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      一種可控位置界面的顯微成像裝置的制造方法

      文檔序號(hào):10954537閱讀:602來(lái)源:國(guó)知局
      一種可控位置界面的顯微成像裝置的制造方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可控位置界面的顯微成像裝置,包括:透光玻璃支架、封閉盒、激光共聚焦顯微鏡和位移臺(tái);所述透光玻璃支架用于支撐透光玻璃,其一側(cè)具有把手,透光玻璃用于支撐鏡頭所需用水外同時(shí)用于懸掛待測(cè)液滴;所述封閉盒用于承載待測(cè)微結(jié)構(gòu)和所述透光玻璃支架,其一側(cè)具有供所述透光玻璃支架的把手伸出的小孔,其上方具有供所述激光共聚焦顯微鏡的頭部探入的圓孔;所述位移臺(tái)位于所述封閉盒的一側(cè),用于通過(guò)所述透光玻璃支架的把手調(diào)整所述透光玻璃支架在封閉盒內(nèi)的位置;本實(shí)用新型提出的上述方案既實(shí)現(xiàn)了水鏡移動(dòng)無(wú)法影響液滴的形貌,又能實(shí)現(xiàn)液滴的三維運(yùn)動(dòng),從而可以呈現(xiàn)所需的界面形貌。
      【專利說(shuō)明】
      一種可控位置界面的顯微成像裝置
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本實(shí)用新型涉及顯微成像技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種可調(diào)控界面位置時(shí),界面微型貌的顯微成像裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]為了了解在不同位置時(shí),液滴與微結(jié)構(gòu)表面相接觸的界面形貌,為了避免液滴疏水時(shí)空氣鏡無(wú)法觀察界面的情況,通常利用水鏡對(duì)微觀界面進(jìn)行觀察和測(cè)量?,F(xiàn)有技術(shù)中,通常利用光刻硅片的方法制備排列規(guī)則的微米圓柱結(jié)構(gòu),微米圓柱可呈正方形排列在硅片上,圓柱的直徑通常為30微米,深度為35微米,圓柱與圓柱中心間距為68.6微米。而現(xiàn)有技術(shù)中利用水鏡觀察界面情況時(shí),激光共聚焦顯微鏡的鏡頭在成像過(guò)程中的移動(dòng)會(huì)改變液滴形貌,進(jìn)而對(duì)成像結(jié)果產(chǎn)生影響。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0003]本實(shí)用新型實(shí)施例的主要目的在于提供可控位置界面的顯微成像裝置。在對(duì)液滴形貌不會(huì)產(chǎn)生影響的情況下,利用激光共聚焦顯微鏡及高分辨率的水鏡物鏡,觀測(cè)液滴與微結(jié)構(gòu)表面接觸的微觀界面形貌,得到高質(zhì)量的圖像和準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。
      [0004]為此,本實(shí)用新型提出了一種可控位置界面的顯微成像裝置,其包括:透光玻璃支架、封閉盒、激光共聚焦顯微鏡和位移臺(tái);
      [0005]所述透光玻璃支架用于支撐透光玻璃,其一側(cè)具有把手;
      [0006]所述封閉盒用于承載待測(cè)微結(jié)構(gòu)和所述透光玻璃支架,其一側(cè)具有供所述透光玻璃支架的把手伸出的小孔,其上方具有供所述激光共聚焦顯微鏡的頭部探入的圓孔;
      [0007]所述位移臺(tái)位于所述封閉盒的一側(cè),用于通過(guò)所述透光玻璃支架的把手調(diào)整所述透光玻璃支架在封閉盒內(nèi)的位置;
      [0008]其中,所述透光玻璃下表面掛有液滴,其上表面具有水環(huán)境,所述位移臺(tái)調(diào)整所述透光玻璃支架的位置,使得所述透光玻璃下表面的液滴與所述待測(cè)微結(jié)構(gòu)的表面相接觸,且使得所述激光共聚焦顯微鏡的頭部與所述水環(huán)境接觸以便于觀察所述液滴與所述待測(cè)微結(jié)構(gòu)表面接觸的不同位置處的微觀界面形貌。
      [0009]所述位移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)x、y、z三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng);且所述位移臺(tái)上安裝有溝槽夾子,用于將所述透光玻璃支架的把手固定在所述溝槽夾子。
      [0010]所述透光玻璃上的水環(huán)境通過(guò)在所述透光玻璃上滴入去離子水形成。
      [0011]所述封閉盒子用于控制所述液滴和水環(huán)境的蒸發(fā)速率。
      [0012]針對(duì)水鏡觀察界面的情況,考慮到激光共聚焦顯微鏡的鏡頭在成像過(guò)程中的移動(dòng)會(huì)對(duì)成像結(jié)果有一定影響,采用透光性良好的玻璃片隔離水鏡所需的水和液滴,既實(shí)現(xiàn)了水鏡移動(dòng)無(wú)法影響液滴的形貌,又能實(shí)現(xiàn)液滴的三維運(yùn)動(dòng),從而可以呈現(xiàn)所需的界面形貌。在測(cè)量過(guò)程中,因共聚焦的工作環(huán)境會(huì)增加蒸發(fā)率,需要封閉的環(huán)境來(lái)控制蒸發(fā)的發(fā)生。
      【附圖說(shuō)明】
      [0013]圖1為本實(shí)用新型中可控位置界面的顯微成像裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0014]圖2為利用本實(shí)用新型的裝置在三相接觸線附近的微觀界面形貌變化圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0015]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合具體實(shí)施例,并參照附圖,對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
      [0016]圖1示出了本實(shí)用新型提出的可控位置界面的顯微成像裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,該裝置包括:位移臺(tái)21、透光玻璃支架22、封閉盒23、激光共聚焦顯微鏡24、液滴25和待測(cè)微結(jié)構(gòu)表面26。
      [0017]其中,所述透光玻璃支架22用于承載透光玻璃,其由金屬絲制成,其圍繞所述透光玻璃周邊且從透光玻璃一邊延伸出來(lái)形成把手;
      [0018]所述透光玻璃支架22和所述待測(cè)微結(jié)構(gòu)表面26位于所述封閉盒23之中,且所述透光玻璃支架22將所述透光玻璃懸空水平放置在待測(cè)微結(jié)構(gòu)表面26的上方,所述透光玻璃下表面懸掛有液滴25,且所述液滴25與所述待測(cè)微結(jié)構(gòu)26的表面相接觸設(shè)置;
      [0019]所述封閉盒23由左右兩部分組成,一部分的側(cè)壁上開(kāi)有小孔,便于從所述透光玻璃周邊延伸出的金屬絲把手從所述小孔伸出;所述封閉盒23上方開(kāi)有圓孔,供所述激光共聚焦顯微鏡的鏡頭探入;
      [0020]所述激光共聚焦顯微鏡24從所述封閉盒23上方的圓孔探入封閉盒內(nèi),所述透光玻璃上表面設(shè)置有水環(huán)境,所述激光共聚焦顯微鏡24的鏡頭與所述水環(huán)境相接觸;
      [0021]所述位移臺(tái)21位于所述封閉盒23—側(cè),位移臺(tái)21的平臺(tái)上安裝有溝槽夾子,所述透光玻璃支架22的所述把手固定在所述溝槽夾子中;所述位移臺(tái)21通過(guò)控制所述透光玻璃支架22的把手而調(diào)整所述透光玻璃支架22在封閉盒內(nèi)的位置,以將所述透光玻璃下表面的液滴置于所述激光共聚焦顯微鏡24的鏡頭的正下方,且使得所述液滴與所述微結(jié)構(gòu)表面26相接觸。
      [0022]所述位移臺(tái)21可實(shí)現(xiàn)X,y,z三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng),由三個(gè)方向的單向位移臺(tái)組成。
      [0023]該裝置的具體實(shí)施步驟如下:
      [0024]首先將位移臺(tái)21用螺絲固定于激光共聚焦顯微鏡24的右側(cè),此處只考慮一個(gè)方向y的位移,用于調(diào)整液滴25與微結(jié)構(gòu)表面26間的距離;在位移臺(tái)21的平臺(tái)上安裝溝槽夾子,將透光玻璃支架22固定在夾子內(nèi);在支架22內(nèi)的玻璃片下部掛上體積為10μ1的液滴25,將支架22的位置調(diào)整至共聚焦的鏡頭24下部;在共聚焦水鏡24下部的玻璃片上滴入適量的去離子水;將待測(cè)的微結(jié)構(gòu)表面26置于封閉盒23左邊部分的底部,推送到共聚焦水鏡下部,同時(shí)將封閉盒23右邊部分合起,封閉盒的作用是用來(lái)控制蒸發(fā)速率;通過(guò)位移臺(tái)21降低支架22的高度,使液滴25與微結(jié)構(gòu)表面26相接觸;通過(guò)調(diào)整支架22的位置,可以通過(guò)共聚焦水鏡24觀測(cè)并拍攝液滴與微結(jié)構(gòu)表面接觸的不同位置處的微觀界面形貌,如圖2所示。
      [0025]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種可控位置界面的顯微成像裝置。在對(duì)液滴形貌不會(huì)產(chǎn)生影響的情況下,利用激光共聚焦顯微鏡及高分辨率的水鏡物鏡,觀測(cè)液滴與微結(jié)構(gòu)表面接觸的微觀界面形貌。
      [0026]以上所述的具體實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明,應(yīng)理解的是,以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種可控位置界面的顯微成像裝置,其特征在于,包括:透光玻璃支架、封閉盒、激光共聚焦顯微鏡和位移臺(tái); 所述透光玻璃支架用于支撐透光玻璃,其一側(cè)具有把手; 所述封閉盒用于承載待測(cè)微結(jié)構(gòu)和所述透光玻璃支架,其一側(cè)具有供所述透光玻璃支架的把手伸出的小孔,其上方具有供所述激光共聚焦顯微鏡的頭部探入的圓孔;所述封閉盒由左右兩部分構(gòu)成; 所述位移臺(tái)位于所述封閉盒的一側(cè),用于通過(guò)所述透光玻璃支架的把手調(diào)整所述透光玻璃支架在封閉盒內(nèi)的位置; 其中,所述透光玻璃下表面掛有液滴,其上表面具有水環(huán)境,所述位移臺(tái)調(diào)整所述透光玻璃支架的位置,使得所述透光玻璃下表面的液滴與所述待測(cè)微結(jié)構(gòu)的表面相接觸,且使得所述激光共聚焦顯微鏡的頭部與所述水環(huán)境接觸以便于觀察所述液滴與所述待測(cè)微結(jié)構(gòu)表面接觸的不同位置處的微觀界面形貌。2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述位移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)x、y、z三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng);且所述位移臺(tái)上安裝有溝槽夾子,用于將所述透光玻璃支架的把手固定在所述溝槽夾子。3.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述透光玻璃上的水環(huán)境通過(guò)在所述透光玻璃上滴入去咼子水形成。4.如權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述封閉盒子用于控制所述液滴的蒸發(fā)速率。
      【文檔編號(hào)】G02B21/34GK205643842SQ201521075656
      【公開(kāi)日】2016年10月12日
      【申請(qǐng)日】2015年12月22日
      【發(fā)明人】段慧玲, 李丹丹, 薛亞輝, 呂鵬宇
      【申請(qǐng)人】北京大學(xué)
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