專利名稱：圖像顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種自發(fā)光平板式圖像顯示裝置，特別涉及將薄膜式電子源排列成矩陣狀的圖像顯示裝置。
背景技術(shù)：
作為具有配置成矩陣狀的電子源的自發(fā)光式平板顯示器(FPD)之一，已知有利用微小、能集成的冷陰極的場致發(fā)射式圖像顯示裝置(FEDField Emission Display)和電子發(fā)射式圖像顯示裝置。在這些冷陰極中有spindt式電子源，表面?zhèn)鲗?dǎo)式電子源，碳鈉米管式電子源，層疊了金屬-絕緣體-金屬的MIM(Metal-Insulator-Metal)式、層疊了金屬-絕緣體-半導(dǎo)體的MIS(Metal-Insulator-Semiconductor)式、或金屬-絕緣體-半導(dǎo)體-金屬式等薄膜式電子源等。
關(guān)于MIM式電子發(fā)射元件，已知有例如專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2所公開的元件。另外，關(guān)于金屬-絕緣體-半導(dǎo)體式電子源，已知有非專利文獻(xiàn)1所報(bào)告的MOS式，關(guān)于金屬-絕緣體-半導(dǎo)體-金屬式電子源，已知有非專利文獻(xiàn)2等所報(bào)告的HEED式電子源、非專利文獻(xiàn)3等所報(bào)告的EL式電子源、非專利文獻(xiàn)4等所報(bào)告的多孔硅式電子源等。
自發(fā)光式FPD具有顯示板，該顯示板由具有上述那樣的電子源的背板、具有熒光體層和施加用于使從電子源發(fā)射的電子轟擊該熒光體層的加速電壓的陽極的前板、以及將兩塊板相對的內(nèi)部空間密封成預(yù)定的真空狀態(tài)的密封框構(gòu)成。背板具有在背面基板上形成的上述電子源，前板具有在前面基板上形成的熒光體層、以及用于形成使從電子源發(fā)射的電子轟擊熒光體層的電場的施加加速電壓的陽極。在該顯示板上組合驅(qū)動(dòng)電路，構(gòu)成自發(fā)光式FPD。
各個(gè)電子源和對應(yīng)的熒光體層成對地構(gòu)成單位像素。通常，由紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)三色的單位像素構(gòu)成一個(gè)像素(彩色像素，像素)。另外，在彩色像素的情況下，單位像素也被稱為副像素(sub-pixel)。
背板和前板的間隔用被稱為隔壁的部件保持為預(yù)定的間隔。該隔壁由板狀體構(gòu)成，通常每隔多個(gè)像素設(shè)置在不妨礙像素的動(dòng)作的位置上，該板狀體由玻璃或陶瓷等絕緣材料或有若干導(dǎo)電性的部件形成。
日本特開平7-65710號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]日本特開平10-153979號(hào)公報(bào)[非專利文獻(xiàn)1]J.Vac.Sci.Techonol.B11(2)p.429-432(1993)[非專利文獻(xiàn)2]high-efficincy-electro-emission device，Jpn.J.Appl.Phys.Vol36，pL939[非專利文獻(xiàn)3]Electroluminescence，(日本)應(yīng)用物理第63卷，第6號(hào)，592頁[非專利文獻(xiàn)4](日本)應(yīng)用物理第66卷，第5號(hào)，437頁發(fā)明內(nèi)容背板具有絕緣材料的背面基板，在該背面基板上形成有在一個(gè)方向延伸、在與該一個(gè)方向正交的另一方向并列設(shè)置，在上述另一方向被依次施加掃描信號(hào)的多條掃描信號(hào)布線。另外，在該背面基板上還形成有在上述另一方向延伸并與上述掃描信號(hào)布線交叉地并列設(shè)置在上述一個(gè)方向上的多條圖像信號(hào)布線。上述電子源設(shè)置在掃描信號(hào)布線和圖像信號(hào)布線的各交叉部附近，掃描信號(hào)布線和電子源用供電電極連接，從掃描信號(hào)布線向電子源提供電流。
在背板的背面基板上使多條掃描信號(hào)布線在一個(gè)方向(橫向、水平方向)延伸，在與一個(gè)方向正交的另一方向(縱向、垂直方向)并列設(shè)置的掃描信號(hào)布線之上、并且是在該掃描信號(hào)布線的延伸方向上設(shè)置有隔壁，在由這樣的背板構(gòu)成的自發(fā)光式FPD的情況下，當(dāng)在另一方向依次將垂直掃描信號(hào)施加給并列設(shè)置的掃描信號(hào)布線時(shí)，有時(shí)發(fā)生以下用圖9、圖10說明的現(xiàn)象。
圖9是表示自發(fā)光式FPD的背板的結(jié)構(gòu)的示意圖。在圖中未示出的背面基板上多條圖像信號(hào)布線d1、d2、...dn在y方向延伸、在x方向并列設(shè)置。而且，與該圖像信號(hào)布線交叉的多條掃描信號(hào)布線(垂直掃描布線)s1、s2、s3、...sm在x方向延伸、在y方向并列設(shè)置。對于各掃描信號(hào)布線s1、s2、s3、...sm，各連接1行電子源ELS，圖像信號(hào)從圖像信號(hào)布線施加給電子源ELS，該電子源ELS連接在通過沿垂直掃描方向VS依次掃描來選擇的掃描信號(hào)布線上。從掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路(掃描驅(qū)動(dòng)器)SDR向各掃描信號(hào)布線s1、s2、s3、...sm提供掃描信號(hào)，從圖像信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路(數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器)DDR向各圖像信號(hào)布線d1、d2、...dn提供圖像信號(hào)。
在掃描信號(hào)布線之上，在其延伸方向(x方向)，朝前板方向、即在z向豎立設(shè)置有隔壁SPC。雖然也可以考慮在全部掃描信號(hào)布線之上設(shè)置隔壁SPC，但實(shí)際上是每隔多條掃描信號(hào)布線來設(shè)置。另外，從制造的容易性來考慮，該隔壁SPC最好是沿掃描信號(hào)布線分割成幾個(gè)來設(shè)置，而不是一個(gè)。在圖9中，示出的是隔壁SPC在掃描信號(hào)布線s2之上分割設(shè)置成兩個(gè)。
圖10是在圖9中的y方向剖開的概略側(cè)視圖，是說明隔壁的豎立狀態(tài)和從電子源發(fā)射的電子的動(dòng)作的圖。另外，在圖10中還與背板PNL1一起示出了前板PNL2。在背板PNL1的內(nèi)面上形成有圖像信號(hào)布線d(d1、d2、...dn)，在其上中間隔著絕緣膜(圖中未示出)交叉地形成有掃描信號(hào)布線s(s1、s2、s3、...sm)。在圖10中，在掃描信號(hào)布線s2之上有隔壁SPC，相對于該隔壁SPC在垂直掃描方向VS的上游側(cè)，設(shè)置有電子源ELS(ELS2)，由連接電極ELC(ELC2)從掃描信號(hào)布線s2供電。
在前板PNL2的內(nèi)面上設(shè)置有陽極電極AD，對從電子源ELS(ELS1、ELS2、ELS3、...)發(fā)射的電子e-進(jìn)行加速，轟擊構(gòu)成對應(yīng)的副像素的熒光體層PH(PH1、PH2、PH3、...)。由此，該熒光體層PH(PH1、PH2、PH3、...)以預(yù)定色光發(fā)光，與其它副像素的熒光體的發(fā)光色混合，構(gòu)成預(yù)定色的彩色像素。
在圖10中，電子源ELS2為了與掃描信號(hào)布線s2進(jìn)行電連接，配置得與掃描信號(hào)布線s1(圖10中電子源ELS2的左側(cè))相比更接近掃描信號(hào)布線s2(圖10中電子源ELS2的右側(cè))。
在這樣的隔壁的配置中，從垂直掃描方向VS看過去，從緊靠在隔壁SPC之前配置的電子源ELS2發(fā)射的電子e-的一部分使該隔壁SPC帶電。該帶電使從相對于該隔壁SPC位于垂直掃描方向VS的下游的電子源ELS3發(fā)射的電子的軌道彎曲，不能使足夠的電子轟擊該熒光體層，有時(shí)激勵(lì)不充分。其結(jié)果是，亮度不足，色再現(xiàn)性劣化。圖10中示出了隔壁帶負(fù)電的情況，但不言而喻，帶正電的情況也一樣。
本發(fā)明的目的在于提供一種避免由從電子源發(fā)射的電子的一部分使隔壁帶電引起的對電子軌道的影響，防止熒光體層的激勵(lì)不足引起的亮度不足，提高色再現(xiàn)性的圖像顯示裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的圖像顯示裝置的特征在于具有從掃描信號(hào)布線通過供電電極被提供電流的電子源，并且具有在該掃描信號(hào)布線之上、而且是沿該掃描信號(hào)布線設(shè)置的隔壁；相對于隔壁，將從該掃描信號(hào)布線供電的電子源配置在垂直掃描方向的下游側(cè)。
由于設(shè)置了隔壁的掃描信號(hào)布線配置得與位于緊鄰該隔壁的上游的電子源相比，更接近位于緊鄰該隔壁的下游的電子源，所以從位于該下游的電子源發(fā)射的電子容易使隔壁帶電。
在來自位于緊鄰該隔壁的下游的電子源的電子使該隔壁帶電的情況下，在1個(gè)垂直掃描期間(1幀期間)后，成為電子軌道因該帶電而受到影響的電子源。由于該帶電在1幀期間內(nèi)逐漸放電，所以對從離隔壁最近的上游的電子源發(fā)射的電子的軌道的影響極小，從而能實(shí)現(xiàn)減輕亮度不足、提高了色再現(xiàn)性的圖像顯示裝置。


圖1是說明實(shí)施例1的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。
圖2是表示實(shí)施例1的自發(fā)光式FPD的背板的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖3是說明提供給掃描信號(hào)布線的垂直掃描信號(hào)的時(shí)序的圖。
圖4是說明沿圖2中的y方向剖開后隔壁的豎立狀態(tài)和從電子源發(fā)射的電子的動(dòng)作的圖。
圖5A、圖5B及圖5C是說明實(shí)施例1中的構(gòu)成一個(gè)彩色像素的電子源的一例的圖。
圖6是應(yīng)用了本發(fā)明的結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置的等效電路例的說明圖。
圖7是表示構(gòu)成平板式圖像顯示裝置的顯示板的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖8是圖7的剖面圖。
圖9是表示自發(fā)光式FPD的背板的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖10是說明是沿圖9中的y方向剖開后隔壁的豎立狀態(tài)和從電子源發(fā)射的電子的動(dòng)作的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照實(shí)施例的附圖詳細(xì)說明本發(fā)明。
圖1是說明實(shí)施例1的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。在構(gòu)成背板的背面基板SUB1的內(nèi)面上形成有圖像信號(hào)布線d(d1、d2、d3、...dn)，在其上中間隔著絕緣膜(圖中未示出)交叉地形成有掃描信號(hào)布線s(s1、s2、...sm)。在圖1中，在掃描信號(hào)布線s1之上有隔壁SPC，相對于該隔壁SPC在垂直掃描方向VS的下游側(cè)設(shè)置有電子源ELS，由連接電極ELC從掃描信號(hào)布線s(s1、s2、...sm)供電。
在構(gòu)成前板的前面基板SUB2的內(nèi)面上設(shè)置有陽極電極AD，在該陽極電極AD之上形成有熒光體層PH(PH(R)、PH(G)、PH(B))。在該結(jié)構(gòu)中，用遮光層(黑矩陣)BM對熒光體PH(PH(R)、PH(G)、PH(B))進(jìn)行了劃分。另外，陽極電極AD雖然是作為整個(gè)電極示出的，但也可以采用與掃描信號(hào)布線s(s1、s2、...sm)交叉、按每個(gè)像素列分割成的條狀電極。對從電子源ELS發(fā)射的電子進(jìn)行加速，然是作為整個(gè)電極示出的，但也可以采用與掃描信號(hào)布線s(s1、s2、...sm)交叉、按每個(gè)像素列分割成的條狀電極。對從電子源ELS發(fā)射的電子進(jìn)行加速，轟擊構(gòu)成對應(yīng)的副像素的熒光體層PH(PH(R)、PH(G)、PH(B))。由此，該熒光體層PH以預(yù)定色光發(fā)光，與其它副像素的熒光體的發(fā)光色混合，形成預(yù)定色的彩色像素。
圖2是表示實(shí)施例1的FPD的背板的結(jié)構(gòu)的示意圖。在圖中未示出的背面基板之上，多條圖像信號(hào)布線d1、d2、...dn在y方向延伸、在x方向并列設(shè)置。而且，多條掃描信號(hào)布線(垂直掃描布線)s1、s2、s3、...sm與該圖像信號(hào)布線交叉地在x方向延伸、在y方向并列設(shè)置。對于各掃描信號(hào)布線s1、s2、s3、...sm，各連接1行電子源ELS，圖像信號(hào)從圖像信號(hào)布線施加給電子源ELS，該電子源ELS連接在通過沿垂直掃描方向VS依次掃描來選擇的掃描信號(hào)布線上。從掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路(掃描驅(qū)動(dòng)器)SDR向各掃描信號(hào)布線s1、s2、s3、...sm提供掃描信號(hào)，從圖像信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路(數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器)DDR向各圖像信號(hào)布線d1、d2、...dn提供圖像信號(hào)。
在掃描信號(hào)布線s2之上，在其延伸方向(x方向)，朝前板方向、即在z向豎立地設(shè)置有隔壁SPC。雖然也可以考慮在全部掃描信號(hào)布線之上設(shè)置隔壁SPC，但實(shí)際上是每隔多條掃描信號(hào)布線進(jìn)行設(shè)置。另外，從制造的容易性來考慮，該隔壁SPC最好是沿掃描信號(hào)布線分割成幾個(gè)來設(shè)置，而不是一個(gè)。在圖2中，示出的是隔壁SPC在掃描信號(hào)布線s2之上分割設(shè)置成兩個(gè)。
圖3是說明提供給掃描信號(hào)布線的垂直掃描信號(hào)的時(shí)序的圖。垂直掃描信號(hào)沿圖2中的掃描方向VS依次施加給掃描信號(hào)布線s1、s2、s3、...sm，并在1幀期間內(nèi)輪一次。
圖4是沿圖2中的y方向剖開的概略側(cè)視圖，是說明隔壁的豎立狀態(tài)和從電子源發(fā)射的電子的動(dòng)作的圖。另外，在圖4中還與背板PNL1一起示出了前板PNL2。在背板PNL1的內(nèi)面上形成有圖像信號(hào)布線d(d1、d2、...dn)，在其上中間隔著絕緣膜(圖中未示出)交叉地形成有掃描信號(hào)布線s(s1、s2、s3、...sm)。在圖4中，在掃描信號(hào)布線s2之上有隔壁SPC，相對于該隔壁SPC在垂直掃描方向VS的下游側(cè)，設(shè)置有電子源ELS2，通過連接電極ELC2從掃描信號(hào)布線s2供電。
在前板PNL2的內(nèi)面上設(shè)置有陽極電極AD，對從電子源ELS(ELS1、ELS2、ELS3、...)發(fā)射的電子e-進(jìn)行加速，轟擊構(gòu)成對應(yīng)的副像素的熒光體層PH(PH1、PH2、PH3、...)。由此，該熒光體層PH(PH1、PH2、PH3、...)以預(yù)定色光發(fā)光，與其它副像素的熒光體的發(fā)光色混合，構(gòu)成預(yù)定色的彩色像素。
在圖4中，從垂直掃描方向VS來看，電子源ELS2相對于隔壁SPC在下游側(cè)(圖4中隔壁SPC的右側(cè))與掃描信號(hào)布線s2進(jìn)行電連接。而且，設(shè)置了隔壁SPC的掃描信號(hào)布線s2配置得與緊鄰該隔壁SPC并位于上游的電子源ELS1相比，更接近緊鄰該隔壁SPC并位于下游的電子源ELS2。由于這樣的電子源、掃描布線及隔壁的位置關(guān)系，從位于該下游的電子源ELS2發(fā)射的電子容易使隔壁SPC帶電。
在這樣的隔壁的配置中，從垂直掃描方向VS來看，從緊接隔壁SPC之后配置的電子源ELS2發(fā)射的電子e-的一部分使該隔壁SPC帶電。該帶電有可能對從相對于該隔壁SPC位于垂直掃描方向VS的上游的電子源ELS1發(fā)射的電子的軌道產(chǎn)生影響。但是，該位于上游的電子源ELS1由于配置得與掃描信號(hào)布線s2(圖4中電子源ELS1的右側(cè))相比，更接近掃描信號(hào)布線S1(圖4中電子源ELS1的左側(cè))，所以該電子源ELS1和掃描信號(hào)布線s2的間隔稍微有些余裕。另外，由于1幀期間后選擇電子源ELS1，因此隔壁SPC上所帶的電荷在1幀間逐漸放電，所以對從位于離隔壁SPC最近的上游的電子源發(fā)射的電子的軌道的影響極小，能實(shí)現(xiàn)減輕亮度不足、提高了色再現(xiàn)性的圖像顯示裝置。
圖5A、圖5B及圖5C是說明實(shí)施例1中的構(gòu)成一個(gè)彩色像素的電子源的一個(gè)例子的圖，圖5A是俯視圖，圖5B是沿圖5A中的A-A’線的剖面圖，圖5C是沿圖5A中的B-B’線的剖面圖。該電子源是MIM電子源。
用電子源的制造工序說明其構(gòu)造。首先，在背面基板SUB1上形成下部電極DED、保護(hù)絕緣層INS1、絕緣層INS2。其次，用例如濺射法等形成層間膜INS3、成為上部電極AED的供電線的上部總線電極、以及用于配置間隔物的成為間隔物電極的金屬膜。作為層間膜INS3，可以使用例如硅氧化物、硅氮化物、或硅等。這里，使用硅氮化物，膜厚為100nm。該層間膜INS3在通過陽極氧化形成的保護(hù)絕緣層INS1中有針孔的情況下，掩埋該缺陷，具有保持下部電極DED和成為掃描信號(hào)布線的上部總線電極(在金屬膜下層MDL和金屬膜上層MAL之間夾持銅(Cu)作為金屬膜中間層MML的三層層疊膜)之間的絕緣的作用。
另外，成為掃描信號(hào)布線的上部總線電極，并不限于上述的三層層疊膜，也可以多于三層或少于三層。例如，作為金屬膜下層MDL、金屬膜上層MAL可以能使用鋁(Al)或鉻(Cr)、鎢(W)、鉬(Mo)等耐氧化性強(qiáng)的金屬材料、或包含它們的合金、或它們的層疊膜。另外，這里作為金屬膜下層MDL、金屬膜上層MAL，使用了鋁和釹(Al-Nd)的合金。此外，作為金屬膜下層MDL使用Al合金和Cr、W、Mo等的層疊膜，作為金屬膜上層MAL使用Cr、W、Mo等和Al合金的層疊膜，將與金屬膜中間層MML的Cu接觸的膜做成了高熔點(diǎn)金屬，通過使用這樣的五層膜，在進(jìn)行圖像顯示裝置的制造工藝中的加熱工序時(shí)，高熔點(diǎn)金屬成為阻擋膜，能抑制Al和Cu合金化，所以對布線的低電阻化特別有效。
在作為上部總線電極使用Al-Nd合金時(shí)，該Al-Nd合金的膜厚，使金屬膜上層MAL比金屬膜下層MDL厚，為了降低布線電阻，金屬膜中間層MML的Cu盡可能地加厚。這里，使金屬膜下層MDL的膜厚為300nm厚，使金屬膜中間層MML的膜厚為4μm，使金屬膜上層MAL的膜厚為450nm。另外，除了濺射法以外，也可以用電鍍法等形成金屬膜中間層MML的Cu。
在使用高熔點(diǎn)金屬的上述五層膜的情況下，與Cu一樣，特別是將用Mo夾持Cu的層疊膜用作金屬膜中間層MML特別有效，Mo可以用磷酸、醋酸、硝酸的混合水溶液進(jìn)行濕法刻蝕。在此情況下，夾持Cu的Mo的膜厚為50nm，夾持該金屬膜中間層的金屬膜下層MDL的Al合金的膜厚為300nm，金屬膜上層MAL的Al合金的膜厚為450nm。
接著，通過用絲網(wǎng)印刷進(jìn)行的抗蝕劑的圖形化和刻蝕加工，將金屬膜上層MAL加工成與下部電極DED交叉的條狀。該刻蝕加工采用使用例如磷酸、醋酸的混合水溶液的濕法刻蝕。由于刻蝕液中不加硝酸，所以不會(huì)對Cu進(jìn)行刻蝕，而能有選擇地只刻蝕Al-Nd合金。
在使用了Mo的五層膜的情況下，也可以在刻蝕液中不加硝酸，由此不刻蝕Mo和Cu，而有選擇地只對Al-Nd合金進(jìn)行刻蝕加工。這里，雖然每個(gè)像素形成了一條金屬膜上層MAL，但也可以形成兩條。
接著，直接使用同一抗蝕劑膜，或者將金屬膜上層MAL的Al-Nd合金作為掩膜，用例如磷酸、醋酸、硝酸的混合水溶液對金屬膜中間層MML的Cu進(jìn)行濕法刻蝕。在磷酸、醋酸、硝酸的混合水溶液的刻蝕液中，Cu的刻蝕速度與Al-Nd合金相比，速度非?？?，因此能有選擇地只刻蝕金屬膜中間層MML的Cu。在使用了Mo的五層膜的情況下，Mo和Cu的刻蝕速度與Al-Nd合金相比，也非常快，從而能有選擇地只刻蝕Mo和Cu的三層的層疊膜。對于Cu的刻蝕，其它過硫酸銨水溶液或過硫酸鈉水溶液也是有效的。
接著，通過用絲網(wǎng)印刷進(jìn)行的抗蝕劑的圖形化和刻蝕加工，將金屬膜下層MDL加工成與下部電極DED交叉的條狀。借助于用磷酸、醋酸的混合水溶液進(jìn)行的濕法刻蝕，進(jìn)行該刻蝕加工。這時(shí)，通過使印刷的抗蝕劑膜從金屬膜上層MAL的條電極的位置錯(cuò)開，使金屬膜下層MDL的一側(cè)端部EG1從金屬膜上層MAL突出來，做為在以后的工序中確保與上部電極AED接觸的接觸部。另外，對于與金屬膜下層MDL的上述一側(cè)端部EG1相反一側(cè)的另一側(cè)端部EG2，將金屬膜上層MAL和金屬膜中間層MML作為掩膜進(jìn)行過刻蝕加工，形成后退的部分，使得金屬膜中間層MML形成帽檐。
利用該金屬膜中間層MML的帽檐，分離在接下來的工序中成膜的上部電極AED。這時(shí)，金屬膜上層MAL比金屬膜下層MDL的膜厚形成得厚，所以，即使金屬膜下層MDL的刻蝕結(jié)束，也能使金屬膜上層MAL殘留在金屬膜中間層MML的Cu上。由此，能保護(hù)Cu的表面，因此，即使使用Cu，也有耐氧化性，并且能使上部電極AED自對準(zhǔn)地分離，而且能形成成為進(jìn)行供電的掃描信號(hào)布線的上部總線電極。另外，在用Mo夾持Cu的五層膜的金屬膜中間層MML的情況下，金屬膜上層MAL的Al合金，即使薄，Mo也能抑制Cu的氧化，所以不一定必須使金屬膜上層MAL比金屬膜下層MDL的膜厚厚。
接著，加工層間膜INS3，使電子發(fā)射部形成開口。電子發(fā)射部形成在像素內(nèi)的一條下部電極DED、和與下部電極DED交叉的兩條上部總線電極(金屬膜下層MDL、金屬膜中間層MML、金屬膜上層MAL的層疊膜和圖中未示出的相鄰像素的金屬膜下層MDL、金屬膜中間層MML、金屬膜上層MAL的層疊膜)所夾持的空間的交叉部的一部分上。該刻蝕加工可以通過使用以例如CF4或SF6為主要成分的刻蝕氣體的干法刻蝕來進(jìn)行。
最后，進(jìn)行上部電極AED的成膜。該成膜采用濺射法。作為上部電極AED，使用例如銥(Ir)、白金(Pt)、金(Au)的層疊膜，其膜厚例如為6nm。這時(shí)，在上部總線電極(金屬膜下層MDL、金屬膜中間層MML、金屬膜上層MAL的層疊膜)的一個(gè)端部(圖5C的右側(cè))，利用由金屬膜中間層MML和金屬膜上層MAL的帽檐結(jié)構(gòu)帶來的金屬膜下層MDL的后退部(EG2)，切斷上部電極AED。然后，在上部總線電極的另一個(gè)端部(圖5C的左側(cè))，上部電極AED和上部總線電極(金屬膜下層MDL、金屬膜中間層MML、金屬膜上層MAL的層疊膜)，由金屬膜下層MDL的接觸部(EG1)連接起來，不會(huì)引起斷線，從而形成向電子發(fā)射部供電的結(jié)構(gòu)。
圖6是應(yīng)用了本發(fā)明的結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置的等效電路例的說明圖。圖6中用虛線表示的區(qū)域是顯示區(qū)AR，圖像信號(hào)布線d(d1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、...dn)和掃描信號(hào)布線s(s1、s2、s3、s4、...sm)互相交叉地配置在該顯示區(qū)AR中，形成n×m個(gè)排列成矩陣的像素。矩陣的各交叉部構(gòu)成副像素，用圖中的一組“R”、“G”、“B”構(gòu)成一個(gè)彩色像素。另外，電子源的結(jié)構(gòu)省略了圖示。圖像信號(hào)布線d連接在圖像信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路DDR上，掃描信號(hào)布線s連接在掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路SDR上。圖像信號(hào)DS從外部信號(hào)源輸入到圖像信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路DDR，掃描信號(hào)SS也同樣地輸入到掃描信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路SDR。
由此，通過將圖像信號(hào)從圖像信號(hào)布線d提供給連接在依次選擇的掃描信號(hào)布線s上的副像素，能顯示二維的全色圖像。利用本結(jié)構(gòu)例的顯示裝置，能以比較低的電壓實(shí)現(xiàn)高效的平板式顯示裝置。
圖7是表示構(gòu)成平板式圖像顯示裝置的顯示板的總體結(jié)構(gòu)的立體圖，圖8表示其剖面圖。如在上述的實(shí)施例中所說明的那樣，背板PNL1，在背面基板SUB1的內(nèi)面上有由圖像信號(hào)布線d1、d2、d3、......dn和掃描信號(hào)布線s1、s2、s3、s4、...sm的矩陣構(gòu)成的電子源結(jié)構(gòu)。另一方面，前板PNL2用透明玻璃基板作為前面基板SUB2，在其內(nèi)面上形成陽極AD和熒光體層PH。陽極采用了鋁層。
使該前板PNL2和背板PNL1相對，為了使相對的兩者之間保持預(yù)定的間隔，將寬約80μm、高約2.5mm的筋狀的隔壁SPC沿著掃描信號(hào)布線的延伸方向，隔著玻璃料固定在掃描信號(hào)布線上。這時(shí)，將由玻璃構(gòu)成的密封框MFL設(shè)置在兩板的周邊部，并用圖中未示出的玻璃料將兩板和密封框固定，使得形成為兩板所夾的內(nèi)部空間與外部隔絕的結(jié)構(gòu)。
用玻璃料固定隔壁時(shí)，進(jìn)行了約400℃的加熱。此后，通過排氣管EXC使裝置內(nèi)部排氣，直至約1μPa，之后，將排氣管EXC封閉切斷。工作時(shí)，在前面板PNL2上的陽極AD上施加約10kV的電壓。
在以上的實(shí)施例中，雖然以MIM式電子源的結(jié)構(gòu)為例，但本發(fā)明并不限于此，同樣也能應(yīng)用于采用上述各種電子源的自發(fā)光式FPD。
權(quán)利要求
1.一種圖像顯示裝置，包括具有背板、前板、以及密封框的顯示板，該密封框介于上述背板和上述前板的周邊之間，將該背板和前板以預(yù)定間隔相對的內(nèi)部空間密封成預(yù)定的真空狀態(tài)，該圖像顯示裝置的特征在于上述背板具有背面基板，在該背面基板上形成了在一個(gè)方向延伸、在與該一個(gè)方向正交的另一方向并列設(shè)置，在上述另一方向上被依次施加掃描信號(hào)的多條掃描信號(hào)布線；在上述另一方向延伸、與上述掃描信號(hào)布線交叉地并列設(shè)置在上述一個(gè)方向上的多條圖像信號(hào)布線；設(shè)置在上述掃描信號(hào)布線和上述圖像信號(hào)布線的各交叉部附近的電子源；以及連接在上述掃描信號(hào)布線上，向上述電子源提供電流的供電電極；上述前板具有前面基板，在該前面基板上形成了與上述電子源分別對應(yīng)地設(shè)置的熒光體層；以及用于按照上述供電電極和上述圖像信號(hào)布線之間的電位差，使從上述電子源發(fā)射的電子指向上述熒光體層地進(jìn)行加速的加速電極，在上述掃描信號(hào)布線的一部分之上，而且是沿著該掃描信號(hào)布線的延伸方向，設(shè)置有保持上述背板和前板的間隔的隔壁，相對于上述隔壁，在依次施加上述掃描信號(hào)的上述另一方向的下游側(cè)，上述供電電極連接在上述電子源上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述電子源是薄膜式電子發(fā)射元件，具有下部電極、上部電極、以及夾持在上述下部電極和上述上部電極之間的電子加速層，通過在上述下部電極和上述上部電極之間施加電壓，從該上部電極發(fā)射電子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述隔壁在上述掃描信號(hào)布線之上分割設(shè)置成多個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像顯示裝置，其特征在于上述前板具有的熒光體層由紅、綠、藍(lán)三色構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖像顯示裝置，其特征在于各上述熒光體層用遮光層劃分。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖像顯示裝置，具有從掃描信號(hào)布線(s(s1、s2、...sn))通過供電電極(ELC)提供電流的電子源，并且具有在該掃描信號(hào)布線之上、而且是沿該掃描信號(hào)布線設(shè)置的隔壁(SPC)，相對于隔壁將從該掃描信號(hào)布線供電的電子源配置在垂直掃描方向(VS)的下游側(cè)。由此，能避免由從電子源發(fā)射的電子的一部分使隔壁帶電引起的對電子軌道的影響，防止熒光體層的激勵(lì)不足。
文檔編號(hào)H01J31/12GK1737985SQ20051009066
公開日2006年2月22日 申請日期2005年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月18日
發(fā)明者金子好之, 佐川雅一, 楠敏明, 中村智樹 申請人:株式會(huì)社日立顯示器