一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機。緩存裝置包括框架和設(shè)于所述框架內(nèi)沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板，所述支撐板用于放置待曝光的基板，所述框架上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件，每層所述支撐板均滑動地安裝于所述支撐部件上。本實用新型提供的緩存裝置縮短了維護保養(yǎng)的時間，提高了工作效率以及設(shè)備的稼動率。
【專利說明】
一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-LCD行業(yè)涂膠顯影制程工藝中，由于曝光設(shè)備的造價非常高，因此在曝光設(shè)備前設(shè)置緩存裝置放置基板來避免曝光設(shè)備的閑置，緩存裝置的兩側(cè)都需要機械手進行來進行取放基板，緩存裝置長時間使用會存在異物，異物附著在基板上會影響后續(xù)基板的曝光，為避免緩存裝置對基板的曝光造成影響，需要定期維護保養(yǎng)緩存裝置。目前緩存裝置的設(shè)計均是采用將多層固定支架全部采用螺絲固定在4個豎直的立柱上，每層固定支架上方設(shè)有多個支撐柱，基板放置在支撐柱上，這樣在進行設(shè)備保養(yǎng)維護時就必須花費大量時間來進行拆裝，需要浪費大量的人力，并且造成曝光設(shè)備的長時間閑置。
【實用新型內(nèi)容】
[0003](一)要解決的技術(shù)問題
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是解決現(xiàn)有技術(shù)中緩存裝置維護保養(yǎng)不方便的技術(shù)問題。
[0005](二)技術(shù)方案
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種緩存裝置，包括框架和設(shè)于所述框架內(nèi)沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板，所述支撐板用于放置待曝光的基板，所述框架上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件，每層所述支撐板均滑動地安裝于所述支撐部件上。
[0007]根據(jù)本實用新型，所述框架上拿取所述基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機構(gòu)，用于固定所述支撐板。
[0008]根據(jù)本實用新型，所述框架上與設(shè)有鎖定機構(gòu)的一側(cè)相對的一側(cè)設(shè)有限位擋板。
[0009]根據(jù)本實用新型，所述鎖定機構(gòu)包括設(shè)于所述框架上的第一螺紋孔、設(shè)于所述支撐板上的第二螺紋孔以及與所述第一螺紋孔和第二螺紋孔相配合的螺栓。
[0010]根據(jù)本實用新型，所述鎖定機構(gòu)包括通過合頁固定于所述框架上的前擋板。
[0011 ]根據(jù)本實用新型，所述支撐板兩側(cè)的下方均設(shè)有滑輪。
[0012]根據(jù)本實用新型，所述支撐部件為設(shè)置于所述框架上與所述支撐板滑動方向平行的兩側(cè)邊的第一滑槽，所述滑輪與所述滑槽相配合。
[0013]根據(jù)本實用新型，所述支撐板上與其滑動方向相平行的兩側(cè)邊設(shè)有滑軌，所述支撐部件為設(shè)置于與所述支撐板滑動方向平行的兩側(cè)邊的與所述滑軌相配合的第二滑槽。
[0014]根據(jù)本實用新型，所述支撐板的上方設(shè)有多個支撐柱。
[0015]本實用新型還提供了一種涂膠顯影機，包括上述的緩存裝置。
[0016](三)有益效果
[0017]本實用新型的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點:本實用新型提供的緩存裝置設(shè)有支撐部件，支撐板可滑動的安裝于支撐部件上，需要進行維護保養(yǎng)時，直接將支撐板從支撐部件上抽下即可，相較于現(xiàn)有技術(shù)中所有的支撐板均是固定在框架上，緩存裝置的拆卸與安裝操作簡單，縮短了緩存裝置維護保養(yǎng)所需要的時間，避免了維護保養(yǎng)耗費時間長導(dǎo)致曝光設(shè)備的長時間閑置，提高了工作效率。
【附圖說明】
[0018]圖1是本實用新型實施例一提供的緩存裝置的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實用新型實施例一提供的緩存裝置的主剖視圖；
[0020]圖3是本實用新型實施例二提供的緩存裝置的主剖視圖；
[0021 ]圖4是本實用新型實施例三提供的緩存裝置的主剖視圖。
[0022]圖中:1:框架;2:支撐板;3:支撐部件;31:第一滑槽;32:滑輪;33:第二滑槽;34:滑軌;4:前擋板;5:限位擋板;6:支撐柱。
【具體實施方式】
[0023]為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0024]實施例一
[0025]如圖1所示，本實用新型實施例提供的一種緩存裝置，包括框架I和設(shè)于框架I內(nèi)的沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板2，支撐板2用于放置待曝光的基板，框架I上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件3，每層支撐板2均滑動地安裝于支撐部件上。在緩存裝置需要進行維護保養(yǎng)時，直接將支撐板2從支撐部件3上抽下即可，相較于現(xiàn)有技術(shù)中所有的支撐板2均是固定在框架I上，緩存裝置的拆卸與安裝操作簡單，縮短了緩存裝置維護保養(yǎng)所需要的時間，避免了維護保養(yǎng)耗費時間長導(dǎo)致曝光設(shè)備的長時間閑置，提高了工作效率。具體地，經(jīng)過實驗，以具有19層支撐板2的緩存裝置為例，維護時間可以從4小時縮短到1.5小時以內(nèi)，由于進行單層維護，維護效果更好，有助于提升產(chǎn)品的良率。
[0026]進一步地，本實施例中框架I上拿取基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機構(gòu)，用于固定支撐板2。在采用機械手拿取基板時基板容易帶動支撐板2產(chǎn)生一定的滑動，使得支撐板2移出框架I夕卜，在框架I上拿取基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機構(gòu)可以限制支撐板的運動，避免支撐板在拿取基板時移出框架I外。
[0027]進一步地，本實施例中框架I上與設(shè)有鎖定機構(gòu)的一側(cè)相對的一側(cè)設(shè)有限位擋板
5。設(shè)置限位擋板5可以在安裝支撐板2時限定支撐板2的放置位置。
[0028]進一步地，本實施例中鎖定機構(gòu)包括設(shè)于框架I上的第一螺紋孔、設(shè)于支撐板2上的第二螺紋孔以及與第一螺紋孔和第二螺紋孔相配合的螺栓。采用螺栓將支撐板2與框架I固定在一起，固定方式簡單可靠。進一步地，如圖1所示，本實施例中鎖定機構(gòu)也可以包括通過合頁固定于框架上的前擋板4。在需要維護保養(yǎng)時，將前擋板4打開即可抽出支撐板2，當(dāng)緩存裝置工作時，前擋板4位于拿取基板的一側(cè)，起到固定支撐板2的作用。
[0029]進一步地，本實施例中支撐板2的上方設(shè)有多個支撐柱6。使用時將基板放置于支撐柱6的上方，便于基板的取放。
[0030]實施例二
[0031]本實施例二與實施例一相同的技術(shù)內(nèi)容不重復(fù)描述，實施例一公開的內(nèi)容也屬于本實施例二公開的內(nèi)容，本實施例二是對具體特征支撐板2可滑動地安裝于支撐部件3的進一步優(yōu)化:本實施例中支撐板2兩側(cè)的下方均設(shè)有滑輪32。支撐板2的下方設(shè)有滑輪32即可在支撐板2上滑動，降低了操作人員的勞動強度。進一步地，本實施例中的支撐部件3為設(shè)置于框架I上與支撐板2滑動方向平行的兩側(cè)邊的第一滑槽31，滑輪34與第一滑槽31相配合。采用第一滑槽31作為支撐部件3，既起到了支撐支撐板2的作用，也起到了限制滑輪32沿第一滑槽31的延伸方向運動的作用，使得支撐板2在框架I內(nèi)的滑動更加可靠。
[0032]實施例三
[0033]本實施例三與實施例一相同的技術(shù)內(nèi)容不重復(fù)描述，實施例一公開的內(nèi)容也屬于本實施例三公開的內(nèi)容，本實施例三是對具體特征支撐板2可滑動地安裝于支撐部件3的進一步優(yōu)化:本實施例中支撐板2上與其滑動方向相平行的兩側(cè)邊設(shè)有滑軌34，支撐部件3為設(shè)置于與支撐板2滑動方向平行的兩側(cè)邊的與滑軌34相配合的第二滑槽33。本實施例中采用滑軌34與第二滑槽33的配合實現(xiàn)支撐板2的穩(wěn)定抽取與安裝。
[0034]實施例四
[0035]本實用新型實施例四提供了一種涂膠顯影機，包括上述的緩存裝置。采用上述的緩存裝置提高了操作人員的工作效率，進而提升了涂膠顯影機整個設(shè)備的稼動率。
[0036]最后應(yīng)說明的是:以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換;而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項】
1.一種緩存裝置，包括框架和設(shè)于所述框架內(nèi)沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板，所述支撐板用于放置待曝光的基板，其特征在于:所述框架上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件，每層所述支撐板均滑動地安裝于所述支撐部件上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述框架上拿取所述基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機構(gòu)，用于固定所述支撐板。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩存裝置，其特征在于:所述框架上與設(shè)有鎖定機構(gòu)的一側(cè)相對的一側(cè)設(shè)有限位擋板。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩存裝置，其特征在于:所述鎖定機構(gòu)包括設(shè)于所述框架上的第一螺紋孔、設(shè)于所述支撐板上的第二螺紋孔以及與所述第一螺紋孔和第二螺紋孔相配合的螺栓。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩存裝置，其特征在于:所述鎖定機構(gòu)包括通過合頁固定于所述框架上的前擋板。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐板兩側(cè)的下方均設(shè)有滑輪。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐部件為設(shè)置于所述框架上與所述支撐板滑動方向平行的兩側(cè)邊的第一滑槽，所述滑輪與所述滑槽相配合。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐板上與其滑動方向相平行的兩側(cè)邊設(shè)有滑軌，所述支撐部件為設(shè)置于與所述支撐板滑動方向平行的兩側(cè)邊的與所述滑軌相配合的第二滑槽。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐板的上方設(shè)有多個支撐柱。10.—種涂膠顯影機，其特征在于:包括如權(quán)利要求1-9任一項所述的緩存裝置。
【文檔編號】G03F7/16GK205608389SQ201620433712
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年5月11日
【發(fā)明人】汪直超, 宋翔宇, 關(guān)永兵, 劉丙強, 曹坤
【申請人】重慶京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司