專利名稱：曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管在場致發(fā)射顯示器中的應(yīng)用研究近幾年來受到眾多研究者的高度關(guān)注，并進(jìn)行了廣泛的研究。碳納米管具有獨特的幾何外形，能夠在外加電場強度的作用下發(fā)射出大量的電子，是一種相當(dāng)優(yōu)秀的冷陰極發(fā)射材料，在真空顯示技術(shù)方面具有極大的應(yīng)用潛力。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射平板顯示器則是一種新型的平面型顯示設(shè)備，它將陰極射線管顯示器的高圖像質(zhì)量，等離子體顯示器的大面積性以及液晶顯示器的超薄型等優(yōu)點集于一身，業(yè)已成為了新一代國際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
在三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中，柵極結(jié)構(gòu)是其中最為重要的控制元件之一，它直接決定著碳納米管能否進(jìn)行電子發(fā)射。盡管柵極結(jié)構(gòu)的控制模式多種多樣，但是實質(zhì)上都是為了進(jìn)一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出更多的電子。其中，碳納米管陰極的形狀也對所形成的電場強度有著一定的影響作用。很顯然，碳納米管陰極的形狀的曲率越小，也就越有利于進(jìn)一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，也就越有利于進(jìn)一步降低整體器件的工作電壓，反之亦然。那么，在實際器件的制作過程中，究竟采用何種結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)用何種結(jié)構(gòu)材料，如何進(jìn)一步的降低柵極的工作電壓，如何進(jìn)一步的增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度，這些都是值得認(rèn)真考慮的問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及曲面柵控型結(jié)構(gòu)。
所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極基底層；陰極基底層為圓面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層為寬邊線條，呈現(xiàn)螺旋型形狀，即以陰極基底層的中心點為原點，呈現(xiàn)螺旋型將線條向周圍展開，直至達(dá)到陰極基底層的邊緣位置為止；絕緣層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層的下表面為平面型，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)面為曲面型形狀，即從隔離層的下表面開始，到隔離層的上表面結(jié)束，形成一個斜向外側(cè)傾斜的曲面型形狀；圓型孔曲面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層要覆蓋住大部分的圓型孔曲面，即整體圓型孔曲面的上部分全部，而下部分則被刻蝕掉；隔離層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的柵極引線層，但不能覆蓋住調(diào)控柵極層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、銦、鉛；陰極基底層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極基底層；5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極基底層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；
6)隔離層的制作在絕緣層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；7)調(diào)控柵極層的制作在圓型孔曲面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；8)柵極引線層的制作在隔離層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)曲面柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對曲面柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽極玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)中，制作了曲面型控制柵極結(jié)構(gòu)。柵極引線層是將外界電壓傳遞到調(diào)控柵極層作用并同時起到像素點矩陣尋址功能，而調(diào)控柵極層則是利用外界施加的電壓在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。由于曲面調(diào)控柵極層的下端沿著曲面可以盡可能的接近于碳納米管陰極，縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)二者之間的距離，因而能夠進(jìn)一步的降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。曲面調(diào)控柵極層呈現(xiàn)一個曲面型形狀，能夠均勻的將外界電壓施加給碳納米管陰極，確保整體器件發(fā)光的均勻性和穩(wěn)定性；其次，在所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在呈現(xiàn)螺旋型線條的陰極導(dǎo)電層上面。這樣也就更改了宏觀碳納米管陰極的形狀，充分利用了碳納米管陰極邊緣位置能夠發(fā)射出大量電子的特有現(xiàn)象，使得碳納米管陰極能夠發(fā)射出更多的電子，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有利于進(jìn)一步提高器件的顯示亮度和圖像質(zhì)量。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了曲面柵控型結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了曲面柵控型結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有曲面柵控型結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[12]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[17]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[10]以及曲面柵控型結(jié)構(gòu)。
所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、陰極基底層[4]、陰極導(dǎo)電層[5]、隔離層[6]、調(diào)控柵極層[7]、柵極引線層[8]、柵極覆蓋層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極基底層；陰極基底層為圓面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層為寬邊線條，呈現(xiàn)螺旋型形狀，即以陰極基底層的中心點為原點，呈現(xiàn)螺旋型將線條向周圍展開，直至達(dá)到陰極基底層的邊緣位置為止；絕緣層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層的下表面為平面型，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)面為曲面型形狀，即從隔離層的下表面開始，到隔離層的上表面結(jié)束，形成一個斜向外側(cè)傾斜的曲面型形狀；圓型孔曲面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層要覆蓋住大部分的圓型孔曲面，即整體圓型孔曲面的上部分全部，而下部分則被刻蝕掉；隔離層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的柵極引線層，但不能覆蓋住調(diào)控柵極層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、銦、鉛；陰極基底層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種帶有曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成陰極基底層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在陰極基底層的上面制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[6]的制作在絕緣層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；7)調(diào)控柵極層[7]的制作在圓型孔曲面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；8)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上表面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)曲面柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對曲面柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導(dǎo)電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
15)熒光粉層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間；10分鐘)。
所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[12]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[15]以及消氣劑附屬元件[17]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]、碳納米管[10]以及曲面柵控型結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極基底層；陰極基底層為圓面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層為寬邊線條，呈現(xiàn)螺旋型形狀，即以陰極基底層的中心點為原點，呈現(xiàn)螺旋型將線條向周圍展開，直至達(dá)到陰極基底層的邊緣位置為止；絕緣層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離層；隔離層的下表面為平面型，要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；隔離層中圓型孔的內(nèi)側(cè)面為曲面型形狀，即從隔離層的下表面開始，到隔離層的上表面結(jié)束，形成一個斜向外側(cè)傾斜的曲面型形狀；圓型孔曲面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極層；調(diào)控柵極層要覆蓋住大部分的圓型孔曲面，即整體圓型孔曲面的上部分全部，而下部分則被刻蝕掉；隔離層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和調(diào)控柵極層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的柵極引線層，但不能覆蓋住調(diào)控柵極層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、銦、鉛；陰極基底層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；調(diào)控柵極層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
4.一種曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極基底層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在陰極基底層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[6]的制作在絕緣層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離層；7)調(diào)控柵極層[7]的制作在圓型孔曲面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極層；8)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；9)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；10)曲面柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對曲面柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；11)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；12)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；13)陽極導(dǎo)電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；14)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；15)熒光粉層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；16)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[15]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；17)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種曲面柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及曲面柵控型結(jié)構(gòu)；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有助于提高整體器件的顯示亮度和分辨率，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/304GK1937149SQ20061010728
公開日2007年3月28日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院