一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，包括夾具左夾板、夾具右?jiàn)A板、金屬電極板，所述的金屬電極板的兩極分別設(shè)置在夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板上且兩極之間形成液體電極腔，該夾具還包括夾具支架、活塞缸、壓板和頂桿，所述的夾具支架為U型結(jié)構(gòu)，夾了鈮酸鋰晶體的夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板整體放置于夾具支架的中間靠右的位置，夾具右?jiàn)A板后側(cè)抵在夾具支架右側(cè)的內(nèi)側(cè)面上，壓板的右側(cè)抵在夾具左夾板的左側(cè)面上，壓板左側(cè)與頂桿連接，頂桿的外端連接活塞缸。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：實(shí)現(xiàn)夾緊與松脫緩慢平穩(wěn)進(jìn)行，有效避免沖擊，增加操作的準(zhǔn)確度，降低了對(duì)操作人員的要求。
【專利說(shuō)明】
一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及極化夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002] 在鈮酸鋰晶體具有一系列獨(dú)特的電光、聲光、彈光、壓電、熱釋電、鐵電和非線性光學(xué)特性，這使得它成為電光、聲光和非線性光學(xué)器件等應(yīng)用中最具吸引力的材料之一?；跍?zhǔn)相位匹配技術(shù)的周期極化鈮酸鋰(PPLN)，可以有效利用鈮酸鋰最大的非線性系數(shù)d33 (25.2pm/V)，已廣泛應(yīng)用于倍頻/差頻、光參量振蕩等光參量過(guò)程和THz波產(chǎn)生等方面，在光通信領(lǐng)域，尤其是波長(zhǎng)變換、全光開(kāi)關(guān)方面，也有廣闊的應(yīng)用前景。
[0003]但是，目前通過(guò)外加電場(chǎng)法及使用液體電極實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰晶體周期性極化時(shí)所使用的極化工裝存在壓力不均勻、操作不方便等問(wèn)題。
[0004]如圖1所示，目前的極化工具包括:夾具左夾板2’、第二0型圈3’、定位銷4’、第一0 型圈5’、鈮酸鋰晶體6’、夾具右?jiàn)A板7’、金屬電極板8’、金屬電極拉緊螺母9’、接線端子10’、 壓線螺母11’、夾緊螺栓16’、夾緊螺母17’。兩片金屬電極板8’分別固定在夾具左夾板2’的右側(cè)和夾具右?jiàn)A板7’的左側(cè)，具體的，金屬電極板8’的外側(cè)具有一螺栓結(jié)構(gòu)，左側(cè)金屬電極板8 ’的螺栓結(jié)構(gòu)和右側(cè)金屬電極板8 ’的螺栓結(jié)構(gòu)分別穿過(guò)夾具左夾板2 ’和夾具右?jiàn)A板7 ’， 穿過(guò)夾具左夾板2 ’和夾具右?jiàn)A板7 ’的螺栓結(jié)構(gòu)分別被相應(yīng)側(cè)的金屬電極拉緊螺母9 ’鎖緊。 兩個(gè)接線端子10’分別套在兩側(cè)螺栓結(jié)構(gòu)的金屬電極拉緊螺母9’外側(cè)，兩個(gè)壓線螺母11’分別套在兩側(cè)螺栓結(jié)構(gòu)的接線端子10’的外側(cè)，將接線端子10’鎖緊。兩側(cè)接線端子10’接通高壓電源的兩極，壓線螺母11’壓緊使其保持與兩側(cè)金屬電極板8’的良好接通。鈮酸鋰晶體6’ 夾在兩片金屬電極板8 ’、夾具左夾板2 ’和夾具右?jiàn)A板7 ’中間。為了鈮酸鋰晶體6 ’兩面的電極區(qū)域具有良好密封性，鈮酸鋰晶體6 ’兩側(cè)分別與夾具左夾板2 ’和夾具右?jiàn)A板7 ’之間通過(guò)第一 0型圈5’夾緊密封。夾具左夾板2’和夾具右?jiàn)A板7’分別與金屬電極板8’之間的壓緊部分通過(guò)第二0型圈3’密封。
[0005]最后，用兩個(gè)定位銷4 ’對(duì)夾具左夾板2 ’和夾具右?jiàn)A板7 ’定位，并用四個(gè)夾緊螺栓 16 ’和相應(yīng)的夾緊螺母17 ’將夾具左夾板2 ’和夾具右?jiàn)A板7 ’鎖緊，該四個(gè)夾緊螺栓16 ’和夾緊螺母17’均勻的分布在夾具左夾板2’和夾具右?jiàn)A板7’的四個(gè)角上并且穿過(guò)夾具左夾板2’ 和夾具右?jiàn)A板7’。
[0006]目前的夾具通過(guò)調(diào)節(jié)夾緊螺栓16’和夾緊螺母17’之間的松緊度來(lái)進(jìn)行，完全依賴操作者的手感把握力度，難以保證夾板間壓力的均勻性，且操作過(guò)程繁瑣，且容易導(dǎo)致鈮酸鋰晶體6’碎片。因此，市場(chǎng)上急需一種操作簡(jiǎn)單的機(jī)械裝置，該裝置可以有效保證夾板間壓力的均勻性，降低對(duì)操作人員的要求。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實(shí)用新型的所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種使得鈮酸鋰晶體所受到的壓力適當(dāng)且均勻的氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具。
[0008]本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問(wèn)題的:
[0009]—種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，包括夾具左夾板、夾具右?jiàn)A板、金屬電極板，所述的金屬電極板的兩極分別設(shè)置在夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板上且兩極之間形成液體電極腔，還包括夾具支架、活塞缸、壓板和頂桿，所述的夾具支架為U型結(jié)構(gòu)，夾具支架支撐整個(gè)夾具，夾了鈮酸鋰晶體的夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板整體放置于夾具支架的中間靠右的位置，夾具右?jiàn)A板后側(cè)抵在夾具支架右側(cè)的內(nèi)側(cè)面上，壓板的右側(cè)抵在夾具左夾板的左側(cè)面上，壓板左側(cè)與頂桿連接，頂桿的外端連接活塞缸。
[0010]進(jìn)一步地，所述的活塞缸為氣缸。
[0011]進(jìn)一步地，所述的壓板與頂桿球鉸鏈連接。
[0012]進(jìn)一步地，所述頂桿的外端具有外螺紋，頂桿的外端旋入活塞缸的頂桿設(shè)置的螺紋孔內(nèi)。
[0013]進(jìn)一步地，所述的活塞缸上安裝有壓力值讀取裝置和氣壓調(diào)節(jié)裝置。
[0014]進(jìn)一步地，所述的活塞缸上還設(shè)置有節(jié)流裝置。
[0015]進(jìn)一步地，在夾具左夾板的左側(cè)和夾具右?jiàn)A板的右側(cè)均勻分布有三個(gè)支撐桿。
[0016]進(jìn)一步地，還包括第一0型圈，所述的夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板正面的相對(duì)位置上都設(shè)置有〇型圈槽，所述的第一 〇型圈放置在〇型圈槽中。
[0017]進(jìn)一步地，還包括第二0型圈，所述的金屬電極板通過(guò)金屬電極拉緊螺母分別固定在夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板上，金屬電極板分別與夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板之間的壓緊部分通過(guò)第二0型圈密封。
[0018]進(jìn)一步地，所述的夾具左夾板或夾具右?jiàn)A板的正面均勻設(shè)置有三個(gè)凸起的小圓柱，每個(gè)小圓柱的內(nèi)側(cè)與所要處理的晶體相切，小圓柱的高度不能高于兩個(gè)第一 0型圈和所要處理的鈮酸鋰晶體三者受壓后的高度和。
[0019]進(jìn)一步地，還包括兩個(gè)定位銷，每個(gè)定位銷都將夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板定位連接。
[0020]更進(jìn)一步地，所述的氣缸可以設(shè)置在夾具左夾板的左側(cè)也可以設(shè)置在夾具右?jiàn)A板的右側(cè)。[0021 ]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:[〇〇22](1)本實(shí)用新型使用氣動(dòng)裝置，選用壓縮氣體為動(dòng)力源，通過(guò)調(diào)節(jié)氣壓實(shí)現(xiàn)壓力大小的控制和量化;通過(guò)控制氣體流速控制氣動(dòng)頂桿的運(yùn)動(dòng)速度，實(shí)現(xiàn)夾緊與松脫緩慢平穩(wěn)進(jìn)行，有效避免沖擊，增加操作的準(zhǔn)確度，降低了對(duì)操作人員的要求。
[0023](2)本實(shí)用新型中的氣動(dòng)頂桿與氣動(dòng)壓板通過(guò)球鉸鏈連接，可以有效避免加工精度誤差及安裝精度誤差所造成的壓力不均勻，同時(shí)夾具左夾板左側(cè)和夾具右?jiàn)A板右側(cè)設(shè)計(jì)成繞中心均勻分布的三個(gè)支撐桿，三個(gè)支撐桿承接來(lái)自氣動(dòng)壓板的壓力，可以均勻的把壓力分配到鈮酸鋰晶體四周。[〇〇24](3)本實(shí)用新型在夾具左夾板或者在夾具右?jiàn)A板的正面均勻的設(shè)置有三個(gè)凸起的小圓柱，每個(gè)小圓柱的內(nèi)側(cè)與晶體相切，可以保證鈮酸鋰晶體放置在中心對(duì)準(zhǔn)位置，并且要求小圓柱的高度不能高于兩個(gè)第一 0型圈和所要處理的晶體三者受壓后的高度和，這樣確保晶體處于垂直狀態(tài)。
[0025] (4)本實(shí)用新型中使用節(jié)流裝置，可以有效的調(diào)節(jié)氣流速度，增加了氣動(dòng)頂桿運(yùn)動(dòng)速度的可控性，從而使氣缸緩慢進(jìn)退。[〇〇26] (5)本實(shí)用新型中使用兩個(gè)定位銷，保證了夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板中心對(duì)稱。
[0027] (6)本實(shí)用新型中氣動(dòng)壓板與氣動(dòng)頂桿球鉸鏈連接，保證其轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性，氣動(dòng)頂桿通過(guò)自身帶的螺紋固定在氣缸的頂桿上隨氣缸頂桿前后運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)夾具的夾緊與松脫?！靖綀D說(shuō)明】[〇〇28]圖1為現(xiàn)有夾具剖視圖；[〇〇29]圖2為本實(shí)用新型夾具的剖視圖；[〇〇3〇]圖3為本實(shí)用新型中的夾具左夾板或者夾具右?jiàn)A板的模型正面圖；
[0031]圖4為本實(shí)用新型中的夾具左夾板或者夾具右?jiàn)A板的模型背面圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0032]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0033]如圖2-4所示，本實(shí)用新型包括夾具支架1、夾具左夾板2、第二0型圈3、定位銷4、第一 0型圈5、鈮酸鋰晶體6、夾具右?jiàn)A板7、金屬電極板8、金屬電極拉緊螺母9、接線端子10、壓線螺母11、氣動(dòng)壓板12、氣動(dòng)頂桿13、氣缸14、液體電極腔15、小圓柱18、支撐桿19、0型圈槽 20 〇
[0034]夾具支架1整體呈U型，夾具支架1主要作用是為整個(gè)夾具提供支撐。[〇〇35]氣缸14固定在夾具支架1的左側(cè)。
[0036]兩片金屬電極板8分別固定在夾具左夾板2的右側(cè)和夾具右?jiàn)A板7的左側(cè)，具體的， 金屬電極板8的外側(cè)具有一螺栓結(jié)構(gòu)，左側(cè)金屬電極板8的螺栓結(jié)構(gòu)和右側(cè)金屬電極板8的螺栓結(jié)構(gòu)分別穿過(guò)夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7,穿過(guò)夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7的螺栓結(jié)構(gòu)分別被相應(yīng)側(cè)的金屬電極拉緊螺母9鎖緊。
[0037]將兩個(gè)接線端子10分別套在金屬電極板8的兩側(cè)螺栓結(jié)構(gòu)上并位于金屬電極拉緊螺母9外側(cè)，兩個(gè)壓線螺母11分別套在兩側(cè)螺栓結(jié)構(gòu)的接線端子10外側(cè)，將接線端子10鎖緊。兩側(cè)接線端子10接通高壓電源的兩極，壓線螺母11壓緊使其保持與兩側(cè)金屬電極板8的良好接通。[〇〇38]鈮酸鋰晶體6夾在夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7中間并處于兩片金屬電極板8正中間的位置。
[0039]夾了鈮酸鋰晶體6的夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7整體放置于夾具支架1的中間靠右的位置，夾具右?jiàn)A板7后側(cè)抵在夾具支架1右側(cè)的內(nèi)側(cè)面上。
[0040]氣動(dòng)壓板12的右側(cè)抵在夾具左夾板2的左側(cè)面上，氣動(dòng)壓板12左側(cè)與氣動(dòng)頂桿13 球鉸鏈連接，保證其轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。
[0041]氣動(dòng)頂桿13的外端具有外螺紋，氣動(dòng)頂桿13的外端旋入氣缸14的頂桿設(shè)置的螺紋孔內(nèi)，氣動(dòng)頂桿13通過(guò)自身帶的螺紋固定在氣缸14的頂桿上，隨氣缸頂桿前后運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)夾具的夾緊與松脫。[0〇42]在夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7上分別設(shè)置有0型圈槽20,鈮酸鋰晶體6兩側(cè)分別與夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7之間通過(guò)第一 0型圈5夾緊密封;夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7分別與金屬電極板8之間的壓緊部分通過(guò)第二0型圈3密封。第一 0型圈5和第二0型圈3都卡放在0型圈槽20內(nèi)。[〇〇43]當(dāng)氣缸14推動(dòng)氣動(dòng)頂桿13將夾具壓緊后，在鈮酸鋰晶體6兩側(cè)形成兩個(gè)液體電極腔15，通過(guò)夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7上的加液口注入導(dǎo)電液體形成液體電極，液體電極通過(guò)金屬電極板8分別與極化電源的兩極相連，從而實(shí)現(xiàn)了鈮酸鋰晶體6兩側(cè)的均勻電場(chǎng)。
[0044]作為優(yōu)化的技術(shù)方案，夾具左夾板2左側(cè)和夾具右?jiàn)A板7右側(cè)設(shè)計(jì)成繞中心均勻分布的三個(gè)支撐桿19,三個(gè)支撐桿19承接來(lái)自氣動(dòng)壓板12的壓力，可以均勻的把壓力分配到鈮酸鋰晶體6四周。
[0045]作為優(yōu)化的技術(shù)方案，夾具左夾板2的右側(cè)或夾具右?jiàn)A板7的左側(cè)均勻設(shè)置有三個(gè)凸起的小圓柱18,每個(gè)小圓柱18的內(nèi)側(cè)與所要處理的鈮酸鋰晶體6相切，小圓柱18的高度不能高于兩個(gè)第一 〇型圈5和所要處理的鈮酸鋰晶體6三者受壓后的高度和。
[0046]本實(shí)用新型具體操作過(guò)程如下:
[0047]第一步，將氣缸14固定在夾具支架1的左側(cè)，氣動(dòng)頂桿13的外端旋入氣缸14的頂桿設(shè)置的螺紋孔內(nèi)，氣動(dòng)頂桿13的左端通過(guò)自身帶的螺紋固定在氣缸14的頂桿上，另一端與氣動(dòng)壓板12球鉸鏈連接。將氣壓調(diào)到許用壓力，本例選用0.5-2.0MPa，并通過(guò)相應(yīng)的節(jié)流裝置調(diào)節(jié)氣流速度，使氣缸緩慢進(jìn)退，然后讓氣缸14退回初始位置，便于后續(xù)部件的安裝。
[0048]第二步，將左側(cè)金屬電極板8的螺栓結(jié)構(gòu)和右側(cè)金屬電極板8的螺栓結(jié)構(gòu)分別穿過(guò)夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7，穿過(guò)夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7的螺栓結(jié)構(gòu)分別被相應(yīng)側(cè)的金屬電極拉緊螺母9鎖緊。金屬電極拉緊螺母9鎖緊之前在夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7分別與金屬電極板8之間的壓緊部分放置第二0型圈3。從而使得金屬電極板8分別與夾具左夾板 2和夾具右?jiàn)A板7之間是密封的。
[0049]第三步，將兩個(gè)接線端子10分別套在金屬電極板8的兩側(cè)螺栓結(jié)構(gòu)上并位于金屬電極拉緊螺母9外側(cè)，兩個(gè)壓線螺母11分別套在兩側(cè)螺栓結(jié)構(gòu)的接線端子10外側(cè)，將接線端子10鎖緊。確保兩側(cè)接線端子10接通高壓電源的兩極后，壓線螺母11的壓緊使其保持與兩側(cè)金屬電極板8的良好接通。
[0050]第四步，將兩個(gè)第一0型圈5分別放置于夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7的0型圈槽20 內(nèi)，然后再將鈮酸鋰晶體6放置于夾具左夾板2的三個(gè)凸起的小柱子18圍成的圓形范圍內(nèi)， 從而確保了鈮酸鋰晶體6放置在了中心位置，再將夾具右?jiàn)A板7通過(guò)兩個(gè)定位銷4定位，和夾具左夾板2扣在一起夾鈮酸鋰晶體6于其間。[〇〇51]第五步，將上述裝好的夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7兩手捏緊保證鈮酸鋰晶體6不會(huì)從中掉落，整體放置到夾具支架1的右側(cè)相應(yīng)位置，讓氣缸14推進(jìn)使夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7壓緊，并且隨時(shí)查看氣缸14的壓力值和控制氣壓調(diào)節(jié)裝置來(lái)調(diào)節(jié)壓力大小至目標(biāo)壓力。[〇〇52]第六步，通過(guò)夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7的加液口將電極溶液加入到液體電極腔 15。[〇〇53]第七步，在兩側(cè)接線端子10上加電壓極化。
[0054]第八步，極化完成后，先將電極溶液倒掉，讓氣缸14后退回初始位置將夾具左夾板 2和夾具右?jiàn)A板7松開(kāi)，取下夾具左夾板2和夾具右?jiàn)A板7，將鈮酸鋰晶體6取出即可。
[0055]以上便完成了一片鈮酸鋰晶體6的周期性極化。
[0056]以上實(shí)施例前六步的安裝順序可以按照安裝人員的習(xí)慣打亂實(shí)施。[〇〇57] 上述實(shí)施例中的小圓柱18可以設(shè)置在夾具右?jiàn)A板7上，并且氣缸14可以設(shè)置在夾具右?jiàn)A板7的右側(cè)。其中氣缸也可以用液壓缸。其中鈮酸鋰晶體6也可以是其它需要極化的固態(tài)物質(zhì)。[〇〇58]以上所述僅為本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型創(chuàng)造，凡在本實(shí)用新型創(chuàng)造的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，包括夾具左夾板、夾具右?jiàn)A板、金屬電極 板，所述的金屬電極板的兩極分別設(shè)置在夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板上且兩極之間形成液體 電極腔，其特征在于，還包括夾具支架、活塞缸、壓板和頂桿，所述的夾具支架為U型結(jié)構(gòu)，夾 了鈮酸鋰晶體的夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板整體放置于夾具支架的中間靠右的位置，夾具右 夾板后側(cè)抵在夾具支架右側(cè)的內(nèi)側(cè)面上，壓板的右側(cè)抵在夾具左夾板的左側(cè)面上，壓板左 側(cè)與頂桿連接，頂桿的外端連接活塞缸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:所述的 活塞缸為氣缸。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:所述的壓板與頂桿球鉸鏈連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:所述頂 桿的外端具有外螺紋，頂桿的外端旋入活塞缸的頂桿設(shè)置的螺紋孔內(nèi)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:所述的 活塞缸上安裝有壓力值讀取裝置和氣壓調(diào)節(jié)裝置。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:所述的 活塞缸上還設(shè)置有節(jié)流裝置。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:在夾具 左夾板的左側(cè)和夾具右?jiàn)A板的右側(cè)均勻分布有三個(gè)支撐桿。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:還包括 第一0型圈，所述的夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板正面的相對(duì)位置上都設(shè)置有0型圈槽，所述的 第一 0型圈放置在0型圈槽中。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:還包括 第二0型圈，所述的金屬電極板通過(guò)金屬電極拉緊螺母分別固定在夾具左夾板和夾具右?jiàn)A 板上，金屬電極板分別與夾具左夾板和夾具右?jiàn)A板之間的壓緊部分通過(guò)第二〇型圈密封。10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的一種氣動(dòng)式鈮酸鋰晶體周期性極化夾具，其特征在于:所 述的夾具左夾板或夾具右?jiàn)A板的正面均勻設(shè)置有三個(gè)凸起的小圓柱，每個(gè)小圓柱的內(nèi)側(cè)與 所要處理的晶體相切，小圓柱的高度低于兩個(gè)第一 0型圈和所要處理的鈮酸鋰晶體三者受 壓后的高度和。
【文檔編號(hào)】G02F1/03GK205643936SQ201620372032
【公開(kāi)日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年4月28日
【發(fā)明人】魏代營(yíng), 梁龍躍, 鄭名揚(yáng), 謝秀平, 張強(qiáng)
【申請(qǐng)人】山東量子科學(xué)技術(shù)研究院有限公司, 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)