專利名稱：一種等離子顯示屏下基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種等離子顯示屏下基板的制作方法。
背景技術(shù)：
彩色等離子顯示器是通過氣體放電產(chǎn)生的真空紫外線激發(fā)紅、綠、藍(lán)熒光粉發(fā)光的一種平板顯示器，具有重量輕、體積小、寬視角等特點(diǎn)，在目前的顯示技術(shù)領(lǐng)域里具有很強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。
等離子顯示屏通常包括有前基板和后基板，在前基板上分別制作有透明電極、Bus電極、透明介質(zhì)和氧化鎂保護(hù)層，在后基板上通常制作有尋址電極、介質(zhì)層、障壁和熒光粉。目前障壁的制作方法多采用效率高、制作圖形精細(xì)的噴砂法，此方法是通過砂粒的沖擊將多余的障壁料去掉，從而形成所需的障壁圖形。但在上述噴砂法形成障壁時(shí)，因?yàn)樯傲５臎_擊力較大，在噴砂的時(shí)候很容易破壞障壁下面的尋址電極，尋址電極一旦在此工序被破壞，將無法再修復(fù)，造成整張下基板的報(bào)廢，因此在噴砂時(shí)要對(duì)尋址電極進(jìn)行保護(hù)。目前多采用在尋址電極上印刷一介質(zhì)層，再將介質(zhì)層燒結(jié)形成玻璃層來達(dá)到保護(hù)電極的目的。此方法的缺點(diǎn)是在整個(gè)下基板制作過程中多了一次高溫?zé)Y(jié)的處理過程，經(jīng)燒結(jié)易造成玻璃的變形使各個(gè)圖形間的對(duì)位出現(xiàn)偏差，造成對(duì)位不準(zhǔn)，同時(shí)也浪費(fèi)了燒結(jié)爐的能源。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供了一種等離子顯示屏下基板的制作方法，此下板障壁的制作是通過刻蝕法形成的，介質(zhì)層則直接以底層的障壁層來代替，減少了一層制作介質(zhì)的工序，即減少了介質(zhì)層的印刷和燒結(jié)，減少了一次熱處理的步驟，有效的減少了玻璃的變形。
為達(dá)到上述目的本發(fā)明采用的技術(shù)方案是首先，在帶有尋址電極圖形的玻璃基板上印刷厚度為180um-220um的白色障壁漿料及厚度為20um-50um的黑色障壁漿料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁層和黑色障壁層，且白色障壁層和黑色障壁層的總厚度等于介質(zhì)層和障壁層的高度；其次，對(duì)白色障壁漿料層和黑色障壁漿料層在550℃-570℃燒結(jié)；然后，在燒結(jié)后的黑色障壁層上粘貼一層耐酸不耐堿的感光性抗蝕干膜或直接印刷或涂敷一層感光性的抗蝕膜形成抗蝕層，再通過常規(guī)工藝用障壁母版對(duì)抗蝕層進(jìn)行曝光和顯影，形成障壁圖形；再以抗蝕層上的障壁圖形作為刻蝕的掩膜版根據(jù)所要求得到的障壁的高度用質(zhì)量濃度為1.0-10％的鹽酸溶液對(duì)白色障壁層和黑色障壁層進(jìn)行刻蝕并控制刻蝕速度為0.5m/min-3.0m/min，根據(jù)所要求得到的障壁的高度控制刻蝕的時(shí)間從而形成障壁材料介質(zhì)層和障壁；最后，用堿溶液剝掉障壁頂部的抗蝕層，再通過絲網(wǎng)印刷法在障壁間涂敷紅、綠、藍(lán)熒光粉即可。
由于本發(fā)明采用刻蝕法制備障壁，且以障壁底層代替介質(zhì)層來保護(hù)下面的尋址電極，從而減少了一次印刷介質(zhì)和燒結(jié)介質(zhì)的工序，降低了制作成本，減少了高溫?zé)崽幚淼拇螖?shù)，也就減少了玻璃的變形，保證了精細(xì)圖形的制作精度和不同圖形間的對(duì)位精度，使得等離子顯示的圖象畫面更加精細(xì)。


圖1至圖8是本發(fā)明的制作工藝流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
參見圖1，2，3，首先，在帶有尋址電極圖形2的玻璃基板1上印刷厚度為180um-220um的白色障壁漿料及厚度為20um-50um的黑色障壁漿料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁層3和黑色障壁層4，且白色障壁層3和黑色障壁層4的總厚度等于介質(zhì)層和障壁層的高度；參見圖4，5，其次，對(duì)白色障壁漿料層3和黑色障壁漿料層4在550℃-570℃燒結(jié)；然后，在燒結(jié)后的黑色障壁層4上粘貼一層耐酸不耐堿的感光性抗蝕干膜或直接印刷或涂敷一層感光性的抗蝕膜形成抗蝕層5，再通過常規(guī)工藝用障壁母版對(duì)抗蝕層5進(jìn)行曝光和顯影，形成障壁圖形6；參見圖6，7，再以抗蝕層5上的障壁圖形6作為刻蝕的掩膜版根據(jù)所要求得到的障壁的高度用質(zhì)量濃度為1.0-10％的鹽酸溶液對(duì)白色障壁層3和黑色障壁層4進(jìn)行刻蝕并控制刻蝕速度為0.5m/min-3.0m/min，根據(jù)所要求得到的障壁的高度和介質(zhì)層的厚度控制刻蝕的時(shí)間從而形成障壁材料介質(zhì)層7和障壁8；參見圖8，最后，用堿溶液剝掉障壁頂部的抗蝕層5，再通過絲網(wǎng)印刷法在障壁間涂敷紅、綠、藍(lán)熒光粉即可。這樣就可以通過障壁的一次燒結(jié)完成介質(zhì)和障壁的制作，減少了玻璃的變形，使圖形的制作更加的精細(xì)。也使下基板的制作工藝更加簡(jiǎn)單，節(jié)約了成本。
權(quán)利要求
1.一種等離子顯示屏下基板的制作方法，其特征在于1)首先，在帶有尋址電極圖形[2]的玻璃基板[1]上印刷厚度為180um-220um的白色障壁漿料及厚度為20um-50um的黑色障壁漿料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁層[3]和黑色障壁層[4]，且白色障壁層[3]和黑色障壁層[4]的總厚度等于介質(zhì)層和障壁層的高度；2)其次，對(duì)白色障壁漿料層[3]和黑色障壁漿料層[4]在550℃-570℃燒結(jié)；3)然后，在燒結(jié)后的黑色障壁層[4]上粘貼一層耐酸不耐堿的感光性抗蝕干膜或直接印刷或涂敷一層感光性的抗蝕膜形成抗蝕層[5]，再通過常規(guī)工藝用障壁母版對(duì)抗蝕層[5]進(jìn)行曝光和顯影，形成障壁圖形[6]；4)再以抗蝕層[5]上的障壁圖形[6]作為刻蝕的掩膜版根據(jù)所要求得到的障壁的高度用質(zhì)量濃度為1.0-10％的鹽酸溶液對(duì)白色障壁層[3]和黑色障壁層[4]進(jìn)行刻蝕并控制刻蝕速度為0.5m/min-3.0m/min，根據(jù)所要求得到的障壁的高度控制刻蝕的時(shí)間從而形成障壁材料介質(zhì)層[7]和障壁[8]；5)最后，用堿溶液剝掉障壁頂部的抗蝕層[5]，再通過絲網(wǎng)印刷法在障壁間涂敷紅、綠、藍(lán)熒光粉即可。
全文摘要
一種等離子顯示屏下基板的制作方法，首先，在帶有尋址電極圖形的玻璃基板上印刷障壁漿料并干燥，然后對(duì)其進(jìn)行燒結(jié)；在燒結(jié)后的障壁層上粘貼一層耐酸不耐堿的感光性抗蝕干膜或直接印刷或涂敷一層感光性的抗蝕膜形成抗蝕層，再通過障壁母版對(duì)抗蝕層進(jìn)行曝光和顯影，形成障壁圖形；以抗蝕層上的障壁圖形作為刻蝕的掩膜版根據(jù)所要求得到的障壁的高度用鹽酸溶液其進(jìn)行刻蝕，根據(jù)所要求得到的障壁的高度控制刻蝕的時(shí)間從而形成障壁材料介質(zhì)層和障壁；用堿溶液剝掉障壁頂部的抗蝕層5，再通過絲網(wǎng)印刷法在障壁間涂敷紅、綠、藍(lán)熒光粉即可。本發(fā)明以障壁底層代替介質(zhì)層來保護(hù)下面的尋址電極，從而減少了一次印刷介質(zhì)和燒結(jié)介質(zhì)的工序，降低了制作成本。
文檔編號(hào)H01J9/02GK1801431SQ200610041638
公開日2006年7月12日 申請(qǐng)日期2006年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月11日
發(fā)明者羅向輝 申請(qǐng)人:彩虹集團(tuán)電子股份有限公司