專利名稱：一種掃描電鏡樣品臺(tái)集合器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種掃描電鏡樣品臺(tái)裝置，尤其是掃描電鏡樣品臺(tái)集合器。

背景技術(shù)：
掃描電鏡是用聚焦電子束在電鏡樣品表面逐點(diǎn)掃描成像，其電鏡樣品經(jīng)導(dǎo)電膠或雙面膠紙粘結(jié)在電鏡樣品臺(tái)上，再鍍上一層導(dǎo)電膜，然后裝入掃描電鏡樣品室中觀察。
目前，公知的掃描電子顯微鏡每次僅限于放置一個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)，一個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)只能放置一個(gè)掃描電鏡樣品，實(shí)際工作過程中因多次更換掃描電鏡樣品而更換掃描電鏡樣品臺(tái)，更換掃描電鏡樣品時(shí)要經(jīng)歷關(guān)高壓、排氣、安裝掃描電鏡樣品、抽真空、重新調(diào)節(jié)燈絲飽和電流等過程，其過程需要花費(fèi)大量非有效工作時(shí)間，更換掃描電鏡樣品臺(tái)次數(shù)增多，空氣污染掃描電鏡光路系統(tǒng)的程度也增加，從而容易破壞掃描電鏡真空度。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型提供一種掃描電鏡樣品臺(tái)集合器，可以一次性能同時(shí)放置4～8個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)，不但節(jié)省因多次更換掃描電鏡樣品花費(fèi)的時(shí)間，而且降低掃描電鏡光路系統(tǒng)在空氣中污染的程度，有效提高工作效率和確保掃描電鏡真空度。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種掃描電鏡樣品臺(tái)集合器包括金屬圓臺(tái)和螺栓，所述金屬圓臺(tái)表面設(shè)有4～8個(gè)等份通圓孔作為掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置，所述掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置入口處設(shè)有圓倒角，側(cè)面設(shè)有螺孔，螺孔通掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置；在金屬圓臺(tái)底面中心設(shè)有螺栓，所述螺栓直徑和掃描電鏡樣品室螺孔直徑相匹配，方便掃描電鏡樣品臺(tái)集合器對(duì)接裝入掃描電鏡樣品室。
本實(shí)用新型的有益效果是，可以一次性能同時(shí)放置4～8個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)，減少更換掃描電鏡樣品次數(shù)，節(jié)省時(shí)間，降低掃描電鏡光路系統(tǒng)在空氣中污染的程度，提高工作效率和確保掃描電鏡真空度，性能穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明，以放置六個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)為例。



圖1是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是
圖1的A-A剖面圖。
圖中1.金屬圓臺(tái)，2.掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置，3.圓倒角，4.螺孔，5.螺絲釘，6.螺栓，7.金屬圓臺(tái)底面，8.金屬圓臺(tái)表面 具體實(shí)施方式
在
圖1中，從金屬圓臺(tái)表面8鉆通六個(gè)等份通圓孔作為掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置2，在掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置2入口處設(shè)有圓倒角3，放置掃描電鏡樣品臺(tái)的時(shí)候不至于被卡?。环胖玫膾呙桦婄R樣品臺(tái)可以按預(yù)先設(shè)定的順序?qū)悠分饌€(gè)進(jìn)行觀察，也可以方便的任意選擇要觀察的電鏡樣品順序，以便對(duì)比樣品中的有價(jià)值信息。
在圖2中，在金屬圓臺(tái)1掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置2側(cè)面設(shè)有螺孔4，螺孔4通掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置2，選配螺絲釘5固定工作時(shí)放置的掃描電鏡樣品臺(tái)，確保工作過程中不易松動(dòng)；放置的掃描電鏡樣品臺(tái)高度可以結(jié)合實(shí)際工作需要進(jìn)行調(diào)整，即使不同的掃描電鏡樣品臺(tái)上有水平高度相差較大的掃描電鏡樣品，觀察時(shí)也不用改變粗聚焦工作距離。在金屬圓臺(tái)底面7中心設(shè)有螺栓6，其直徑和掃描電鏡樣品室螺孔直徑相匹配，方便掃描電鏡樣品臺(tái)集合器對(duì)接裝入掃描電鏡樣品室。
本實(shí)用新型不局限于上述實(shí)施方式，不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化，凡是利用圓臺(tái)在其表面設(shè)有數(shù)個(gè)通等份圓孔作為掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置均落在本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種掃描電鏡樣品臺(tái)集合器，包括金屬圓臺(tái)[1]和螺栓[6]，其特征在于所述金屬圓臺(tái)表面[8]設(shè)有4～8個(gè)等份通圓孔作為掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置[2]，所述掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置[2]入口處設(shè)有圓倒角[3]，側(cè)面設(shè)有螺孔[4]，螺孔[4]通掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置[2]。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種掃描電鏡樣品臺(tái)集合器，包括金屬圓臺(tái)和螺栓，所述金屬圓臺(tái)表面設(shè)有4～8個(gè)等份通圓孔作為掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置，所述掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置入口處設(shè)有圓倒角，側(cè)面設(shè)有螺孔，螺孔通掃描電鏡樣品臺(tái)裝載位置。本實(shí)用新型可以一次性裝入4～8個(gè)掃描電鏡樣品臺(tái)，提高工作效率和確保掃描電鏡真空度，性能穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)H01J37/20GK201142313SQ200820002530
公開日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2008年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月17日
發(fā)明者俊 江 申請(qǐng)人:中國(guó)熱帶農(nóng)業(yè)科學(xué)院分析測(cè)試中心