一種掩膜版的固定裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種掩膜版的固定裝置，屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的掩膜版手動(dòng)直接觸摸搬運(yùn)不方便，易損壞、污染掩膜版的問(wèn)題。本實(shí)用新型的掩膜版的固定裝置的多邊形支架上設(shè)有至少兩個(gè)卡夾和用于人工持握的把手，這樣在使用該固定裝置時(shí)，采用支架上的至少兩個(gè)卡夾卡住掩膜版的兩條相對(duì)的邊緣，然后人工手持把手完成掩膜版的搬運(yùn)。搬運(yùn)過(guò)程中，卡夾將掩膜版卡緊，不會(huì)發(fā)生摔碎掩膜版的情況，而且，人工手持把手可以避免直接觸摸掩膜版給掩膜版表面造成劃傷或者污染。本實(shí)用新型的掩膜版的固定裝置適用于各種掩膜版的搬運(yùn)，尤其適用于搬運(yùn)重量大的掩膜版。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種掩膜版的固定裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩膜版的固定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示器件的制造過(guò)程中，由于產(chǎn)品的種類(lèi)眾多，產(chǎn)品型號(hào)大小不一，所使用的掩膜版也各不相同。通常進(jìn)行不同的曝光工藝時(shí)，需要切換不同的掩膜版，因此生產(chǎn)中經(jīng)常進(jìn)行掩膜版的搬運(yùn)。
[0003]發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問(wèn)題:目前，在生產(chǎn)中搬運(yùn)掩膜版都是采用手動(dòng)直接觸摸搬運(yùn)，掩膜版一般由石英玻璃構(gòu)成，屬于精密備件、易碎品，其表面極容易劃傷或者污染。且掩膜版重量多為20KG以上，手動(dòng)直接觸摸搬運(yùn)時(shí)容易造成:1.掩膜版重量過(guò)大，容易滑落從而摔碎;2.掩膜版供手動(dòng)直接觸摸的區(qū)域極小，手觸摸易使掩膜版表面劃傷或者污染。掩膜版的損壞和劃傷會(huì)降低曝光產(chǎn)品的產(chǎn)量和良率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有的掩膜版手動(dòng)直接觸摸搬運(yùn)不方便易損壞污染掩膜版的問(wèn)題，提供一種掩膜版的固定裝置。
[0005]解決本實(shí)用新型技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:
[0006]—種掩膜版的固定裝置，包括多邊形支架，所述支架的邊上設(shè)有至少兩個(gè)卡夾，用于卡住掩膜版的兩條相對(duì)的邊緣，所述支架的邊上還設(shè)有把手，用于人工持握。
[0007]優(yōu)選的是，所述支架為矩形框架。
[0008]優(yōu)選的是，所述支架上設(shè)有至少四個(gè)卡夾，所述四個(gè)卡夾分別均勻設(shè)置在所述支架的相對(duì)的兩個(gè)邊上的對(duì)應(yīng)位置。
[0009]優(yōu)選的是，所述支架的至少一條邊上還設(shè)有吹掃單元，用于吹掃被固定的掩膜版上的異物。
[0010]優(yōu)選的是，所述卡夾為柱狀結(jié)構(gòu)，所述卡夾遠(yuǎn)離支架的端部設(shè)有凹槽，其中，相對(duì)的兩個(gè)卡夾的凹槽相對(duì)設(shè)置，以容納并夾持掩膜版的邊緣。
[0011]優(yōu)選的是，所述卡夾靠近支架的端部與所述支架焊接。
[0012]優(yōu)選的是，所述把手設(shè)置在支架相對(duì)的兩個(gè)邊上的對(duì)應(yīng)位置處。
[0013]優(yōu)選的是，至少一個(gè)卡夾為固定卡夾，至少一個(gè)卡夾為活動(dòng)卡夾，所述固定卡夾固定到矩形框架的一條邊上，所述活動(dòng)卡夾可沿矩形框架遠(yuǎn)離或靠近固定卡夾移動(dòng)。
[0014]優(yōu)選的是，所述矩形框架的與設(shè)有固定卡夾的邊相對(duì)的邊上還設(shè)有齒輪軌道，所述活動(dòng)卡夾與所述齒輪軌道相連接，并可沿所述齒輪軌道移動(dòng)。
[0015]優(yōu)選的是，所述齒輪軌道上還設(shè)有控制單元，用于控制活動(dòng)卡夾沿所述齒輪軌道移動(dòng)。
[0016]優(yōu)選的是，所述控制單元為扭矩扳手。
[0017]優(yōu)選的是，在所述矩形框架的一組對(duì)邊的一相對(duì)位置分別各有一個(gè)固定卡夾，在該組對(duì)邊上還分別各有一個(gè)活動(dòng)卡夾，兩活動(dòng)卡夾位于固定卡夾的同一側(cè)。
[0018]優(yōu)選的是，所述兩活動(dòng)卡夾之間通過(guò)連接桿連接。
[0019]本實(shí)用新型的掩膜版的固定裝置的支架上設(shè)有至少兩個(gè)卡夾和用于人工持握的把手，這樣在使用該固定裝置時(shí)，采用支架上的至少兩個(gè)卡夾卡住掩膜版的兩條相對(duì)的邊緣，然后人工手持把手完成掩膜版的搬運(yùn)。搬運(yùn)過(guò)程中，卡夾將掩膜版卡緊，不會(huì)發(fā)生摔碎掩膜版的情況，而且，人工手持把手可以避免直接觸摸掩膜版給掩膜版表面造成劃傷或者污染。本實(shí)用新型的掩膜版的固定裝置適用于各種掩膜版的搬運(yùn)，尤其適用于搬運(yùn)重量大的掩膜版?！靖綀D說(shuō)明】
[0020]圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例1的掩膜版的固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例1的掩膜版的固定裝置的應(yīng)用示意圖；
[0022]圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的掩膜版的固定裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的掩膜版的固定裝置的應(yīng)用示意圖；
[0024]圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的掩膜版的固定裝置的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖6為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的掩膜版的固定裝置的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]其中，附圖標(biāo)記為:1、支架;2、把手;31、固定卡夾;32、活動(dòng)卡夾;4、吹掃單元;5、掩膜版;6、齒輪軌道;7、扭矩扳手。【具體實(shí)施方式】
[0027]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。[〇〇28] 實(shí)施例1:
[0029]本實(shí)施例提供一種掩膜版5的固定裝置，如圖1-2所示，包括多邊形支架1，所述支架1的邊上設(shè)有至少兩個(gè)卡夾，用于卡住掩膜版5的兩條相對(duì)的邊緣，所述支架1的邊上還設(shè)有把手2,用于人工持握。
[0030]本實(shí)施例的掩膜版5的固定裝置使用時(shí)，采用支架1上的至少兩個(gè)卡夾卡住掩膜版 5的兩條相對(duì)的邊緣，然后人工手持把手2完成掩膜版5的搬運(yùn)。搬運(yùn)過(guò)程中，卡夾將掩膜版5 卡緊，不會(huì)發(fā)生摔碎掩膜版5的情況，而且，人工手持把手2可以避免直接觸摸掩膜版5給掩膜版5表面造成劃傷或者污染。[0031 ]優(yōu)選的是，至少一個(gè)卡夾為固定卡夾31，至少一個(gè)卡夾為活動(dòng)卡夾32,所述固定卡夾31固定到支架1上，所述活動(dòng)卡夾32可沿支架1遠(yuǎn)離或靠近固定卡夾31移動(dòng)。
[0032]也就是說(shuō)，兩個(gè)卡夾中的至少一個(gè)卡夾在支架1上的位置可以是活動(dòng)的，例如，兩個(gè)卡夾可以分別設(shè)于支架1的與掩膜版5—組對(duì)邊的相對(duì)應(yīng)的位置處，使用時(shí)，將固定卡夾 31卡住掩膜版5的一個(gè)邊緣，然后移動(dòng)活動(dòng)卡夾32,將活動(dòng)卡夾32卡緊掩膜版5的對(duì)邊的相對(duì)位置處，從而將掩膜版5固定卡住，然后人工手持把手2完成掩膜版5的搬運(yùn)。[〇〇33] 實(shí)施例2:[〇〇34]本實(shí)施例提供一種掩膜版5的固定裝置，如圖3-6所示，包括支架1，所述支架1上設(shè)有至少四個(gè)卡夾，用于卡住掩膜版5相對(duì)的邊緣，所述支架1上還設(shè)有把手2,用于人工持握。
[0035]也就是說(shuō)，通常掩膜版5有四條邊，兩兩相對(duì)，在該固定裝置的支架1上設(shè)置四個(gè)卡夾，如圖3、圖4所示，四個(gè)卡夾分別卡住掩膜版5的相對(duì)的邊緣。例如，在掩膜版5相對(duì)的邊緣上，每條邊上設(shè)有兩個(gè)卡夾，使用時(shí)，將固定裝置移動(dòng)至掩膜版5的位置處，將卡夾卡住掩膜版5的邊緣，然后人工手持把手2完成掩膜版5的搬運(yùn)。搬運(yùn)過(guò)程中，卡夾將掩膜版5卡緊，不會(huì)發(fā)生摔碎掩膜版5的情況，而且，人工手持把手2可以避免直接觸摸掩膜版5給掩膜版5表面造成劃傷或者污染。
[0036]優(yōu)選的是，所述支架1為矩形框架，在所述矩形框架的一組對(duì)邊的一相對(duì)位置分別各有一個(gè)固定卡夾31，在該組對(duì)邊上還分別各有一個(gè)活動(dòng)卡夾32,兩活動(dòng)卡夾32位于固定卡夾31的同一側(cè)。[〇〇37]也就是說(shuō)，其中兩個(gè)卡夾在支架1上的位置是固定的，而另外兩個(gè)可以是活動(dòng)的， 兩個(gè)固定卡夾31位于一對(duì)邊的相對(duì)位置處，使用時(shí)，將固定卡夾31卡住掩膜版5的邊緣，然后分別移動(dòng)兩個(gè)活動(dòng)卡夾32,將兩個(gè)活動(dòng)卡夾32卡緊掩膜版5的邊緣，從而將掩膜版5固定卡住，然后人工手持把手2完成掩膜版5的搬運(yùn)。其中，本實(shí)施例中給出的支架為矩形框架， 需要說(shuō)明的是，還可以采用橢圓形、三角形或不規(guī)則形狀的框架。
[0038]優(yōu)選的是，所述支架1上還設(shè)有吹掃單元4,用于吹掃被固定的掩膜版5上的異物。
[0039]也就是說(shuō)，如圖5所示，在支架1的至少一條邊框上設(shè)置吹掃單元4,當(dāng)卡夾夾起掩膜版5搬運(yùn)過(guò)程中，該吹掃單元4可以面向掩膜版5進(jìn)行吹掃，這樣可以避免掩膜版5表面的污染。
[0040]優(yōu)選的是，所述支架1上還設(shè)有齒輪軌道6,所述活動(dòng)卡夾32與所述齒輪軌道6相連接，并可沿所述齒輪軌道6移動(dòng)。[〇〇41]也就是說(shuō)，如圖6所示，為了方便活動(dòng)卡夾32遠(yuǎn)離或靠近固定卡夾31移動(dòng)，在支架1 上分別設(shè)置了與每個(gè)活動(dòng)卡夾32相匹配的齒輪軌道6,這樣活動(dòng)卡夾32沿所述齒輪軌道6遠(yuǎn)離或靠近固定卡夾31移動(dòng)。
[0042]優(yōu)選的是，所述支架1上還設(shè)有控制單元，用于控制活動(dòng)卡夾32沿所述齒輪軌道6移動(dòng)。
[0043]優(yōu)選的是，所述控制單元為扭矩扳手7。
[0044]也就是說(shuō)，通過(guò)扭矩扳手7控制活動(dòng)卡夾32沿齒輪軌道6移動(dòng)。這種控制方式簡(jiǎn)單， 方便。具體的，使用時(shí)，先擰動(dòng)扭矩扳手7,使得活動(dòng)卡夾32遠(yuǎn)離固定卡夾31移動(dòng)至一定位置，然后將固定卡夾31卡住掩膜版5的一個(gè)邊緣，然后再次擰動(dòng)齒輪軌道6,使得兩個(gè)活動(dòng)卡靠近夾固定卡夾31移動(dòng)，直至兩個(gè)活動(dòng)卡夾32卡緊掩膜版5的相對(duì)的邊緣，從而將掩膜版5 固定卡住，然后人工手持把手2完成掩膜版5的搬運(yùn)。
[0045]優(yōu)選的是，所述卡夾為柱狀結(jié)構(gòu)，所述卡夾遠(yuǎn)離支架的端部設(shè)有凹槽，其中，相對(duì)的兩個(gè)卡夾的凹槽相對(duì)設(shè)置，以容納并夾持掩膜版的邊緣。
[0046]優(yōu)選的是，所述把手設(shè)置在支架相對(duì)的兩個(gè)邊上的對(duì)應(yīng)位置處。[〇〇47]也就是說(shuō)，本實(shí)施例中給出的是凹槽式的卡夾，使用時(shí)，凹槽的凹部容納并夾持掩膜版的邊緣即可將掩膜版卡住。需要說(shuō)明的是，還可以采用剪刀夾等其它形式的卡夾。其中，圖5、圖6中，把手2與矩形的支架1位于同一平面內(nèi)，四個(gè)卡夾的凹部在一個(gè)與支架1所在平面平行的平面內(nèi)，以便均勻的夾住掩膜版。其中，圖5、圖6的卡夾的凹槽與支架不在同一平面內(nèi)，可以理解的是，卡夾的凹槽與支架也可以在同一平面內(nèi)，這種情況下，相當(dāng)于將卡夾的柱狀結(jié)構(gòu)部分轉(zhuǎn)平，轉(zhuǎn)到支架所在平面內(nèi)即可，其中，齒輪軌道6與扭矩扳手7的設(shè)置方式不變。
[0048]優(yōu)選的是，所述卡夾靠近支架的端部與所述支架焊接。
[0049]也就是說(shuō)，本實(shí)施例中卡夾與支架連接采用焊接方式，需要說(shuō)明的是，采用螺絲固定也是可行的。
[0050]顯然，上述各實(shí)施例的【具體實(shí)施方式】還可進(jìn)行許多變化;例如:卡夾的具體形式、數(shù)量及其相對(duì)于支架的設(shè)置位置可以根據(jù)具體情況進(jìn)行改變，或者活動(dòng)卡夾還可以采用轉(zhuǎn)軸式等。
[0051]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩膜版的固定裝置，其特征在于，包括多邊形支架，所述支架的邊上設(shè)有至少兩 個(gè)卡夾，用于卡住掩膜版的兩條相對(duì)的邊緣，所述支架的邊上還設(shè)有把手，用于人工持握。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述支架為矩形框架。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述支架上設(shè)有至少四個(gè)卡 夾，所述四個(gè)卡夾分別均勻設(shè)置在所述支架的相對(duì)的兩個(gè)邊上的對(duì)應(yīng)位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述支架的至少一條邊上還 設(shè)有吹掃單元，用于吹掃被固定的掩膜版上的異物。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述卡夾為柱狀結(jié)構(gòu)，所述 卡夾遠(yuǎn)離支架的端部設(shè)有凹槽，其中，相對(duì)的兩個(gè)卡夾的凹槽相對(duì)設(shè)置，以容納并夾持掩膜 版的邊緣。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述卡夾靠近支架的端部與 所述支架焊接。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述把手設(shè)置在支架相對(duì)的 兩個(gè)邊上的對(duì)應(yīng)位置處。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，至少一個(gè)卡夾為固定卡夾， 至少一個(gè)卡夾為活動(dòng)卡夾，所述固定卡夾固定到矩形框架的一條邊上，所述活動(dòng)卡夾可沿 矩形框架遠(yuǎn)離或靠近固定卡夾移動(dòng)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述矩形框架的與設(shè)有固定 卡夾的邊相對(duì)的邊上還設(shè)有齒輪軌道，所述活動(dòng)卡夾與所述齒輪軌道相連接，并可沿所述 齒輪軌道移動(dòng)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述齒輪軌道上還設(shè)有控 制單元，用于控制活動(dòng)卡夾沿所述齒輪軌道移動(dòng)。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述控制單元為扭矩扳手。12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，在所述矩形框架的一組對(duì) 邊的一相對(duì)位置分別各有一個(gè)固定卡夾，在該組對(duì)邊上還分別各有一個(gè)活動(dòng)卡夾，兩活動(dòng) 卡夾位于固定卡夾的同一側(cè)。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的掩膜版的固定裝置，其特征在于，所述兩活動(dòng)卡夾之間通過(guò) 連接桿連接。
【文檔編號(hào)】G03F1/64GK205594305SQ201620424290
【公開(kāi)日】2016年9月21日
【申請(qǐng)日】2016年5月10日
【發(fā)明人】張振華
【申請(qǐng)人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司