波導(dǎo)方向并排配置有 光纖固定構(gòu)件71 lbb和光纖固定構(gòu)件71 lbc。光纖固定構(gòu)件71 lb和固定劑714分別由與光纖 固定構(gòu)件61 lb和固定劑614相同的材料構(gòu)成。
[0123] 在該光纖保持部711中，還具有臺(tái)座的功能的光纖固定構(gòu)件711ba固定在封裝件 內(nèi)。而且，通過(guò)固定劑714將光纖固定構(gòu)件71 lba、光纖固定構(gòu)件71 lbb以及光纖固定構(gòu)件 71 lbc粘接，從而光纖固定構(gòu)件71 lba、光纖固定構(gòu)件71 lbb以及光纖固定構(gòu)件71 lbc從三個(gè) 方向夾持并按壓光纖112,從而將其固定。由此，光纖保持部711固定并保持光纖112。這樣， 光纖固定構(gòu)件也可以由三個(gè)以上的構(gòu)件構(gòu)成。
[0124] 固定劑714不與光纖112直接接觸而分離，并且與來(lái)自光纖112的泄漏光所通過(guò)的 區(qū)域相比，配置在遠(yuǎn)離光纖112的位置且配置在泄漏光不通過(guò)的相當(dāng)于外側(cè)固定區(qū)域的區(qū) 域。由此，泄漏光不向固定劑714照射，固定劑714不會(huì)熔融或者破損。因此，使用這樣的本變 形例6的光纖保持部711的半導(dǎo)體激光模塊為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性更高的半導(dǎo)體激光模 塊。
[0125] (變形例7)
[0126] 圖28是變形例7的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。如圖28所示，本變形例7的光 纖保持部611A是將變形例5的光纖保持部611中的光纖固定構(gòu)件61 lb替換為光纖固定構(gòu)件 61 lAb而成的。光纖固定構(gòu)件61 lAb是將光纖固定構(gòu)件61 lb中的還具有臺(tái)座的功能的光纖固 定構(gòu)件61 lba替換為光纖固定構(gòu)件61 lAba而成的。光纖固定構(gòu)件61 lAba具有沿著光纖112延 伸的方向即z方向延伸的V字型的光纖固定槽G1。
[0127] 在該光纖保持部611A中，與光纖保持部611同樣地，通過(guò)基于固定劑614的粘接，光 纖固定構(gòu)件611Aba與光纖固定構(gòu)件611bb夾持并按壓光纖112,從而將其固定。并且，在該光 纖保持部611A中，光纖固定構(gòu)件61 lAba具備光纖固定槽G1，從而光纖112的一部分收容在 光纖固定槽G1中，形成光纖112在x方向上不易偏移的結(jié)構(gòu)。由此，光纖保持部611A固定并保 持光纖112。
[0128] 與光纖保持部611的情況同樣地，固定劑614不與光纖112直接接觸而分離，并且與 來(lái)自光纖112的泄漏光所通過(guò)的區(qū)域相比，配置在遠(yuǎn)離光纖112的位置且配置在泄漏光不通 過(guò)的相當(dāng)于外側(cè)固定區(qū)域的區(qū)域。由此，泄漏光不向固定劑614照射，固定劑614不會(huì)熔融或 者破損。因此，使用這樣的本變形例7的光纖保持部611A的半導(dǎo)體激光模塊為在高輸出動(dòng)作 時(shí)可靠性更高的半導(dǎo)體激光模塊。需要說(shuō)明的是，光纖固定槽G1只要是抑制光纖112的x方 向上的偏移的結(jié)構(gòu)即可，不限于V字型，例如，也可以是半圓、寬度比光纖112的直徑窄的槽 等。
[0129] (變形例8)
[0130]圖29是變形例8的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。如圖29所示，本變形例8的光 纖保持部611B是將變形例5的光纖保持部611中的光纖固定構(gòu)件61 lb替換為光纖固定構(gòu)件 611Bb而成的。光纖固定構(gòu)件611Bb是將光纖固定構(gòu)件611b中的還具有臺(tái)座的功能的光纖固 定構(gòu)件61 lba替換為光纖固定構(gòu)件61 lBba而成的。光纖固定構(gòu)件61 lBba具備:沿著光纖112 延伸的方向即z方向延伸的V字型的光纖固定槽G1、和將固定劑614的流動(dòng)截止的作為截流 部的截流槽G2。截流槽G2以?shī)A設(shè)在光纖112與固定劑614之間的方式形成。
[0131] 在該光纖保持部611B中，與光纖保持部611A同樣地，通過(guò)基于固定劑614的粘接， 光纖固定構(gòu)件611Bba與光纖固定構(gòu)件611bb夾持并按壓光纖112,從而將其固定。并且，光纖 112的一部分收容在光纖固定槽G1中，從而形成光纖112在x方向上不易偏移的結(jié)構(gòu)。由此， 光纖保持部611B固定并保持光纖112。并且，在該光纖保持部611B中，通過(guò)形成有截流槽G2， 從而在組裝該光纖保持部611B時(shí)，防止例如樹(shù)脂的固定劑614在固化前流動(dòng)而與光纖112接 觸。并且，截流槽G2防止固定劑614在固化前流入泄漏光所通過(guò)的區(qū)域內(nèi)。由此，能夠更加可 靠地將固定劑614形成為不與光纖112直接接觸而分離。由此，泄漏光不向固定劑614照射， 固定劑614不會(huì)熔融或者破損。因此，使用這樣的本變形例8的光纖保持部611B的半導(dǎo)體激 光模塊為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性更高的半導(dǎo)體激光模塊。需要說(shuō)明的是，作為截流部的截 流槽G2,只要是能夠?qū)⒐潭▌?14的流動(dòng)截止的結(jié)構(gòu)即可。并且，作為截流部，不限定于槽， 例如，也可以是突起部、傾斜等。
[0132] (變形例9)
[0133] 圖30是變形例9的光纖保持部的示意性的x-y剖視圖。圖31是變形例9的光纖保持 部的示意性的x-z俯視圖。如圖30、31所示，本變形例9的光纖保持部811由作為保持構(gòu)件的 光纖固定構(gòu)件81 lb、和固定劑814構(gòu)成，該光線固定構(gòu)件81 lb由光纖固定構(gòu)件81 lba、81 lbb 構(gòu)成。光纖固定構(gòu)件81 lb和固定劑814分別由與光纖固定構(gòu)件61 lb和固定劑614相同的材料 構(gòu)成。
[0134] 在該光纖保持部811中，還具有臺(tái)座的功能的光纖固定構(gòu)件811ba固定在封裝件 內(nèi)。而且，具有U字形狀的槽的光纖固定構(gòu)件811bb嵌入光纖固定構(gòu)件811ba，通過(guò)固定劑814 將光纖固定構(gòu)件811ba與光纖固定構(gòu)件811bb粘接，從而光纖固定構(gòu)件811ba與光纖固定構(gòu) 件81 lbb夾持并按壓光纖112,從而將其固定。在此，光纖固定構(gòu)件81 lbb呈覆蓋光纖112的形 狀，從而形成光纖112不易向xy方向的各個(gè)方向偏移的結(jié)構(gòu)。由此，光纖保持部811固定并保 持光纖112。
[0135] 固定劑814不與光纖112直接接觸而分離，并且與來(lái)自光纖112的泄漏光所通過(guò)的 區(qū)域相比，配置在遠(yuǎn)離光纖112的位置且配置在泄漏光不通過(guò)的相當(dāng)于外側(cè)固定區(qū)域的區(qū) 域。由此，泄漏光不向固定劑814照射，固定劑814不會(huì)熔融或者破損。因此，使用這樣的本變 形例9的光纖保持部811的半導(dǎo)體激光模塊為在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性更高的半導(dǎo)體激光模 塊。這樣，光纖固定構(gòu)件能夠形成為將光纖112固定的各種形狀。
[0136] 如以上說(shuō)明那樣，根據(jù)上述實(shí)施方式，能夠提供在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo) 體激光模塊。
[0137] 需要說(shuō)明的是，在上述實(shí)施方式中，固定劑不限定于樹(shù)脂，也可以是螺釘、夾子、膠 帶等基于各種固定方法的固定部。即便是這樣的固定部，當(dāng)照射有泄漏光時(shí)，由于因熔融、 惡化導(dǎo)致的變形、因熱膨脹導(dǎo)致的變形、或者破損等，從而具有產(chǎn)生耦合損失的增大的可能 性。因此，根據(jù)本實(shí)用新型，通過(guò)將固定部形成在包括內(nèi)側(cè)固定區(qū)域和外側(cè)固定區(qū)域在內(nèi) 的固定區(qū)域等，能夠?qū)崿F(xiàn)在高輸出動(dòng)作時(shí)可靠性高的半導(dǎo)體激光模塊。
[0138] 另外，并不通過(guò)上述實(shí)施方式來(lái)限定本實(shí)用新型。將上述的各構(gòu)成要素適當(dāng)?shù)亟M 合而構(gòu)成的方案也包含于本實(shí)用新型。另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠容易地導(dǎo)出進(jìn)一步的效 果、變形例。因此，本實(shí)用新型的更廣泛的形態(tài)不限定于上述的實(shí)施方式，而能夠進(jìn)行各種 變更。
[0139] 工業(yè)實(shí)用性
[0140]如上所述，本實(shí)用新型的半導(dǎo)體激光模塊主要適宜在高輸出的半導(dǎo)體激光模塊中 利用。
[0141] 附圖標(biāo)記說(shuō)明：
[0142] 100、100A、100B半導(dǎo)體激光模塊
[0143] 101、101A、401 封裝件
[0144] 101Aa光纖插入口
[0145] 102、102A高度調(diào)節(jié)板
[0146] 103、103_1 ~103-6 輔助固定件
[0147] 104、104-1~104-6半導(dǎo)體激光元件
[0148] 105引線銷
[0149] 106 第一透鏡
[0150] 107 第二透鏡
[0151] 108濾波器
[0152] 109第三透鏡
[0153] 111、111A、111B、211、311、411、611、611A、611B、711、811 光纖保持部
[0154] llla、lllAa、lllAbl、lllAb2、lllBa 臺(tái)座
[0155] lllb、lllc、211b、311b、411b 環(huán)箍
[0156] lllca環(huán)箍主體
[0157] lllcb 保護(hù)體
[0158] lllBaa、gl、g2 槽
[0159] 112 光纖
[0160] 112a 芯
[0161] 112b 包層
[0162] 112c 端部
[0163] 113插入部固定劑
[0164] 114a、114b、114Ab、114B、214a、214b、314a、314b、414a、414b、614、714、814 固定劑
[0165] 150-1 ~150-6 反射鏡
[0166] 211ba 曲面
[0167] 611b、611ba、611bb、611Ab、611Aba、611Bb、611Bba、711b、711ba、711bb、711bc、 811b、811ba、811bb光纖固定構(gòu)件
[0168] A泄漏光
[0169] G1光纖固定槽
[0170] G2截流槽
[0171] L、L0、L1、L2、L3 激光
[0172] S1內(nèi)側(cè)固定區(qū)域
[0173] S2外側(cè)固定區(qū)域
[0174] X中心軸
[0175] 0:角度
[0176] 02 角度
[0177] 0in 角度
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于，具備： 半導(dǎo)體激光元件，其射出激光； 光纖，其供從所述半導(dǎo)體激光元件射出的激光射入，且對(duì)該激光進(jìn)行波導(dǎo)；以及 光纖保持部，其具有用于固定所述光纖的固定劑，并對(duì)所述光纖進(jìn)行保持， 所述固定劑設(shè)置在射入所述光纖的所述激光中的、在射入后向該光纖的外部放出的泄 漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 從所述半導(dǎo)體激光元件射出的激光的輸出為IOW以上，設(shè)置有所述固定劑的區(qū)域的所 述泄漏光的強(qiáng)度在與所述激光正交的面內(nèi)小于130W/mm2。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述泄漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域在射入所述光纖的所述激光的光域中的直徑最長(zhǎng)的方向 上包括外側(cè)固定區(qū)域和內(nèi)側(cè)固定區(qū)域，所述外側(cè)固定區(qū)域?yàn)椋瑥乃龉饫w的所述激光入射 側(cè)的端部的剖面中心起相對(duì)于所述光纖的中心軸成15°以上的角度的區(qū)域，所述內(nèi)側(cè)固定 區(qū)域?yàn)椋趯⑸淙胨龉饫w的所述激光相對(duì)于所述光纖的中心軸的入射角設(shè)為θ ιη時(shí)，相對(duì) 于所述光纖的中心軸成_1.15θιη+12.5°以下的角度的區(qū)域， 所述固定劑設(shè)置在所述外側(cè)固定區(qū)域以及所述內(nèi)側(cè)固定區(qū)域中的至少一方。4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述光纖保持部具備使所述光纖穿過(guò)而進(jìn)行保持的保持構(gòu)件， 所述光纖與所述保持構(gòu)件通過(guò)所述固定劑固定， 所述泄漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域?yàn)椋谏淙胨龉饫w的光的光域中的直徑最長(zhǎng)的方向上， 在將射入所述光纖的所述激光相對(duì)于所述光纖的中心軸的入射角設(shè)為θιη時(shí)，從所述光纖的 所述激光入射側(cè)的端部的剖面中心起相對(duì)于所述光纖的中心軸成_1.15θ ιη+12.5°以下的角 度的內(nèi)側(cè)固定區(qū)域， 所述固定劑設(shè)置在所述內(nèi)側(cè)固定區(qū)域， 所述保持構(gòu)件的所述激光入射側(cè)的端部構(gòu)成為對(duì)通過(guò)泄漏光通過(guò)區(qū)域的光進(jìn)行反射， 所述泄漏光通過(guò)區(qū)域?yàn)?，在射入所述光纖的所述激光的光域中的直徑最長(zhǎng)的方向上，從所 述光纖的所述激光入射側(cè)的端部的剖面中心起相對(duì)于所述光纖的中心軸成大于-1.15θ ιη+ 12.5°且小于15°的角度的區(qū)域。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述保持構(gòu)件的所述激光入射側(cè)的端面為曲面、或者相對(duì)于所述光纖的中心軸傾斜的 傾斜面。6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述保持構(gòu)件由對(duì)所述激光的波長(zhǎng)的吸收率為30%以下的材料構(gòu)成。7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述保持構(gòu)件由金屬或者陶瓷構(gòu)成。8. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述保持構(gòu)件在所述激光入射側(cè)的端部具備反射膜，該反射膜對(duì)所述激光的波長(zhǎng)的反 射率為70%以上。9. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述光纖保持部具備使所述光纖穿過(guò)而進(jìn)行保持的保持構(gòu)件、和固定所述保持構(gòu)件的 臺(tái)座， 所述光纖與所述保持構(gòu)件通過(guò)所述固定劑固定， 所述泄漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域?yàn)?，在射入所述光纖的所述激光的光域中的直徑最長(zhǎng)的方 向上，在將射入所述光纖的所述激光相對(duì)于所述光纖的中心軸的入射角設(shè)為θ1η時(shí)，從所述 光纖的所述激光入射側(cè)的端部的剖面中心起相對(duì)于光纖的中心軸成-1.15θ ιη+12.5°以下的 角度的內(nèi)側(cè)固定區(qū)域， 所述固定劑設(shè)置在所述內(nèi)側(cè)固定區(qū)域， 所述保持構(gòu)件使通過(guò)泄漏光通過(guò)區(qū)域的光透過(guò)，所述泄漏光通過(guò)區(qū)域?yàn)?，在射入所?光纖的光的光域中的直徑最長(zhǎng)的方向上，從所述光纖的所述激光入射側(cè)的端部的剖面中心 起相對(duì)于所述光纖的中心軸成大于_1.15θ ιη+12.5°且小于15°的角度的區(qū)域， 所述保持構(gòu)件與所述臺(tái)座在除所述泄漏光通過(guò)區(qū)域的光的通過(guò)路徑以外的區(qū)域、即 所述泄漏光的強(qiáng)度低的區(qū)域內(nèi)通過(guò)所述固定劑固定。10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述保持構(gòu)件由玻璃構(gòu)成。11. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述光纖保持部具備臺(tái)座，所述臺(tái)座具有沿著所述光纖的波導(dǎo)方向延伸的槽，所述光 纖通過(guò)所述固定劑固定在所述槽內(nèi)。12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述槽形成在所述內(nèi)側(cè)固定區(qū)域內(nèi)。13. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述固定劑與所述光纖分離。14. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述固定劑由有機(jī)粘接劑、焊料、低恪點(diǎn)玻璃以及無(wú)機(jī)粘接劑中的任一種構(gòu)成。15. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體激光模塊，其特征在于， 所述光纖是多模光纖。
【文檔編號(hào)】H01S5/022GK205507157SQ201490000746
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2014年5月30日
【發(fā)明人】松山哲也, 早水尚樹(shù), 木村俊雄, 三代川純, 石毛悠太
【申請(qǐng)人】古河電氣工業(yè)株式會(huì)社