專利名稱：隔壁形成方法和隔壁形成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子體顯示面板(以下稱為PDP)的制造方法和制 造裝置，特別涉及PDP的隔壁形成方法和隔壁形成裝置。
背景技術(shù)：
一般而言，PDP采用在兩個相對的玻璃基板上設(shè)置多個電極，并 在其間封入以Ne、 Xe等為主體的氣體的結(jié)構(gòu)。而且，通過在劃分出放 電單元的多個電極間施加電壓并產(chǎn)生放電，使各單元發(fā)光并進行顯示。
PDP的一個基板具有尋址電極、隔壁和熒光體層并構(gòu)成背面基板。 作為這樣的背面基板中的隔壁的形成方法，在覆蓋玻璃基板上的尋址 電極的電介質(zhì)層表面上以規(guī)定的厚度涂敷玻璃漿料(隔壁形成材料) 并使其干燥，在其上將具有耐噴砂性的掩模形成為圖案狀。然后，采 用以下方法通過隔著該掩模進行噴砂加工而切削隔壁形成材料層， 在圖案形成期望形狀的隔壁后進行燒制。
而且，在噴砂加工中，作為切削材料使用粒徑為2 50um左右的 玻璃珠、不銹鋼、SiC、 Si02、 A1203、 Zr02等無機微粒子。
而且，為了防止因隔壁端部的底部部分被過度切削、即側(cè)面切削 (side cut)而發(fā)生抗蝕膜的剝落、隔壁的破損、隔壁的切削高度的減 少等，已知有在隔壁端部的附近設(shè)置用于形成輔助隔壁的輔助掩模而 進行噴砂處理的方案(例如，參照WO2002/084689號公報)。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在這樣的現(xiàn)有技術(shù)中，因為不能夠防止輔助隔壁的過度切 削，所以存在難以可靠地保護主隔壁的端部部分的問題。
本發(fā)明提供一種隔壁形成方法，其為通過切削材料對形成在基板 上的隔壁形成材料層的沒有設(shè)置耐噴砂用掩模的部分進行切削，形成
期望的形狀的隔壁的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特征在于在上述基板的期望部分的上方，以與隔壁形成材料層的表面或基板的 表面接觸的方式垂直地設(shè)置沿基板的搬送方向延伸的規(guī)定高度的保護 板，保護隔壁形成材料層的期望部分，以免受到從在與基板搬送方向 正交的方向上移動的噴砂加工用噴嘴噴射出的切削材料的切削。
保護板與隔壁形成材料層或基板滑動接觸的部分，也可以由比基 板硬度低的材料形成。
也可以通過將保護板更換為寬度不同的其他保護板而控制切削作用。
此外，本發(fā)明的另一觀點是一種隔壁形成裝置，其通過切削材料 對形成在基板上的隔壁形成材料層的沒有設(shè)置耐噴砂用掩模的部分進 行切削，形成期望的形狀的隔壁，該隔壁形成裝置包括將設(shè)置有隔 壁形成材料層和耐噴砂用掩模的基板沿規(guī)定的方向搬送的基板搬送裝 置；噴射切削材料的噴砂加工用噴嘴；將該噴嘴沿著與基板搬送方向 正交的方向搬送的噴嘴搬送裝置；和在搬送的基板的期望部分，在噴 砂加工用頭與基板之間以與隔壁形成材料層的表面或基板的表面接觸 的方式垂直設(shè)置、并且沿著基板的搬送方向延伸的規(guī)定高度的保護板。
還設(shè)置有支承保護板的支承部件，保護板也可以是平坦帶狀的本 體部件、相對于噴砂加工的切削作用保護本體部件的耐磨損性部件、 和具有比基板更低的硬度且與隔壁形成材料層表面或基板表面接觸的 滑動接觸部件。
支承部件也可以以能夠?qū)⒈Ｗo板更換為寬度不同的其他保護板的 方式對該保護板進行支承。
支承部件也可以以能夠在噴砂加工用噴嘴的搬送方向上移位的方 式對該保護板進行支承。
根據(jù)本發(fā)明，因為在保護板與容易受到切削損傷的基板的期望部 分垂直接觸的狀態(tài)下進行噴砂加工，所以能夠可靠地防止切削材料引 起的損傷、抗蝕膜的剝落、隔壁的破損等的發(fā)生。


圖1是本發(fā)明涉及的PDP的主要部分的分解立體圖。 圖2是本發(fā)明涉及的被加工基板的截面圖。圖3是本發(fā)明涉及的噴砂加工室的縱截面圖。 圖4是圖3的I一I向看截面圖。
圖5是本發(fā)明涉及的保護板的俯視圖。
圖6是本發(fā)明涉及的保護板的側(cè)面圖。
圖7是圖6的II一II向看截面圖。
圖8是圖6的III一III向看截面圖。
圖9是圖4的主要部分放大圖。
圖10是表示本發(fā)明的變形例的與圖4對應(yīng)的圖。
圖11是表示本發(fā)明的另一變形例的與圖4對應(yīng)的圖。
圖12是表示本發(fā)明的又一變形例的與圖4對應(yīng)的圖。
圖13是表示本發(fā)明的又一變形例的與圖4對應(yīng)的圖。
圖14是表示本發(fā)明的保護板的作用的說明圖。
符號的說明 11、 12玻璃基板 31隔壁形成材料層 32耐噴砂用掩模 32a主隔壁用掩模 32b輔助隔壁用掩模 33被加工基板 34隔壁形成區(qū)域 34a隔壁形成區(qū)域 34b隔壁形成區(qū)域 50背面基板 50a前面基板 51加工室 52搬送輥
53被加工基板的搬送方向
54、 55噴砂加工用噴嘴(噴射槍)
54a、 55a搬送裝置
56噴砂加工頭的搬動方向
57回收裝置58 60框架 61 64保護板 65本體部件 66耐磨損性部件 67滑動接觸部件 68、 69托架 70 75止動部件 76、 77長孔 78吹升流 79直噴流 80區(qū)域
81噴砂加工用噴嘴的移動方向
具體實施例方式
以下使用附圖所示的實施方式詳細說明本發(fā)明。但本發(fā)明并不被 該敘述限制。
應(yīng)用本發(fā)明的PDP是圖1所示的三電極面放電型的PDP，由一對 基板的裝配、即背面基板50和前面基板50a構(gòu)成。而且，圖中表示的 是一個像素的結(jié)構(gòu)。
在前面基板50a上，在玻璃基板ll的內(nèi)表面上，作為決定顯示行 的顯示電極對S，排列有用于產(chǎn)生沿基板面的放電并在橫方向上延伸的 電極X、 Y。電極X、 Y分別由透明電極41和總線電極42構(gòu)成，其中， 透明電極41為由ITO薄膜構(gòu)成的寬幅的帶狀的透明電極，總線電極 42為由金屬薄膜構(gòu)成的窄幅的帶狀的總線電極。
總線電極42是用于確保適當?shù)膶?dǎo)電性的輔助電極。電介質(zhì)層17 以覆蓋電極X、 Y的方式設(shè)置。在電介質(zhì)層17的表面上覆蓋有保護膜 18。電介質(zhì)層17和保護膜18均具有透光性。
接著，在背面基板50上，在玻璃基板21的內(nèi)表面上，尋址電極 43在與顯示電極對S正交的縱方向上排列，電介質(zhì)層25以覆蓋尋址電 極43的方式設(shè)置，在電介質(zhì)層25上的各尋址電極43之間，分別設(shè)置 有一個個的直線狀的肋(隔壁)29。而且，肋29也能夠形成為格子狀。在背面基板50中，通過這些肋29放電空間(放電單元)30被劃 分為每個子像素(單位發(fā)光區(qū)域)EU，并且放電空間30的間隙尺寸被規(guī)定。
并且，以覆蓋包括電介質(zhì)層25的上部和肋29的側(cè)面的背面?zhèn)鹊?單元壁面的方式，設(shè)置有用于彩色顯示的R、 G、 B的三色的熒光體層 28。
肋29由以低熔點玻璃為主體的材料構(gòu)成，根據(jù)添加劑的種類的不 同，形成為透明或不透明。另外，作為肋29的形成方法，如后所述， 使用在全面膜(^夕膜)狀的低融點玻璃層(隔壁形成材料層)之上 設(shè)置切削掩模，由噴砂加工進行圖案化的工序。
顯示電極對S與矩陣顯示中的一行對應(yīng)， 一個尋址電極A與一列 對應(yīng)。并且，三列與一個像素(pixel) EG對應(yīng)。S卩， 一個像素EG由 在線方向排列的R、 G、 B這三個子像素EU構(gòu)成。
通過尋址電極A和顯示電極Y之間的相對放電，在與應(yīng)進行顯示 的被選擇的像素對應(yīng)的電介質(zhì)層17上形成壁電荷。當在顯示電極X、 Y上交替地施加脈沖時，在形成有壁電荷的上述選擇單元中產(chǎn)生面放 電(主放電)。熒光體層28被在面放電中產(chǎn)生的紫外線激勵，放出規(guī) 定顏色的可見光。在該可見光中，透過前面?zhèn)鹊牟ＡЩ?1的光成為 顯示光。
接著，對在PDP的制造中使用的噴砂處理進行說明。 在PDP的制造中，采用通過噴砂處理對隔壁進行圖案形成的方法。 首先，如圖2所示，在形成有尋址電極43和電介質(zhì)層25的玻璃 基板21上的隔壁形成區(qū)域中涂敷隔壁用的玻璃漿料并使其干燥，從而 形成隔壁形成材料層31。接著，在隔壁形成材料層31上設(shè)置具有耐噴 砂性的感光性抗蝕層，之后，通過隔著光掩模有選擇地照射活性光線， 并接著進行顯影而形成耐噴砂用的掩模32。之后，對于設(shè)置有隔壁形 成材料層31和耐噴砂用掩模32的玻璃基板21 (以下，為了方便說明 記作被加工基板33)實施噴砂處理。在噴砂處理中，作為切削材料， 使用粒徑為2 50um左右的玻璃珠、不銹鋼、SiC、 A1203、 Zr02等無 機微粒子。
接著，對采用噴砂處理的隔壁形成裝置進行說明。圖3是表示采用噴砂處理的隔壁形成裝置的結(jié)構(gòu)的縱截面圖，圖4 是圖3的I 一 I向看截面圖。
如這些圖所示，在加工室51的內(nèi)部水平地平行排列有多個搬送輥 52，在其之上沿著箭頭53的方向搬送被加工基板33。在被搬送的被加 工基板33的上方配置有切削材料噴射槍54、 55，槍54、 55分別通過 搬送裝置54a、 55a沿著箭頭56 (圖4)的方向、即與被加工基板33 的搬送方向(箭頭53)正交的方向被往復(fù)搬送。此外，在搬送輥52 的下方配置有回收裝置57 (圖3)，從切削材料噴射槍54、 55噴射出 的切削材料被回收，被送回切削材料噴射槍54、 55的切削材料供給源 (未圖示)并被再利用。
如圖4所示，在加工室51中與搬送輥52平行地、即在箭頭56方 向上設(shè)置有框架58、 59、 60。而且，在框架58、 59之間，與基板33 的搬送方向(箭頭53方向)平行地設(shè)置有平坦的帶狀的保護板61、 62; 在框架59、 60之間，與基板33的搬送方向(箭頭53方向)平行地設(shè) 置有平坦的帶狀的保護板63、 64。
圖5是表示保護板61 64的詳細情況的俯視圖，圖6是表示保護 板61 64的詳細情況的側(cè)面圖，圖7是圖6的n — II向看截面圖，圖 8是圖6的III一m向看截面圖。
如這些圖所示，保護板61 64各自包括在上邊具有切入部的帶 狀的由不銹鋼構(gòu)成的本體部件65;和嵌入該切入部并覆蓋本體部件65 的上邊，由止動部件(螺栓、螺母、墊片的組合)70、 71固定在本體 部件65的側(cè)面上的陶瓷制的耐磨損性(耐噴砂性)部件66。保護板 61 64還在下邊設(shè)置有滑動接觸部件67?；瑒咏佑|部件67使用粘接 劑或兩面粘接帶等粘接在本體部65的側(cè)面?；瑒咏佑|部件67從本體 部件65的下邊向下方突出1 2mm，如后所述與被加工基板33滑動接 觸(在接觸的同時滑動)。并且，滑動接觸部件67由硬度比被加工基 板33低的材料，例如聚乙烯(厚度0.5mm的膜)形成，使得不會對被 加工基板33造成損傷。
保護板61 64各自的兩端通過托架68、 69被框架58、 59或59、 60支承。保護板61 64各自的兩端和托架68、 69或59、 60分別通過 止動部件(螺栓、螺母、墊片的組合)72、 73被止動，托架68、 69分別通過止動部件(螺栓)74、 75被連結(jié)在框架58、 59或59、 60上。 另外，如圖5所示，托架68、 69分別具有長孔76、 77，相對于框架 58、 59或59、 60，以能夠在箭頭56方向(切削劑噴射槍的移動方向) 上移位的方式被固定。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，如圖3、 4所示，保護板61 64被設(shè)置在容易 受到切削損傷的被加工基板33的期望部分(在此例中為輔助隔壁的附 近)，如果在此狀態(tài)下被加工基板33被搬入加工室51，則被加工基板 33通過搬送輥52以一定的速度向箭頭53的方向被搬送。圖9和圖10 是表示被加工基板33與保護板61、 62或63、 64的位置關(guān)系的俯視圖 和側(cè)面圖。
在被加工基板33的隔壁形成區(qū)域34中，在箭頭56的方向(切削 材料噴射槍的移動方向)上平行地排列的多個主隔壁用掩模32a、和在 箭頭53的方向(基板的搬送方向)上平行地排列的多個輔助隔壁用掩 模32b以覆蓋隔壁形成材料層31的方式設(shè)置。
其中，輔助隔壁是為了防止主隔壁的端部的底部部分被切削、即 所謂的側(cè)面切削而設(shè)置的。
如圖10所示，保護板61、 62和63、 64各自以從本體部件65的 下側(cè)邊緣向下方延伸的可燒制性部件67與被加工基板33的隔壁形成 材料層31的表面滑動接觸的方式設(shè)定。
在加工室51 (圖3)中，被加工基板33例如以300mm/分的速度 沿箭頭53被搬送，與此相配合，切削材料噴射槍54、 55例如以600mm/ 秒的程度沿箭頭56噴射切削劑并同時重復(fù)進行往復(fù)運動。由此，被加 工基板33的隔壁形成材料層31通過切削劑被切削，在掩模32a、 32b 之下分別形成隔壁。此時，如圖14所示，因為保護板61 64在輔助 隔壁用掩模32b的附近位置為相對于被加工基板33直立的狀態(tài)，所以， 如果切削材料噴射槍54或55從位置(A)向(B)沿箭頭81的方向 移動并接近保護板61 64，則由于(A)位置的切削材料噴射槍54或 55的切削材料噴射而產(chǎn)生的反射流(吹升流)78、和由于(B)位置 的切削材料噴射槍54或55的切削材料噴射而產(chǎn)生的直噴流79在區(qū)域 80抵消。從而，保護板61 64能夠減弱直噴流79對位于周邊區(qū)域82 的輔助隔壁的切削作用，達到防止輔助隔壁被過度切削的效果。此外，因為使保護板61 64與被加工基板33的隔壁形成材料層表面接觸， 所以能夠使與被加工基板33的隔壁形成材料層沖撞后改變方向并與隔 壁形成材料層的表面平行地行進的切削材料的運動停止，即能夠有效 地保護輔助和主隔壁，使之不受到來自切削材料的橫方向的切削作用 的影響，不會產(chǎn)生損傷。
從而，能夠得到期望的截面形狀的隔壁。
這樣，保護板61 64與被加工基板33接觸并垂直設(shè)置，由此， 使得從噴射槍54、 55噴出的切削材料不會過度地沖撞被加工基板33 的期望部分，并且能夠保護被加工基板33的期望部分，使得從切削后 的基板面反射并沿橫方向行進的切削材料不會對其進行沖撞。因此， 保護板61 64以與被加工基板33的隔壁形成區(qū)域34 (圖9)的周邊 相對應(yīng)的方式設(shè)置。
當移動的被加工基板33與固定的保護板61 64接觸時，保護板 61 64與被加工基板33的隔壁形成材料層31的表面滑動接觸，存在 對隔壁形成材料層31的表面造成損傷的危險性。為了避免該危險，如 前所述，保護板61 64通過具有比被加工基板33更低的硬度的滑動 接觸部件67與被加工基板33的隔壁形成材料層31接觸。
另外，保護板也可以配置在避開隔壁形成材料層的位置，即隔壁 形成材料層的附近的被加工基板(玻璃基板)的表面。
優(yōu)選預(yù)先準備多種寬度W (圖6)在例如10 40mm的范圍中的 不同的保護板61 64。于是，如果根據(jù)將要形成在被加工基板33上的 隔壁的形狀、種類變更寬度W、即保護板61 64距被加工基板33的 高度，就能夠控制保護板61 64的保護范圍、保護作用。
而且，此時，也能夠利用長孔76、 77 (圖5)在箭頭56的方向上 改變保護部件61 64的安裝位置。
圖11表示在圖4所示的實施方式中，使應(yīng)該與尺寸較小的面板對 應(yīng)的保護板63和64的間隔狹窄，部分變更基于保護板63、 64的被加 工基板33上的保護部分的例子。
此外，圖12表示在圖4所示的實施方式中，除去保護板61和62， 僅通過保護板63和64進行保護的例子。
此外，圖13表示作為圖12所示的實施方式的變形例，被加工基板33設(shè)置有兩個隔壁形成區(qū)域34a、 34b的所謂多面方式(該情況下 是兩面方式)的例子。
在該例子中，在框架59和60之間，與各個隔壁形成區(qū)域34a、 34b 相對應(yīng)地設(shè)置有保護板61、 62和保護板63和64。并且，保護隔壁形 成區(qū)域34a、 34b的周邊部分(輔助隔壁)不受到從噴射槍55噴射出 的切削材料的影響。
在該多面方式中，相對于切削材料的橫方向的切削作用，保護板 62、 63的保護作用顯著。
另外，在保護板61 64的不銹鋼板制的本體部件65中，直接受 到切削材料的噴射的部分，被圖8所示的陶瓷制的耐磨損性(耐噴砂 性)部件66保護。從而，本體部件65能夠達到長壽命化。
權(quán)利要求
1. 一種隔壁形成方法，其為通過切削材料對形成在基板上的隔壁形成材料層的沒有設(shè)置耐噴砂用掩模的部分進行切削，形成期望的形狀的隔壁的等離子體顯示面板的隔壁形成方法，其特征在于在所述基板的期望部分的上方，以與隔壁形成材料層的表面或基板的表面接觸的方式垂直地設(shè)置沿基板的搬送方向延伸的規(guī)定高度的保護板，保護隔壁形成材料層的期望部分，以免受到從在與基板搬送方向正交的方向上移動的噴砂加工用噴嘴噴射出的切削材料的切削。
2. 如權(quán)利要求1所述的隔壁形成方法，其特征在于 保護板與隔壁形成材料層或基板滑動接觸的部分，由比基板硬度低的材料形成。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的隔壁形成方法，其特征在于 通過將保護板更換為寬度不同的其他保護板而控制切削作用。
4. 一種隔壁形成裝置，其通過切削材料對形成在基板上的隔壁形 成材料層的沒有設(shè)置耐噴砂用掩模的部分進行切削，形成期望的形狀 的隔壁，該隔壁形成裝置的特征在于，包括-將設(shè)置有隔壁形成材料層和耐噴砂用掩模的基板沿規(guī)定的方向搬 送的基板搬送裝置；噴射切削材料的噴砂加工用噴嘴；將該噴嘴沿著與基板搬送方向正交的方向搬送的噴嘴搬送裝置；和在搬送的基板的期望部分在噴砂加工用頭與基板之間以與隔壁形 成材料層的表面或基板的表面接觸的方式垂直設(shè)置、并且沿著基板的 搬送方向延伸的規(guī)定高度的保護板。
5. 如權(quán)利要求4所述的隔壁形成裝置，其特征在于 還包括支承保護板的支承部件，保護板由平坦帶狀的本體部件、相對于噴砂加工的切削作用保護本體部件的耐磨損性部件、和具有比 基板更低的硬度且與隔壁形成材料層表面或基板表面接觸的滑動接觸 部件構(gòu)成。
6. 如權(quán)利要求5所述的隔壁形成裝置，其特征在于 支承部件以能夠?qū)⒈Ｗo板更換為寬度不同的其他保護板的方式對該保護板進行支承。
7. 如權(quán)利要求5所述的隔壁形成，其特征在于支承部件以能夠在噴砂加工用噴嘴的搬送方向上移位的方式對保 護板進行支承。
全文摘要
本發(fā)明涉及等離子體顯示面板的隔壁的形成方法和形成裝置。作為等離子體顯示面板用的基板的被加工基板(33)是在玻璃基板(21)上形成隔壁用材料的層(31)和掩模(32a、32b)而成的。如果對上述被加工基板實施噴砂處理，則上述層中未被上述掩模覆蓋的部分被切削除去，僅被上述掩模覆蓋的部分殘留成為隔壁。在噴砂處理的過程中，在上述被加工基板的兩端部設(shè)置有規(guī)定的高度的保護板(61、62)，防止上述層被過度切削。上述保護板由本體部分(65)和滑動接觸部件(67)構(gòu)成。上述本體部分由難以磨損的部件保護，使得不會由于噴砂處理而被切削，上述滑動接觸部件由硬度較低的材料形成，使得不會損傷上述被加工基板。
文檔編號H01J9/02GK101438369SQ200680054498
公開日2009年5月20日 申請日期2006年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月5日
發(fā)明者巖井盛滿, 早瀬憲吾, 柳橋靖男, 鐮田勝彥 申請人:日立等離子顯示器股份有限公司