專利名稱：圖像顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及使用電子發(fā)射元件的平板型的圖像顯示裝置。
背景技術：
近年，因為使用電子發(fā)射元件的平板顯示器節(jié)省空間并且重量輕，所以作為替換布勞恩管型顯示裝置的顯示器而受到關注。使用這樣的電子發(fā)射元件構成的平板型圖像顯示裝置是把配置了具備多個電子發(fā)射元件的電子源的背板，和具備通過從該背板上的電子發(fā)射元件發(fā)射出的電子的照射而發(fā)光的發(fā)光部件的面板隔著側壁相對配置，形成用于將內(nèi)部維持真空的外圍器(氣密容器)。
上述氣密容器的內(nèi)部保持10-4Pa左右的真空，隨著圖像顯示裝置的顯示面積的增大，需要有用于防止因氣密容器內(nèi)部和外部的氣壓差引起的背板和面板的變形或者破壞的裝置。增加背板以及面板厚度的方法不僅增加了圖像顯示裝置的重量，而且從斜向看顯示器時產(chǎn)生圖像的變形和視差。因而，通常如專利文獻1所述那樣，在面板和背板之間配置間隔物(還稱為構造支撐體或者加強筋)，使其在顯示裝置內(nèi)具有規(guī)定的占有率，由此來應對上述問題。
配置在氣密容器內(nèi)的間隔物不能對在背板和面板之間飛翔的電子軌道產(chǎn)生大的影響。對電子軌道有影響的原因是由于間隔物存在而產(chǎn)生的，因間隔物附近的靜態(tài)或者因帶電而產(chǎn)生的動態(tài)的電場變化。間隔物帶電一般認為是在電子發(fā)射元件發(fā)射出的電子的一部分或者在面板上反射的電子入射到間隔物，從間隔物發(fā)射二次電子而引起，或者因電子沖擊而電離的離子附著在表面上而引起。
因為如果間隔物帶正電，則在間隔物附近飛翔的電子被吸引到間隔物上，所以在間隔物附近的顯示圖像產(chǎn)生變形。帶電的影響隨著背板和面板間隔增大而越加顯著。
一般作為抑止帶電的方法，是對帶電面付與導電性，通過流過若干電流除去電荷。在專利文獻2中揭示了把該概念應用到間隔物上，用氧化錫覆蓋間隔物表面的方法。另外，在專利文獻3中揭示了用PdO系列玻璃材料覆蓋的方法。另外，通過在間隔物與背板及面板的抵接面上形成電極，對間隔物表面施加均勻的電場，從而可以防止因接觸不良和電流集中而引起的間隔物的破壞。
特開2000-260353號公報(USP6541900)[專利文獻2]特開昭57-118355號公報[專利文獻3]特開平3-49135號公報在以往的顯示板中，在間隔物上，雖然在面板和背板的抵接面上分別設置電極，但從構成簡單化、工藝削減等的低成本化要求出發(fā)，正在進行去掉該電極的研究?？墒?，當去掉了間隔物的電極的情況下，根據(jù)間隔物和面板，以及間隔物和背板的接觸狀況，有圖像質量惡化的現(xiàn)象。本發(fā)明人等研究后，新發(fā)現(xiàn)沒有電極的間隔物表現(xiàn)出表面的電位分布是隨機分布狀態(tài)，間隔物的帶電沒有充分降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供解決上述問題的圖像顯示裝置，更具體地說提供防止間隔物表面隨機的電位分布的發(fā)生和帶電，抑制由間隔物對畫質的影響的圖像顯示裝置。
本發(fā)明的圖像顯示裝置具有真空容器，具備具有第一電極的第一基板、具有被規(guī)定在比上述第一電極電位還高的高電位上的第二電極的第二基板；間隔物，在上述真空容器內(nèi)和上述第一基板及上述第二基板抵接配置，用基材和覆蓋該基材的比上述第一電極或者第二電極電阻還高的高電阻膜構成，其特征在于把上述真空容器的，用和上述第一基板平行的平面切割的內(nèi)部截面積設為A，把上述間隔物與第一基板接近相對的端部的總面積設為S1，把上述間隔物與第二基板接近相對的端部的總面積設為S2，把上述間隔物和上述第一電極的實際接觸面積設為s1，把上述間隔物和上述第二電極的實際接觸面積設為s2時，0.3S1≤s1≤0.003A或者0.3S2≤s2≤0.003A。


圖1A、1B是本發(fā)明的圖像顯示裝置一例的構成圖。
圖2是用于說明本發(fā)明的效果的模式圖。
圖3A、3B是本發(fā)明的間隔物的電位分布的模擬的模型概略圖。
圖4是展示圖3A、3B的間隔物表面電位分布和s1/S1以及s2/S2的關系的圖。
圖5是本發(fā)明的圖像顯示裝置一例的顯示板的立體圖。
圖6是構成本發(fā)明的圖像顯示裝置的多電子束源一例的平面圖。
圖7是在本發(fā)明的圖像顯示裝置中使用的熒光膜一例的平面模式圖。
圖8是圖5的顯示板的截面模式圖。
圖9是本發(fā)明實施例2的圖像顯示裝置的平面模式圖。
圖10是本發(fā)明實施例3的圖像顯示裝置的平面模式圖。
圖11是展示在本發(fā)明實施例1中使用的間隔物的圖。
圖12是展示在本發(fā)明實施例3中使用的間隔物的圖。
圖13A、13B是本發(fā)明實施例4中的間隔物和行方向排列的模式圖。
圖14A、14B是在本發(fā)明實施例4中使用的間隔物和行方向排列的說明圖。
具體實施例方式
用圖1A～圖4A說明作為本發(fā)明的特征的，內(nèi)部截面積和間隔物與基板的總接觸面積的比的限定。
圖1A是展示本發(fā)明的圖像顯示裝置中的平面構成的模式圖，圖1B是圖1A的1B-1B截面模式圖。圖中，1是面板(第二基板)，2是背板(第一基板)，3是側壁(框架部分)，4是間隔物，5是形成有多個電子發(fā)射元件的電子發(fā)射區(qū)域。
在本發(fā)明的圖像顯示裝置中，在作為第一基板的背板2的電子發(fā)射區(qū)域5上形成多個電子發(fā)射元件(未圖示)，在作為第二基板的面板1上配置通過照射從背板2上的電子發(fā)射元件發(fā)射的電子而發(fā)光的發(fā)光部件(通常，是熒光膜，在圖1A、1B中未圖示)。側壁3是用燒結玻璃與面板1以及背板2氣密粘接的框架部分(內(nèi)尺寸是x方向W1，y方向W2)。間隔物4是在y方向上以間隔P配置的板形狀(x方向長度L，y方向長度T)，介于面板(第二基板)和背板(第一基板)2之間，在圖像顯示裝置的內(nèi)部支撐施加在圖像顯示裝置上的因大氣壓產(chǎn)生的外力，把2塊基板間距D保持一定。
本發(fā)明人等為了實現(xiàn)面板1、背板2和間隔物4的良好的電接觸，著眼于以下方面研究了實現(xiàn)本發(fā)明的構成。
與板狀間隔物或者柱狀間隔物等的形狀和配置等有關的必要條件是間隔物4和面板1的相互接近相對的部分的總面積、間隔物4和背板2的相互接近相對的部分的總面積、間隔物4和面板1以及背板2實際接觸的實際接觸總面積的比。間隔物4如上所述，支撐相當于施加在面板1以及背板2的大氣壓P(0.1MPa)的外力。該全部負荷相當于大氣壓乘以作為圖像顯示裝置的內(nèi)部截面積的A(＝W1×W2)的負荷(P×A)。考慮多個間隔物3分散支撐該負荷。
在此，用圖2說明固體間的接觸。圖中，11、12在視覺上是表面平坦的固體，13是真實接觸點。固體的表面無論看上去是怎樣平坦的，如果細看則具有凹凸。因為該凹凸，所以作為二個固體11、12接觸部分(把它稱為實際接觸點13)的面積的實際接觸面積與接近的相對面積比非常小，因此實際接觸點13的壓力極其高。如果固體變形則復原力作用，在變形小的情況下，兩者成比例(虎克定律)。但是如果變形增大則比例關系被破壞，復原力的增加率逐漸減小，最終復原力在某一定值上達到頂點。把此時每單位面積的復原力稱為塑性流動壓力Pf?？梢哉J為在實際接觸點上達到了該塑性流動壓力。因為壓力是一定的，所以用于支撐施加在固體間的接觸面上的垂直抵抗力N的實際接觸面積增加，這是通過實際接觸面積＝垂直抵抗力N/塑性流動壓力Pf給予。即，在固體間接觸中，如果垂直抵抗力一定，則實際接觸面積不依賴于接近的相對面積，由依賴于由固體間接觸表面狀態(tài)確定的塑性流動壓力Pf的一定值給予。
如果依照以上所述，則如果把面板1和間隔物4的相互接近相對部分的總面積，以及背板2和間隔物4的相互接近相對部分的總面積設為S1以及S2，把各個實際接觸總面積設為s1以及s2，而且在接觸部分中的間隔物4和面板1以及背板2的材質大致相同的情況下，s1以及s2是不依賴于S1以及S2的一定值，由在接觸部分中的間隔物4和面板1以及背板2的柔軟一方的材質決定。
在此，間隔物4和面板1，以及間隔物4和背板2的接觸條件是間隔物4的表面的電位規(guī)定的控制性。即，在各間隔物中從電接觸的觀點出發(fā)考察了實際接觸面積相對間隔物對背板或者面板的相對面積需要什么程度的比率。因而，本發(fā)明人等進行了相對于間隔物4和面板1，以及間隔物4和背板2的接觸狀況的間隔物4的電位分布的模擬試驗。圖3A是模擬試驗的模型的概略圖，圖3B是圖3A的間隔物4的端部放大圖。圖中，31是元件電極(第一電極)，32是行方向布線。作為代表間隔物4表面電位的點，選擇間隔物4和背板2，以及間隔物4和面板1相互接近相對的區(qū)域的最外部分的電位V1。電位V1因為不僅依賴間隔物4和面板1，以及間隔物4和背板2的接觸狀況，而且還依賴間隔物4和背板2，以及間隔物4和面板1相互接近相對的區(qū)域的電阻R1和間隔物4的側面的電阻R2的比R1/R2，所以在模擬試驗中，在R1/R2＝1和R1/R2＝10的2種情況下進行。圖4是代表間隔物4表面的電位分布的，間隔物4和背板2、以及間隔物4和面板1相互接近相對的區(qū)域的最外部分的電位V1，和s1/S1以及s2/S2的關系。從該圖中得到了如下結果，即，當R1/R2＝1的情況下，若要控制間隔物4表面的電位分布，優(yōu)選電位V1的變化小的如下區(qū)域。即，s1/S1≥0.3s2/S2≥0.3該條件即使在R1/R2＞1的情況下，也是充分必要的。
進而，在施加了大氣壓的理想狀態(tài)中的，在一般材質(間隔物堿石灰玻璃、氧化鋁等的陶瓷等，面板、背板接觸部分銀、鋁、銅等)中用硬度計測定了間隔物4和面板1，以及間隔物4和背板2的實際接觸面積，結果如下s1/A≤0.003s2/A≤0.003可以證實，在這種情況下，施加了得到間隔物和面板的電極構造以及背板的電極構造的良好電接觸所必要的充分的力。
從以上可知，在圖像顯示裝置中，理想的是0.3S1≤s1≤0.003A或者0.3S≤s2≤0.003A本發(fā)明的特征是使用該范圍內(nèi)的間隔物。
具體地說，如在以下實施例中敘述的那樣，為了滿足該關系，在間隔物與背板或者與面板相對的相對面的形狀上下工夫，作為間隔物通過一邊確保能夠耐受壓曲的充分體積，一邊降低接近的相對面的總面積S1、S2，在可以滿足0.3S1(0.3S2)≤s1(s2)的同時，還可以滿足s1(s2)≤0.003A。另外，作為其他的方法，也可以在背板或者面板的相對間隔物的相對面的形狀上下工夫，滿足上述關系。
以下用圖5說明本發(fā)明的圖像顯示裝置的顯示板。圖5是本發(fā)明的圖像顯示裝置一實施方式的顯示板的立體圖，為了展示內(nèi)部構造切掉板的一部分展示。圖中，1是面板，在玻璃基板56的內(nèi)側上設置熒光膜57和金屬敷層58。51是電子源基板，具有多個電子發(fā)射元件54、行方向布線32和列方向布線52。2是背板，3是側壁，用面板1和背板2和側壁3形成用于維持顯示板的內(nèi)部真空用的氣密容器。在組裝氣密容器時，為了在各部件的接合部分上保持充分的強度和氣密性需要密封，例如在接合部分上涂抹燒結玻璃，在大氣中或者氮氣氛圍氣中，在400～500℃下燒制10分鐘以上實現(xiàn)密封。有關對氣密容器內(nèi)部抽真空的方法以后敘述。另外，因為上述氣密容器內(nèi)部被保持在10-4Pa左右的真空，所以以防止大氣壓和不注意的沖擊等引起氣密容器的破壞為目的，作為耐電壓構造體設置間隔物4。
在背板2上固定著電子源基板51，但在該基板51上形成n×m個電子發(fā)射元件54(n，m是大于等于2的正整數(shù)，與作為目的的顯示象素數(shù)相應地適宜設定。例如，在以高品位電視的顯示為目的的顯示裝置中，希望設定n＝3000，m≥1000的數(shù)。)。上述n×m個電子發(fā)射元件通過m條行方向布線32和n條的列方向布線52布線成單純矩陣。把用上述電子源基板51、電子發(fā)射元件54、行方向布線32、列方向布線52構成的部分稱為多電子束源。
在本發(fā)明的圖像顯示裝置中使用的多電子束源只要是對電子發(fā)射元件54進行單純布線的電子源，則電子發(fā)射元件54的材料和形狀或者制作方法沒有限制。因而，例如可以使用面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件和FE型，或者MIM型等的冷陰極元件。
以下，用圖6說明作為電子發(fā)射元件54而把面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件排列在基板51上進行單純矩陣布線的多電子束源的構造。圖中，60是層間絕緣層，61是元件電極，64是導電薄膜，65是電子發(fā)射單元。
圖6是在圖5的顯示板中使用的多電子束源一例的平面模式圖。在電子源基板51上排列面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件，這些元件用行方向布線32和列方向布線52布線成單純矩陣形。在行方向布線32的下部形成層間絕緣層60，保持和列方向布線52之間的電絕緣。
上述那樣構造的多電子束源如下制作。即，預先在基板51上形成行方向布線32、列方向布線52、電極間絕緣層60，以及面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件的元件電極31、61和導電薄膜64后，經(jīng)由行方向布線32以及列方向布線52向各元件供電，通過進行通電成形處理和通電激活處理，形成電子發(fā)射單元65。
在本實施方式中，設置成在氣密容器的背板2上固定多電子束源基板51的構造，但當多電子束源的基板51具有充分強度的情況下，作為氣密容器的背板2也可以使用多電子束源的基板51自身。
圖7是作為面板1的構成部件的熒光膜57一例的平面模式圖，圖中，71是黑色導電材料，72是熒光體。
另外，在熒光膜57的背板2一側的面上，設置在CRT領域中公知的金屬敷層(第2電極)58。
另外，雖然在本形態(tài)中未使用，但以加速電壓的施加用和熒光膜的導電性提高為目的，在玻璃基板56和熒光膜57之間也可以例如設置以ITO為材料的透明電極。
圖8是在圖5的顯示板中，通過與行方向布線32連接的元件電極31的Y方向的截面模式圖。圖中，81是絕緣基板，82是高電阻膜。
在本發(fā)明中使用的間隔物是用比上述第一電極或者第二電極還高的高電阻膜覆蓋基材而形成的，該高電阻膜的薄膜電阻理想的是107～1014Ω/□。
為了間隔物4的表面上的電位規(guī)定，以及帶電防止的提高，本實施例的間隔物4，在絕緣基板81的表面上形成了高電阻膜82。間隔物4只設置了實現(xiàn)防止因大氣壓或者不注意的沖擊等引起的氣密容器的破壞的目的所必要的數(shù)，并且以必要的間隔設置。在此說明的形態(tài)中，間隔物4的形狀設置成薄板形，與行方向布線32平行配置，與行方向布線32電連接。
作為間隔物4，優(yōu)選具有能耐受施加在基板51上的行方向布線32以及列方向布線52和面板1內(nèi)面的金屬敷層58之間的高電壓的絕緣性，并且具有防止間隔物4的表面帶電的導電性。這是因為如果間隔物4帶電，則因為飛翔在間隔物4附近的電子被吸引到間隔物4上，所以在間隔物4附近在顯示圖像上產(chǎn)生失真的緣故。
作為間隔物4的絕緣基板81例如可以列舉石英玻璃、減少了Na等的雜質含量的玻璃、堿石灰玻璃、氧化鋁等的陶瓷部件等。進而，絕緣基板81優(yōu)選熱膨脹系率接近構成氣密容器以及基板51的部件。
在形成于絕緣基板81表面上的高電阻膜82上流過用高電阻膜82的電阻值Rs除被施加在高電位一側的面板(金屬敷層58等)1上的加速電壓Va的電流。因而，高電阻膜82的電阻值Rs在從帶電防止以及消耗電力方面看被設定在其希望的范圍。從帶電防止的觀點出優(yōu)選高電阻膜82的薄膜電阻R/□小于等于1014Ω。為了得到充分的帶電防止效果，小于等于1013Ω更理想。薄膜電阻的下限取決于間隔物的形狀和施加在間隔物間的電壓，理想的是大于等于107Ω。
形成在絕緣基板81上的高電阻膜82的厚度希望在10nm～1μm的范圍。根據(jù)材料的表面能量以及絕緣基板81的密實性和基板溫度而不同，但一般小于等于10nm的薄膜被形成島狀，電阻不穩(wěn)定，重現(xiàn)性差。另一方面膜厚度若大于等于1μm，則因為膜應力增大，膜剝離的危險性高，并且成膜時間長，所以生產(chǎn)性差。因而，希望膜厚度是50～500nm。
薄膜電阻R/□是ρ/t，從以上敘述的R/□和膜厚度理想的范圍出發(fā)，高電阻膜82的電阻率ρ理想的是0.1～108Ω·cm。進而為了實現(xiàn)表面電阻和膜厚度更理想的范圍，最好ρ是102～106Ω·cm。
作為高電阻膜82的材料，優(yōu)選金屬氧化物。而且在金屬氧化物中，鉻、鎳、銅等的氧化物是理想的材料。其原因一般認為是這些氧化物二次電子發(fā)射效率比較小，即使從電子發(fā)射元件發(fā)射出的電子打在間隔物4上也難以帶電的緣故。在金屬氧化物以外，碳二次電子發(fā)射效率也小，也是理想的材料。特別是因為非晶碳是高電阻，所以容易把間隔物4的電阻控制在所希望的值。
但是，上述金屬氧化物，或者碳因為其電阻值作為高電阻膜82調(diào)整到所希望的范圍困難，電阻容易隨氛圍氣體變化，所以只用這些材料缺乏電阻的控制性。鋁和過渡性金屬合金的氮化物通過調(diào)整過渡性金屬的組成，可以在從良導體到絕緣體的寬范圍中控制電阻值。進而，在后述的顯示裝置制作工序中是電阻值變化少的穩(wěn)定的材料。并且，該電阻溫度系數(shù)不足-1％，是實用中容易使用的材料。作為過渡性金屬元素可列舉Ti、Cr、Ta。
在圖5中，Dx1～Dxm以及Dy1～Dyn以及Hv是用于電連接該顯示板和未圖示的電電路而設置的氣密構造的電連接用端子。Dx1～Dxm和多電子束源的行方向布線32電連接，Dy1～Dyn和多電子束源的列方向布線52電連接，Hv和面板1的金屬敷層58電連接。
另外，為了將氣密容器內(nèi)抽真空，在組裝氣密容器后，連接未圖示的排氣管和真空泵，把氣密容器內(nèi)排氣到10-5Pa左右的真空度。其后，密封排氣管，但為了維持氣密容器內(nèi)的真空度，在密封之前或者密封后在氣密容器內(nèi)的規(guī)定位置上形成吸氣劑膜(未圖示)。所謂吸氣劑膜是通過用加熱器或者通過高頻加熱加熱例如以Ba為主要成分的吸氣劑材料而蒸鍍形成的膜，用該吸氣劑膜的吸附作用把氣密容器內(nèi)維持1×10-3～1×10-5Pa的真空度。
使用以上說明的顯示板的圖像顯示裝置如果通過容器外端子Dx1～Dxm、Dy1～Dym向各電子發(fā)射元件54施加電壓，則從各電子發(fā)射元件54發(fā)射電子。與此同時通過容器外端子Hv向金屬敷層58施加數(shù)百V～數(shù)kV的高壓，加速上述發(fā)射的電子，撞擊面板1的內(nèi)面。由此，形成熒光膜57的各顏色的熒光體被激勵發(fā)光，顯示圖像。
通常，對電子發(fā)射元件54的施加電壓是12～16V左右，金屬敷層58和電子發(fā)射元件54的距離是0.1～8mm左右，金屬敷層58和電子發(fā)射元件54之間的電壓是0.1～10kV左右。
以下，列舉實施例進一步詳細說明本發(fā)明。
在以下敘述的各實施例中，作為多電子束源，使用如上所述的，把在元件電極間的導電薄膜上具有電子發(fā)射單元類型的n×m個(n＝480，m＝100)的面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件，通過m條的行方向布線和n條的列方向布線進行矩陣布線的多電子束源。
在本實施例中，形成圖1A所示構成的圖像顯示裝置。作為圖8所示的間隔物4的絕緣性基體81，如圖11所示，準備了長108mm、寬2mm、厚0.26mm的、和背板材質相同的玻璃，并把端部切掉寬0.03mm，高0.03mm。(圖8是概略截面圖，間隔物的形狀請參照圖11)。作為高電阻膜82，通過使用濺射裝置在氬氣和氮氣的混和氛圍中同時濺射W和Ge靶，堆積厚度200nm的W和Ge的氮化膜。制成的W和Ge的氮化膜的電阻率是5.0×105Ω·m。
面板1的厚度T1＝2.8mm，背板2的厚度T2＝2.8mm，基板間隔D＝2mm。側壁3的內(nèi)尺寸是X方向為W1＝112mm，Y方向為W2＝72mm。側壁3和面板1以及背板2用燒結玻璃(未圖示)氣密粘接。間隔物4在Y方向上以間隔P1＝20mm均勻配置，條數(shù)是2條。用這些構成部件構成圖像顯示裝置。
用圖5、圖6詳細說明在本實施例中的顯示板的制作。首先，預先把形成有行方向布線32、列方向布線52、層間絕緣層60以及面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件的元件電極31、61和導電薄膜64的基板51固定在背板2上。接著，把上述間隔物4在基板51的行方向布線32(線寬度＝300μm)上以等間隔，與行方向布線32平行固定。其后，在基板51的2mm上方在內(nèi)面上把熒光膜57和附設有金屬敷層58的面板1隔著側壁3配置，固定背板2、面板1，以及側壁3的各接合部分。將基板51和背板2的接合部分、背板2和側壁的接合部分，以及面板1和側壁3的接合部分涂抹燒結玻璃(未圖示)，在大氣中在400℃～500℃下燒制10分鐘以上密封。
另外，在本實施例中，熒光膜57如圖7所示，采用各顏色熒光體72在列方向(Y方向)延伸的條狀形狀，黑色導電材料71使用不僅將各顏色熒光體(R，G，B)72之間分離而且還將Y方向的各象素間分離的熒光體膜57，間隔物4在與行方向(X方向)平行的黑色導電材料71區(qū)域(線寬度＝300μm)內(nèi)隔著金屬敷層58配置。而且，在進行上述的密封時，因為必須使各顏色熒光體72和配置在基板51上的各電子發(fā)射元件54對應，所以背板2、面板1被充分對齊。
通過排氣管(未圖示)用真空泵排氣如上所述那樣完成的氣密容器內(nèi)，在達到充分的真空度后，通過容器外部端子Dx1～Dxm和Dy1～Dyn，經(jīng)由行方向布線32以及列方向布線52向各電子發(fā)射元件54供電，通過進行上述通電成形處理和通電激活處理，制造了多電子束源。
其次，在10-4Pa左右的真空度下，通過用氣體燃燒器加熱未圖示的排氣管進行熔接，以進行外圍器(氣密容器)的密封。最后，為了維持密封后的真空度，進行吸氣劑處理。
在以上那樣完成的圖像顯示裝置中，在各電子發(fā)射元件54上，通過容器外部端子Dx1～Dxm、Dy1-Dyn，用未圖示的信號發(fā)生裝置分別施加掃描信號以及調(diào)制信號以發(fā)射電子，在金屬敷層58上通過經(jīng)由高壓端子Hv施加高壓加速發(fā)射電子束，使電子向熒光膜57撞擊，通過使各顏色熒光體72(圖7的R，G，B)激勵發(fā)光以顯示圖像。另外，對高壓端子Hv的施加電壓Va是3～10kV，對各布線32、52之間的施加電壓Vf是14V。
在本例子中，S1以及S2＝(0.26-0.03×2)×108×2＝43.2mm2A＝112×72＝8064mm2s1以及s2＝13.883520.3S1＝12.96≤s1＝s2＝13.88352≤0.003A＝24.192，是作為間隔物在具有可以得到壓曲強度的充分體積的同時，可以得到間隔物和面板以及背板的充分電連接的，所希望構成的圖像顯示裝置。因而，還包含由來自在間隔物4附近位置上的電子發(fā)射元件54的發(fā)射電子產(chǎn)生的發(fā)光點，形成2維狀等間隔的發(fā)光點列，可以以鮮明的顏色實現(xiàn)再現(xiàn)性好的彩色圖像顯示。
對于本發(fā)明的實施例2，只說明和實施例1不同之處。
圖9展示本實施例的圖像顯示裝置的平面模式圖。圖中的符號表示和圖1相同的部件。本例子和實施例1不同之處在于間隔物4的形狀是柱狀。通過這樣構成，可以一致地配置間隔物4，具有使抵接狀態(tài)穩(wěn)定，可以高精度地控制電子束達到位置的效果。
在本實施例中，作為間隔物4，準備504條如下的玻璃。即，在間隔物的中央部分(面板和背板間的中央)用和面板平行的平面切斷的截面為0.26mm×0.46mm的長方形，并且在間隔物的與面板或者背板接近相對的端部上，用和面板平行的平面切斷的截面是0.2mm×0.4mm的長方形，高度為2mm，且與背板材質相同，而且相鄰的間隔物4之間的間隔縱橫都是4mm。
在本例子中，S1以及S2＝(0.26-0.03×2)×(0.46-0.03×2)×504＝40.32mm2A＝112×72＝8064mm2s1以及s2＝13.883520.3S1＝12.096≤s1＝s2＝13.88352≤0.003A＝24.192是作為間隔物在具有可以得到壓曲強度的充分體積的同時，可以得到間隔物和面板以及背板的充分電連接的，理想構成的圖像顯示裝置。因而，還包含來自在間隔物4附近的位置上的電子發(fā)射元件54的發(fā)射電子產(chǎn)生的發(fā)光點，形成2維狀等間隔的發(fā)光點列，可以以鮮明的顏色實現(xiàn)再現(xiàn)性好的彩色圖像顯示。
對于本發(fā)明的實施例3，只說明和實施例2不同之處。
圖10展示本實施例的圖像顯示裝置的平面模式圖。圖中的符號表示和圖1相同的部件。本例子和實施例2不同之處在于間隔物4的形狀是圓柱。通過這樣構成，可以一致地配置間隔物4，具有使抵接狀態(tài)穩(wěn)定，可以高精度地控制電子束達到位置的效果。進而，由于截面是圓形，因為沒有多角柱那樣的旋轉依賴性，所以具有組裝容易的優(yōu)點。
在本實施例中，作為圖12所示形狀的間隔物4，準備504條如下的圓柱形玻璃，即，在間隔物的中央部分(面板和背板間的中央)用和面板平行的平面切斷的截面直徑為0.29mm，并且在間隔物的與面板或者背板接近相對的端部上用和面板平行的平面切斷的截面直徑是0.25mm，高度為2mm，且與背板材質相同。而且相鄰的間隔物之間的間隔縱橫都是4mm。
在本例子中，S1以及S2＝(0.25/2)～2×π×504＝24.74mm2A＝112×72＝8064mm2s1以及s2＝13.883520.3S1＝7.42≤s1＝s2＝13.88352≤0.003A＝24.192是作為間隔物在具有可以得到壓曲強度的充分體積的同時，可以得到間隔物和面板以及背板的充分電連接的，所希望構成的圖像顯示裝置。因而，還包含來自在間隔物4附近的位置上的電子發(fā)射元件54的發(fā)射電子產(chǎn)生的發(fā)光點，形成2維狀等間隔的發(fā)光點列，可以以鮮明的顏色實現(xiàn)再現(xiàn)性好的彩色圖像顯示。
對于本發(fā)明的實施例4，只說明和實施例1不同之處。
圖13A是適宜展示本例子的圖，圖13B是圖13A的13B-13B截面模式圖。和實施例1不同的是間隔物4相接的背板2上的行方向布線32在間隔物4的抵接面上具有凹凸。通過這樣構成，不進行加工困難的間隔物的加工，就可以減少間隔物4和行方向布線32接近相對的面積。
在本例子中，如圖14A、14B所示，作為間隔物4的絕緣基板81，準備長度108mm、寬度2mm、厚度0.26mm的和背板2材質相同的玻璃，作為行方向布線32，其構成是具有540個寬度300μm，間隔120μm、長度80μm、深度2～3μm的凹部。
在本例子中，S1以及S2＝0.26×(108-540×0.08)×3＝50.5mm2A＝112×72＝8064mm2s1以及s2＝13.883520.3S1＝7.42≤s1＝s2＝13.88352≤0.003A＝24.192是作為間隔物在具有可以得到壓曲強度的充分體積的同時，可以得到間隔物和面板以及背板的充分電連接的，所希望構成的圖像顯示裝置。因而，還包含來自在間隔物4附近的位置上的電子發(fā)射元件54的發(fā)射電子產(chǎn)生的發(fā)光點，形成2維狀等間隔的發(fā)光點列，可以以鮮明的顏色實現(xiàn)再現(xiàn)性好的彩色圖像顯示。
另外，將本實施例的背板構造和上述實施例1～3的間隔物進行組合也可以得到同樣的效果。
如果采用本發(fā)明，則在可以用通過充分的體積得到的具有充分壓曲強度的間隔物良好保持內(nèi)部的耐大氣壓構造的同時，用高電阻膜覆蓋的間隔物和第一電極以及第二電極的電連接良好，從而還可以防止因該間隔物引起的對畫質的影響。因而，本發(fā)明的圖像顯示裝置與以往相比可以提供高畫質的圖像。
權利要求
1.一種圖像顯示裝置，具有真空容器，具備具有第一電極的第一基板、具有被規(guī)定在比上述第一電極電位還高的高電位上的第二電極的第二基板；間隔物，在上述真空容器內(nèi)被配置成和上述第一基板及上述第二基板抵接，用基材和覆蓋該基材的比上述第一電極或者第二電極電阻還高的高電阻膜構成，其特征在于把上述真空容器的，用和上述第一基板平行的平面切割的內(nèi)部截面積設為A，把上述間隔物與第一基板接近相對的端部的總面積設為S1，把上述間隔物與第二基板接近相對的端部的總面積設為S2，把上述間隔物和上述第一電極的實際接觸面積設為s1，把上述間隔物和上述第二電極的實際接觸面積設為s2時，0.3S1≤s1≤0.003A或者0.3S2≤s2≤0.003A。
2.如權利要求1所述的圖像顯示裝置，其中，上述高電阻膜的薄膜電阻是107～1014Ω/□。
3.如權利要求1所述的圖像顯示裝置，其中，上述第1基板具有多個電子發(fā)射元件。
4.如權利要求3所述的圖像顯示裝置，其中，上述第一電極是與上述電子發(fā)射元件連接的布線，上述間隔物被配置在上述布線上。
全文摘要
提供一種對畫質沒有影響，把間隔物放置在面板和背板之間，實施了顯示板內(nèi)的耐大氣壓對策的圖像顯示裝置。圖像顯示裝置的真空容器內(nèi)具有與第一基板和第二基板抵接配置，用基材和覆蓋該基材的比第一電極或者第二電極電阻還高的高電阻膜構成的間隔物，其特征在于把上述真空容器的，以和上述第一基板平行的平面切出的內(nèi)部截面積設為A，把上述間隔物的與第一基板接近相對的端部的總面積設為S1，把上述間隔物與第二基板接近相對的端部的總面積設為S2，把上述間隔物和上述第一電極的實際接觸面積設為s1，把上述間隔物和上述第二電極的實際接觸面積設為s2時，0.3S1≤s1≤0.003A或者0.3S2≤s2≤0.003A。
文檔編號H01J31/12GK1705072SQ20051007422
公開日2005年12月7日 申請日期2005年5月31日 優(yōu)先權日2004年6月1日
發(fā)明者羽山彰, 廣池太郎 申請人:佳能株式會社