專利名稱：等離子顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用等離子放電進行顯示的等離子顯示裝置。
其中，等離子顯示裝置(PDP)通過將等離子放電產(chǎn)生的紫外線照射到熒光體并發(fā)光來進行圖像顯示，市場期待生產(chǎn)出薄型、大畫面的顯示器。
PDP由放電時的電壓大致分為直流驅(qū)動(DC)型和交流(AC)驅(qū)動型。DC型PDP是對在對置的2個基板上設(shè)置的陰極和陽極間施加直流電壓放電，只在施加電壓的期間進行顯示。另一方面，AC型PDP是對一對放電電極間施加交流脈沖電壓放電，由覆蓋電極的電介質(zhì)層和保護層(MgO層)積累電荷并具有2個值的存儲器功能。另外，AC型PDP與DC型同樣有在對置的2個基板上分別設(shè)置1個放電電極的對置放電型和、在單個基板上并列設(shè)置2個放電電極的面放電型。


圖13表示現(xiàn)有的面放電型的等離子顯示裝置100的概要結(jié)構(gòu)。在此，示出包含對應(yīng)1單位像素(圖象單元)的部分的基本結(jié)構(gòu)。
該等離子顯示裝置100對置配置背面玻璃基板101和成為顯示面?zhèn)鹊那懊娌ＡЩ?02，期間在其邊緣部密封。在背面玻璃基板101上平行排列多個地址電極103，設(shè)置覆蓋這些地址電極103的電介質(zhì)層104，在其之上還設(shè)置條狀的隔壁105。利用隔壁105按各地址電極103分割其上面的空間，在隔壁105間的地址電極103的正上方分別交互設(shè)置紅、綠、藍的3原色的熒光體106。
另一方面，在前面玻璃基板102上為了面放電而設(shè)置有一對維持電極107(107a、107b)。在維持電極107a、107b上一體設(shè)置用于降低電阻的總線電極110(110a、110b)。另外，維持電極107排列成與地址電極103的延伸方向正交，維持電極107和地址電極103形成矩陣。另外，在這樣的維持電極107上依次設(shè)置電介質(zhì)層108、以及MgO膜構(gòu)成的保護層109。電介質(zhì)層108構(gòu)成放電電流限制用的電容器，具有保持一定時間積累的電荷的功能。保護層109從放電等離子的濺射保護電介質(zhì)層108和維持電極107，同時具有放大2次電子發(fā)射系數(shù)并降低放電開始電壓、限制多余的放電電流、維持放電狀態(tài)等功能。
該等離子顯示裝置100中，背面等離子基板101和前面等離子基板102之間成為放電空間，在此作為放電氣體封入霓紅、氙等混合氣體或單獨氣體。該放電空間由隔壁105分割，在各放電空間矩陣狀配置的一對維持電極107和地址電極103的交點形成點(最小發(fā)光單位)112。另外，熒光體106由紅、綠、藍的鄰接的3個點112構(gòu)成1單位像素(圖象單元)113。
圖14是沿著圖13的VII-VII線的截面圖。該等離子顯示裝置100中，首先在對應(yīng)要發(fā)光的點112的保護層109上選擇性積累壁電荷，接著對一對維持電極107a、107b間施加交流電壓。這樣，通過在壁電荷的電壓重疊交流電壓，維持電極107a、107b間的電壓達到放電開始電壓，產(chǎn)生放電(維持放電)。利用該放電從放電氣體發(fā)射的紫外線照射到點112的熒光體106，點112發(fā)光并進行顯示。
等離子顯示裝置100的驅(qū)動次序基于該原理，由要顯示的點112的選擇方法分為選擇寫入方式和選擇瀉放方式。選擇寫入方式中，首先最初對這些維持電極107a、107b交互施加脈沖，初始化成所有點112的壁電荷均勻的狀態(tài)。在該狀態(tài)下瀉放整個面。接著，只使要顯示的點112在維持電極107a、107b的一方和地址電極103間放電(地址放電)，在保護層109上積累壁電荷。若在該狀態(tài)下對維持電極107a、107b間施加交流電壓，則只有具有壁電荷的點112達到放電開始電壓，產(chǎn)生放電(維持放電)。
與此不同，選擇瀉放方式中，首先使所有點112在維持電極107a、107b間放電，點亮整個面，在保護層109上同樣積累壁電荷。接著，只使不顯示的點112在與前一放電相反極性的維持電極107a、107b的一方和地址電極103間放電(地址放電)，瀉放其壁電荷。結(jié)果，只在應(yīng)顯示的點112殘留壁電荷，之后進行與選擇寫入方式相同的處理進行顯示。
但是，這樣的面放電型PDP有利用負輝光放電的PDP和采用陰極輝光放電的PDP。負輝光是在比所謂克魯克斯暗區(qū)更遠離陰極的位置產(chǎn)生，需要將放電電極間距離設(shè)為100μm左右。因此，此時的維持電極107a、107b間的間隙(放電間隙)需要大于100μm。因此，點112的尺寸縮小是有限的。另一方面，提出了采用陰極輝光放電的放電間隙格外窄的PDP(例如，特開平10-247474號公報等)。從陰極發(fā)射的電子朝向陽極加速，但剛發(fā)射的電子不與氣體分子相互作用，電極間的陰極附近成為阿斯頓暗區(qū)。若加速的電子激勵氣體分子，則接著阿斯頓暗區(qū)產(chǎn)生激勵的氣體分子發(fā)光的部分。該部分為陰極輝光，比負輝光和克魯克斯暗區(qū)離陰極更近。從而，在陰極輝光放電中，放電間隙小于50μm，維持電極107a、107b間設(shè)定為小于50μm。
這樣工作中的等離子顯示裝置100中，在維持放電的放電等離子中產(chǎn)生受激準分子(excimer)、準穩(wěn)定原子、準穩(wěn)定分子等激勵狀態(tài)的粒子(準穩(wěn)定粒子)。這些粒子不能直接遷移到基底狀態(tài)，壽命比較長，有利于放電的持續(xù)、穩(wěn)定化、放電功率的降低，但若在放電空間內(nèi)運動中與周圍的隔壁105等沖突，會失去能量。
但是，現(xiàn)有的等離子顯示裝置100中，由于維持電極107為薄板狀的薄膜電極，所以如圖14所示，在2個維持電極107a、107b的上面?zhèn)犬a(chǎn)生維持放電，其放電路徑成為連結(jié)維持電極107a、107b的上面的半圓形的拱形狀。因此，準穩(wěn)定粒子與放電空間的周圍壁面沖突的概率高，其平均自由行程變短，壽命變短。因此具有準穩(wěn)定粒子的絕對數(shù)或存在概率不足，放電開始電壓和放電維持電壓上升的問題。該工作電壓的增大成為引起耗電的增大、結(jié)構(gòu)電路的過負荷以及產(chǎn)生拱形放電等異常放電等問題的主要原因。
另一方面，為了提高PDP的清晰度，需要縮小1點部分的區(qū)域，但由于若縮小電極間隔則工作電壓上升，所以仍然導(dǎo)致上述問題。從而，不能穩(wěn)定確保準穩(wěn)定粒子，不能抑制低的驅(qū)動電壓的現(xiàn)有的放電方式難以避免伴隨小型化的電壓上升。
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供可實現(xiàn)高清晰度、高亮度顯示，同時耗電少的可靠性高的等離子顯示裝置。
以下具體說明本發(fā)明的其它目的、特征、效果。
圖2是沿著圖1所示的等離子顯示裝置的I-I線的截面圖。
圖3A和圖3B是說明圖1所示的等離子顯示裝置的變形例的地址電極和維持電極的配置的平面圖。
圖4A至圖4C是表示本發(fā)明的實施例2的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
圖5A和圖5B是圖4A至圖4C所示的等離子顯示裝置的單元配置的一例。
圖6A和圖6B是表示本發(fā)明的實施例3的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
圖7是圖6A和圖6B所示的等離子顯示裝置的單元配置的一例。
圖8是圖6A和圖6B所示的等離子顯示裝置的單元配置的一例。
圖9A和圖9B是表示本發(fā)明的實施例4的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
圖10是圖9A和圖9B所示的等離子顯示裝置的單元配置的一例。
圖11是表示本發(fā)明的實施例5的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
圖12是表示本發(fā)明的實施例5的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
圖13是表示現(xiàn)有的等離子顯示裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
圖14是表示圖13所示的現(xiàn)有的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
〔實施例1〕圖1是表示本發(fā)明的實施例1的等離子顯示裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。圖2是沿著其I-I線的截面的放大圖。該等離子顯示裝置10中，在前面玻璃基板12上設(shè)置的維持電極17(17a、17b)、電介質(zhì)層18和保護層19以外的各結(jié)構(gòu)要素的結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有的等離子顯示裝置100相同，在對置配置的背面玻璃基板11和顯示面?zhèn)鹊那懊娌ＡЩ?2間設(shè)置放電用的空間，邊緣部經(jīng)隔片(未圖示)密封。另外，在此地址放電為負輝光放電、維持放電為陰極輝光放電。
背面玻璃基板11是例如板狀形成了高變形點玻璃或鈉玻璃。在背面玻璃基板11上例如并列配設(shè)有鋁(Al)等金屬薄膜構(gòu)成的地址電極13，在其之上設(shè)置覆蓋地址電極13的電介質(zhì)層14。該電介質(zhì)層14例如通過真空蒸鍍SiO2(二氧化硅)來形成。在電介質(zhì)層14上設(shè)置用于按各地址電極13分割放電空間21的隔壁15。隔壁15中例如截面形成梯形狀，通過形成玻璃漿糊圖案之后燃燒形成。另外，隔壁15的高度可以通過研磨隔壁15的頂部、或切削背面玻璃基板11來調(diào)整。在這些隔壁15間，在隔壁15的側(cè)面和電介質(zhì)層14的露出面上交互設(shè)置紅、綠、以及藍的3原色的熒光體16。
另一方面，前面玻璃基板12因位于顯示側(cè)而需要采用透明性好的材料，一般與背面玻璃基板11相同采用高變形點玻璃或鈉玻璃。在前面玻璃基板12上設(shè)置與對置的地址電極13的延伸方向正交的多組維持電極17(17a、17b)，維持電極17和地址電極13構(gòu)成將交點作為點的矩陣。
這些維持電極17是例如由ITO(Indium-Tin Oxide)等材料形成的透明電極，以對于將成對的維持電極17a、17b相互對置的面作為實質(zhì)放電面的足夠的厚度形成。這樣的維持電極17的厚度是根據(jù)等離子顯示裝置10的規(guī)格可適當設(shè)定的值，但最好是大于10μm、為了擴大放電面最好大于20μm、更好是大于40μm。在此，維持電極17的厚度為40μm。至此的維持電極的厚度在0.1～1.0μm的范圍內(nèi)。厚度小于1μm是因為具有若再厚就會從基板剝離，蒸鍍所需的時間過長等問題。另外，在此的維持電極17的寬度(即，對置面的寬度)例如是幾μm～20μm左右。
另外，維持電極17除了整體由電極材料構(gòu)成之外，也可以是例如由電極材料覆蓋陶瓷等芯。此時，電極材料至少設(shè)置在對置面即可，為了難以從基板12剝離，可以設(shè)置更大體積的維持電極17。特別是在厚度大于40μm的大體積形狀的情況下，這種結(jié)構(gòu)容易形成。
成對的維持電極17a、17b的間隙(放電間隙)為了陰極輝光而小于50μm，設(shè)定為最好是小于40μm、更好是小于20μm。另外，與一對維持電極17a、17b鄰接的另一維持電極17a、17b對的相互間距離為了防止點間的所謂克魯克斯而例如大于20μm。另外，在這些維持電極17a、17b可以為了降低電阻而例如設(shè)置Al(鋁)等金屬構(gòu)成的總線電極(未圖示)。
另外，如圖13所示，以前電介質(zhì)層108和保護層109設(shè)置成從維持電極17上覆蓋前面玻璃基板102的整個面，但在此設(shè)置成電介質(zhì)層18和保護層19只覆蓋各維持電極17。電介質(zhì)層18和保護層19分別例如由低熔點玻璃和MgO(氧化鎂)構(gòu)成。
另外，在前面玻璃基板12的一對維持電極17a、17b和背面玻璃基板11的地址電極13之間設(shè)置的放電空間作為放電氣體封入霓紅、氙等混合氣體或單獨氣體，由隔壁15分割的放電空間構(gòu)成各放電單元，同時按點發(fā)光。
下面，參考圖1和圖2說明等離子顯示裝置10的工作。
在此，驅(qū)動方式為選擇瀉放方式。首先，對各維持電極17a、17b間施加交流脈沖電壓。其電壓例如一側(cè)為+200V、另一側(cè)為-200V左右。這樣，在所有放電單元的保護層19上均勻積累壁電荷，復(fù)位單元整個面。接著，未顯示的點的放電單元中，對維持電極17和地址電極13施加放電地址電壓進行負輝光放電(地址放電)，瀉放其壁電荷。此時，施加給各維持電極17a、17b的放電地址電壓的極性與初始化時的放電極性相反。例如，在維持電極17側(cè)將前一放電中為+200V的電壓設(shè)定為-100V，將-200V的電壓設(shè)定為0V，將地址電極13的電壓設(shè)定為+70V。這樣，只在應(yīng)顯示的點殘留壁電荷。
接著，若在該狀態(tài)下對維持電極17a、17b間施加交流電壓，則只有具有壁電荷的點112因壁電荷的電壓和交流電壓重疊而達到放電開始電壓，在其放電間隙產(chǎn)生陰極輝光放電的面放電(維持放電)。此時施加的放電維持電壓例如分別對于維持電極17a、17b都是±160V的交流電壓。
在此，本實施例中，由于以足夠厚度形成維持電極17a、17b，所以放電實質(zhì)上在這些側(cè)面中相互對置的對置面產(chǎn)生。此時，2個放電面間的放電路徑成為與對置面正交的直線狀。因此，該放電產(chǎn)生的準穩(wěn)定粒子只在維持電極17a、17b間存在，朝向放電單元周圍的概率低。這樣，準穩(wěn)定粒子可以作為整體長時間維持準穩(wěn)定狀態(tài)。
該放電路徑平行于熒光體16的表面，在放電間隙向維持電極17a、17b的延伸方向連續(xù)。從而，放電等離子在圖2的虛線所示的區(qū)域中產(chǎn)生成平行于熒光體16的表面的面狀。另外，由于電介質(zhì)層18和保護層19只覆蓋維持電極17a、17b，所以在維持電極17a、17b的下側(cè)也進行放電。
通過該等離子放電，放電空間內(nèi)的放電氣體發(fā)射紫外線，該紫外線照射到熒光體16激勵熒光體16并發(fā)光顯示點。
本實施例的等離子顯示裝置10以在相互對置維持電極17a、17b的對置面間產(chǎn)生放電的厚度(40μm)立體形成，維持放電在該對置面間產(chǎn)生成直線狀，該放電的準穩(wěn)定粒子只在對置面間存在。從而，增大準穩(wěn)定粒子的存在概率，可以保持長時間壽命，所以可以降低放電開始電壓和放電維持電壓。
另外，通過在對置面間直線放電，放電間隙的整個區(qū)域產(chǎn)生放電，可以有效放電，同時可以不惡化熒光體16而抑制放電單元的高度?，F(xiàn)有的情況下，如圖14所示，由于如上述維持放電在維持電極107a、107b的上面之間產(chǎn)生成拱形狀，所以熒光體106因拱形頂上的等離子而惡化。另外，為了防止該問題，需要提高放電單元并使維持電極107和熒光體106具有一定距離。另外，以前由于放電等離子主要在放電路徑的中央，即拱形的頂部分(圖14的虛線區(qū)域)集中產(chǎn)生，所以雖說采用同一面上的電極對的面放電型，但實質(zhì)上對發(fā)光有用的等離子在拱形頂上產(chǎn)生成線狀。
與此不同，本實施例中，由于在維持電極17a、17b之間產(chǎn)生的維持放電的放電路徑與熒光體16的表面平行，所以可使放電路徑上的所有放電有效用于發(fā)光。特別是在此，由于放電等離子產(chǎn)生成平行于熒光體16的表面的面狀，所以可使放電有效用于發(fā)光。
另外，由于電介質(zhì)層18和保護層19只覆蓋維持電極17a、17b，所以在維持電極17a、17b的下側(cè)也進行放電，放電可以有效利用放電間隙。
下面說明上述實施例1的變形例。圖3A和圖3B表示變形例的地址電極13和維持電極17的配置，圖3A為平面圖，圖3B為沿著其II-II線的截面圖。此時，維持電極17形成為具有只在與地址電極13正交形成點的部位成對的維持電極17的對置面產(chǎn)生放電的厚度(例如40μm)，此外的部位例如與以前同樣非常薄。因此，維持放電在作為目的的點位置的局部產(chǎn)生。從而，可以降低電荷移動產(chǎn)生的鄰接點間的克魯克斯。
〔實施例2〕圖4A至圖4C表示本發(fā)明的實施例2的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)。圖4A為平面圖、圖4B為其III-III線的截面圖、圖4C為IV-IV線的截面圖。該等離子顯示裝置中，放電空間由隔壁分割成單元狀，構(gòu)成內(nèi)部放電空間封閉的各放電單元20，與隔壁25對置的2邊分別相接，島狀維持電極27a、27b設(shè)置在前面玻璃基板22上。另外，與剩余的隔壁25中的1邊相接，島狀地址電極23設(shè)置在熒光體26上。另外，熒光體26設(shè)置在背面玻璃基板21上。
在此，維持電極27a、27b以在相互對置的對置面間產(chǎn)生放電的厚度立體形成，其厚度例如為40μm。另外，厚度最好大于10μm，可以在10μm～100μm范圍內(nèi)適當選擇。另外，其寬度最好在幾μm～20μm左右的范圍內(nèi)，例如可以是10μm左右。另外，與實施例1同樣，維持電極27a、27b間的放電間隙設(shè)定為小于50μm、最好是小于40μm、更好是20μm，同時確定單元的維持電極27相接的隔壁25的距離。
另一方面，地址電極23在此設(shè)置為在與隔壁25的維持電極27相接的2邊以外的面幾乎位于中央。其中，地址電極23起在與維持電極27間產(chǎn)生地址放電的作用即可，不是必需設(shè)置在該位置，其形狀可以是例如實施例1的線狀。另外，這些地址電極23和維持電極27分別由電介質(zhì)24覆蓋。
這樣的等離子顯示裝置中，在各放電單元20內(nèi)部如圖4A和圖4B所示產(chǎn)生維持放電。即，島狀地在單元20內(nèi)獨立設(shè)置的維持電極27a、27b的對置面間產(chǎn)生放電，2個放電面間的放電路徑成為與對置面正交的直線。因此，該放電產(chǎn)生的準穩(wěn)定粒子只在維持電極27a、27b間存在，朝向放電單元周圍的概率低。這樣，準穩(wěn)定粒子可以作為整體長時間維持準穩(wěn)定狀態(tài)。
本實施中，由于放電路徑平行于熒光體26的表面，同時電介質(zhì)層24只覆蓋維持電極27a、27b，所以在維持電極27a、27b的下側(cè)也進行放電，可以有效利用放電間隙引起放電。
通過利用該等離子放電，放電氣體發(fā)射紫外線，其線照射到熒光體26激勵熒光體26并發(fā)光顯示點。
圖5A和圖5B是表示采用這樣的放電單元20構(gòu)成的等離子顯示裝置的一例。圖5A和圖5B中，地址電極23和維持電極27分別與地址電極布線123、維持電極布線127連接，各放電單元通過這些地址電極布線123和維持電極布線127驅(qū)動。
上述實施例1中，放電等離子產(chǎn)生成平行于熒光體16的表面的面狀，本實施例中，在放電等離子對置的維持電極27a、27b間產(chǎn)生成直線狀。因此，若去除該點，則本實施例的作用效果與實施例1相同。
〔實施例3〕圖6A和圖6B表示本發(fā)明的實施例3的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)。圖6A為平面圖、圖6B為其V-V線的截面圖。該等離子顯示裝置中，面對面的梳形隔壁35嵌合組合，由該隔壁35將放電空間如圖那樣分割成X方向和Y方向。從而，在1個放電單元30中，細長的放電空間構(gòu)成為由隔壁35折彎，在該放電空間的兩端設(shè)置有島狀的維持電極37a、37b。另外，如圖6A所示，在此，在折彎隔壁35的放電空間的部位設(shè)置有放電輔助電極37c。
這些維持電極37a、37b以及放電輔助電極37c都在前面玻璃基板32上形成。其中的維持電極37a、37b以在Y方向相鄰的放電輔助電極37c間在與其對置的面產(chǎn)生放電的足夠的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。另一放電輔助電極37c也以在相互相鄰的電極間在與其對置的面產(chǎn)生放電的足夠的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。其中，由于放電輔助電極37c為了瞬間火種放電而設(shè)置的，所以厚度可以是幾μm～10μm左右。另外，這些維持電極37a、37b和輔助放電電極37c分別由電介質(zhì)層38和保護層39覆蓋。
另外，在隔壁35間的背面玻璃基板31上設(shè)置有熒光體36、以及未圖示的地址電極。在此，地址電極起在與維持電極37之間產(chǎn)生地址放電的作用即可，其位置和形狀為任意的。
這樣的維持電極37a、37b間的放電路徑成為沿著單元30內(nèi)的放電空間導(dǎo)向放電輔助電極37c形成的折彎的直線。另外，維持電極37a、37b和Y方向排列的放電輔助電極37c之間的放電間隙與實施例1同樣，例如設(shè)定為小于50μm、最好是小于40μm、更好是小于20μm，同時確定單元的Y方向的隔壁35的長度。
具有這種結(jié)構(gòu)的放電單元30的等離子顯示裝置中，如圖6A所示，經(jīng)放電輔助電極37c沿著放電單元30的縱向放電，在維持電極37a、37b的對置面間產(chǎn)生維持電極。此時，由于2個放電面間的放電路徑平行于前面玻璃基板32面成為直線，所以該放電產(chǎn)生的準穩(wěn)定粒子只在維持電極37a、37b之間存在，朝向放電單元30周邊的概率低。因此，準穩(wěn)定粒子可以作為整體長時間維持準穩(wěn)定狀態(tài)。
通過利用該等離子放電，放電單元30內(nèi)部的放電氣體發(fā)射紫外線，其紫外線照射到熒光體36激勵熒光體36并發(fā)光顯示點。
圖7和圖8是采用這樣的放電單元30構(gòu)成的等離子顯示裝置的單元配置的一例。圖7中，放電單元30都以相同朝向排列成格子狀，熒光體36的3原色、R(紅)、G(綠)、B(藍)在X、Y方向交互重復(fù)。
圖8中，放電單元30配置為在Y方向以一定寬度并列，在X方向?qū)τ卩徑拥姆烹妴卧獙⑾嗷ノ恢缅e開半個單元寬度。另外，單元30的朝向在Y方向成為相互鏡面對稱，熒光體36的R(紅)、G(綠)、B(藍)在Y方向相同，在X方向交互重復(fù)。
本實施例中，由于設(shè)置了放電輔助電極37c，所以可以在任意位置折彎放電路徑，增加放電單元內(nèi)的設(shè)計自由度。其它作用效果與實施例2相同。
〔實施例4〕圖9A和圖9B表示本發(fā)明的實施例4的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)。圖9A為平面圖、圖9B為其VI-VI線的截面圖。在此，1個放電單元40中，隔壁45為螺旋形狀，在隔壁45的中心部和外部的2個終端部分別設(shè)置島狀的維持電極47a、47b。另外，在隔壁45內(nèi)側(cè)的側(cè)壁設(shè)置沿著如圖所示的螺旋狀的放電路徑產(chǎn)生放電的放電輔助電極47c。
這些維持電極47a、47b以及放電輔助電極47c都在前面玻璃基板42上形成。在此與實施例3同樣，維持電極47a、47b以在沿著放電空間的縱向鄰接的放電輔助電極47c之間在與其對置的面產(chǎn)生放電的足夠的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。放電輔助電極47c以在與相互鄰接的電極之間在與其對置的面產(chǎn)生放電的足夠的厚度形成，其厚度例如可以是40μm。其中，由于放電輔助電極47c為了瞬間火種放電而設(shè)置的，所以厚度可以是幾μm～10μm左右。這些維持電極47a、47b和輔助放電電極47c分別由電介質(zhì)層48和保護層49覆蓋。
另外，在隔壁45間的背面玻璃基板41上設(shè)置有熒光體46、以及未圖示的地址電極。在此，地址電極起在與維持電極47之間產(chǎn)生地址放電的作用即可，其位置和形狀為任意的。
具有這樣結(jié)構(gòu)的放電單元40的等離子顯示裝置中，如圖9A所示，通過經(jīng)放電輔助電極47c沿著放電單元的縱向在螺旋狀的路徑放電，在維持電極47a、47b的對置面間產(chǎn)生維持放電。此時，由于2個對置面間的放電路徑平行于前面玻璃基板42的面成為直線，所以該放電產(chǎn)生的準穩(wěn)定粒子只在維持電極47a、47b之間存在，朝向放電單元周圍的概率低。因此，準穩(wěn)定粒子可以作為整體長時間維持準穩(wěn)定狀態(tài)。
通過利用該等離子放電，放電單元40內(nèi)的放電氣體發(fā)射紫外線，其紫外線照射到熒光體46激勵熒光體46并發(fā)光顯示點。
圖10是采用這樣的放電單元40構(gòu)成的等離子顯示裝置的單元配置的一例。在此，如圖9A的虛線所示，放電單元40的外形看作6角形，各放電單元配置成蜂窩狀。另外，熒光體46的R(紅)、G(綠)、B(藍)在Y方向相同，在X方向交互重復(fù)。
本實施例中，由于設(shè)置了放電輔助電極47c，所以可以曲線狀折彎放電路徑，增加放電單元的設(shè)計自由度。其它作用效果與實施例2相同。
〔實施例5〕圖11是表示本發(fā)明的實施例5的等離子顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。本實施例的等離子顯示裝置構(gòu)成為除了設(shè)置了熒光體50和熒光體保護層51之外，與實施例1相同，所以對相同結(jié)構(gòu)要素附加同一標號，不作說明。
在此，熒光體50層狀設(shè)置在背面玻璃基板11上，在放電單元上面的相應(yīng)部分配置R(紅)、G(綠)、B(藍)的熒光體，此外的部分成為炭等黑矩陣。在該熒光體50上關(guān)閉條狀排列的隔壁15之間的開口設(shè)置熒光體保護層51。熒光體保護層51可以例如由玻璃或硅(Si)形成，其厚度可以是50μm左右。
本實施例中，由于在熒光體50上設(shè)置了熒光體保護層51，所以可以防止熒光體50在放電中受到成為等離子的氣體激勵粒子或高溫電子的接觸而惡化。
另外，如圖12所示，可以在熒光體50的整個面設(shè)置層狀的熒光體保護層51，同時設(shè)置隔壁55。隔壁55在前面玻璃基板12側(cè)也形成面，包圍放電單元的周圍。這樣的隔壁55例如可以通過切削規(guī)定厚度的玻璃基板或腐蝕Si基板來形成，若設(shè)置在前面玻璃基板12上，則容易制造裝置。
以上舉出實施例說明了本發(fā)明，但本發(fā)明不限于上述實施例，可以進行各種變形。例如，上述實施例中，放電方式是設(shè)地址放電為負輝光放電、設(shè)維持放電為陰極輝光放電，設(shè)放電間隙小于50μm、最好小于20μm，但可以將地址放電和維持放電一起設(shè)為陰極輝光放電。另外，在2個放電為負輝光放電的情況下，通過選擇100μm左右的放電間隙，可以同樣構(gòu)成等離子顯示裝置。這樣，本發(fā)明與放電方式無關(guān)，可以廣泛適用于等離子顯示裝置。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的等離子顯示裝置，由于成對的2個維持電極具有在相互對置的面可實質(zhì)放電的厚度，所以通過維持放電在該對置面間產(chǎn)生成直線狀，該放電的準穩(wěn)定粒子只在對置面間存在，可以保持較長時間的壽命。從而，可以實現(xiàn)高清晰度、高亮度的顯示，同時由于放電開始電壓和放電維持電壓降低，可以提高工作穩(wěn)定性、降低耗電，還可以實現(xiàn)小型化。
可知基于上述說明可以實施本發(fā)明的各種變形例。從而，在以下權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可以利用上述所述形態(tài)以外的形態(tài)實施本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種等離子顯示裝置，包括在對置配置的2個基板中的一基板上設(shè)置的熒光體層，和在另一基板上的經(jīng)放電間隙鄰接的支持電極對，其特征在于上述支持電極對具有在兩電極相互對置的面間可顯著放電的厚度。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示裝置，其特征在于上述維持電極對的電極間放電的放電路徑為直線狀。
3.如權(quán)利要求2所述的等離子顯示裝置，其特征在于上述放電路徑平行于上述熒光體層。
4.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示裝置，其特征在于上述維持電極對的各電極厚度等于或大于10μm。
5.如權(quán)利要求4所述的等離子顯示裝置，其特征在于上述維持電極對的各電極厚度等于或大于20μm。
6.如權(quán)利要求5所述的等離子顯示裝置，其特征在于上述維持電極對的各電極厚度等于或大于40μm。
7.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示裝置，其特征在于上述放電間隙小于50μm。
8.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示裝置，其特征在于在上述維持電極對的電極間設(shè)置1個或2個或更多的放電輔助電極。
全文摘要
提供一種可實現(xiàn)高清晰度、高亮度的顯示，同時耗電少、可靠性高的等離子顯示裝置。在前面玻璃基板(12)上例如設(shè)置厚度40μm的維持電極對(17a)、(17b)。該厚度是對于將維持電極對(17a)、(17b)相互對置的面作為實質(zhì)放電面充分的厚度，此時的放電路徑成為對置面間的直線。從而，在放電時產(chǎn)生的準穩(wěn)定粒子偏離這些對置面朝向周圍的概率降低，可以作為整體保持長時間壽命。
文檔編號H01J11/26GK1426594SQ01808653
公開日2003年6月25日 申請日期2001年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月28日
發(fā)明者白水進一郎 申請人:索尼公司