專利名稱：光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知有下述的光電倍增管利用由電極層疊體構(gòu)成的電子倍 增部對(duì)由設(shè)在真空容器的一側(cè)的光電面發(fā)射出的電子進(jìn)行放大，并利用 由與各通道區(qū)域?qū)?yīng)地排列的多個(gè)陽(yáng)極構(gòu)成的電子檢測(cè)部對(duì)該電子進(jìn)行 檢測(cè)，所述電極層疊體通過(guò)層疊形成有多個(gè)通道區(qū)域的倍增極而成。(例 如，參照專利文獻(xiàn)l、 2)。在這些光電倍增管中，電極層疊體從構(gòu)成電極 層疊體的各倍增極突出有連接部，該電極層疊體由分別連接在各連接部 上的芯柱腳，以與電子檢測(cè)部電絕緣的狀態(tài)支承在電子檢測(cè)部上。
并且，存在以下述方式構(gòu)成的光電倍增管設(shè)置在制造光電倍增管 時(shí)用于使電子倍增部與光電倍增管的管軸平行地滑動(dòng)的軸，在完成時(shí)將 電子倍增部固定在該軸上(例如，參照專利文獻(xiàn)3)。并且，還公知有下 述的電子倍增管除了分別與各倍增極連接的芯柱腳外，通過(guò)將電極層 疊體配置在配置于電子檢測(cè)部的周緣部的絕緣性的襯墊上來(lái)支承電極層
專利文獻(xiàn)l:日本特開2000-149860號(hào)公報(bào)(第3頁(yè)，第2圖) 專利文獻(xiàn)2:日本特開平9-288992號(hào)公報(bào)(第4頁(yè)，第2圖) 專利文獻(xiàn)3:日本特開昭62-287560號(hào)公報(bào)(第4 5頁(yè)，第1圖) 在上述那樣的光電倍增管中，希望通過(guò)提高配置在排列多個(gè)陽(yáng)極而
構(gòu)成的電子檢測(cè)部上的電極層疊體的固定強(qiáng)度，來(lái)使耐震性充分高，從
而提高可靠性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明就是為了解決上述課題而完成的，其目的在于提供耐 震性優(yōu)異、可提高光電面和電子倍增部之間的位置精度并可確保預(yù)定的 檢測(cè)特性的光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的光電倍增管在具有構(gòu)成一側(cè)端部的受 光面板和構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱的真空容器內(nèi)具備光電面，其將通過(guò) 受光面板入射的入射光轉(zhuǎn)換為電子；電子倍增部，其使光電面發(fā)射出的 電子倍增；以及電子檢測(cè)部，其根據(jù)電子倍增部倍增后的電子送出輸出 信號(hào)，其特征在于，電子倍增部具有電極層疊部，所述電極層疊部通過(guò) 將包含構(gòu)成多個(gè)通道的倍增極的電極層疊多層而成，電子檢測(cè)部具有多 個(gè)陽(yáng)極，所述多個(gè)陽(yáng)極與電極層疊部的最末層的電極分幵并對(duì)置，且與 通道對(duì)應(yīng)地排列，在芯柱中設(shè)有用于載置最末層的電極的支承單元。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，電子倍增部通過(guò)支承單元穩(wěn)定地支承，耐震性良 好。并且，由于電子倍增部的位置被高精度地確定，因此能夠?qū)墓怆?面至電子倍增部的距離進(jìn)行準(zhǔn)確地設(shè)定。另外，由于在陽(yáng)極和倍增極之 間沒(méi)有夾著絕緣物，因此能夠防止由于絕緣物帶電而產(chǎn)生漏電流或由于 倍增后的電子與絕緣物碰撞而產(chǎn)生的發(fā)光。
此時(shí)，優(yōu)選多層電極相互夾著絕緣體而層疊，且絕緣體和支承單元 同軸地配置。
當(dāng)支承單元和絕緣體這樣同軸地配置時(shí)，能夠在層疊方向上施加充 分的壓力來(lái)對(duì)電子倍增部進(jìn)行固定，耐震性進(jìn)一步提高。
在上述任一光電倍增管中，作為電極層疊部的最末層的電極，也可 以設(shè)置具有使從倍增極發(fā)射出的電子到達(dá)陽(yáng)極的開口部的引出電極。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在最末層的倍增極和電子檢測(cè)部之間設(shè)置引出電 極，所述引出電極被賦予比最末層的倍增極的電位高、比電子檢測(cè)部的 電位低的電位，由此，能夠均勻地提高最末層的倍增極和電子檢測(cè)部之 間的電場(chǎng)強(qiáng)度，即使是在構(gòu)成電子檢測(cè)部的各陽(yáng)極的設(shè)置精度存在偏差 的情況下，也能夠?qū)㈦娮泳鶆虻貜淖钅拥谋对鰳O引出。
優(yōu)選電子檢測(cè)部是以二維方式配置有多個(gè)陽(yáng)極的多陽(yáng)極、或者以一 維方式配置有多個(gè)陽(yáng)極的線性陽(yáng)極中的任一個(gè)。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠利用多個(gè)陽(yáng)極對(duì)電子進(jìn)行檢測(cè)，能夠?qū)θ肷?至光電倍增管中的入射光的入射位置進(jìn)行測(cè)定。 另外，優(yōu)選支承單元由導(dǎo)電性材料形成。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，即使電子與支承單元碰撞也不會(huì)發(fā)光，能夠防止 噪聲。
另外，優(yōu)選支承單元具有從芯柱沿電極層疊部的層疊方向延伸的 支承部；以及載置最末層的電極的載置部，載置部在與層疊方向正交的 平面中的截面積比支承部在與層疊方向正交的平面中的截面積大。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于載置部在與層疊方向正交的平面中的截面積 比支承部在與層疊方向正交的平面中的截面積大，因此能夠可靠地規(guī)定 電極層疊體在層疊方向上的位置精度，同時(shí)能夠?qū)㈦姌O層疊體穩(wěn)定地載 置在載置部的載置面上。
另外，優(yōu)選在載置部的載置最末層的電極的面上形成有第一嵌合部， 在最末層的電極的載置于載置部的面上形成有第二嵌合部，當(dāng)最末層的 電極載置在支承單元上時(shí)，第一嵌合部和第二嵌合部相互嵌合。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠提高電極層疊部在與層疊方向正交的平面方 向上的位置精度。
如果在上述任一光電倍增管的受光面板的外側(cè)設(shè)置將放射線轉(zhuǎn)換成 光并輸出的閃爍器，則能夠得到起上述作用的適當(dāng)?shù)姆派渚€檢測(cè)裝置。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供耐震性高、光電面和電子倍增部之間的位置 精度提高從而可確保預(yù)定的特性的光電倍增管和放射線檢測(cè)器。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置1的示意剖面圖。
圖2是沿圖i的n — n面的光電倍增管io的示意剖面圖。
圖3是示出芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a、管狀部件31以及延伸部32的俯 視圖。
圖4是沿圖3的IV — W平面的剖面圖。 圖5是圖2的局部放大圖。
圖6是圖4的局部放大圖。 圖7是圖1的局部放大圖。圖8是從z軸上方側(cè)觀察陽(yáng)極25及其z軸下方側(cè)的結(jié)構(gòu)的概觀圖。 圖9是圖8的局部放大圖。圖10是從x軸上方觀察倍增極Dyl2及其z軸下方側(cè)的結(jié)構(gòu)的概觀圖。圖11是圖IO的局部放大圖。圖12是從z軸上方側(cè)觀察聚焦電極17及其z軸下方側(cè)的結(jié)構(gòu)的概 觀圖。圖13是圖12的局部放大圖。圖14是將從光電面14到倍增極Dyl的電子軌道投影到xy平面和 xz平面上進(jìn)行表示的圖。圖15是示出設(shè)置于通常的倍增極的隔壁的圖。 圖16是示出設(shè)置于預(yù)定的倍增極的隔壁的圖。 圖17是設(shè)置了很多隔壁的倍增極的整體圖。圖18是圖n的剖面圖。圖19是示出排氣管40附近的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖20是示出排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。圖21是示出排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。圖22是示出排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。圖23是示出第一變形例的陽(yáng)極125的立體圖。圖24是示出第二變形例的放射線檢測(cè)裝置100的示意剖面圖。圖25是示出第三變形例的放射線檢測(cè)裝置200的示意剖面圖。圖26是示出第四變形例的放射線檢測(cè)裝置100的示意剖面圖。圖27是示出延伸部32的開口部的形狀的變形例的俯視圖。符號(hào)說(shuō)明1:放射線檢測(cè)裝置；3:閃爍器；5:入射面；7:出射面；10:光 電倍增管；13:受光面板；14:光電面；15:側(cè)管；17:聚焦電極；19: 引出電極；21:支承腳；23:絕緣部件；25:陽(yáng)極；27:芯柱腳；29:
芯柱；31:管狀部件；32:延伸部；33:上升部；35:軸；47:引線腳。
具體實(shí)施方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1 圖22是示出包含本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的光電倍增管的放射 線檢測(cè)裝置的圖。在各圖中對(duì)實(shí)質(zhì)上相同的部分賦予同一標(biāo)號(hào)，省略重 復(fù)說(shuō)明。另外，在以下的說(shuō)明中，"上"、"下"等用語(yǔ)是基于圖面所示狀 態(tài)為了方便而采用的。圖1是本實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置1的示意剖面圖，圖2是沿圖i的n — n面的光電倍增管10的示意剖面圖。如圖1、圖2所示，放射線檢測(cè)裝置1是對(duì)入射的放射線進(jìn)行檢測(cè)并作為信號(hào)輸出的裝置，其具 有將入射的放射線轉(zhuǎn)換為光并輸出的閃爍器(scintillator) 3;以及將入 射的光轉(zhuǎn)換為電子并倍增后進(jìn)行檢測(cè)的光電倍增管10。光電倍增管10具 有截面為大致矩形的管狀形狀，設(shè)管軸的方向?yàn)閦軸、與圖1的紙面垂 直的軸為x軸、與z軸和x軸垂直的軸為y軸。閃爍器3在z軸方向一端側(cè)具有入射面5，在另一端側(cè)具有輸出面7， 該閃爍器3具有截面為大致矩形的形狀。在閃爍器3中，放射線從入射 面5側(cè)入射，入射的放射線在閃爍器3的內(nèi)部被轉(zhuǎn)換為光并在閃爍器3 內(nèi)傳輸，從輸出面7側(cè)被輸出。光電倍增管10連接在閃爍器3的輸出面 7側(cè)，閃爍器3的中心軸和光電倍增管10的管軸大致同軸地設(shè)置。光電倍增管10是通過(guò)氣密地連接和固定下述部件而形成的真空容 器構(gòu)成z軸方向一側(cè)端部的受光面板13;構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱29; 管狀部件31，其設(shè)在芯柱29的周緣部；排氣管40，其設(shè)在芯柱29的xy 平面的大致中央；以及側(cè)管15，其具有筒形形狀。在光電倍增管10的真 空容器內(nèi)部配置有聚焦電極17;具有多個(gè)倍增極Dyl Dyl2的電極層 疊部；電子檢測(cè)部，其具有對(duì)電子進(jìn)行檢測(cè)并將其作為信號(hào)輸出的多個(gè) 陽(yáng)極25;以及引出電極19，其位于電極層疊部和電子檢測(cè)部之間。受光面板13具有例如由玻璃形成的大致矩形的板狀形狀，在其內(nèi)部 側(cè)、即z軸方向下表面?zhèn)仍O(shè)有將入射光轉(zhuǎn)換為電子的光電面14。光電面14例如通過(guò)使堿金屬蒸氣與預(yù)先蒸鍍過(guò)的銻反應(yīng)而形成。光電面14設(shè)置 在受光面板13的內(nèi)部側(cè)的大致整個(gè)面上，將從閃爍器3輸出并通過(guò)受光 面板13入射來(lái)的光轉(zhuǎn)換為電子并發(fā)射出。側(cè)管15具有例如由金屬形成 的截面呈大致矩形的筒形形狀，構(gòu)成光電倍增管10的側(cè)面。在側(cè)管15 的一端部相互氣密地固定有受光面板13，在側(cè)管15的另一端部經(jīng)由管狀 部件31相互氣密地固定有芯柱29。此處，光電面14與側(cè)管15電連接， 且電位相同。圖3是示出芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a、管狀部件31以及延伸部32的俯 視圖。如圖1 圖3所示，芯柱29具有例如由科瓦鐵鎳鈷合金玻璃(Kovar glass)形成的大致矩形的板狀，具有靠光電倍增管10內(nèi)部側(cè)的內(nèi)側(cè)面 29a;外側(cè)面29b;以及連接內(nèi)側(cè)面29a和外側(cè)面29b的周緣部29c。在芯 柱29中，氣密地貫穿有與陽(yáng)極25的通道數(shù)量對(duì)應(yīng)數(shù)量(此處為64根) 的導(dǎo)電性的芯柱腳27,該芯柱腳27用于支承陽(yáng)極25。在芯柱29的周緣部29c上氣密地裝配有包圍周緣部29c的管狀部件 31。管狀部件31具有例如由金屬形成的截面呈大致矩形的管形狀，并且 與側(cè)管15也氣密地連接。延伸部32從管狀部件31沿著芯柱29的內(nèi)側(cè) 面29a向光電倍增管10的內(nèi)部側(cè)延伸。延伸部32具有例如由金屬形成 的俯視為大致矩形狀的環(huán)形狀。在延伸部32的x軸方向兩邊緣部形成有多個(gè)貫通孔部22、 48，分 別貫穿并固定有支承腳21、引線腳47。并且，在圖3的x方向左側(cè)邊緣 部中，在延伸部32上立設(shè)有聚焦腳51。支承腳21由導(dǎo)電性材料形成，在本實(shí)施方式中，在x軸方向兩邊緣 部上分別設(shè)有3根總計(jì)設(shè)有6根。另外，圖2示出沿圖3的V—V面的 剖面，如圖2所示，支承腳21貫通芯柱29并向z軸方向上方延伸，載 置引出電極19，并且與引出電極19電位相同。如圖5所示，支承腳21由支承部21a和載置部21b構(gòu)成，所述支承 部21a貫穿芯柱29中并在z軸方向延伸，所述載置部21b設(shè)在支承部21a 的z軸方向上端，用于載置電極層疊部。此處，載置部21b形成為在xy 平面上的截面積比支承部21a的大，電極層疊部以最下層的電極(本實(shí) 施方式中為引出電極19)的下表面與載置部21b的上表面(載置面)接 觸的形式載置在支承腳21上。此處，由于載置部21b形成為在xy平面 上的截面積比支承部21a的大，所以能夠可靠地規(guī)定電極層疊體在z軸 方向上的位置精度，并且，能夠?qū)㈦姌O層疊體穩(wěn)定地載置在載置部21b 的載置面上。引線腳47由導(dǎo)電性材料形成，在本實(shí)施方式中，在x軸方向兩邊緣 部總計(jì)設(shè)有35根。圖4示出沿圖3的IV — IV面的剖面，如圖4所示，引 線腳47貫通芯柱29并向z軸方向上方延伸，分別與預(yù)定的倍增極Dyl Dyl2以及引出電極19連接，以提供預(yù)定的電位。另外，各引線腳47形 成為與各自所連接的倍增極Dyl Dyl2的位置對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。聚焦腳51 由導(dǎo)電性材料形成，從芯柱29向z軸方向上方延伸，并連接在聚焦電極 17上。聚焦電極17經(jīng)由焊接在管狀部件31上的聚焦腳51與側(cè)管15電 連接，與光電面14電位相同。圖5是圖2即沿圖3的V—V面的剖面的局部放大圖，圖6是圖4 即沿圖3的IV — IV面的剖面的局部放大圖。如圖5、圖6所示，在貫通孔 部22、 48中的支承腳21和引線腳47與芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a的連接部 分，形成有通過(guò)芯柱29隆起而成的上升部33。此處，若設(shè)上升部33與 支承腳21或引線腳47的接點(diǎn)為點(diǎn)Pl，設(shè)沒(méi)有上升部33的情況下內(nèi)側(cè)面 29a與支承腳21或引線腳47的假想接點(diǎn)為點(diǎn)P2，設(shè)上升部33與延伸部 32的接點(diǎn)為點(diǎn)P3，則點(diǎn)Pl —點(diǎn)P3之間的距離比點(diǎn)P3 —點(diǎn)P2之間的距 離長(zhǎng)。因此，在本實(shí)施方式中，由于存在上升部33，從而可確保支承腳 21或引線腳47與管狀部件31的沿面距離很長(zhǎng)。如圖1、圖2所示，聚焦電極17配置成與光電面14隔開預(yù)定的距 離對(duì)置。聚焦電極17是具有在x軸方向延伸的多個(gè)聚焦片17a、和由多 個(gè)聚焦片17a形成的多個(gè)狹縫狀的開口部17b的大致矩形薄型電極，用 于將電子有效地會(huì)聚到倍增極Dyl的電子倍增孔18a (參照?qǐng)D7)。聚焦 電極17經(jīng)由立設(shè)在延伸部32上的聚焦腳51 (參照?qǐng)D3)與側(cè)管15電連 接，并與光電面14電位相同。倍增極Dyl Dy12是用于使電子倍增的電極，以大致平行地對(duì)置的
方式層疊在聚焦電極17的z軸方向下方。圖7是圖1的局部放大圖。如 圖7所示，倍增極Dyl Dyl2是通過(guò)yz平面的截面具有凹凸的電子倍 增片18相互離開并平行地排列而成的大致矩形薄板型電極。因此，在倍 增極Dyl Dyl2中，在鄰接的電子倍增片18之間形成有在x軸方向延 伸的狹縫狀的電子倍增孔18a。預(yù)定數(shù)量的電子倍增孔18a與各陽(yáng)極對(duì)應(yīng)， 在與陽(yáng)極25的各通道的x軸方向邊界部對(duì)應(yīng)的位置上，設(shè)有在y軸方向 延伸的隔壁71 (參照?qǐng)D15)，規(guī)定倍增極Dyl Dyl2的多個(gè)通道的y軸 方向邊界。并且，如圖2和圖5所示，在各倍增極Dyl Dyl2之間配置 有絕緣部件23。通過(guò)引線腳47對(duì)倍增極Dyl Dyl2提供從光電面14側(cè) 向芯柱29側(cè)依次升高的電位。引出電極19以與倍增極Dyl2隔著絕緣部件23分開并大致平行地對(duì) 置的方式配置在倍增極Dyl2的芯柱29側(cè)。引出電極19是由與倍增極 Dyl Dyl2相同的材料形成的薄板型電極，具有在x軸方向延伸的多個(gè) 引出片19a和由多個(gè)引出片19a形成的多個(gè)狹縫狀的開口部19b，該開口 部19b用于使從倍增極Dyl2發(fā)射出的電子通過(guò)到陽(yáng)極25，與倍增極 Dyl Dyl2的電子倍增孔18a不同。因此，開口部19b設(shè)計(jì)成盡量不與 從倍增極Dyl2發(fā)射出的電子碰撞。引出電極19被賦予比倍增極Dyl2 的電位高且比陽(yáng)極25的電位低的預(yù)定的電位，使倍增極Dyl2的二次電 子面上的電場(chǎng)強(qiáng)度均勻。此處，所謂二次電子面是指有助于各倍增極Dy 的電子倍增孔18a中形成的電子的倍增的部分。在沒(méi)有引出電極19的情況下，用于從倍增極Dy12引出電子的電場(chǎng) 依賴于倍增極Dyl2—陽(yáng)極25之間的電位差和距離。從而，例如，在各 陽(yáng)極25相對(duì)于xy平面稍微傾斜地配置的情況下，倍增極Dyl2 —陽(yáng)極25 之間的距離根據(jù)各個(gè)位置而不同，因此，相對(duì)于倍增極Dyl2的電場(chǎng)強(qiáng)度 不均勻，不能均勻地引出電子。但是，在本實(shí)施方式中，由于在倍增極 Dyl2 —陽(yáng)極25之間配置有引出電極19，因此相對(duì)于倍增極Dy12的電場(chǎng) 由倍增極Dyl2 —引出電極19之間的電位差和距離確定。由于倍增極 Dyl2—引出電極19之間的電位差和距離恒定，因此倍增極Dy12的二次 電子面上的電場(chǎng)強(qiáng)度均勻，從倍增極Dyl2引出電子的力也變得均勻。因 此，即使在各陽(yáng)極25相對(duì)于xy平面稍微傾斜地配置的情況下，也能夠 從倍增極Dy 12均勻地引出電子。
引出電極19如上所述，在邊緣部載置于由導(dǎo)電體形成的支承腳21 的載置部21b上。如圖5所示，由于支承腳21和多個(gè)絕緣部件23同軸 地配置在z方向軸35上，所以能夠向z軸下方向施加高的壓力來(lái)固定聚 焦電極17、倍增極Dyl Dy12以及引出電極19。
陽(yáng)極25是對(duì)電子進(jìn)行檢測(cè)并經(jīng)由芯柱腳27將與檢測(cè)到的電子對(duì)應(yīng) 的信號(hào)輸出至光電倍增管10的外部的電子檢測(cè)部，以與引出電極19大 致平行地對(duì)置的方式設(shè)在引出電極19的芯柱29側(cè)。如圖l、圖2所示， 陽(yáng)極25是與倍增極Dyl Dyl2的多個(gè)通道對(duì)應(yīng)地設(shè)有多個(gè)的薄板型電 極，分別焊接連接在芯柱腳27上，并經(jīng)由芯柱腳27被提供比引出電極 19的電位高的預(yù)定的電位。并且，為了在制造時(shí)使從排氣管40導(dǎo)入的堿 金屬蒸氣擴(kuò)散，在陽(yáng)極25上設(shè)有多個(gè)狹縫。
以下，對(duì)聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12、引出電極19以及陽(yáng)極 25的結(jié)構(gòu)進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
圖8是從z軸方向上方側(cè)觀察電子倍增部的概觀圖，圖9是圖8的 局部放大圖。如圖8所示，電子倍增部通過(guò)將多個(gè)(在本實(shí)施方式中為 64個(gè))陽(yáng)極25以二維方式排列而構(gòu)成，各陽(yáng)極25分別支承在芯柱腳27 上，并經(jīng)由芯柱腳27與未圖示的電路電連接。
此處，為了方便將單位陽(yáng)極從圖8的左上開始設(shè)為陽(yáng)極25 (l — l)、 25 (l—2)、…、25 (8 — 8)。在各陽(yáng)極25 (l — l)、 25 (1—2)、…、25 (8 — 8)中，在與鄰接的單位陽(yáng)極之間相互對(duì)置地形成有凹部28，在凹 部28中殘留有橋殘留部26。陽(yáng)極25在制造時(shí)形成為，鄰接的單位陽(yáng)極 彼此通過(guò)橋連接起來(lái)的一體的陽(yáng)極板的狀態(tài)，在一體的狀態(tài)下將各陽(yáng)極 焊接并周定在各芯柱腳27上。然后切斷橋，使陽(yáng)極25 (1 —1)、 25 (1 一2)、…、25 (8 — 8)相互獨(dú)立。橋殘留部26是切開橋后殘留的部分。
并且，在與x軸方向兩邊緣部相當(dāng)?shù)年?yáng)極25 (l — l )、 25 (2—1)、、 25 (8 — 1)和陽(yáng)極25 (l—8)、 25 (2—8)、…、25 (8 — 8)中，除了陽(yáng) 極25 (1 — 1)、 25 (l—8)、 25 (8 — 1)、 25 (8—8)的角部83夕卜，形成 有缺口部24。由此，通過(guò)該缺口部24，避免陽(yáng)極25和支承腳21、弓l線 腳47以及聚焦腳51接觸，并且，電子檢測(cè)部的有效面擴(kuò)展至側(cè)管15的 附近。圖10是從z軸上方觀察倍增極Dy12的概觀圖，圖11是圖10的局 部放大圖。另外，在圖IO、圖ll中省略了電子倍增片18的開口部18a、 引出電極19的開口部19b。如圖11所示，倍增極Dyl2和引出電極19 在xy平面中與陽(yáng)極25具有大致相同的外形。gp，在x軸方向兩邊緣部 形成有避幵支承腳21、弓l線腳47等的缺口部49。在引出電極19的缺口 部49中形成有突出部55，支承腳21通過(guò)載置突出部55來(lái)載置引出電極 19整體。并且，倍增極Dyl2同樣也具有突出部55。對(duì)于倍增極Dyl2 的情況，由于其與引線腳47A、 47B連接并被提供預(yù)定的電位，所以在 引線腳47A、 47B周圍形成有突出部53。并且，在y軸方向兩邊緣部， 電極一直形成到側(cè)管15的內(nèi)壁面的附近，特別是在4處的角部突出有角 部85。另外，倍增極Dyl Dy11也是和倍增極Dy12實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)， 各引線腳47在z軸方向延伸并與預(yù)定的倍增極Dy連接。圖12是從z軸上方側(cè)觀察聚焦電極17的概觀圖，圖13是圖12的 局部放大圖。另外，在圖12、圖13中，省略了圖1和圖2中示出的聚焦 片17a和開口部17b。如圖12、圖13所示，聚焦電極17以覆蓋陽(yáng)極25 的缺口部24、倍增極Dyl Dy12以及引出電極19的缺口部49的方式一 直設(shè)置到x軸方向周緣部。另外，聚焦電極17的覆蓋缺口部24或者缺 口部49的部分形成沒(méi)有形成狹縫的平板電極部分16， 4個(gè)角部成為具有 狹縫的角部87。以下，對(duì)上述那樣的聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12、引出電極19 以及陽(yáng)極25的xy平面外形給光電倍增管10內(nèi)部的電子軌道帶來(lái)的作用 進(jìn)行說(shuō)明。圖14是將從光電面14到倍增極Dyl的電子軌道投影到xy平 面和xz平面進(jìn)行表示的圖。如圖14所示，從光電面14的x軸方向周緣 部發(fā)射出的電子通過(guò)聚焦電極17的以覆蓋缺口部24、 49的方式設(shè)置的 平板電極部分16集束到x軸方向中央側(cè)的電子倍增孔用開口部89，如軌 道61那樣入射至倍增極Dyl。并且，從光電面14的與角部87對(duì)置的區(qū)
域發(fā)射出的電子由聚焦電極17的角部87集束而如軌道63那樣入射至倍 增極Dyl的角部85。這樣，由于設(shè)有聚焦電極17的角部87和倍增極 Dyl的角部85，所以從光電面14周緣部發(fā)射出的電子也有效地入射至倍 增極Dyl。然而，如果從光電面14到倍增極Dyl的電子的行走距離產(chǎn)生差異， 會(huì)產(chǎn)生輸出信號(hào)的時(shí)間性波動(dòng)。例如，從光電面14的靠近中央部發(fā)射出 的電子如軌道65那樣入射至倍增極Dyl 。雖然軌道61和軌道65入射至 倍增極Dyl的大致同一部分，但是從光電面14到倍增極Dyl的電子的 行走距離存在差異，因此產(chǎn)生輸出信號(hào)的時(shí)間性波動(dòng)。并且，從光電面 14的與角部87對(duì)置的區(qū)域發(fā)射出的電子利用斜向的軌道63入射至倍增 極Dy的x軸方向中央側(cè)。因此，在各電極上沒(méi)有設(shè)置角部83、 85、 87 的情況下，即，在各電極的角部部分不是有效區(qū)域的情況下，為了使從 光電面14的與角部87對(duì)置的區(qū)域發(fā)射出的電子入射至倍增極Dyl，需 要使其大量集束，因此，與軌道61相比，與軌道65的行走距離的差異 進(jìn)一步變大。但是，在本實(shí)施方式中，在倍增極Dyl Dyl2、引出電極 19和陽(yáng)極25上設(shè)有缺口部24、 49，角部83、 85、 87相對(duì)于電子的倍增 和檢測(cè)成為有效區(qū)域，因此，以從光電面14的與角部83、 85、 87對(duì)置 的區(qū)域發(fā)射出的電子的行走時(shí)間差變小的方式集束。從而，能夠?qū)⑼ㄟ^(guò) 各軌道61、 63、 65入射至倍增極Dyl的電子的時(shí)間性波動(dòng)抑制在最小限 度。其次，對(duì)設(shè)置于倍增極Dyl Dyl2的隔壁的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖15 是示出設(shè)置于通常的倍增極的隔壁的圖，圖16是示出設(shè)置于預(yù)定的倍增 極的隔壁的圖，圖17是設(shè)置了很多隔壁的倍增極的整體圖，圖18是圖 17的剖面圖。另外，在圖15、圖16中省略了電子倍增片18。對(duì)于倍增極Dyl Dy12，在本實(shí)施方式中，如上所述，是在x軸方 向具有狹縫的結(jié)構(gòu)，如圖15所示，在y軸方向上設(shè)有與陽(yáng)極25的多個(gè) 通道的y軸方向邊界部對(duì)應(yīng)的隔壁71。為了在光電倍增管10中獲得寬廣 的受光面板13的有效區(qū)域，使基于入射到受光面板13的周緣部附近的 光從光電面14的周緣部發(fā)射出的光電子向xy平面的中心側(cè)集束。由于
來(lái)自周緣部的電子伴隨著集束而產(chǎn)生損失(k)SS)，所以，其結(jié)果是存在周緣部的電子倍增率的均勻性降低的傾向。因此，如圖16、圖17所示， 在倍增極Dy的除去y軸方向周緣部以外的區(qū)域設(shè)置在y軸方向延伸的隔 壁73，對(duì)電子的倍增率進(jìn)行調(diào)節(jié)。在這樣的結(jié)構(gòu)中，在沿圖17的A—A 線的剖面中，如圖7所示，電子倍增片18存在于電極層疊部整體，但是， 在沿B—B的剖面中，如圖18所示，倍增極Dy5的除去y方向周緣部以 外的部分都成為隔壁73。在隔壁73部分未形成電子倍增孔18a，入射至 隔壁73的電子對(duì)倍增沒(méi)有幫助，因此，xy平面中央部的電子倍增被抑制， 從而電子的倍增率均勻化。其次，對(duì)排氣管40的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖19是示出排氣管40附近的 結(jié)構(gòu)的剖面圖。排氣管40氣密地連接在芯柱29的中央部。排氣管40是 內(nèi)側(cè)管43和外側(cè)管41的雙重結(jié)構(gòu)。為了使外側(cè)管41與芯柱29密接， 外側(cè)管41由與玻璃密接性好且熱膨脹系數(shù)相等的例如科瓦鐵鎳鈷合金金 屬形成，厚度例如為0.5mm，外徑例如為5mm，長(zhǎng)度例如為5mm。另夕卜， 在芯柱29的厚度為例如4mm時(shí)，該情況下，外側(cè)管41比芯柱29的外 側(cè)面29b向外側(cè)突出lmm。由于外側(cè)管41比外側(cè)面29b更向外側(cè)突出， 從而防止芯柱29超過(guò)外側(cè)管41進(jìn)入內(nèi)側(cè)管43和外側(cè)管41之間。并且， 為了容易進(jìn)行密封(壓接)，排氣管40構(gòu)成為即使在密封后，內(nèi)側(cè)管43 也比外側(cè)管41的下端突出。內(nèi)側(cè)管43例如由科瓦鐵鎳鈷合金或銅形成，外徑例如為3.8mm，切 斷前的長(zhǎng)度例如為30mm，與外側(cè)管41同軸地配置，芯柱29的靠?jī)?nèi)側(cè)面 29a側(cè)的一端部與外側(cè)管41氣密接合。并且，由于在光電倍增管10制造 完成時(shí)氣密地密封內(nèi)側(cè)管43的另一端部，因此優(yōu)選使其厚度盡量薄，例 如為0.15mm。以向z軸方向上側(cè)突出例如O.lmm的方式配置排氣管40 與芯柱29的連接部41a，以免在排氣管40與芯柱29的連接部41a處， 芯柱29的材料繞入排氣管40的內(nèi)側(cè)。其次，對(duì)光電倍增管10的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖20 圖22是示出 排氣管40和芯柱29的制造方法的圖。如圖20所示，首先準(zhǔn)備外側(cè)管41 和內(nèi)側(cè)管43。接著，將內(nèi)側(cè)管43同軸地配置在外側(cè)管41的內(nèi)部。此時(shí)， 使內(nèi)側(cè)管43和外側(cè)管41的一端彼此的位置對(duì)準(zhǔn)，利用激光焊接對(duì)連接 部41a進(jìn)行接合。接合后，在外側(cè)管41的外表面上形成用于使其易于與 芯柱29進(jìn)行熔接的氧化膜。并且，準(zhǔn)備管狀部件31和延伸部32，在管 狀部件31和延伸部32上形成用于使其易于與芯柱29進(jìn)行熔接的氧化膜。 如圖21所示，在芯柱29上，分別形成有預(yù)定數(shù)量的裝配支承腳21的貫 通孔38、裝配芯柱腳27的貫通孔30等，并且，在一處形成裝配排氣管 40的貫通孔34。如圖22所示，將排氣管40、管狀部件31、延伸部32、芯柱29、支 承腳21、芯柱腳27、引線腳47等分別配置在圖示的位置并組裝進(jìn)石墨 夾具(未圖示)中， 一邊利用夾具以?shī)A著芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a、外側(cè)面 29b側(cè)的方式對(duì)芯柱29進(jìn)行加壓一邊進(jìn)行正式燒成，從而玻璃和各金屬 氣密地熔接。此時(shí)，通過(guò)將芯柱29的材料壓出至貫穿延伸部32的貫通 孔部22、 48中的支承腳21和引線腳47與芯柱29的連接部分，從而產(chǎn) 生上升部33。熔接后，卸下夾具，除去氧化膜并進(jìn)行清洗。這樣，芯柱 部分就完成了。接著，將形成為一體的陽(yáng)極25載置并固定在芯柱腳27上。固定后， 切斷橋而獨(dú)立為陽(yáng)極25 (l — l)、 25 (1—2)、…、25 (8—8)。在支承腳 21上，與陽(yáng)極25大致平行地分開載置引出電極19。另外，在引出電極 19上載置電極層疊部，所述電極層疊部通過(guò)使倍增極Dyl2 Dyl和聚焦 電極17隔著絕緣部件23依次分開并對(duì)置而成。此時(shí)，將聚焦電極17與 聚焦腳51連接，并向z軸下方施加壓力，將分別與電極Dyl Dyl2對(duì) 應(yīng)的引線腳47固定在突出部53上。其后，將固定有受光面板13的側(cè)管 15端部與管狀部件31焊接固定來(lái)組裝。接著，從排氣管40利用真空泵等對(duì)光電倍增管10內(nèi)部進(jìn)行排氣后， 導(dǎo)入堿蒸氣，使光電面14和二次電子面活性化。再次對(duì)光電倍增管10 內(nèi)部排氣至真空后，將構(gòu)成排氣管40的內(nèi)側(cè)管43切斷成預(yù)定的長(zhǎng)度， 并對(duì)其前端進(jìn)行密封。此時(shí)，為了在將放射線檢測(cè)裝置1載置到電路基 板上時(shí)不成為障礙，優(yōu)選將內(nèi)側(cè)管43縮短至不損害排氣管40與芯柱29 的連接部41a的密接度的程度。通過(guò)以上的工序得到光電倍增管10。
在如上構(gòu)成的本實(shí)施方式的放射線檢測(cè)裝置1中，當(dāng)放射線入射至閃爍器3的入射面5時(shí)，向輸出面7側(cè)輸出與入射的放射線對(duì)應(yīng)的光。 當(dāng)閃爍器3輸出的光入射至光電倍增管10的受光面板13上時(shí)，光電面 14發(fā)射出與入射的光對(duì)應(yīng)的電子。與光電面14對(duì)置地設(shè)置的聚焦電極 17對(duì)從光電面14發(fā)射出的電子進(jìn)行集束，并使其入射至倍增極Dyl。倍 增極Dyl使入射的電子倍增，并向下一層倍增極Dy2側(cè)發(fā)射。這樣通過(guò) 倍增極Dyl Dyl2依次倍增后的電子經(jīng)由引出電極19到達(dá)陽(yáng)極25。陽(yáng) 極25對(duì)到達(dá)的電子進(jìn)行檢測(cè)，并將其經(jīng)由芯柱腳27作為信號(hào)輸出至外 部。如圖5所示，在光電倍增管10中，具有用于載置電極層疊體的支承 腳21 。通過(guò)形成為將電極層疊部載置在構(gòu)成支承腳21的載置部21b的載 置面上的結(jié)構(gòu)，能夠從z軸方向上側(cè)施加大的壓力來(lái)固定電極層疊部， 電極層疊部的固定強(qiáng)度提高，耐震性提高，同時(shí)，電極層疊部(構(gòu)成電 極層疊部的各電極)的z軸方向的位置精度提高。并且，電極層疊部的 最下層的電極即引出電極19載置并支承在支承腳21的載置部21b上， 與陽(yáng)極25之間沒(méi)有夾著絕緣物。因此，能夠防止電子與絕緣物碰撞而發(fā) 光從而在從陽(yáng)極25輸出的信號(hào)中產(chǎn)生噪聲。另外，由于支承腳21由導(dǎo) 電性材料形成，所以即使電子發(fā)生碰撞也不會(huì)發(fā)光。因此，能夠進(jìn)一步 防止產(chǎn)生噪聲。聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12以及引出電極19在夾著與支承腳 21同軸配置的絕緣部件23而相互分開的狀態(tài)下對(duì)置并層疊。因此，能夠 在z軸方向上施加更高的壓力來(lái)固定聚焦電極17、倍增極Dyl Dy12以 及引出電極19，因此耐震性進(jìn)一步提高。并且，通過(guò)使聚焦電極17、倍 增極Dyl Dy12以及引出電極19夾著絕緣部件23層疊，能夠正確地規(guī) 定各電極的xy平面內(nèi)的位置。由于在倍增極Dyl Dyl2的光電面14側(cè)設(shè)有聚焦電極17，所以能 夠使光電面14發(fā)射出的電子有效地入射至倍增極Dyl。如圖8和圖10所示，在倍增極Dyl Dy12、引出電極19以及陽(yáng)極 25上形成有缺口部49、 24，在缺口部49、 24中配置有支承腳21、引線
腳47。因此，能夠充分確保各電極的有效面積，并且能夠?qū)⒂呻娮拥男?走時(shí)間差產(chǎn)生的信號(hào)的波動(dòng)降低至最小限度。并且，由于引線腳47朝z 軸方向延伸，形成在倍增極Dyl Dy12、引出電極19以及陽(yáng)極25上的 缺口部49、 24在z軸方向上重疊，所以能夠進(jìn)一步確保有效面積。并且，如圖12所示，由于聚焦電極17以覆蓋倍增極Dyl Dy12的 缺口部49的方式一直設(shè)置到xy平面周緣部，所以能夠使從光電面14中 的與形成在倍增極Dyl Dyl2、引出電極19以及陽(yáng)極25上的缺口部49、 24對(duì)應(yīng)的區(qū)域發(fā)射出的電子集束至倍增極Dyl的有效區(qū)域，能夠大大地 確保光電倍增管10中的光檢測(cè)的有效面積，并能夠防止電子與引線腳47 碰撞而使倍增率降低。并且，如圖14所示，聚焦電極17的開口部17b在x軸方向、即與 引出電極19和陽(yáng)極25的形成有缺口部49、24的邊緣部垂直的方向延伸。 優(yōu)選使盡可能多的電子入射至開口部17b中，但是與聚焦片17a碰撞的 電子不入射至開口部17b中。因此，優(yōu)選對(duì)電子的軌道進(jìn)行控制，以使 其避開聚焦片17a。特別地，對(duì)于從光電面14的與平板狀電極部分16對(duì) 置的部分入射來(lái)的電子，優(yōu)選對(duì)電子的軌道進(jìn)行控制，以使其避開平板 狀電極部分16。此時(shí)，從與平板狀電極部分16對(duì)置的部分入射來(lái)的電子 如軌道61那樣在x軸方向上前進(jìn)，但是，與y軸方向的控制相比，x軸 方向的控制、即電子本來(lái)前進(jìn)的方向的控制難。因此，在本實(shí)施方式中， 開口部17b在x軸方向、即與引出電極19和陽(yáng)極25的形成有缺口部49、 24的邊緣部垂直的方向延伸，所以只要進(jìn)行比較容易地y軸方向的控制， 就能夠使電子有效地入射至開口部17b中。并且，如圖5所示，由于在最末層倍增極Dyl2和陽(yáng)極25之間設(shè)有 引出電極19，所以倍增極Dyl2的z軸方向下側(cè)的電場(chǎng)強(qiáng)度均勻化。因 此，倍增極12的電子發(fā)射特性均勻化，例如即使各單位陽(yáng)極在切斷橋后 傾斜，陽(yáng)極25 —引出電極19之間的距離產(chǎn)生偏差，也能夠從倍增極Dy12 針對(duì)每個(gè)通道區(qū)域均勻地引出電子。并且，如圖16和圖18所示，在預(yù)定層的倍增極Dy中設(shè)有隔壁73， 能夠?qū)﹂_口率進(jìn)行調(diào)節(jié)以降低xy平面內(nèi)的電子倍增率的偏差。
由于陽(yáng)極25形成為一體，在各陽(yáng)極固定于所對(duì)應(yīng)的芯柱腳27上之 后將橋切斷使單位陽(yáng)極25獨(dú)立，因此能夠簡(jiǎn)化將陽(yáng)極25載置在芯柱腳 27上的工序，并且，各陽(yáng)極25的設(shè)置位置的精度提高。此外，如圖8和 圖9所示，由于橋設(shè)置在凹部28內(nèi)，因此能夠充分確保陽(yáng)極25的有效 面，并且，由于橋殘留部26配置在凹部28內(nèi)，因此能夠防止橋留殘部 26之間的放電。并且，通過(guò)使用這樣以二維方式排列的多陽(yáng)極 (multianode)，能夠?qū)σ獧z測(cè)的光的xy平面內(nèi)的入射位置進(jìn)行檢測(cè)。如圖3所示，芯柱29由玻璃形成，在周緣部29c上設(shè)有管狀部件31， 在內(nèi)側(cè)面29a上設(shè)有延伸部32，在延伸部32中貫通有支承腳21、引線 腳47，并立設(shè)有聚焦腳51。由此，能夠在側(cè)管15附近設(shè)置各腳，能夠 充分確保各電極的有效面。并且，如圖6所示，在芯柱29與支承腳21、引線腳47的連接部分 形成有上升部33，能夠使管狀部件31和各腳的沿面距離增大，具有下述 效果防止產(chǎn)生沿面放電和倍增后的電子與絕緣物碰撞發(fā)光而引起的噪 聲。并且，由于在延伸部32上設(shè)有貫通孔部22、 28，所以在制造芯柱 29時(shí)作為玻璃材料的逸出部分發(fā)揮功能，能夠容易地對(duì)芯柱29的厚度進(jìn) 行調(diào)節(jié)。另外，由于能夠這樣對(duì)芯柱29的厚度進(jìn)行控制，所以芯柱29 的外側(cè)面29b相對(duì)于受光面板13的位置精度提高，其結(jié)果是光電倍增管 10的全長(zhǎng)的尺寸精度提高，因此例如在將光電倍增管IO表面安裝在電路 基板等上進(jìn)行使用時(shí)，光源和電子倍增管10的受光面板13的距離恒定， 能夠進(jìn)行誤差少的光檢測(cè)。并且，如圖19所示，設(shè)在芯柱29上的排氣管40為雙重管結(jié)構(gòu)，外 側(cè)管41由與芯柱29密接性高的材料較厚地形成，內(nèi)側(cè)管43由柔軟的材 料較薄地形成。通過(guò)形成這樣的雙重管結(jié)構(gòu)，能夠利用外側(cè)管41的厚度 來(lái)防止激光焊接時(shí)的氣孔等。并且，內(nèi)側(cè)管43僅在芯柱29的靠?jī)?nèi)側(cè)面 29a側(cè)的端部與外側(cè)管41連接即可，能夠利用外側(cè)管41確保與芯柱29 的密接性，同時(shí)，不會(huì)對(duì)連接部造成損傷，能夠?qū)?nèi)側(cè)管43很短地切斷 為下述程度的長(zhǎng)度并進(jìn)行密封即使載置在電路基板上也不會(huì)成為障礙。 并且，能夠使內(nèi)側(cè)管43為容易密封且密封性優(yōu)異的材料。另外，還能夠
增大排氣管40的管徑，在導(dǎo)入堿金屬蒸氣時(shí)，能夠縮短處理時(shí)間，并且 導(dǎo)入的蒸氣的均勻性也提高。另外，如圖1所示，由于將閃爍器3設(shè)置在光電倍增管10的受光面 板13偵lj，因此能夠?qū)Ψ派渚€進(jìn)行檢測(cè)并將其作為信號(hào)輸出。其次，參照?qǐng)D23對(duì)第一變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖23是示出電子檢測(cè)部 的變形例的立體圖。在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成電子檢測(cè)部的陽(yáng)極25是以 二維方式排列的多陽(yáng)極，但是在第一變形例中，構(gòu)成電子檢測(cè)部的陽(yáng)極 是以一維方式排列的線性陽(yáng)極(linearanode) 125。線性陽(yáng)極125的邊界 部設(shè)在與倍增極Dyl Dyl2的隔壁71相當(dāng)?shù)牟糠?。各線性陽(yáng)極125連 接并支承在貫通芯柱29而設(shè)置的芯柱腳127上，被供給預(yù)定的電位并輸 出與檢測(cè)到的電子對(duì)應(yīng)的信號(hào)。優(yōu)選在直線陽(yáng)極125上也在與鄰接的單 位陽(yáng)極對(duì)置的部分設(shè)置具有橋的凹部(未圖示)，將陽(yáng)極125整體固定在 芯柱腳127上之后切斷橋。接著，參照?qǐng)D24對(duì)第二變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖24是示出釆用了閃爍 器的變形例的放射線檢測(cè)裝置100的示意剖面圖。代替上述實(shí)施方式的 閃爍器3，以一維的方式配置多個(gè)與光電倍增管10的通道區(qū)域?qū)?yīng)的尺 寸的閃爍器103來(lái)形成放射線檢測(cè)裝置100。其它結(jié)構(gòu)與第一變形例相同。 根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)Ψ派渚€的xy平面內(nèi)的入射位置進(jìn)行檢測(cè)。另外，參照?qǐng)D25對(duì)第三變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖25是示出采用了閃爍 器的其它變形例的放射線檢測(cè)裝置200的示意剖面圖。代替第二變形例 的閃爍器103，以一維的方式排列多個(gè)比陽(yáng)極125的尺寸小的、例如相當(dāng) 于陽(yáng)極125的二分之一的閃爍器203來(lái)形成放射線檢測(cè)裝置200。其它結(jié) 構(gòu)與第二變形例相同。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)Ψ派渚€的xy平面內(nèi)的入射 位置更準(zhǔn)確地進(jìn)行檢測(cè)。另外，參照?qǐng)D26對(duì)第四變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖26是載置部21b和引 出電極19的形狀的變形例的說(shuō)明圖。在載置部21b的載置引出電極19 的面上形成有凸部21c，在引出電極19的載置在載置部21b上的面上形 成有凹部19c，在支承腳21載置引出電極19時(shí)，凸部21c和凹部19c相 互嵌合。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠提高具有聚焦電極17和多個(gè)倍增極Dy1 Dyl2的電極層疊部在xy平面內(nèi)的位置精度。另外，在沒(méi)有配置引出電 極19的情況下，在最末層的倍增極Dyl2上形成凹部即可。并且，也可 以在載置部21b上形成凹部，在引出電極19上形成凸部。另外，本發(fā)明的光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置當(dāng)然不限于上述實(shí)施 方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠附加各種變更。例如，管狀部件31在芯柱29的內(nèi)側(cè)面29a側(cè)延伸出延伸部32,但 也可以在外側(cè)面29b側(cè)設(shè)置延伸部32。該情況下，光電面14的電位在延 伸部32的周圍或貫穿延伸部32中的引線腳47之間露出。由于大多在芯 柱29的外側(cè)密接地配置電路基板，所以如果相對(duì)于陽(yáng)極25的電位差最 大的光電面14的電位露出，則有可能在耐電壓方面產(chǎn)生問(wèn)題。因此，優(yōu) 選延伸部32位于內(nèi)側(cè)。在制造方法中，排氣管40在連接外側(cè)管41和內(nèi)側(cè)管43之后與芯柱 29連接，但是也存在下述方法首先僅對(duì)外側(cè)管41進(jìn)行氧化并將其與芯 柱29連接，然后在除去氧化膜之后將內(nèi)側(cè)管43與外側(cè)管41連接。光電倍增管和各電極的截面為大致矩形，但是截面也可以是圓形或 者其它形狀。該情況下，優(yōu)選根據(jù)光電倍增管的形狀對(duì)閃爍器的形狀也 進(jìn)行變更。隔壁73在上述例中設(shè)在第5層的倍增極Dy5上，但也可以設(shè)在其它 層上，并且，也可以在多層倍增極上設(shè)置隔壁。引出電極19的開口部19b不限于線狀，也可以是網(wǎng)狀。如圖27所示，也可以在延伸部32的x軸方向兩邊緣部上，代替貫 通孔22、 48而將多個(gè)開口 122、 148形成為梳齒狀。與貫通孔22、 48的 情況相比，呈梳齒狀敞開，因此能夠列舉出基于延伸部32的芯柱29的 強(qiáng)度提高的程度稍微劣化，以及芯柱29的材料從敞開部的逸出變大從而 稍微難以形成上升部33的情況，但是在該情況下也能夠有效地確保電子 倍增部和電子線檢測(cè)部的有效面積。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的放射線檢測(cè)裝置能夠用于醫(yī)療用設(shè)備中的圖像診斷裝置等。
權(quán)利要求
1、一種光電倍增管(10)，所述光電倍增管(10)在具有構(gòu)成一側(cè)端部的受光面板(13)和構(gòu)成另一側(cè)端部的芯柱(29)的真空容器內(nèi)，具備光電面(14)，其將通過(guò)所述受光面板(13)入射的入射光轉(zhuǎn)換為電子；電子倍增部，其使所述光電面(14)發(fā)射出的電子倍增；以及電子檢測(cè)部，其根據(jù)所述電子倍增部倍增后的電子送出輸出信號(hào)，其特征在于，所述電子倍增部具有電極層疊部，所述電極層疊部通過(guò)將包含構(gòu)成多個(gè)通道的倍增極(Dy1～Dy12)的電極層疊多層而成，所述電子檢測(cè)部具有多個(gè)陽(yáng)極(25)，所述多個(gè)陽(yáng)極(25)與所述電極層疊部的最末層的電極(19)分開并對(duì)置，且與所述通道對(duì)應(yīng)地排列，在所述芯柱(29)中設(shè)有用于載置所述最末層的電極(19)的支承單元(21)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述多層電極(17、 Dyl Dyl2、 19)相互夾著絕緣體(23)而層疊，所述絕緣體(23)與所述支承單元(21)同軸地配置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 作為所述最末層的電極(19)設(shè)有引出電極(19)，所述引出電極(19)具有使從所述倍增極(Dyl Dyl2)發(fā)射出的電子到達(dá)所述陽(yáng)極(25) 的開口部(1%)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述電子檢測(cè)部是以二維方式配置有多個(gè)陽(yáng)極的多陽(yáng)極(25)、或者以一維方式配置有多個(gè)陽(yáng)極的線性陽(yáng)極(125)中的任一個(gè)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述支承單元(21)由導(dǎo)電性材料形成。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 所述支承單元(21)具有從所述芯柱(29)沿所述電極層疊部的層疊方向(z)延伸的支承部(21a);以及載置所述最末層的電極(19) 的載置部(21b)，所述載置部(21b)在與所述層疊方向(z)正交的平 面中的截面積比所述支承部(21a)在與所述層疊方向(z)正交的平面 中的截面積大。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的光電倍增管(10)，其特征在于， 在所述載置部(21b)的載置所述最末層的電極(19)的面上形成有第一嵌合部(21c)，在所述最末層電極(19)的載置于所述載置部(21b) 的面上形成有第二嵌合部(19c)，當(dāng)所述最末層的電極(19)載置在所 述支承單元(21)上時(shí)，所述第一嵌合部(21c)和所述第二嵌合部(19c) 相互嵌合。
8、 一種放射線檢測(cè)裝置(1)，其特征在于，所述放射線檢測(cè)裝置(1)通過(guò)在權(quán)利要求1 7中的任一項(xiàng)所述的 光電倍增管(10)的所述受光面板(13)的外側(cè)設(shè)置閃爍器(3)而構(gòu)成， 所述閃爍器(3)將放射線轉(zhuǎn)換成光并輸出。
全文摘要
本發(fā)明提供光電倍增管和放射線檢測(cè)裝置。在側(cè)管(15)的一側(cè)端部氣密地接合受光面板(13)、在另一側(cè)端部經(jīng)由管狀部件(31)氣密地接合芯柱(29)而構(gòu)成的真空容器內(nèi)，配置有光電面(14)、聚焦電極(17)、倍增極(Dy1～Dy12)、引出電極(19)以及陽(yáng)極(25)。倍增極(Dy1～Dy12)和陽(yáng)極(25)具有相互對(duì)應(yīng)的多個(gè)通道。引出電極(19)載置在貫通芯柱(29)的導(dǎo)電性的支承腳(21)上，倍增極(Dy1～Dy12)相互夾著絕緣部件(23)而層疊。支承腳(21)和絕緣部件(23)位于同一軸上，能夠在z軸方向上施加壓力來(lái)對(duì)各電極進(jìn)行固定，并能夠抑制陽(yáng)極(25)、引出電極(19)之間的發(fā)光，能夠降低噪聲。
文檔編號(hào)H01J43/22GK101395692SQ200780007060
公開日2009年3月25日 申請(qǐng)日期2007年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月28日
發(fā)明者下井英樹, 久嶋浩之, 永井克真 申請(qǐng)人:濱松光子學(xué)株式會(huì)社