專利名稱：光電倍增管和放射線檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光電倍增管和使用了該光電倍增管的放射線檢測裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知有下述的光電倍增管在利用倍增極對(duì)由設(shè)在真空容器 的一側(cè)的光電面發(fā)射出的電子進(jìn)行放大并利用陽極對(duì)其進(jìn)行檢測的光電 倍增管中，利用大型的錐狀密封玻璃形成構(gòu)成真空容器的另一端的芯柱， 在芯柱的中央部通過熔接下垂并連設(shè)有作為金屬排氣管的金屬尖管(金 屬于，7°管)(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。
并且，具有下述例子排氣管氣密地嵌合并固定在構(gòu)成真空容器的 另一端的芯柱的以包圍真空容器外側(cè)面的方式配置的碟狀的芯柱金屬板 上(如，參照專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)l:日本特開平5-290793號(hào)公報(bào)(第4項(xiàng)，第7圖) 專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-11592號(hào)公報(bào)(第3頁，第1圖) 但是，上述那樣的排氣管在對(duì)真空容器內(nèi)進(jìn)行排氣后被切斷并被密
封。此時(shí)，存在下述情況發(fā)生在排氣管和真空容器的接合部分產(chǎn)生應(yīng)
力從而連接不充分等問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，提供在密封排氣管時(shí)也不會(huì)損害排氣管 和真空容器之間的接合的可靠性的光電倍增管和放射線檢測裝置。 為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的光電倍增管在具有構(gòu)成一側(cè)端部的受
光面板和構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱的真空容器內(nèi)具備光電面，其將通過 受光面板入射的入射光轉(zhuǎn)換為電子；電子倍增部，其使光電面發(fā)射出的 電子倍增；以及電子檢測部，其根據(jù)電子倍增部倍增后的電子送出輸出
信號(hào)，其特征在于，芯柱是具有與電子倍增部對(duì)置的第一面和與第一面 對(duì)置的第二面的絕緣性部件，在芯柱中設(shè)有對(duì)真空容器進(jìn)行排氣的排氣 管，排氣管具有配置在同軸上的外側(cè)管和內(nèi)側(cè)管，外側(cè)管的外周面與芯 柱緊密接合，外側(cè)管的靠真空容器內(nèi)部側(cè)的端部和內(nèi)側(cè)管的靠真空容器 內(nèi)部側(cè)的端部連接。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于排氣管為雙重結(jié)構(gòu)，因此外側(cè)管形成為重視 與芯柱的接合性的結(jié)構(gòu)，內(nèi)側(cè)管形成為重視能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行密封的結(jié)構(gòu) 等，擴(kuò)大了設(shè)計(jì)的自由度。例如，能夠使外側(cè)管為熱膨脹系數(shù)與芯柱類 似的材料從而可靠地進(jìn)行接合，能夠?qū)?nèi)側(cè)管形成得較薄以降低密封時(shí) 產(chǎn)生的應(yīng)力，同時(shí)能夠盡量縮短排氣管的長度。
優(yōu)選外側(cè)管在其與芯柱的接合部處向芯柱的真空容器內(nèi)部側(cè)突出設(shè) 置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠防止在形成芯柱時(shí)芯柱的材料在排氣管的連 接部上升。
外側(cè)管和內(nèi)側(cè)管在真空容器內(nèi)部側(cè)端部處熔接。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)， 能夠?qū)⒂擅芊鈨?nèi)側(cè)管時(shí)產(chǎn)生的變形引起的應(yīng)力控制在最小限度。
在上述任一光電倍增管中，能夠構(gòu)成通過在受光面板的外側(cè)設(shè)置將 放射線轉(zhuǎn)換為光并輸出的閃爍器而成的放射線檢測裝置。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)θ肷渲灵W爍器中的放射線進(jìn)行檢測。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在密封排氣管時(shí)也不會(huì)損害排氣管和真空容 器之間的接合的可靠性、且檢測效率高的光電倍增管和放射線檢測裝置。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的放射線檢測裝置1的示意剖面圖。
圖2是沿圖1的II 一 II面的光電倍增管10的示意剖面圖。 圖3是示出芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a、管狀部件31以及延伸部32的俯 視圖。
圖4是沿圖3的IV — IV平面的剖面圖。
圖5是圖2的局部放大圖。
圖6是圖4的局部放大圖。
圖7是圖1的局部放大圖。
圖8是從z軸上方側(cè)觀察陽極25及其z軸下方側(cè)的結(jié)構(gòu)的概觀圖。 圖9是圖8的局部放大圖。
圖10是從x軸上方觀察倍增極Dyl2及其z軸下方側(cè)的結(jié)構(gòu)的概觀圖。
圖11是圖IO的局部放大圖。
圖12是從z軸上方側(cè)觀察聚焦電極17及其z軸下方側(cè)的結(jié)構(gòu)的概 觀圖。
圖13是圖12的局部放大圖。
圖14是將從光電面14到倍增極Dyl的電子軌道投影到xy平面和 xz平面上進(jìn)行表示的圖。
圖15是示出設(shè)置于通常的倍增極的隔壁的圖。
圖16是示出設(shè)置于預(yù)定的倍增極的隔壁的圖。
圖17是設(shè)置了很多隔壁的倍增極的整體圖。
圖18是圖17的剖面圖。
圖19是示出排氣管40附近的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖20是示出排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。
圖21是示出排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。
圖22是示出排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。
圖23是示出第一變形例的陽極125的立體圖。
圖24是示出第二變形例的放射線檢測裝置100的示意剖面圖。
圖25是示出第三變形例的放射線檢測裝置200的示意剖面圖。
圖26是示出第四變形例的放射線檢測裝置100的示意剖面圖。
圖27是示出延伸部32的開口部的形狀的變形例的俯視圖。
符號(hào)說明
1:放射線檢測裝置；3:閃爍器；5:入射面；7:出射面；10:光 電倍增管；13:受光面板；14:光電面；15:側(cè)管；17:聚焦電極；19-引出電極；21:支承腳；23:絕緣部件；25:陽極；27:芯柱腳；29: 芯柱；31:管狀部件；32:延伸部；33:上升部；35:軸；47:引線腳。
200780007049.8
說明書第4/17頁
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1 圖22是示出包含本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的光電倍增管的放射 線檢測裝置的圖。在各圖中對(duì)實(shí)質(zhì)上相同的部分賦予同一標(biāo)號(hào)，省略重 復(fù)說明。另外，在以下的說明中，"上"、"下"等用語是基于圖面所示狀 態(tài)為了方便而采用的。
圖1是本實(shí)施方式的放射線檢測裝置1的示意剖面圖，圖2是沿圖
i的n — n面的光電倍增管10的示意剖面圖。如圖1、圖2所示，放射
線檢測裝置1是對(duì)入射的放射線進(jìn)行檢測并作為信號(hào)輸出的裝置，其具 有將入射的放射線轉(zhuǎn)換為光并輸出的閃爍器(scintillator) 3;以及將入 射的光轉(zhuǎn)換為電子并倍增后進(jìn)行檢測的光電倍增管10。光電倍增管10具 有截面為大致矩形的管狀形狀，設(shè)管軸的方向?yàn)閦軸、與圖1的紙面垂 直的軸為x軸、與z軸和x軸垂直的軸為y軸。
閃爍器3在z軸方向一端側(cè)具有入射面5，在另一端側(cè)具有輸出面7， 該閃爍器3具有截面為大致矩形的形狀。在閃爍器3中，放射線從入射 面5側(cè)入射，入射的放射線在閃爍器3的內(nèi)部被轉(zhuǎn)換為光并在閃爍器3 內(nèi)傳輸，從輸出面7側(cè)被輸出。光電倍增管10連接在閃爍器3的輸出面 7側(cè)，閃爍器3的中心軸和光電倍增管10的管軸大致同軸地設(shè)置。
光電倍增管10是通過氣密地連接和固定下述部件而形成的真空容
器構(gòu)成Z軸方向一側(cè)端部的受光面板13;構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱29;
管狀部件31，其設(shè)在芯柱29的周緣部；排氣管40,其設(shè)在芯柱29的xy 平面的大致中央；以及側(cè)管15，其具有筒形形狀。在光電倍增管10的真 空容器內(nèi)部配置有聚焦電極17;具有多個(gè)倍增極Dyl Dyl2的電極層 疊部；電子檢測部，其具有對(duì)電子進(jìn)行檢測并將其作為信號(hào)輸出的多個(gè) 陽極25;以及引出電極19，其位于電極層疊部和電子檢測部之間。
受光面板13具有例如由玻璃形成的大致矩形的板狀形狀，在其內(nèi)部 側(cè)、即z軸方向下表面?zhèn)仍O(shè)有將入射光轉(zhuǎn)換為電子的光電面14。光電面 14例如通過使堿金屬蒸氣與預(yù)先蒸鍍過的銻反應(yīng)而形成。光電面14設(shè)置
在受光面板13的內(nèi)部側(cè)的大致整個(gè)面上，將從閃爍器3輸出并通過受光 面板13入射來的光轉(zhuǎn)換為電子并發(fā)射出。側(cè)管15具有例如由金屬形成 的截面呈大致矩形的筒形形狀，構(gòu)成光電倍增管10的側(cè)面。在側(cè)管15 的一端部相互氣密地固定有受光面板13，在側(cè)管15的另一端部經(jīng)由管狀 部件31相互氣密地固定有芯柱29。此處，光電面14與側(cè)管15電連接， 且電位相同。
圖3是示出芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a、管狀部件31以及延伸部32的俯 視圖。如圖1 圖3所示，芯柱29具有例如由科瓦鐵鎳鈷合金玻璃(Kovar glass)形成的大致矩形的板狀，具有靠光電倍增管10內(nèi)部側(cè)的內(nèi)側(cè)面 29a;外側(cè)面29b;以及連接內(nèi)側(cè)面29a和外側(cè)面29b的周緣部29c。在芯 柱29中，氣密地貫穿有與陽極25的通道數(shù)量對(duì)應(yīng)數(shù)量(此處為64根) 的導(dǎo)電性的芯柱腳27，該芯柱腳27用于支承陽極25。
在芯柱29的周緣部29c上氣密地裝配有包圍周緣部29c的管狀部件 31。管狀部件31具有例如由金屬形成的截面呈大致矩形的管形狀，并且 與側(cè)管15也氣密地連接。延伸部32從管狀部件31沿著芯柱29的內(nèi)側(cè) 面29a向光電倍增管10的內(nèi)部側(cè)延伸。延伸部32具有例如由金屬形成 的俯視為大致矩形狀的環(huán)形狀。
在延伸部32的x軸方向兩邊緣部形成有多個(gè)貫通孔部22、 48，分 別貫穿并固定有支承腳21、引線腳47。并且，在圖3的x方向左側(cè)邊緣 部中，在延伸部32上立設(shè)有聚焦腳51。
支承腳21由導(dǎo)電性材料形成，在本實(shí)施方式中，在x軸方向兩邊緣 部上分別設(shè)有3根總計(jì)設(shè)有6根。另外，圖2示出沿圖3的V—V面的 剖面，如圖2所示，支承腳21貫通芯柱29并向z軸方向上方延伸，載 置引出電極19，并且與引出電極19電位相同。
如圖5所示，支承腳21由支承部21a和載置部21b構(gòu)成，所述支承 部21a貫穿芯柱29中并在z軸方向延伸，所述載置部21b設(shè)在支承部2la 的z軸方向上端，用于載置電極層疊部。此處，載置部21b形成為在xy 平面上的截面積比支承部21a的大，電極層疊部以最下層的電極(本實(shí) 施方式中為引出電極19)的下表面與載置部21b的上表面(載置面)接
觸的形式載置在支承腳21上。此處，由于載置部21b形成為在xy平面 上的截面積比支承部21a的大，所以能夠可靠地規(guī)定電極層疊體在z軸 方向上的位置精度，并且，能夠?qū)㈦姌O層疊體穩(wěn)定地載置在載置部21b 的載置面上。
引線腳47由導(dǎo)電性材料形成，在本實(shí)施方式中，在x軸方向兩邊緣 部總計(jì)設(shè)有35根。圖4示出沿圖3的IV — IV面的剖面，如圖4所示，引 線腳47貫通芯柱29并向z軸方向上方延伸，分別與預(yù)定的倍增極Dyl Dyl2以及引出電極19連接，以提供預(yù)定的電位。另外，各引線腳47形 成為與各自所連接的倍增極Dyl Dyl2的位置對(duì)應(yīng)的長度。聚焦腳51 由導(dǎo)電性材料形成，從芯柱29向z軸方向上方延伸，并連接在聚焦電極 17上。聚焦電極17經(jīng)由焊接在管狀部件31上的聚焦腳51與側(cè)管15電 連接，與光電面14電位相同。
圖5是圖2即沿圖3的V—V面的剖面的局部放大圖，圖6是圖4 即沿圖3的W — IV面的剖面的局部放大圖。如圖5、圖6所示，在貫通孔 部22、 48中的支承腳21和引線腳47與芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a的連接部 分，形成有通過芯柱29隆起而成的上升部33。此處，若設(shè)上升部33與 支承腳21或引線腳47的接點(diǎn)為點(diǎn)Pl，設(shè)沒有上升部33的情況下內(nèi)側(cè)面 29a與支承腳21或引線腳47的假想接點(diǎn)為點(diǎn)P2，設(shè)上升部33與延伸部 32的接點(diǎn)為點(diǎn)P3，則點(diǎn)Pl —點(diǎn)P3之間的距離比點(diǎn)P3 —點(diǎn)P2之間的距 離長。因此，在本實(shí)施方式中，由于存在上升部33，從而可確保支承腳 21或引線腳47與管狀部件31的沿面距離很長。
如圖1、圖2所示，聚焦電極17配置成與光電面14隔開預(yù)定的距 離對(duì)置。聚焦電極17是具有在x軸方向延伸的多個(gè)聚焦片17a、和由多 個(gè)聚焦片17a形成的多個(gè)狹縫狀的開口部17b的大致矩形薄型電極，用 于將電子有效地會(huì)聚到倍增極Dyl的電子倍增孔18a (參照?qǐng)D7)。聚焦 電極17經(jīng)由立設(shè)在延伸部32上的聚焦腳51 (參照?qǐng)D3)與側(cè)管15電連 接，并與光電面14電位相同。
倍增極Dyl Dy12是用于使電子倍增的電極，以大致平行地對(duì)置的 方式層疊在聚焦電極17的z軸方向下方。圖7是圖1的局部放大圖。如
圖7所示，倍增極Dyl Dyl2是通過yz平面的截面具有凹凸的電子倍 增片18相互離開并平行地排列而成的大致矩形薄板型電極。因此，在倍 增極Dyl Dyl2中，在鄰接的電子倍增片18之間形成有在x軸方向延 伸的狹縫狀的電子倍增孔18a。預(yù)定數(shù)量的電子倍增孔18a與各陽極對(duì)應(yīng)， 在與陽極25的各通道的x軸方向邊界部對(duì)應(yīng)的位置上，設(shè)有在y軸方向 延伸的隔壁71 (參照?qǐng)D15)，規(guī)定倍增極Dyl Dyl2的多個(gè)通道的y軸 方向邊界。并且，如圖2和圖5所示，在各倍增極Dyl Dyl2之間配置 有絕緣部件23。通過引線腳47對(duì)倍增極Dyl Dyl2提供從光電面14側(cè) 向芯柱29側(cè)依次升高的電位。
引出電極19以與倍增極Dy12隔著絕緣部件23分開并大致平行地對(duì) 置的方式配置在倍增極Dyl2的芯柱29側(cè)。引出電極19是由與倍增極 Dyl Dyl2相同的材料形成的薄板型電極，具有在x軸方向延伸的多個(gè) 引出片19a和由多個(gè)引出片19a形成的多個(gè)狹縫狀的開口部19b，該開口 部1%用于使從倍增極Dyl2發(fā)射出的電子通過到陽極25，與倍增極 Dyl Dyl2的電子倍增孔18a不同。因此，幵口部19b設(shè)計(jì)成盡量不與 從倍增極Dyl2發(fā)射出的電子碰撞。引出電極19被賦予比倍增極Dyl2 的電位高且比陽極25的電位低的預(yù)定的電位，使倍增極Dyl2的二次電 子面上的電場強(qiáng)度均勻。此處，所謂二次電子面是指有助于各倍增極Dy 的電子倍增孔18a中形成的電子的倍增的部分。
在沒有引出電極19的情況下，用于從倍增極Dy12引出電子的電場 依賴于倍增極Dyl2 —陽極25之間的電位差和距離。從而，例如，在各 陽極25相對(duì)于xy平面稍微傾斜地配置的情況下，倍增極Dyl2—陽極25 之間的距離根據(jù)各個(gè)位置而不同，因此，相對(duì)于倍增極Dyl2的電場強(qiáng)度 不均勻，不能均勻地引出電子。但是，在本實(shí)施方式中，由于在倍增極 Dyl2—陽極25之間配置有引出電極19，因此相對(duì)于倍增極Dy12的電場 由倍增極Dyl2 —引出電極19之間的電位差和距離確定。由于倍增極 Dyl2—引出電極19之間的電位差和距離恒定，因此倍增極Dy12的二次 電子面上的電場強(qiáng)度均勻，從倍增極Dyl2引出電子的力也變得均勻。因 此，即使在各陽極25相對(duì)于xy平面稍微傾斜地配置的情況下，也能夠
從倍增極Dyl2均勻地引出電子。
引出電極19如上所述，在邊緣部載置于由導(dǎo)電體形成的支承腳21 的載置部21b上。如圖5所示，由于支承腳21和多個(gè)絕緣部件23同軸 地配置在z方向軸35上，所以能夠向z軸下方向施加高的壓力來固定聚 焦電極17、倍增極Dyl Dy12以及引出電極19。
陽極25是對(duì)電子進(jìn)行檢測并經(jīng)由芯柱腳27將與檢測到的電子對(duì)應(yīng) 的信號(hào)輸出至光電倍增管10的外部的電子檢測部，以與引出電極19大 致平行地對(duì)置的方式設(shè)在引出電極19的芯柱29側(cè)。如圖l、圖2所示， 陽極25是與倍增極Dyl Dyl2的多個(gè)通道對(duì)應(yīng)地設(shè)有多個(gè)的薄板型電 極，分別焊接連接在芯柱腳27上，并經(jīng)由芯柱腳27被提供比引出電極 19的電位高的預(yù)定的電位。并且，為了在制造時(shí)使從排氣管40導(dǎo)入的堿 金屬蒸氣擴(kuò)散，在陽極25上設(shè)有多個(gè)狹縫。
以下，對(duì)聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12、引出電極19以及陽極 25的結(jié)構(gòu)進(jìn)一步詳細(xì)說明。
圖8是從z軸方向上方側(cè)觀察電子倍增部的概觀圖，圖9是圖8的 局部放大圖。如圖8所示，電子倍增部通過將多個(gè)(在本實(shí)施方式中為 64個(gè))陽極25以二維方式排列而構(gòu)成，各陽極25分別支承在芯柱腳27 上，并經(jīng)由芯柱腳27與未圖示的電路電連接。
此處，為了方便將單位陽極從圖8的左上開始設(shè)為陽極25 (l — l)、 25 (1—2)、…、25 (8—8)。在各陽極25 (1 — 1)、 25 (1—2)、…、25 (8—8)中，在與鄰接的單位陽極之間相互對(duì)置地形成有凹部28,在凹 部28中殘留有橋殘留部26。陽極25在制造時(shí)形成為，鄰接的單位陽極 彼此通過橋連接起來的一體的陽極板的狀態(tài)，在一體的狀態(tài)下將各陽極 焊接并固定在各芯柱腳27上。然后切斷橋，使陽極25 (l — l)、 25 (1 一2)、…、25 (8 — 8)相互獨(dú)立。橋殘留部26是切開橋后殘留的部分。
并且，在與x軸方向兩邊緣部相當(dāng)?shù)年枠O25(l — l)、 25(2—1)、…、 25 (8—1)和陽極25 (l — 8)、 25 (2—8)、…、25 (8 — 8)中，除了陽 極25 (1 — 1)、 25 (l — 8)、 25 (8—1)、 25 (8 — 8)的角部83夕卜，形成 有缺口部24。由此，通過該缺口部24，避免陽極25和支承腳21、引線 腳47以及聚焦腳51接觸，并且，電子檢測部的有效面擴(kuò)展至側(cè)管15的 附近。
圖10是從z軸上方觀察倍增極Dyl2的概觀圖，圖11是圖10的局 部放大圖。另外，在圖IO、圖11中省略了電子倍增片18的開口部18a、 引出電極19的開口部1%。如圖11所示，倍增極Dyl2和引出電極19 在xy平面中與陽極25具有大致相同的外形。g卩，在x軸方向兩邊緣部 形成有避開支承腳21、引線腳47等的缺口部49。在引出電極19的缺口 部49中形成有突出部55，支承腳21通過載置突出部55來載置引出電極 19整體。并且，倍增極Dyl2同樣也具有突出部55。對(duì)于倍增極Dyl2 的情況，由于其與引線腳47A、 47B連接并被提供預(yù)定的電位，所以在 引線腳47A、 47B周圍形成有突出部53。并且，在y軸方向兩邊緣部， 電極一直形成到側(cè)管15的內(nèi)壁面的附近，特別是在4處的角部突出有角 部85。另外，倍增極Dyl Dy11也是和倍增極Dy12實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)， 各引線腳47在z軸方向延伸并與預(yù)定的倍增極Dy連接。
圖12是從z軸上方側(cè)觀察聚焦電極17的概觀圖，圖13是圖12的 局部放大圖。另外，在圖12、圖13中，省略了圖1和圖2中示出的聚焦 片17a和開口部17b。如圖12、圖13所示，聚焦電極17以覆蓋陽極25 的缺口部24、倍增極Dyl Dyl2以及引出電極19的缺口部49的方式一 直設(shè)置到x軸方向周緣部。另外，聚焦電極17的覆蓋缺口部24或者缺 口部49的部分形成沒有形成狹縫的平板電極部分16， 4個(gè)角部成為具有 狹縫的角部87。
以下，對(duì)上述那樣的聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12、引出電極19 以及陽極25的xy平面外形給光電倍增管10內(nèi)部的電子軌道帶來的作用 進(jìn)行說明。圖14是將從光電面14到倍增極Dyl的電子軌道投影到xy平 面和xz平面進(jìn)行表示的圖。如圖14所示，從光電面14的x軸方向周緣 部發(fā)射出的電子通過聚焦電極17的以覆蓋缺口部24、 49的方式設(shè)置的 平板電極部分16集束到x軸方向中央側(cè)的電子倍增孔用開口部89,如軌 道61那樣入射至倍增極Dyl。并且，從光電面14的與角部87對(duì)置的區(qū) 域發(fā)射出的電子由聚焦電極17的角部87集束而如軌道63那樣入射至倍
增極Dyl的角部85。這樣，由于設(shè)有聚焦電極17的角部87和倍增極 Dyl的角部85，所以從光電面14周緣部發(fā)射出的電子也有效地入射至倍 增極Dyl。
然而，如果從光電面14到倍增極Dyl的電子的行走距離產(chǎn)生差異， 會(huì)產(chǎn)生輸出信號(hào)的時(shí)間性波動(dòng)。例如，從光電面14的靠近中央部發(fā)射出 的電子如軌道65那樣入射至倍增極Dyl 。雖然軌道61和軌道65入射至 倍增極Dyl的大致同一部分，但是從光電面14到倍增極Dyl的電子的 行走距離存在差異，因此產(chǎn)生輸出信號(hào)的時(shí)間性波動(dòng)。并且，從光電面 14的與角部87對(duì)置的區(qū)域發(fā)射出的電子利用斜向的軌道63入射至倍增 極Dy的x軸方向中央側(cè)。因此，在各電極上沒有設(shè)置角部83、 85、 87 的情況下，即，在各電極的角部部分不是有效區(qū)域的情況下，為了使從 光電面14的與角部87對(duì)置的區(qū)域發(fā)射出的電子入射至倍增極Dyl，需 要使其大量集束，因此，與軌道61相比，與軌道65的行走距離的差異 進(jìn)一步變大。但是，在本實(shí)施方式中，在倍增極Dyl Dyl2、引出電極 19和陽極25上設(shè)有缺口部24、 49，角部83、 85、 87相對(duì)于電子的倍增 和檢測成為有效區(qū)域，因此，以從光電面14的與角部83、 85、 87對(duì)置 的區(qū)域發(fā)射出的電子的行走時(shí)間差變小的方式集束。從而，能夠?qū)⑼ㄟ^ 各軌道61、 63、 65入射至倍增極Dyl的電子的時(shí)間性波動(dòng)抑制在最小限 度。
其次，對(duì)設(shè)置于倍增極Dyl Dyl2的隔壁的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖15 是示出設(shè)置于通常的倍增極的隔壁的圖，圖16是示出設(shè)置于預(yù)定的倍增 極的隔壁的圖，圖17是設(shè)置了很多隔壁的倍增極的整體圖，圖18是圖 17的剖面圖。另外，在圖15、圖16中省略了電子倍增片18。
對(duì)于倍增極Dyl Dy12，在本實(shí)施方式中，如上所述，是在x軸方 向具有狹縫的結(jié)構(gòu)，如圖15所示，在y軸方向上設(shè)有與陽極25的多個(gè) 通道的y軸方向邊界部對(duì)應(yīng)的隔壁71。為了在光電倍增管10中獲得寬廣 的受光面板13的有效區(qū)域，使基于入射到受光面板13的周緣部附近的 光從光電面14的周緣部發(fā)射出的光電子向xy平面的中心側(cè)集束。由于 來自周緣部的電子伴隨著集束而產(chǎn)生損失(loss),所以，其結(jié)果是存在
周緣部的電子倍增率的均勻性降低的傾向。因此，如圖16、圖17所示， 在倍增極Dy的除去y軸方向周緣部以外的區(qū)域設(shè)置在y軸方向延伸的隔 壁73，對(duì)電子的倍增率進(jìn)行調(diào)節(jié)。在這樣的結(jié)構(gòu)中，在沿圖17的A—A 線的剖面中，如圖7所示，電子倍增片18存在于電極層疊部整體，但是， 在沿B—B的剖面中，如圖18所示，倍增極Dy5的除去y方向周緣部以 外的部分都成為隔壁73。在隔壁73部分未形成電子倍增孔18a，入射至 隔壁73的電子對(duì)倍增沒有幫助，因此，xy平面中央部的電子倍增被抑制， 從而電子的倍增率均勻化。
其次，對(duì)排氣管40的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖19是示出排氣管40附近的 結(jié)構(gòu)的剖面圖。排氣管40氣密地連接在芯柱29的中央部。排氣管40是 內(nèi)側(cè)管43和外側(cè)管41的雙重結(jié)構(gòu)。為了使外側(cè)管41與芯柱29密接， 外側(cè)管41由與玻璃密接性好且熱膨脹系數(shù)相等的例如科瓦鐵鎳鈷合金金 屬形成，厚度例如為0.5mm，外徑例如為5mm，長度例如為5mm。另夕卜， 在芯柱29的厚度為例如4mm時(shí)，該情況下，外側(cè)管41比芯柱29的外 側(cè)面29b向外側(cè)突出lmm。由于外側(cè)管41比外側(cè)面29b更向外側(cè)突出， 從而防止芯柱29超過外側(cè)管41進(jìn)入內(nèi)側(cè)管43和外側(cè)管41之間。并且， 為了容易進(jìn)行密封(壓接)，排氣管40構(gòu)成為即使在密封后，內(nèi)側(cè)管43 也比外側(cè)管41的下端突出。
內(nèi)側(cè)管43例如由科瓦鐵鎳鈷合金或銅形成，外徑例如為3.8mm，切 斷前的長度例如為30mm，與外側(cè)管41同軸地配置，芯柱29的靠內(nèi)側(cè)面 29a側(cè)的一端部與外側(cè)管41氣密接合。并且，由于在光電倍增管10制造 完成時(shí)氣密地密封內(nèi)側(cè)管43的另一端部，因此優(yōu)選使其厚度盡量薄，例 如為0.15mm。以向z軸方向上側(cè)突出例如O.lmm的方式配置排氣管40 與芯柱29的連接部41a，以免在排氣管40與芯柱29的連接部41a處， 芯柱29的材料繞入排氣管40的內(nèi)側(cè)。
其次，對(duì)光電倍增管10的制造方法進(jìn)行說明。圖20 圖22是示出 排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。如圖20所示，首先準(zhǔn)備外側(cè)管41 和內(nèi)側(cè)管43。接著，將內(nèi)側(cè)管43同軸地配置在外側(cè)管41的內(nèi)部。此時(shí)， 使內(nèi)側(cè)管43和外側(cè)管41的一端彼此的位置對(duì)準(zhǔn)，利用激光焊接對(duì)連接部41a進(jìn)行接合。接合后，在外側(cè)管41的外表面上形成用于使其易于與 芯柱29進(jìn)行熔接的氧化膜。并且，準(zhǔn)備管狀部件31和延伸部32，在管 狀部件31和延伸部32上形成用于使其易于與芯柱29進(jìn)行熔接的氧化膜。 如圖21所示，在芯柱29上，分別形成有預(yù)定數(shù)量的裝配支承腳21的貫 通孔38、裝配芯柱腳27的貫通孔30等，并且，在一處形成裝配排氣管 40的貫通孔34。
如圖22所示，將排氣管40、管狀部件31、延伸部32、芯柱29、支 承腳21、芯柱腳27、引線腳47等分別配置在圖示的位置并組裝進(jìn)石墨 夾具(未圖示)中， 一邊利用夾具以夾著芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a、外側(cè)面 29b側(cè)的方式對(duì)芯柱29進(jìn)行加壓一邊進(jìn)行正式燒成，從而玻璃和各金屬 氣密地熔接。此時(shí)，通過將芯柱29的材料壓出至貫穿延伸部32的貫通 孔部22、 48中的支承腳21和引線腳47與芯柱29的連接部分，從而產(chǎn) 生上升部33。熔接后，卸下夾具，除去氧化膜并進(jìn)行清洗。這樣，芯柱 部分就完成了。
接著，將形成為一體的陽極25載置并固定在芯柱腳27上。固定后， 切斷橋而獨(dú)立為陽極25 (1 — 1)、 25 (l—2)、…、25 (8 — 8)。在支承腳 21上，與陽極25大致平行地分開載置引出電極19。另外，在引出電極 19上載置電極層疊部，所述電極層疊部通過使倍增極Dyl2 Dyl和聚焦 電極17隔著絕緣部件23依次分開并對(duì)置而成。此時(shí)，將聚焦電極17與 聚焦腳51連接，并向z軸下方施加壓力，將分別與電極Dyl Dyl2對(duì) 應(yīng)的引線腳47固定在突出部53上。其后，將固定有受光面板13的側(cè)管 15端部與管狀部件31焊接固定來組裝。
接著，從排氣管40利用真空泵等對(duì)光電倍增管10內(nèi)部進(jìn)行排氣后， 導(dǎo)入堿蒸氣，使光電面14和二次電子面活性化。再次對(duì)光電倍增管10 內(nèi)部排氣至真空后，將構(gòu)成排氣管40的內(nèi)側(cè)管43切斷成預(yù)定的長度， 并對(duì)其前端進(jìn)行密封。此時(shí)，為了在將放射線檢測裝置1載置到電路基 板上時(shí)不成為障礙，優(yōu)選將內(nèi)側(cè)管43縮短至不損害排氣管40與芯柱29 的連接部41a的密接度的程度。通過以上的工序得到光電倍增管10。
在如上構(gòu)成的本實(shí)施方式的放射線檢測裝置1中，當(dāng)放射線入射至
閃爍器3的入射面5時(shí)，向輸出面7側(cè)輸出與入射的放射線對(duì)應(yīng)的光。 當(dāng)閃爍器3輸出的光入射至光電倍增管10的受光面板13上時(shí)，光電面 14發(fā)射出與入射的光對(duì)應(yīng)的電子。與光電面14對(duì)置地設(shè)置的聚焦電極 17對(duì)從光電面14發(fā)射出的電子進(jìn)行集束，并使其入射至倍增極Dyl。倍 增極Dyl使入射的電子倍增，并向下一層倍增極Dy2側(cè)發(fā)射。這樣通過 倍增極Dyl Dyl2依次倍增后的電子經(jīng)由引出電極19到達(dá)陽極25。陽 極25對(duì)到達(dá)的電子進(jìn)行檢測，并將其經(jīng)由芯柱腳27作為信號(hào)輸出至外 部。
如圖5所示，在光電倍增管10中，具有用于載置電極層疊體的支承 腳21。通過形成為將電極層疊部載置在構(gòu)成支承腳21的載置部21b的載 置面上的結(jié)構(gòu)，能夠從z軸方向上側(cè)施加大的壓力來固定電極層疊部， 電極層疊部的固定強(qiáng)度提高，耐震性提高，同時(shí)，電極層疊部(構(gòu)成電 極層疊部的各電極)的z軸方向的位置精度提髙。并且，電極層疊部的 最下層的電極即引出電極19載置并支承在支承腳21的載置部21b上， 與陽極25之間沒有夾著絕緣物。因此，能夠防止電子與絕緣物碰撞而發(fā) 光從而在從陽極25輸出的信號(hào)中產(chǎn)生噪聲。另外，由于支承腳21由導(dǎo) 電性材料形成，所以即使電子發(fā)生碰撞也不會(huì)發(fā)光。因此，能夠進(jìn)一步 防止產(chǎn)生噪聲。
聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12以及引出電極19在夾著與支承腳 21同軸配置的絕緣部件23而相互分開的狀態(tài)下對(duì)置并層疊。因此，能夠 在z軸方向上施加更高的壓力來固定聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12以 及引出電極19，因此耐震性進(jìn)一步提高。并且，通過使聚焦電極17、倍 增極Dyl Dyl2以及引出電極19夾著絕緣部件23層疊，能夠正確地規(guī) 定各電極的xy平面內(nèi)的位置。
由于在倍增極Dyl Dy12的光電面14側(cè)設(shè)有聚焦電極17，所以能 夠使光電面14發(fā)射出的電子有效地入射至倍增極Dyl。
如圖8和圖10所示，在倍增極Dyl Dy12、引出電極19以及陽極 25上形成有缺口部49、 24，在缺口部49、 24中配置有支承腳21、引線 腳47。因此，能夠充分確保各電極的有效面積，并且能夠?qū)⒂呻娮拥男?br> 走時(shí)間差產(chǎn)生的信號(hào)的波動(dòng)降低至最小限度。并且，由于引線腳47朝z 軸方向延伸，形成在倍增極Dyl Dy12、引出電極19以及陽極25上的 缺口部49、 24在z軸方向上重疊，所以能夠進(jìn)一步確保有效面積。
并且，如圖12所示，由于聚焦電極17以覆蓋倍增極Dyl Dyl2的 缺口部49的方式一直設(shè)置到xy平面周緣部，所以能夠使從光電面14中 的與形成在倍增極Dyl Dyl2、引出電極19以及陽極25上的缺口部49、 24對(duì)應(yīng)的區(qū)域發(fā)射出的電子集束至倍增極Dyl的有效區(qū)域，能夠大大地 確保光電倍增管10中的光檢測的有效面積，并能夠防止電子與引線展P47 碰撞而使倍增率降低。
并且，如圖14所示，聚焦電極17的開口部17b在x軸方向、即與 引出電極19和陽極25的形成有缺口部49、24的邊緣部垂直的方向延伸。 優(yōu)選使盡可能多的電子入射至開口部17b中，但是與聚焦片17a碰撞的 電子不入射至開口部17b中。因此，優(yōu)選對(duì)電子的軌道進(jìn)行控制，以使 其避開聚焦片17a。特別地，對(duì)于從光電面14的與平板狀電極部分16對(duì) 置的部分入射來的電子，優(yōu)選對(duì)電子的軌道進(jìn)行控制，以使其避開平板 狀電極部分16。此時(shí)，從與平板狀電極部分16對(duì)置的部分入射來的電子 如軌道61那樣在x軸方向上前進(jìn)，但是，與y軸方向的控制相比，x軸 方向的控制、即電子本來前進(jìn)的方向的控制難。因此，在本實(shí)施方式中， 開口部17b在x軸方向、即與引出電極19和陽極25的形成有缺口部49、 24的邊緣部垂直的方向延伸，所以只要進(jìn)行比較容易地y軸方向的控制， 就能夠使電子有效地入射至開口部17b中。
并且，如圖5所示，由于在最末層倍增極Dyl2和陽極25之間設(shè)有 引出電極19，所以倍增極Dy12的z軸方向下側(cè)的電場強(qiáng)度均勻化。因 此，倍增極12的電子發(fā)射特性均勻化，例如即使各單位陽極在切斷橋后 傾斜，陽極25 —引出電極19之間的距離產(chǎn)生偏差，也能夠從倍增極Dy12 針對(duì)每個(gè)通道區(qū)域均勻地引出電子。
并且，如圖16和圖18所示，在預(yù)定層的倍增極Dy中設(shè)有隔壁73， 能夠?qū)﹂_口率進(jìn)行調(diào)節(jié)以降低xy平面內(nèi)的電子倍增率的偏差。
由于陽極25形成為一體，在各陽極固定于所對(duì)應(yīng)的芯柱腳27上之
后將橋切斷使單位陽極25獨(dú)立，因此能夠簡化將陽極25載置在芯柱腳 27上的工序，并且，各陽極25的設(shè)置位置的精度提高。此外，如圖8和 圖9所示，由于橋設(shè)置在凹部28內(nèi)，因此能夠充分確保陽極25的有效 面，并且，由于橋殘留部26配置在凹部28內(nèi)，因此能夠防止橋留殘部 26之間的放電。并且，通過使用這樣以二維方式排列的多陽極 (multianode)，能夠?qū)σ獧z測的光的xy平面內(nèi)的入射位置進(jìn)行檢測。
如圖3所示，芯柱29由玻璃形成，在周緣部29c上設(shè)有管狀部件31 ， 在內(nèi)側(cè)面29a上設(shè)有延伸部32，在延伸部32中貫通有支承腳21、引線 腳47，并立設(shè)有聚焦腳51。由此，能夠在側(cè)管15附近設(shè)置各腳，能夠 充分確保各電極的有效面。
并且，如圖6所示，在芯柱29與支承腳21、引線腳47的連接部分 形成有上升部33，能夠使管狀部件31和各腳的沿面距離增大，具有下述 效果防止產(chǎn)生沿面放電和倍增后的電子與絕緣物碰撞發(fā)光而引起的噪 聲。并且，由于在延伸部32上設(shè)有貫通孔部22、 28，所以在制造芯柱 29時(shí)作為玻璃材料的逸出部分發(fā)揮功能，能夠容易地對(duì)芯柱29的厚度進(jìn) 行調(diào)節(jié)。另外，由于能夠這樣對(duì)芯柱29的厚度進(jìn)行控制，所以芯柱29 的外側(cè)面29b相對(duì)于受光面板13的位置精度提高，其結(jié)果是光電倍增管 10的全長的尺寸精度提高，因此例如在將光電倍增管IO表面安裝在電路 基板等上進(jìn)行使用時(shí)，光源和電子倍增管10的受光面板13的距離恒定， 能夠進(jìn)行誤差少的光檢測。
并且，如圖19所示，設(shè)在芯柱29上的排氣管40為雙重管結(jié)構(gòu)，外 側(cè)管41由與芯柱29密接性高的材料較厚地形成，內(nèi)側(cè)管43由柔軟的材 料較薄地形成。通過形成這樣的雙重管結(jié)構(gòu)，能夠利用外側(cè)管41的厚度 來防止激光焊接時(shí)的氣孔等。并且，內(nèi)側(cè)管43僅在芯柱29的靠內(nèi)側(cè)面 29a側(cè)的端部與外側(cè)管41連接即可，能夠利用外側(cè)管41確保與芯柱29 的密接性，同時(shí)，不會(huì)對(duì)連接部造成損傷，能夠?qū)?nèi)側(cè)管43很短地切斷 為下述程度的長度并進(jìn)行密封即使載置在電路基板上也不會(huì)成為障礙。 并且，能夠使內(nèi)側(cè)管43為容易密封且密封性優(yōu)異的材料。另外，還能夠 增大排氣管40的管徑，在導(dǎo)入堿金屬蒸氣時(shí)，能夠縮短處理時(shí)間，并且
導(dǎo)入的蒸氣的均勻性也提高。
另外，如圖1所示，由于將閃爍器3設(shè)置在光電倍增管10的受光面
板13側(cè)，因此能夠?qū)Ψ派渚€進(jìn)行檢測并將其作為信號(hào)輸出。
其次，參照?qǐng)D23對(duì)第一變形例進(jìn)行說明。圖23是示出電子檢測部 的變形例的立體圖。在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成電子檢測部的陽極25是以 二維方式排列的多陽極，但是在第一變形例中，構(gòu)成電子檢測部的陽極 是以一維方式排列的線性陽極(linear anode) 125。線性陽極125的邊界 部設(shè)在與倍增極Dyl Dyl2的隔壁71相當(dāng)?shù)牟糠?。各線性陽極125連 接并支承在貫通芯柱29而設(shè)置的芯柱腳127上，被供給預(yù)定的電位并輸 出與檢測到的電子對(duì)應(yīng)的信號(hào)。優(yōu)選在直線陽極125上也在與鄰接的單 位陽極對(duì)置的部分設(shè)置具有橋的凹部(未圖示)，將陽極125整體固定在 芯柱腳127上之后切斷橋。
接著，參照?qǐng)D24對(duì)第二變形例進(jìn)行說明。圖24是示出采用了閃爍 器的變形例的放射線檢測裝置100的示意剖面圖。代替上述實(shí)施方式的 閃爍器3，以一維的方式配置多個(gè)與光電倍增管10的通道區(qū)域?qū)?yīng)的尺 寸的閃爍器103來形成放射線檢測裝置100。其它結(jié)構(gòu)與第一變形例相同。 根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)Ψ派渚€的xy平面內(nèi)的入射位置進(jìn)行檢測。
另外，參照?qǐng)D25對(duì)第三變形例進(jìn)行說明。圖25是示出采用了閃爍 器的其它變形例的放射線檢測裝置200的示意剖面圖。代替第二變形例 的閃爍器103，以一維的方式排列多個(gè)比陽極125的尺寸小的、例如相當(dāng) 于陽極125的二分之一的閃爍器203來形成放射線檢測裝置200。其它結(jié) 構(gòu)與第二變形例相同。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)Ψ派渚€的xy平面內(nèi)的入射
位置更準(zhǔn)確地進(jìn)行檢測。
另外，參照?qǐng)D26對(duì)第四變形例進(jìn)行說明。圖26是載置部21b和引 出電極19的形狀的變形例的說明圖。在載置部21b的載置引出電極19 的面上形成有凸部21c，在引出電極19的載置在載置部21b上的面上形 成有凹部19c，在支承腳21載置引出電極19時(shí)，凸部21c和凹部19c相 互嵌合。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠提高具有聚焦電極17和多個(gè)倍增極Dy1 Dyl2的電極層疊部在xy平面內(nèi)的位置精度。另外，在沒有配置引出電
極19的情況下，在最末層的倍增極Dyl2上形成凹部即可。并且，也可 以在載置部21b上形成凹部，在引出電極19上形成凸部。
另外，本發(fā)明的光電倍增管和放射線檢測裝置當(dāng)然不限于上述實(shí)施 方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠附加各種變更。
例如，管狀部件31在芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a側(cè)延伸出延伸部32，但 也可以在外側(cè)面29b側(cè)設(shè)置延伸部32。該情況下，光電面14的電位在延 伸部32的周圍或貫穿延伸部32中的引線腳47之間露出。由于大多在芯 柱29的外側(cè)密接地配置電路基板，所以如果相對(duì)于陽極25的電位差最 大的光電面14的電位露出，則有可能在耐電壓方面產(chǎn)生問題。因此，優(yōu) 選延伸部32位于內(nèi)側(cè)。
在制造方法中，排氣管40在連接外側(cè)管41和內(nèi)側(cè)管43之后與芯柱 29連接，但是也存在下述方法首先僅對(duì)外側(cè)管41進(jìn)行氧化并將其與芯 柱29連接，然后在除去氧化膜之后將內(nèi)側(cè)管43與外側(cè)管41連接。
光電倍增管和各電極的截面為大致矩形，但是截面也可以是圓形或 者其它形狀。該情況下，優(yōu)選根據(jù)光電倍增管的形狀對(duì)閃爍器的形狀也 進(jìn)行變更。
隔壁73在上述例中設(shè)在第5層的倍增極Dy5上，但也可以設(shè)在其它 層上，并且，也可以在多層倍增極上設(shè)置隔壁。
引出電極19的開口部19b不限于線狀，也可以是網(wǎng)狀。
如圖27所示，也可以在延伸部32的x軸方向兩邊緣部上，代替貫 通孔22、 48而將多個(gè)開口 122、 148形成為梳齒狀。與貫通孔22、 48的 情況相比，呈梳齒狀敞開，因此能夠列舉出基于延伸部32的芯柱29的 強(qiáng)度提高的程度稍微劣化，以及芯柱29的材料從敞開部的逸出變大從而 稍微難以形成上升部33的情況，但是在該情況下也能夠有效地確保電子 倍增部和電子線檢測部的有效面積。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明的放射線檢測裝置能夠用于醫(yī)療用設(shè)備中的圖像診斷裝置等。
權(quán)利要求
1、一種光電倍增管(10)，所述光電倍增管(10)在具有構(gòu)成一側(cè)端部的受光面板(13)和構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱(29)的真空容器內(nèi)具備光電面(14)，其將通過所述受光面板(13)入射的入射光轉(zhuǎn)換為電子；電子倍增部，其使所述光電面(13)發(fā)射出的電子倍增；以及電子檢測部(25)，其根據(jù)所述電子倍增部倍增后的電子送出輸出信號(hào)，其特征在于，所述芯柱(29)是具有與所述電子倍增部對(duì)置的第一面(29a)和與所述第一面(29a)對(duì)置的第二面(29b)的絕緣部件，在所述芯柱(29)中設(shè)有對(duì)真空容器進(jìn)行排氣的排氣管(40)，所述排氣管(40)具有配置在同軸上的外側(cè)管(41)和內(nèi)側(cè)管(43)，所述外側(cè)管(41)的外周面與所述芯柱(29)緊密接合，所述外側(cè)管(41)的靠所述真空容器內(nèi)部側(cè)的端部(41a)和所述內(nèi)側(cè)管(43)的靠所述真空容器內(nèi)部側(cè)的端部(43b)連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述外側(cè)管(41)在其與所述芯柱(29)的接合部(41a)處，向所述芯柱(29)的所述真空容器內(nèi)部側(cè)突出設(shè)置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述外側(cè)管(41)和所述內(nèi)側(cè)管(43)在所述真空容器內(nèi)部側(cè)端部(41a)處熔接。
4、 一種放射線檢測裝置(1)，其特征在于，所述放射線檢測裝置(1)通過在權(quán)利要求1 3中的任一項(xiàng)所述的 光電倍增管(10)的所述受光面板(13)的外側(cè)設(shè)置閃爍器(3)而構(gòu)成， 所述閃爍器(3)將放射線轉(zhuǎn)換成光并輸出。
全文摘要
本發(fā)明提供光電倍增管和放射線檢測裝置。在側(cè)管(15)的一側(cè)端部氣密地接合受光面板(13)、在另一側(cè)端部經(jīng)由管狀部件(31)氣密地接合芯柱(29)而構(gòu)成的真空容器內(nèi)，配置有光電面(14)、聚焦電極(17)、倍增極(Dy1～Dy12)、引出電極(19)以及陽極(25)。在芯柱(29)的中央部連接有排氣管(40)。排氣管(40)具有配置在同軸上且在芯柱(29)側(cè)相互連接的外側(cè)管(41)和內(nèi)側(cè)管(43)。外側(cè)管(41)與芯柱(29)的密接性良好，內(nèi)側(cè)管(43)很薄，切斷時(shí)的應(yīng)力少，因此，在密封排氣管(40)時(shí)不會(huì)損害排氣管(40)和真空容器的接合。
文檔編號(hào)H01J43/00GK101395693SQ200780007049
公開日2009年3月25日 申請(qǐng)日期2007年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月28日
發(fā)明者下井英樹, 久嶋浩之 申請(qǐng)人:濱松光子學(xué)株式會(huì)社