專利名稱：密封容器及其制造方法、圖象顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及密封容器和使用它的圖象顯示裝置。此外，涉及內(nèi)部比外部維持更低壓力狀態(tài)的密封容器。
背景技術(shù)：
近年，作為圖象顯示裝置，廣泛使用了彩色陰極射線管(CRT)，但是驅(qū)動原理是使來自陰極的電子束偏轉(zhuǎn)，使畫面的熒光體發(fā)光的方式，所以伴隨著畫面尺寸的進深是必要的。伴隨著增大畫面，進深也增加，所以存在設(shè)置空間的擴大、重量的增加等問題，因此強烈期望著能實現(xiàn)薄型、輕型化的平面型圖象顯示裝置。作為平面型圖象顯示裝置的例子，存在表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射型顯示面板(以后稱作SED)(在特開平09-045266號公報中記載)、場致發(fā)射型顯示裝置(以后稱作FED)(在特開平05-114372公報中記載)。
圖11表示特開平05-114372公報中記載的平面型圖象顯示裝置例子的概要圖。夾著具有陽極即供電導(dǎo)電層6的前面板2、設(shè)置了陰極7的背面面板3、絕緣層8、28密封粘結(jié)。然后，通過從排氣管(未圖示)用泵吸出內(nèi)部的空氣、密封，形成真空構(gòu)造，制作超薄型平面顯示裝置20。在供電導(dǎo)電層6和陰極7間外加電壓，從陰極7發(fā)射電子。發(fā)射的電子使熒光面1發(fā)光，形成象素，在前面板2上顯示圖象。這時，為了在供電導(dǎo)電層6上外加電壓，從在背面面板3上開的孔部15，通過端子導(dǎo)出部17，使用熒光面電位供電端子、彈性體19、供電導(dǎo)電層6。因此，覆蓋端子導(dǎo)出部的密封體18的真空密封成為必要。
此外，在特開2000-195449號中描述了圖象形成裝置中使用的真空容器，在圖16中，描述了用真空力使彈性彈簧構(gòu)件變形，直接引出高壓導(dǎo)入端子，連接到布線上的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是在內(nèi)部具有電極的密封容器，其課題在于實現(xiàn)能容易實現(xiàn)向該電極供給電位的結(jié)構(gòu)的新制造方法，或?qū)崿F(xiàn)低成本的密封容器，或?qū)崿F(xiàn)低成本的圖象顯示裝置。
本申請的密封容器的制造方法之一的結(jié)構(gòu)如下。即是在彼此相對的第一襯底和第二襯底間具有比外部壓力還低的空間的密封容器的制造方法，其特征在于包括使在成為所述空間一側(cè)的面上設(shè)置了電極的第一襯底和具有用于向所述電極供給電位的構(gòu)造體的第二襯底相對，組裝在該第一襯底和第二襯底之間具有內(nèi)部空間的容器的組裝步驟；對由所述步驟形成容器的內(nèi)外提供壓力差的壓力差外加步驟；在所述壓力差外加步驟前的所述容器中，所述構(gòu)造體具有在貫通所述第二襯底的通孔部對外部氣氛開口，并且在底部封閉的凹部，在所述壓力差外加步驟中，通過提供壓力差，使所述構(gòu)造體的所述第一襯底和所述第二襯底的相對方向的長度伸長，使所述構(gòu)造體為能通過該構(gòu)造體向所述電極提供電位的形狀。
在該構(gòu)造體中，作為通過所述壓力差伸長的部分，也能采用具有彈性的結(jié)構(gòu)，通過具有彈性，在壓力外加步驟后，容易允許第一襯底和第二襯底的間隔暫時或永久地變窄?？墒牵⒉痪窒抻诖?，也可以根據(jù)所述壓力差，塑性變形伸長。
此外，能適當(dāng)實施所述組裝步驟，但是作為一個例子，適合采用所述組裝步驟具有準(zhǔn)備形成了所述電極的第一襯底的步驟、準(zhǔn)備設(shè)置了所述構(gòu)造體的第二襯底的步驟、把第一襯底和第二襯底相對配置并進行接合的步驟的結(jié)構(gòu)。此外，在第一襯底和第二襯底之間可以配置維持第一襯底和第二襯底的間隔的構(gòu)件。作為該構(gòu)件，能列舉出包圍內(nèi)部空間而配置的框、設(shè)置在規(guī)定了外周的內(nèi)部空間內(nèi)的適當(dāng)位置的隔離塊。
此外，能通過構(gòu)造體向所述電極供給電位的形狀是指如果與外部的電位供給電路等連接，向構(gòu)造體供給電位，就通過構(gòu)造體向所述電極進行電位的供給的形狀。當(dāng)一邊向構(gòu)造體供給電位，一邊進行壓力差外加步驟時，在構(gòu)造體的形狀變?yōu)槟芡ㄟ^構(gòu)造體向所述電極供給電位的形狀的時刻，進行電位的供給。
此外，作為壓力差外加步驟，在組裝步驟中，組裝容器，以便通過排氣管等通氣部能對內(nèi)部減壓，該組裝后，適合采用從通氣部抽出內(nèi)部氣體，外加壓力差的步驟；在減壓氣氛下進行組裝步驟，構(gòu)成密封容器，然后，通過把該容器暴露在更高壓力的氣氛中，外加壓力差的步驟。
其他發(fā)明之一的結(jié)構(gòu)如下。即是在彼此相對的第一襯底和第二襯底間具有比外部壓力還低的空間的密封容器的制造方法，其特征在于包括使在成為所述空間一側(cè)的面上設(shè)置了電極的第一襯底和具有用于向所述電極供給電位的構(gòu)造體的第二襯底相對，組裝在該第一襯底和第二襯底之間具有內(nèi)部空間的容器的組裝步驟；對由所述步驟形成容器的內(nèi)外提供壓力差的壓力差外加步驟；在所述壓力差外加步驟前的所述容器中，所述構(gòu)造體在接合在所述第二襯底的部分和應(yīng)該與所述電極直接或間接接觸的部分之間包含具有彎曲形狀的面，在所述壓力差外加步驟中，通過向所述具有彎曲形狀的面的內(nèi)側(cè)和外側(cè)之間提供壓力差，使所述面變形，使所述構(gòu)造體成為能通過所述構(gòu)造體向所述電極提供電位的形狀。
把未彎曲的形狀通過壓力加工等彎曲加工形成該彎曲形狀，但是并不局限于把未彎曲的形狀的固體構(gòu)件彎曲加工而制作的形狀。例如，可以通過鑄造，制造具有彎曲形狀的構(gòu)造體。此外，具有彎曲形狀的面包含曲面和具有折彎形狀的面。折彎的形狀并不局限于對未折彎的形狀進行折彎加工而形成的形狀，例如，包含接合多個構(gòu)件，實現(xiàn)折彎形狀。作為彎曲形狀之一，能列舉出蛇腹形狀，但是也能使用壓力加工作為彎曲加工，形成該形狀，也能通過把環(huán)狀的多個構(gòu)件的內(nèi)徑端和外徑端交替接合而形成。
可是，適合通過對一個板狀構(gòu)件進行彎曲加工，形成應(yīng)該與所述構(gòu)造體的所述電極直接或間接接觸的部分和所述變形的部分，作為彎曲加工，特別適合使用壓力加工。更希望通過對一個板狀構(gòu)件彎曲加工，形成與所述構(gòu)造體的所述電極直接或間接接觸的部分和所述變形的部分和與所述第二襯底接合的部分。
此外，向設(shè)置在第一襯底上的電極供給電位的構(gòu)造體的全部或成為電位供給線路的部分可以由導(dǎo)體構(gòu)成。作為導(dǎo)體希望能使用金屬(包含合金)。如上所述，當(dāng)加工一個板狀構(gòu)件形成多個部分時，可以使用金屬板作為該板狀構(gòu)件。
本申請的密封容器的制造方法能適用于具有密封容器的圖象顯示裝置的制造。
具體而言，在第一襯底或第二襯底的任意一個或雙方的應(yīng)該成為所述內(nèi)部空間一側(cè)的位置形成圖象顯示元件或用于構(gòu)成該圖象顯示元件的電極后，實施所述密封容器的制造方法。
此外，本申請作為密封容器的發(fā)明，包含以下結(jié)構(gòu)的發(fā)明。即一種密封容器，其特征在于具有設(shè)置了電極的第一襯底；與該第一襯底的設(shè)置了所述電極的面相對的第二襯底；接合在該第二襯底上，通過與所述電極直接或間接接觸，向所述電極提供電位的構(gòu)造體；所述構(gòu)造體是通過對一個板狀構(gòu)件彎曲加工，形成了通過使所述第一襯底和第二襯底間的內(nèi)部空間壓力比外部氣氛的壓力還低而變形的部分和與所述電極直接或間接接觸的部分。
構(gòu)造體向第二襯底的接合可以是直接接合到襯底上，也可以是間接接合到襯底上。
此外，所述構(gòu)造體可以與所述電極直接接觸，此外可以通過比所述電極柔軟的金屬(包含合金)間接接觸，此外可以通過導(dǎo)電性的粘接材料接合。作為該接合，能適于采用把熔化的金屬凝固后的材料作為粘接材料接合所述構(gòu)造體和所述電極。
此外，作為密封容器的其他發(fā)明，包含以下的結(jié)構(gòu)。即一種密封容器，其特征在于具有設(shè)置了電極的第一襯底；與該第一襯底的設(shè)置了所述電極的面相對的第二襯底；接合在該第二襯底上，通過與所述電極直接或間接接觸，向所述電極提供電位的構(gòu)造體；所述構(gòu)造體在貫通所述第二襯底的通孔部接合到該第二襯底的與所述第一襯底相對的面上，并且對于對所述第一襯底和第二襯底間構(gòu)成的內(nèi)部空間的外部氣氛，具有在所述通孔部開口，并且在底部封閉的凹部，并且，作為接合到所述第二襯底的與所述第一襯底相對的面上的部分，具有接合到所述第二襯底上的面的相反一側(cè)的面暴露在所述外部氣氛中的部分。
此外，作為圖象顯示裝置的發(fā)明，本申請包含具有本申請的密封容器和配置在該密封容器中的圖象顯示元件的圖象顯示裝置的發(fā)明。
作為圖象顯示元件，例如能適合采用電子發(fā)射元件。當(dāng)采用電子發(fā)射元件作為圖象顯示元件時，還可以配置通過該電子發(fā)射元件發(fā)射的電子而發(fā)光的發(fā)光體。作為一個例子，能采用在第一襯底和第二襯底的一方設(shè)置電子發(fā)射元件，在另一方襯底上配置發(fā)光體的結(jié)構(gòu)。當(dāng)使用電子發(fā)射元件時，能適合采用在內(nèi)部配置提供對發(fā)射的電子加速的加壓電位的電極的結(jié)構(gòu)，作為本申請發(fā)明的設(shè)置在第一襯底上的電極，能列舉出供給該加壓電位的電極、或從該電極引出的引出電極。這時，所述構(gòu)造體可以配置為用于把該加壓電位提供給所述電極。須指出的是，作為圖象顯示元件，并不局限于該結(jié)構(gòu)，也能采用場致發(fā)光元件和用于構(gòu)成等離子體顯示器的等離子體單元等。


圖1是表示圖象顯示裝置的一個形態(tài)的模式平面圖。
圖2是表示本發(fā)明真空容器的模式局部剖視圖。
圖3是表示電壓外加構(gòu)造的一個例子的模式局部剖視圖。
圖4A、4B、4C是表示圖3所示的電壓外加構(gòu)造的制造方法的步驟圖。
圖5是表示實施例2的電壓外加構(gòu)造的模式局部剖視圖。
圖6A、6B、6C是表示實施例2的電壓外加構(gòu)造的制造方法的步驟圖。
圖7是表示實施例3的電壓外加構(gòu)造的模式局部剖視圖。
圖8A、8B、8C是表示實施例3的電壓外加構(gòu)造的制造方法的步驟圖。
圖9是表示實施例4的電壓外加構(gòu)造的模式局部剖視圖。
圖10A、10B、10C是表示實施例4的電壓外加構(gòu)造的制造方法的步驟圖。
圖11是表示以往的圖象顯示裝置的模式圖。
具體實施例方式
圖1和圖2表示本發(fā)明一個實施例的概要圖。使在平面上具有陽極104的面板101和在平面上具有陰極1001的后板102相對，在其間夾入框103和隔離塊，通過接合能制作密封容器106。陰極1001是圖象顯示元件即電子發(fā)射元件，該電子發(fā)射元件發(fā)射的電子通過外加在加速電子的陽極上的加速電壓加速。該密封容器為內(nèi)部保持在10-4Pa以下的真空容器(以下，把該密封容器稱作真空容器)。通過在該真空容器內(nèi)保持陰極，能使陰極作為電子源起作用。在真空容器內(nèi)，從真空容器內(nèi)的陰極，引出布線(未圖示)設(shè)置在后板102上，延伸到框103的外部。陰極通過在其引出布線終端電導(dǎo)通的引出電纜110，由驅(qū)動裝置150控制。此外，陽極通過后面詳細(xì)描述的本申請發(fā)明的包含構(gòu)造體的電壓外加構(gòu)造100和用連接器(未圖示)安裝在該電壓外加構(gòu)造上的電壓外加電纜161，由電壓外加裝置160控制。從電壓外加裝置160供給的電位提供給構(gòu)造體，通過構(gòu)造體提供給加速電極即陽極。而且，通過對真空容器106內(nèi)的陰極和陽極進行這些控制，能在圖象顯示裝置105上形成圖象。面板101和后板102分別構(gòu)成本申請發(fā)明的第一襯底和第二襯底，例如能為玻璃制。圖象顯示裝置105的真空容器內(nèi)部比外部氣氛壓力低，即是真空。通過用燒結(jié)玻璃等接合面板101、后板102和框103，保持了面板101和后板102間的密封。圖象顯示裝置105通過在陽極104上外加電壓，把從后板102上的陰極(未圖示)向真空中發(fā)射的電子加速，通過撞擊位于陽極104上的熒光體(未圖示)，使其發(fā)光，能形成圖象。
作為從空氣中向內(nèi)部成為真空的圖象顯示裝置105供電的供電結(jié)構(gòu)，有電壓外加構(gòu)造100。圖象顯示裝置105由以下部分構(gòu)成把面板101、后板102、框103接合，具有電壓外加構(gòu)造100的所述真空容器；引出電纜110；驅(qū)動裝置150；電壓外加電纜161；電壓外加裝置160。圖3表示圖1的A-A部分剖視圖。電壓從后板102的背面通過通孔(以下，稱作孔)111外加到導(dǎo)電性構(gòu)件108上，通過低熔點材料107外加到陽極104上?？诪橹睆郊s2mm。
本申請發(fā)明的構(gòu)造體由導(dǎo)電性構(gòu)件108構(gòu)成，導(dǎo)電性構(gòu)件108包含作為通過壓力差伸長的部分，具有彎曲形狀的部分的蛇腹部分；與陽極接觸的部分；接合在后板上的部分。電壓外加構(gòu)造100由導(dǎo)電性構(gòu)件108、低熔點材料107、接合構(gòu)件109構(gòu)成。
導(dǎo)電性構(gòu)件108能直接與陽極104接觸，但是在它們之間希望存在低熔點材料107。低熔點材料作為通過使導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的緊貼性良好，使導(dǎo)電性良好的構(gòu)件而使用。低熔點材料在通過大氣壓而變形的導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104之間壓縮變形，緊貼在導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的表面形狀，能使電導(dǎo)通可靠性良好。這時，作為低熔點材料107，作為目的，能從具有制品使用溫度100℃以上的固相線溫度，具有制作該真空容器的溫度420℃以下的熔點，并且具有導(dǎo)電性的材料適當(dāng)選擇，例如能使用低熔點的金屬材料。作為提高導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極的電連接性的構(gòu)件，使用低熔點金屬，但是作為該構(gòu)件，適合使用比陽極還柔軟的構(gòu)件。可以把該構(gòu)件作為粘接材料接合導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104。
當(dāng)圖象顯示裝置105受到周圍預(yù)想以外的溫度的影響，由于熱膨脹而變形時，有時導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的緊貼性變差。這時，向?qū)щ娦詷?gòu)件108外加高頻電壓，使其發(fā)熱，通過使低熔點材料107熔化，在圖象顯示裝置105不解體的前提下，就能改善導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的緊貼性。熔化的低熔點材料由于溫度下降而凝固，成為接合導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的構(gòu)件。
在導(dǎo)電性構(gòu)件108和后板102的接合中使用接合構(gòu)件109，確保真空密封。作為接合構(gòu)件109的材料，例如使用低熔點玻璃的玻璃料。預(yù)先把混合了玻璃料和溶劑的材料用分配器涂敷在導(dǎo)電性構(gòu)件108上，干燥(例如120℃，10分鐘)，進行假燒結(jié)(例如，360℃，10分鐘)。然后，在主燒結(jié)步驟(例420℃，30分鐘)中，把導(dǎo)電性構(gòu)件108放在后板102上，一邊升溫，一邊在導(dǎo)電性構(gòu)件108上作用負(fù)載，使假燒結(jié)的玻璃料熔化，取得良好的接合。
導(dǎo)電性構(gòu)件108是由與后板接合的部分即接合部和伸長部、通過低熔點金屬與陽極接觸的接觸部構(gòu)成的一體零件。為了緩和制作時的熱應(yīng)力，它的材料選擇與后板102中使用的材料的熱膨脹大致一致的熱膨脹系數(shù)的材料。例如，當(dāng)對后板102使用熱膨脹系數(shù)8.0×10- 6/℃～9.0×10-6/℃的玻璃時，希望導(dǎo)電性構(gòu)件的熱膨脹系數(shù)為7.5×10- 6～1.0×10-5/℃。導(dǎo)電性構(gòu)件108通過接合材料109接合在后板102上。只有導(dǎo)電性構(gòu)件108和后板102間的一個地方是電壓外加構(gòu)造100的接合部，所以能抑制接合不良引起的泄漏和強度下降的概率。例如能通過用空氣把由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的板吸引在模具上，通過加壓加工，制造該導(dǎo)電性構(gòu)件108。
設(shè)置在后板102上的狀態(tài)下的導(dǎo)電性構(gòu)件離后板102上表面的高度能把后板102和面板101間的間隔制作得更短。如圖4(A)所示，導(dǎo)電性構(gòu)件108通過接合材料109與后板102接合。然后，如圖4(B)所示，用后板102和面板101夾著框，用玻璃料等密封后板和框之間以及框與面板之間。然后，從未圖示的排氣管把后板102和面板101抽成真空，通過密封，制作圖象顯示裝置的真空容器。這時，如圖4(C)所示，導(dǎo)電性構(gòu)件108是在后板的通孔即孔111向外部氣氛開口的凹部，即成為具有在底部即陽極一側(cè)封閉的凹部的形狀，所以受到來自孔111的大氣壓和內(nèi)部空間的壓力差的影響，伸長到后板102和面板101間的間隔長度，與陽極104通過低熔點材料107間接接觸，能實現(xiàn)通過導(dǎo)電性構(gòu)件108從后板一側(cè)向形成在面板101上的電極的陽極供給電位的形狀。在該狀態(tài)下，如果向?qū)щ娦詷?gòu)件108提供電位，電位就通過導(dǎo)電性構(gòu)件108提供給陽極。
作為構(gòu)成本申請發(fā)明的構(gòu)造體的導(dǎo)電性構(gòu)件，通過使一個板狀構(gòu)件形狀變形而形成與陽極接觸的部分、伸長的部分和與后板接合的部分，能使孔111密封的密封接合界面為一處，能抑制接合不良和泄漏的概率。據(jù)此，能提高真空容器106和圖象顯示裝置105的成品率，能提供更廉價的圖象顯示裝置105。此外，通過使外加壓力差之前的構(gòu)造體是在孔111的部分對外部氣氛開口的凹部，即具有底部即陽極一側(cè)封閉的凹部的形狀，能把凹部的側(cè)部作為伸長的部分使用，能使伸長的長度充分。此外，作為外加壓力差之前的預(yù)定伸長部分，通過采用具有彎曲形狀的構(gòu)造體，能充分取得伸長的長度。
實施例(實施例1)制作了圖3所示形態(tài)的電壓外加構(gòu)造、具有設(shè)置了該電壓外加構(gòu)造的圖1和圖2所示形態(tài)的真空容器的圖1所示形態(tài)的圖象顯示裝置。
使在平面上設(shè)置了陽極104的面板101和在平面上設(shè)置了陰極1001的后板102相對，在中間夾入框103和隔離塊1002，通過接合，制作了真空容器106。在該真空容器中，從真空容器內(nèi)的陰極，引出布線(未圖示)設(shè)置在后板102上，延伸到框103的外部。陰極通過在其引出布線終端電導(dǎo)通的引出電纜110，由驅(qū)動裝置150控制。此外，陽極通過用連接器(未圖示)安裝在該電壓外加構(gòu)造100上的電壓外加電纜161，由電壓外加裝置160控制。而且，對真空容器106內(nèi)的陰極和陽極能進行這些控制，構(gòu)成圖象顯示裝置105。面板101和后板102由厚度2.8mm的玻璃形成。圖象顯示裝置105的內(nèi)部是真空的，在面板101、后板102和框103的接合中使用玻璃料(未圖示)。在框103上涂敷把玻璃料用溶劑形成粘土狀的玻璃膏，使其干燥，一邊加壓一邊用爐子、420℃、30min燒結(jié)、接合。通過這樣接合，保持面板101和后板102間的密封。圖象顯示裝置105通過在陽極104上外加電壓，從后板102上的陰極向真空中發(fā)射的電子被加速，通過撞擊位于陽極上的熒光體(未圖示)，使其發(fā)光，能形成圖象。
真空容器106作為從空氣中向內(nèi)部成為真空的圖象顯示裝置105供電的供電結(jié)構(gòu)，有電壓外加構(gòu)造100。圖3表示圖1的A-A部分剖視圖。電壓從后板102的背面通過孔111外加到導(dǎo)電性構(gòu)件108上，通過低熔點材料107外加到陽極104上。
電壓外加構(gòu)造100由所述導(dǎo)電性構(gòu)件108、低熔點材料107和接合構(gòu)件109構(gòu)成。在后板上開的孔111是直徑2mm。
在導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104之間存在低熔點材料107。它具有通過使導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的緊貼性良好，使導(dǎo)電性良好的作用。作為低熔點材料，使用了低熔點的金屬材料In合金(熔點140～200℃)。在由于大氣壓而變形(伸長)的導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104之間，低熔點材料壓縮變形，緊貼在導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的表面形狀上(圖4(C))，能使電導(dǎo)通可靠性良好。
當(dāng)圖象顯示裝置105受到周圍預(yù)想以外的溫度的影響，由于熱膨脹而變形時，有時導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的緊貼性變差。這時，向?qū)щ娦詷?gòu)件108外加高頻電壓，使其發(fā)熱，通過使低熔點材料107熔化，在圖象顯示裝置105不解體的前提下，就能改善導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的緊貼性。
在導(dǎo)電性構(gòu)件108和后板102的接合中使用接合構(gòu)件109，確保真空密封。作為接合構(gòu)件109的材料，例如使用低熔點玻璃的玻璃料。預(yù)先把混合了玻璃料和溶劑的材料用分配器涂敷在導(dǎo)電性構(gòu)件108上，干燥(例如120℃，10分鐘)，進行假燒結(jié)(例如，360℃，10分鐘)。然后，在主燒結(jié)步驟(例420℃，30分鐘)中，把導(dǎo)電性構(gòu)件108放在后板102上，一邊升溫，一邊在導(dǎo)電性構(gòu)件108上作用負(fù)載，使假燒結(jié)的玻璃料熔化，取得良好的接合。
導(dǎo)電性構(gòu)件108是由直徑4mm的接合部和伸長部構(gòu)成的一體零件。材料為42Ni-6Cr-Fe合金(熱膨脹系數(shù)8.5×10-6/℃～9.8×10-6/℃)，通過與后板102中使用的玻璃(熱膨脹系數(shù)8.0×10-6/℃～9.0×10-6/℃)的熱膨脹大致一致，緩和了制作時的熱應(yīng)力。導(dǎo)電性構(gòu)件108通過接合材料109接合在后板102上。只有導(dǎo)電性構(gòu)件108和后板102間的一個地方是電壓外加構(gòu)造100的接合部，所以能抑制接合不良引起的泄漏和強度下降的概率。
把直徑約10mm、厚度0.05mm的板通過空氣吸引在模具上，通過加壓成形，能制作該導(dǎo)電性構(gòu)件108。當(dāng)從陽極104一側(cè)觀察圖象顯示裝置105時，形狀是外直徑約4mm的圓形，高度約0.7mm，后板102和面板101間的間隔長度比2mm短。如圖4A所示，把導(dǎo)電性構(gòu)件108通過接合材料109接合在后板102上。然后如圖4(b)所示，用后板102和面板101夾著框103，用玻璃料密封后板和框之間以及框和面板之間。然后，從未圖示的排氣管把后板102和面板101間抽成真空，通過密封制作了真空容器。這時，如圖4(C)所示，導(dǎo)電性構(gòu)件108由于來自孔111的大氣壓和內(nèi)部空間的壓力的壓力差，伸長到后板102和面板101間的間隔長度2mm。即通過外加壓力差，構(gòu)造體積導(dǎo)電性構(gòu)件108的形狀變形為通過低熔點材料107與陽極104接觸的形狀。
在導(dǎo)電性構(gòu)件108中，通過壓力成形進行加工，在側(cè)面的伸縮部產(chǎn)生多級凹凸形狀，能把導(dǎo)電性構(gòu)件108的大氣壓引起的變形方向控制在陽極104的方向。結(jié)果，能提高導(dǎo)電性構(gòu)件108和陽極104的導(dǎo)通可靠性。
(實施例2)本實施例中制作的真空容器和圖象顯示裝置的概要與實施例1同樣，但是電壓外加構(gòu)造替換為圖5所示的。
作為從空氣中向內(nèi)部成為真空的圖象顯示裝置105內(nèi)供電的供電結(jié)構(gòu)，有電壓外加構(gòu)造100。圖5表示實施例2中的相當(dāng)于圖1的A-A部分的剖視圖。電壓從后板102的背面通過孔111外加到導(dǎo)電性構(gòu)件208上，通過低熔點材料107外加到陽極104上。
電壓外加構(gòu)造100由所述導(dǎo)電性構(gòu)件208、低熔點材料107和接合構(gòu)件109構(gòu)成。在后板上開的孔111是直徑2mm。
在導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104之間存在低熔點材料107。它具有通過使導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104的緊貼性良好，使導(dǎo)電性良好的作用。作為低熔點材料，使用了低熔點的金屬材料Sn-Pb類結(jié)合件(熔點180～330℃)。在由于大氣壓而變形的導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104之間，低熔點材料壓縮變形，緊貼在導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104的表面形狀上，能使電導(dǎo)通可靠性良好。
當(dāng)圖象顯示裝置105受到周圍預(yù)想以外的溫度的影響，由于熱膨脹而變形時，有時導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104的緊貼性變差。這時，向?qū)щ娦詷?gòu)件208外加高頻電壓，使其發(fā)熱，通過使低熔點材料107熔化，在圖象顯示裝置105不解體的前提下，就能改善導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104的緊貼性。
在導(dǎo)電性構(gòu)件208和后板102的接合中使用接合構(gòu)件109，確保真空密封。作為接合構(gòu)件109的材料，例如使用低熔點玻璃的玻璃料。預(yù)先把混合了玻璃料和溶劑的材料用分配器涂敷在導(dǎo)電性構(gòu)件208上，干燥(例如120℃，10分鐘)，進行假燒結(jié)(例如，360℃，10分鐘)。然后，在主燒結(jié)步驟(例420℃，30分鐘)中，把導(dǎo)電性構(gòu)件208放在后板102上，一邊升溫，一邊在導(dǎo)電性構(gòu)件208上作用負(fù)載，使假燒結(jié)的玻璃料熔化，取得良好的接合。
導(dǎo)電性構(gòu)件208是由直徑4mm的接合部和伸長部構(gòu)成的一體零件。材料為47％Ni-Fe合金(熱膨脹系數(shù)7.5×10-6/℃～9×10-6/℃)，通過與后板102中使用的玻璃(熱膨脹系數(shù)8.0×10-6/℃～9.0×10-6/℃)的熱膨脹大致一致，緩和了制作時的熱應(yīng)力。導(dǎo)電性構(gòu)件208通過接合材料109接合在后板102上。只有導(dǎo)電性構(gòu)件208和后板102間的一個地方是電壓外加構(gòu)造100的接合部，所以能抑制接合不良引起的泄漏和強度下降的概率。
把直徑約10mm、厚度0.05mm的板通過空氣吸引在模具上，通過加壓成形，制作了該導(dǎo)電性構(gòu)件208。當(dāng)從陽極104一側(cè)觀察圖象顯示裝置105時，形狀是外直徑約4mm的圓形，高度約0.7mm，后板102和面板101間的間隔長度比2mm短。如圖6A所示，把導(dǎo)電性構(gòu)件208通過接合材料109接合在后板102上。然后如圖6(b)所示，用后板102和面板101夾著框103，用玻璃料密封后板和框之間以及框和面板之間。然后，從未圖示的排氣管把后板102和面板101間抽成真空，通過密封制作了真空容器。這時，如圖6(C)所示，導(dǎo)電性構(gòu)件208受到來自孔111的大氣壓的影響，伸長到后板102和面板101間的間隔長度2mm。據(jù)此，能形成通過低熔點材料107與陽極104導(dǎo)通的形狀。
在導(dǎo)電性構(gòu)件208中，通過壓力成形進行加工，不費功夫就能在側(cè)面的伸縮部產(chǎn)生多級凹凸形狀，能把導(dǎo)電性構(gòu)件208的大氣壓引起的變形方向控制在陽極104的方向。結(jié)果，能提高導(dǎo)電性構(gòu)件208和陽極104的導(dǎo)通可靠性。此外，作為導(dǎo)電性構(gòu)件208和后板102的接合部分，與通過接合材料109和后板102接合的面相反一側(cè)的面是外部氣氛，但是采用暴露在大氣壓氣氛中的結(jié)構(gòu)，采用了導(dǎo)電性構(gòu)件208的與后板102的接合部分通過大氣壓按壓在接合對象一側(cè)的后板102一側(cè)上的構(gòu)造，所以能提高接合面的真空密封性。
(實施例3)本實施例中制作的真空容器和圖象顯示裝置的概要與實施例1同樣，但是電壓外加構(gòu)造替換為圖7所示的。
作為從空氣中向內(nèi)部成為真空的圖象顯示裝置105內(nèi)供電的供電結(jié)構(gòu)，有電壓外加構(gòu)造100。圖7表示實施例3中的相當(dāng)于圖1的A-A部分的剖視圖。電壓從后板102的背面通過孔111外加到導(dǎo)電性構(gòu)件308上，通過低熔點材料107外加到陽極104上。
電壓外加構(gòu)造100由所述導(dǎo)電性構(gòu)件308、低熔點材料107和接合構(gòu)件109構(gòu)成。在后板上開的孔111是直徑2mm。
在導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104之間存在低熔點材料107。它具有通過使導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104的緊貼性良好，使導(dǎo)電性良好的作用。作為低熔點材料，使用了低熔點的金屬材料Sn-Cu合金(熔點200～350℃)。在由于大氣壓而變形的導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104之間，低熔點材料壓縮變形，緊貼在導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104的表面形狀上，能使電導(dǎo)通可靠性良好。
當(dāng)圖象顯示裝置105受到周圍預(yù)想以外的溫度的影響，由于熱膨脹而變形時，有時導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104的緊貼性變差。這時，向?qū)щ娦詷?gòu)件308外加高頻電壓，使其發(fā)熱，通過使低熔點材料107熔化，在圖象顯示裝置105不解體的前提下，就能改善導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104的緊貼性。
在導(dǎo)電性構(gòu)件308和后板102的接合中使用接合構(gòu)件109，確保真空密封。作為接合構(gòu)件109的材料，例如使用低熔點玻璃的玻璃料。預(yù)先把混合了玻璃料和溶劑的材料用分配器涂敷在導(dǎo)電性構(gòu)件308上，干燥(例如120℃，10分鐘)，進行假燒結(jié)(例如，360℃，10分鐘)。然后，在主燒結(jié)步驟(例如420℃，30分鐘)中，把導(dǎo)電性構(gòu)件308放在后板102上，一邊升溫，一邊在導(dǎo)電性構(gòu)件308上作用負(fù)載，使假燒結(jié)的玻璃料熔化，取得良好的接合。
導(dǎo)電性構(gòu)件308是由直徑4mm的接合部和伸長部構(gòu)成的一體零件。材料為48％Ni-Fe合金(熱膨脹系數(shù)8×10-6/℃～9.5×10-6/℃)，通過與后板102中使用的玻璃(熱膨脹系數(shù)8.0×10-6/℃～9.0×10-6/℃)的熱膨脹大致一致，緩和了制作時的熱應(yīng)力。導(dǎo)電性構(gòu)件308通過接合材料109接合在后板102上。只有導(dǎo)電性構(gòu)件308和后板102間的一個地方是電壓外加構(gòu)造100的接合部，所以能抑制接合不良引起的泄漏和強度下降的概率。
把直徑約9mm、厚度0.05mm的板通過空氣吸引在模具上，通過加壓成形，制作了該導(dǎo)電性構(gòu)件308。當(dāng)從陽極104一側(cè)觀察圖象顯示裝置105時，形狀是外直徑約4mm、頂端直徑0.5mm的圓形，高度約1.5mm，后板102和面板101間的間隔長度比2mm短。如圖8A所示，把導(dǎo)電性構(gòu)件308通過接合材料109接合在后板102上。然后如圖8(b)所示，用后板102和面板101夾著框103，用玻璃料密封后板和框之間以及框和面板之間。然后，從未圖示的排氣管把后板102和面板101間抽成真空，通過密封制作了真空容器。這時，如圖8(C)所示，導(dǎo)電性構(gòu)件308受到來自孔111的大氣壓的影響，伸長到后板102和面板101間的間隔長度2mm。據(jù)此，能形成通過低熔點材料107與陽極104接觸的形狀。
能減小基于導(dǎo)電性構(gòu)件308的與陽極104間的低熔點材料107的熔化面積，所以能增加基于大氣壓的作用在單位的低熔點材料107上的壓力。結(jié)果，能提高導(dǎo)電性構(gòu)件308和陽極104間的導(dǎo)通可靠性。
(實施例4)本實施例中生成的真空容器和圖象顯示裝置的概要與實施例1同樣，但是電壓外加構(gòu)造替換為圖9所示的。
作為從空氣中向內(nèi)部成為真空的圖象顯示裝置105內(nèi)供電的供電結(jié)構(gòu)，有電壓外加構(gòu)造100。圖9表示實施例4中的相當(dāng)于圖1的A-A部分的剖視圖。電壓從后板102的背面通過孔111外加到導(dǎo)電性構(gòu)件408上，通過低熔點材料107外加到陽極104上。
電壓外加構(gòu)造100由所述導(dǎo)電性構(gòu)件408、低熔點材料107和接合構(gòu)件109構(gòu)成。在后板上開的孔111是直徑2mm。
在導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104之間存在低熔點材料107。它具有通過使導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104的緊貼性良好，使導(dǎo)電性良好的作用。作為低熔點材料，使用了低熔點的金屬材料Sn-Ag合金(熔點200～350℃)，在由于大氣壓而變形的導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104之間，低熔點材料壓縮變形，緊貼在導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104的表面形狀上，能使電導(dǎo)通可靠性良好。
當(dāng)圖象顯示裝置105受到周圍預(yù)想以外的溫度的影響，由于熱膨脹而變形時，有時導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104的緊貼性變差。這時，向?qū)щ娦詷?gòu)件408外加高頻電壓，使其發(fā)熱，通過使低熔點材料107熔化，在圖象顯示裝置105不解體的前提下，就能改善導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104的緊貼性。
在導(dǎo)電性構(gòu)件408和后板102的接合中使用接合構(gòu)件109，確保真空密封。作為接合構(gòu)件109的材料，例如使用低熔點玻璃的玻璃料。預(yù)先把混合了玻璃料和溶劑的材料用分配器涂敷在導(dǎo)電性構(gòu)件408上，干燥(例如120℃，10分鐘)，進行假燒結(jié)(例如，360℃，10分鐘)。然后，在主燒結(jié)步驟(例如420℃，30分鐘)中，把導(dǎo)電性構(gòu)件408放在后板102上，一邊升溫，一邊在導(dǎo)電性構(gòu)件408上作用負(fù)載，使假燒結(jié)的玻璃料熔化，取得良好的接合。
導(dǎo)電性構(gòu)件408是由直徑4mm的接合部和伸長部構(gòu)成的一體零件。材料為Fe-Ni-Co合金(熱膨脹系數(shù)7.5×10-6/℃～9.8×10-6/℃)，通過與后板102中使用的玻璃(熱膨脹系數(shù)8.0×10-6/℃～9.0×10-6/℃)的熱膨脹大致一致，緩和了制作時的熱應(yīng)力。導(dǎo)電性構(gòu)件408通過接合材料109接合在后板102上。只有導(dǎo)電性構(gòu)件408和后板102間的一個地方是電壓外加構(gòu)造100的接合部，所以能抑制接合不良引起的泄漏和強度下降的概率。
把直徑約10mm、厚度0.15mm的板通過空氣吸引在模具上，通過加壓成形，制作了該導(dǎo)電性構(gòu)件408。當(dāng)從陽極104一側(cè)觀察圖象顯示裝置105時，形狀是外直徑約4mm的圓形，高度約0.6mm，后板102和面板101間的間隔長度比2mm短。如圖10A所示，把導(dǎo)電性構(gòu)件408通過接合材料109接合在后板102上。然后如圖10(b)所示，用后板102和面板101夾著框103，用玻璃料密封后板和框之間以及框和面板之間。然后，從未圖示的排氣管把后板102和面板101間抽成真空，通過密封制作了真空容器。這時，如圖10(C)所示，導(dǎo)電性構(gòu)件408受到來自孔111的大氣壓的影響，伸長到后板102和面板101間的間隔長度2mm。據(jù)此，能形成通過低熔點材料107與陽極104接觸的形狀。
因為在后板102的面內(nèi)方向，導(dǎo)電性構(gòu)件408為圓形，所以在圓上發(fā)生均勻的大氣壓，能把導(dǎo)電性構(gòu)件408的變形方向控制在陽極104的方向上。結(jié)果，能提高導(dǎo)電性構(gòu)件408和陽極104的導(dǎo)通可靠性。此外，因為采用了導(dǎo)電性構(gòu)件408和后板102的基于接合材料109的接合面由大氣壓按住的構(gòu)造，所以能提高接合面的真空密封性。
權(quán)利要求
1.一種密封容器的制造方法，該密封容器在彼此相對的第一襯底和第二襯底間具有比外部壓力還低的空間，包括使在成為所述空間一側(cè)的面上設(shè)置了電極的第一襯底和具有用于向所述電極供給電位的構(gòu)造體的第二襯底相對，組裝在該第一襯底和第二襯底之間具有內(nèi)部空間的容器的組裝步驟；對由所述步驟形成的容器的內(nèi)外提供壓力差的壓力差外加步驟；其中在所述壓力差外加步驟前的所述容器中，所述構(gòu)造體具有在貫通所述第二襯底的通孔部對外部氣氛開口，并且在底部封閉的凹部，在所述壓力差外加步驟中，通過提供壓力差，使所述構(gòu)造體的所述第一襯底和所述第二襯底的相對方向的長度伸長，使所述構(gòu)造體為能通過該構(gòu)造體向所述電極提供電位的形狀。
2.一種密封容器的制造方法，該密封容器在彼此相對的第一襯底和第二襯底間具有比外部壓力還低的空間，包括使在成為所述空間一側(cè)的面上設(shè)置了電極的第一襯底和具有用于向所述電極供給電位的構(gòu)造體的第二襯底相對，組裝在該第一襯底和第二襯底之間具有內(nèi)部空間的容器的組裝步驟；對由所述步驟形成的容器的內(nèi)外提供壓力差的壓力差外加步驟；在所述壓力差外加步驟前的所述容器中，所述構(gòu)造體在接合在所述第二襯底的部分和應(yīng)該與所述電極直接或間接接觸的部分之間包含具有彎曲形狀的面，在所述壓力差外加步驟中，通過向所述具有彎曲形狀的面的內(nèi)側(cè)和外側(cè)之間提供壓力差，使所述面變形，使所述構(gòu)造體成為能通過所述構(gòu)造體向所述電極提供電位的形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封容器的制造方法，其中所述構(gòu)造體的應(yīng)該與所述電極直接或間接接觸的部分和所述變形的部分是通過彎曲加工一個板狀構(gòu)件形成的部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的密封容器的制造方法，其中所述構(gòu)造體的應(yīng)該與所述電極直接或間接接觸的部分和所述變形的部分是通過彎曲加工一個板狀構(gòu)件形成的部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的密封容器的制造方法，其中所述構(gòu)造體的應(yīng)該與所述電極直接或間接接觸的部分、所述變形的部分和與所述第二襯底接合的部分是通過彎曲加工一個板狀構(gòu)件形成的部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的密封容器的制造方法，其中所述構(gòu)造體的應(yīng)該與所述電極直接或間接接觸的部分、所述變形的部分和與所述第二襯底接合的部分是通過彎曲加工一個板狀構(gòu)件形成的部分。
7.一種圖象顯示裝置的制造方法，其特征在于作為在內(nèi)部具有圖象顯示元件的密封容器的制造方法，進行權(quán)利要求1所述的密封容器的制造方法。
8.一種圖象顯示裝置的制造方法，其特征在于作為在內(nèi)部具有圖象顯示元件的密封容器的制造方法，進行權(quán)利要求2所述的密封容器的制造方法。
9.一種密封容器，具有設(shè)置了電極的第一襯底；與該第一襯底的設(shè)置了所述電極的面相對的第二襯底；接合在該第二襯底上，通過與所述電極直接或間接接觸，向所述電極提供電位的構(gòu)造體；其中所述構(gòu)造體是通過對一個板狀構(gòu)件彎曲加工，形成了通過使所述第一襯底和第二襯底間的內(nèi)部空間壓力比外部氣氛的壓力還低而變形的部分和與所述電極直接或間接接觸的部分的構(gòu)造體。
10.一種密封容器，具有設(shè)置了電極的第一襯底；與該第一襯底的設(shè)置了所述電極的面相對的第二襯底；接合在該第二襯底上，通過與所述電極直接或間接接觸，向所述電極提供電位的構(gòu)造體；其中所述構(gòu)造體在貫通所述第二襯底的通孔部接合到該第二襯底的與所述第一襯底相對的面上，并且對于相對所述第一襯底和第二襯底間構(gòu)成的內(nèi)部空間的外部氣氛，具有在所述通孔部開口，并且在底部封閉的凹部，并且，作為接合到所述第二襯底的與所述第一襯底相對的面上的部分，具有接合到所述第二襯底上的面的相反一側(cè)的面暴露在所述外部氣氛中的部分。
11.一種圖象顯示裝置，其特征在于具有權(quán)利要求9所述的密封容器和配置在該密封容器內(nèi)的圖象顯示元件。
12.一種圖象顯示裝置，其特征在于具有權(quán)利要求10所述的密封容器和配置在該密封容器內(nèi)的圖象顯示元件。
全文摘要
本申請描述密封容器及其制造方法、圖象顯示裝置及其制造方法。特別是作為密封容器內(nèi)對電極的電位供給的結(jié)構(gòu)，構(gòu)成包含具有在襯底的通孔部開口，在底部封閉的凹部的構(gòu)造體的容器，通過在容器內(nèi)外提供壓力差，使該構(gòu)造體變形，能實現(xiàn)向電極提供電位的形狀。
文檔編號H01J29/92GK1495830SQ03155379
公開日2004年5月12日 申請日期2003年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月28日
發(fā)明者上口欣也 申請人:佳能株式會社