專利名稱：準分子放電管的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種被用作光化學反應用的紫外線光源的放電管，特別是一種將外管和內管配置在同軸上、具有雙重管結構的準分子放電管。
背景領域準分子放電管具有能強烈的放射出單一波長的真空紫外光的特長，例如使用氙氣作為放電氣體的準分子放電管中，放射出波長172nm的真空紫外光是公知的。此外，在氪和氯的混合氣體的情況下，放射出波長222nm的紫外光。通過改變容器內的放電用氣體，可以放射出各種波長的光。現(xiàn)有的準分子放電管往往結構復雜，制作工藝繁復，制作成本高。
實用新型內容本實用新型旨在提供一種制作簡單，成本低廉，紫外線發(fā)光效率高且使用壽命長的準分子放電管。
為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案的基本構思是一種準分子放電管，將外管和內管相套，形成雙重管的結構，外管和內管兩端相互封閉，形成一個內管之外外管之內的密閉的充氣空間，內管內側填有反光金屬細料，金屬細料連接引出線，兩者一起構成內電極；外管外側纏繞線圈狀的耐紫外線金屬絲作為外電極。
本實用新型還可以外管和內管均為石英玻璃管，在內管內側填充的反光金屬細料為軟性的鋁質的材料，內電極中間插入冷卻用金屬水管，充氣空間內抽成真空后注入惰性氣體、鹵素氣體、鹵化惰性氣體或者鹵化汞氣體，外管外側纏繞的耐紫外線金屬絲可以是鎳絲或者不銹鋼絲，其直徑一般為0.3～1mm，繞線之間的間隔距離一般為0.5～9mm。
本實用新型由于在內管內側填有反光金屬細料，所以反光效果好，且不需要特殊的內電極電鍍膜設備，制造工藝簡單，成本大大降低，管長可以不限，管徑可粗可細，多支放電管并排時，可以形成一個相對均勻的面光源。


圖1為本實用新型的結構示意圖圖2為本實用新型的縱截面圖其中1、外管，2、內管，3、耐紫外線金屬絲，4、外電極，5、反光金屬細料，6、內電極，7、充氣空間具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細的描述一種準分子放電管，將石英玻璃的外管1與內管2相套配置在同軸上，外管1和內管2兩端相互封閉，形成一個外管1內側和內管2外側的空心圓柱體狀的密閉充氣空間7。充氣空間7內抽成真空后注入惰性氣體、鹵素氣體、鹵化惰性氣體或者鹵化汞氣體，在內管2內側填有軟性的鋁質反光金屬細料5，金屬細料5連接引出線并且與引出線一起構成內電極6；內電極6中間還可以插入冷卻用金屬水管(未圖示)，外管1外側纏繞有線圈狀的耐紫外線金屬絲3作為外電極4，耐紫外線金屬絲3可以是鎳絲或者不銹鋼絲，其直徑一般為0.3～1mm，繞線之間的間隔距離一般為0.5～9mm。
當兩極間加高頻高壓交流電后，準分子放電管能從纏繞的金屬絲間發(fā)出波長較為單一的紫外線。
權利要求1.一種準分子放電管，將外管和內管相套，形成雙重管的結構，外管和內管兩端相互封閉，形成一個內管之外外管之內的密閉的充氣空間，其特征在于，內管內側填有反光金屬細料，金屬細料連接引出線，兩者一起構成內電極；外管外側纏繞線圈狀的耐紫外線金屬絲作為外電極。
2.根據(jù)權利要求1所述的準分子放電管，其特征在于，外管和內管均為石英玻璃管。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的準分子放電管，其特征在于，內管內側填充的反光金屬細料為軟性的鋁質材料。
4.根據(jù)權利要求3所述的準分子放電管，其特征在于，內電極中間可插入冷卻用金屬水管。
5.根據(jù)權利要求1所述的準分子放電管，其特征在于，充氣空間內抽成真空后注入惰性氣體、鹵素氣體、鹵化惰性氣體或者鹵化汞氣體。
6.根據(jù)權利要求1所述的準分子放電管，其特征在于，外管外側纏繞的耐紫外線金屬絲為鎳絲、不銹鋼絲。
7.根據(jù)權利要求6所述的準分子放電管，其特征在于，耐紫外線金屬絲直徑一般為0.3～1mm。
8.根據(jù)權利要求1所述的準分子放電管，其特征在于，外管外側纏繞的耐紫外線金屬絲之間的間隔距離為0.5～9mm。
專利摘要本實用新型目的在于提供一種準分子放電管，該準分子放電管將外管和內管相套配置在同軸上，兩管兩端相互封閉，形成一個密閉的充氣空間。內管內側填有反光金屬細料，金屬細料連接引出線，兩者一起構成內電極，外管外側纏繞線圈狀的金屬絲作為外電極。當兩極間加高頻高壓交流電后，準分子放電管能從纏繞的金屬絲間發(fā)出波長較為單一的紫外線。本實用新型具有制作工藝簡單，制作成本低，使用壽命長的優(yōu)點。
文檔編號H01J11/20GK2886800SQ200620039229
公開日2007年4月4日 申請日期2006年1月25日 優(yōu)先權日2006年1月25日
發(fā)明者王國征 申請人:上海國達特殊光源有限公司