專利名稱：圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管具有小的尖端曲率半徑，高的縱橫比率以及良好的物理化學(xué)特性，是一種優(yōu)良的場致發(fā)射陰極材料。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射顯示器和陰極射線管顯示器一樣具有高亮度、高分辨率、高圖像質(zhì)量等特點，并兼顧具有液晶顯示器的超薄型，以及等離子體顯示器的大面積性，具有可平板化、大型化以及價格低廉等優(yōu)點。由此可見，在大型平板顯示器技術(shù)領(lǐng)域，場致發(fā)射顯示器成為了一個熱門話題。
在三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器中，當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，形成冷場致發(fā)射現(xiàn)象。一方面，柵極電壓是決定碳納米管陰極表面頂端所形成的電場強度的決定性因素，另一方面，碳納米管陰極的形狀也對所形成的電場強度具有一定的影響作用。很顯然，碳納米管陰極的形狀的曲率越小，越有利于在碳納米管陰極表面頂端形成更強的電場強度，也就越有利于降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。反之亦然。這些都值得眾多科研人員認(rèn)真地思考。另外，在碳納米管陰極發(fā)射電子的過程中，并不是所有的碳納米管都能夠發(fā)射大量電子的，一般情況下位于陰極邊緣位置的碳納米管所發(fā)射的電子更多，存在著一個邊緣位置發(fā)射大量電子的現(xiàn)象，在器件制作的過程中，應(yīng)該有效地利用這種現(xiàn)象，進一步提高器件的顯示亮度。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極基底一層；陰極基底一層為圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底一層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極基底二層；陰極基底二層為圓錐體型形狀，位于陰極基底一層的上面；陰極基底一層和陰極基底二層的摻雜類型是相同的；陰極基底二層的底面直徑要小于陰極基底一層的直徑，即當(dāng)陰極基底二層位于陰極基底一層上面之后，在其周圍要暴露出呈現(xiàn)圓環(huán)狀的陰極基底一層的上表面；陰極基底一層和陰極基底二層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅位于陰極基底二層的整個圓錐型表面上以及陰極基底二層的圓柱體型的圓環(huán)上表面上；絕緣層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底一層、陰極基底二層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；隔離層的高度要高于陰極基底一層的高度，但是要低于陰極基底一層和陰極基底二層二者的總和高度；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓型孔的中心部分延伸；柵極引線層中前端部分要向上彎曲，其彎曲部分是垂直向上的，其前端彎曲部分的最高點與陰極基底二層的最高點的高度是相同的；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但不能覆蓋住前端彎曲部分的內(nèi)側(cè)面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極基底一層和陰極基底二層的摻雜類型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底一層和陰極基底二層的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極基底一層和陰極基底二層；5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極基底一層和陰極基底二層的表面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層的制作在絕緣層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；7)柵極引線層的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將陰極基底層制作成了圓臺錐尖型形狀，并將碳納米管制備在位于圓臺錐尖型形狀表面的陰極導(dǎo)電層的上面。這樣，就極大地增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管都能夠進行場致電子發(fā)射，有利于進一步的提高整體器件的顯示亮度；還更改了碳納米管陰極的形狀，充分發(fā)揮了碳納米管陰極邊緣位置發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，能夠極大的提高器件的陽極工作電流。此外，利用摻雜多晶硅層作為陰極基底材料，還能夠充分利用摻雜多晶硅的半導(dǎo)體特性，對流經(jīng)碳納米管的陰極電流進行有效的調(diào)節(jié)。
其次，在所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)中，制作了彎曲型的控制柵極結(jié)構(gòu)。這樣，當(dāng)在柵極上施加適當(dāng)電壓以后，能夠在碳納米管陰極表面頂端形成更為強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出更多的電子，有利于進一步的提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，在將柵極-陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起的同時進一步縮短二者之間的距離，降低整體器件的工作電壓；此外，在所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[12]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[16]附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極[8]、碳納米管[10]以及圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、陰極引線層[3]、陰極基底一層[4]、陰極基底二層[5]、陰極導(dǎo)電層[6]、隔離層[7]、柵極引線層[8]、柵極覆蓋層[9]和碳納米管[10]部分。
所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極基底一層；陰極基底一層為圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底一層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極基底二層；陰極基底二層為圓錐體型形狀，位于陰極基底一層的上面；陰極基底一層和陰極基底二層的摻雜類型是相同的；陰極基底二層的底面直徑要小于陰極基底一層的直徑，即當(dāng)陰極基底二層位于陰極基底一層上面之后，在其周圍要暴露出呈現(xiàn)圓環(huán)狀的陰極基底一層的上表面；陰極基底一層和陰極基底二層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅位于陰極基底二層的整個圓錐型表面上以及陰極基底二層的圓柱體型的圓環(huán)上表面上；絕緣層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底一層、陰極基底二層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；隔離層的高度要高于陰極基底一層的高度，但是要低于陰極基底一層和陰極基底二層二者的總和高度；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓型孔的中心部分延伸；柵極引線層中前端部分要向上彎曲，其彎曲部分是垂直向上的，其前端彎曲部分的最高點與陰極基底二層的最高點的高度是相同的；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但不能覆蓋住前端彎曲部分的內(nèi)側(cè)面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極基底一層和陰極基底二層的摻雜類型可以為n型，也可以為p型；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種帶有圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底一層[4]和陰極基底二層[5]的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極基底一層和陰極基底二層；5)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在陰極基底一層和陰極基底二層的表面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[7]的制作在絕緣層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；7)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
10)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[11]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[12]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[14]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷的絕緣漿料層[13]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[16]附屬元件，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[8]、碳納米管[10]以及圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的刻蝕后的二氧化硅層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極基底一層；陰極基底一層為圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底一層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成陰極基底二層；陰極基底二層為圓錐體型形狀，位于陰極基底一層的上面；陰極基底一層和陰極基底二層的摻雜類型是相同的；陰極基底二層的底面直徑要小于陰極基底一層的直徑，即當(dāng)陰極基底二層位于陰極基底一層上面之后，在其周圍要暴露出呈現(xiàn)圓環(huán)狀的陰極基底一層的上表面；陰極基底一層和陰極基底二層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層僅僅位于陰極基底二層的整個圓錐型表面上以及陰極基底二層的圓柱體型的圓環(huán)上表面上；絕緣層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底一層、陰極基底二層以及陰極導(dǎo)電層；隔離層上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的絕緣層部分；隔離層的高度要高于陰極基底一層的高度，但是要低于陰極基底一層和陰極基底二層二者的總和高度；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓型孔的中心部分延伸；柵極引線層中前端部分要向上彎曲，其彎曲部分是垂直向上的，其前端彎曲部分的最高點與陰極基底二層的最高點的高度是相同的；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但不能覆蓋住前端彎曲部分的內(nèi)側(cè)面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極基底一層和陰極基底二層的摻雜類型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
4.一種圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成絕緣層；3)陰極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底一層[4]和陰極基底二層[5]的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成陰極基底一層和陰極基底二層；5)陰極導(dǎo)電層[6]的制作在陰極基底一層和陰極基底二層的表面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)隔離層[7]的制作在絕緣層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；7)柵極引線層[8]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[9]的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[10]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板[11]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層[12]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極、碳納米管以及圓臺椎尖結(jié)構(gòu)陰極陣列發(fā)射結(jié)構(gòu)；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進一步增大碳納米管陰極的場致電子發(fā)射效率和數(shù)量，增強柵極的控制功能和控制效率，降低整體器件的工作電壓，有利于提高整體平板器件的圖像顯示質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J29/46GK1956129SQ20061010730
公開日2007年5月2日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院