專利名稱：一種熱子型吸氣元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及消除電真空器件殘余氣體的一種熱子型吸氣元件。
背景技術(shù)：
電真空器件內(nèi)部的殘余氣體，直接影響到器件的性能，尤其對(duì)器件壽命和可 靠性有著嚴(yán)重的影響。吸氣元件的使用可維持或提高電真空器件內(nèi)部的真空度， 從而可以提高電真空器件的性能、壽命和可靠性。吸氣元件在使用之前需在真空 條件下進(jìn)行加熱激活處理。吸氣元件有不帶電阻加熱絲和帶電阻加熱絲的。不帶 電阻加熱絲的吸氣元件有環(huán)狀、片狀、柱狀、帶狀等，可通過(guò)感應(yīng)或者烘烤加熱 來(lái)進(jìn)行激活。帶電阻加熱絲的吸氣元件稱為熱子型吸氣元件，可直接通電流加熱 進(jìn)行激活。
目前，在實(shí)際應(yīng)用中，不帶電阻加熱絲的吸氣元件必須用感應(yīng)加熱或烘烤加 熱來(lái)激活，因此有可能給對(duì)電真空器件造成熱損傷，從而影響電真空器件的性能。
帶加熱絲的熱子型吸氣元件可直接通電加熱激活，吸氣元件本身溫度較高， 但吸氣元件對(duì)周圍環(huán)境的輻射溫度相對(duì)低得多，不會(huì)對(duì)器件造成熱損傷，因此， 熱子型吸氣元件在激活上具有優(yōu)越性。通常，電真空器件外殼多為圓柱形，內(nèi)部 有時(shí)帶有夾層結(jié)構(gòu)。隨著器件小型化的發(fā)展，需將吸氣元件沿器壁內(nèi)殼放置或放 在夾層空隙處，但現(xiàn)有圓柱形熱子型吸氣元件在電真空器件中占有較多的空間， 不利于充分利用電真空器件內(nèi)部空間。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)吸氣元件的放置在電真空器件中時(shí)，受結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的
限制，及感應(yīng)加熱或烘烤加熱給電真空器件整體帶來(lái)熱損傷的問(wèn)題，而提供一種 熱子型吸氣元件。
為實(shí)現(xiàn)所述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為
一種熱子型吸氣元件，電阻加熱絲繞成的螺旋絲作為支架，上面電泳一層氧 化鋁作絕緣層，吸氣劑一方面填充在加熱絲圍成的空腔中，另一方面將整個(gè)螺旋 包覆起來(lái)。
所述熱子型吸氣元件的尺寸及吸氣劑的質(zhì)量根據(jù)需要確定。
本實(shí)用新型的激活方式采用在螺旋絲兩端加上電源直接對(duì)吸氣元件進(jìn)行加 熱，因此可以避免由于感應(yīng)加熱或烘烤加熱給電真空器件整體所帶來(lái)的熱損傷。 通過(guò)對(duì)螺旋所用電阻加熱絲材料、絲徑、螺旋參數(shù)的選擇，并根據(jù)吸氣劑質(zhì)量來(lái) 調(diào)節(jié)加熱激活電流或電壓，以獲得所需的激活溫度。
本實(shí)用新型的熱子型吸氣元件不需要在電真空器件的內(nèi)部設(shè)置吸氣劑室，可 根據(jù)電真空器件的內(nèi)部形狀來(lái)調(diào)整螺旋絲的弧度，從而有效利用電真空器件內(nèi)部 的空間。本實(shí)用新型既解決了由于吸氣元件的放置對(duì)電真空器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的限 制，又解決由于感應(yīng)加熱或烘烤加熱給電真空器件整體帶來(lái)的熱損傷。

圖1是電阻加熱絲螺旋的示意圖2是帶氧化鋁層的電阻加熱絲的截面圖3是熱子型吸氣元件的形狀示意圖4、圖6、圖7是熱子型吸氣元件在三種不同的實(shí)際電真空器件中的裝配 示意圖5是熱子型吸氣元件激活后的室溫吸氣性能曲線，圖5a為吸氣速率曲線， 圖5b為吸氣速率和吸氣量關(guān)系的特征曲線。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種熱子型吸氣元件，
以下結(jié)合附圖作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。 本實(shí)用新型采用由某一電阻絲成分、某一絲徑的電阻加熱絲繞成的螺旋作為 涂敷吸氣劑的支架，其結(jié)構(gòu)如圖l所示。首先在螺旋絲上電泳一層氧化鋁作為絕
緣層，圖2所示為表面涂敷了氧化鋁的電阻加熱絲的截面圖，l為電阻加熱絲，2 為氧化鋁；然后將吸氣劑一方面填充在加熱絲螺旋圍成的空腔中，另一方面將整 個(gè)螺旋包覆起來(lái)，根據(jù)需要獲得所需的熱子型吸氣元件尺寸及吸氣劑質(zhì)量。本實(shí) 用新型的熱子型吸氣元件的形狀如圖3所示，3為吸氣劑，吸氣劑一方面填充在 加熱絲圍成的空腔中，另一方面將螺旋包覆起來(lái)；兩端為螺旋絲的引線，引線部 分只有電阻絲，無(wú)螺旋及吸氣劑，引線不宜太長(zhǎng)，在10 25ram為宜。
如圖4所示，在圓柱形電真空器件中平行于底部?jī)?nèi)壁的位置上固定了本實(shí)用 新型的熱子型吸氣元件4，該熱子型吸氣元件的扇形弧度為50。(不含引線，以下 同)，電阻加熱絲材料為W-20wt.%Re，絲徑為0.2腿，螺旋長(zhǎng)度為40mm，螺旋直 徑2mm，螺旋圈數(shù)為7圈，涂覆了 Ti基吸氣劑之后的吸氣元件的直徑約3. 5mm， 其中吸氣劑粉重約0.3克。圖中4為本實(shí)用新型的熱子型吸氣元件，通過(guò)接線柱 與外界電源相連接，接通穩(wěn)流直流電源即可開(kāi)始加熱激活本實(shí)用新型的熱子型吸 氣元件(以下同)。在加熱電流是3.6A時(shí)，可使熱子型吸氣元件的溫度達(dá)65(TC， 保溫30分鐘后，吸氣元件溫度降至室溫后，測(cè)得吸氣元件的吸氣性能數(shù)據(jù)如圖5 所示，圖5a為吸氣速率曲線，圖5b為吸氣速率和吸氣量關(guān)系的特征曲線；從圖 5可以看出，該種類型的元件激活后具有優(yōu)良的吸氣性能。
如圖6所示，在電真空器件中平行于底部?jī)?nèi)壁的位置上固定了本實(shí)用新型的 熱子型吸氣元件4，該熱子型吸氣元件的扇形弧度為125°,螺旋所用電阻絲絲徑 為0.3nim，螺旋長(zhǎng)度為120mm，螺旋直徑為3ram，螺絲圈數(shù)為16圈，涂覆了吸氣
劑之后的吸氣元件的直徑約5mm。該圖表明可根據(jù)電真空器件的內(nèi)部形狀來(lái)調(diào)整 熱子型吸氣元件的形狀和尺寸。
如圖7所示，在電真空器件中的底部?jī)蓪託んw夾層的位置固定了本實(shí)用新型 的熱子型吸氣元件4，該熱子型吸氣元件的扇形弧度為72°，螺旋絲徑為0. 3mm， 螺旋長(zhǎng)度為50mm，螺旋直徑為2.2mm，螺絲圈數(shù)為5圈，涂覆了吸氣劑之后的吸 氣元件的直徑約5ran。
以上實(shí)施例是供理解本實(shí)用新型之用，并非是對(duì)本實(shí)用新型的限制，有關(guān)領(lǐng) 域的技術(shù)人員，在權(quán)力要求所述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可以作出多種變化或變形。 例如螺旋所用電阻絲種類、電阻絲的絲徑、螺旋所占的扇形的角度、吸氣劑的種 類等不受附圖的限制；又如，使兩端加熱引線引出到外界的通道不受附圖的限制， 如此等等，所有等同的變化或變型都應(yīng)在本實(shí)用新型的保護(hù)范屈之內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種熱子型吸氣元件，其特征在于，所述吸氣元件組成包括吸氣劑支架，氧化鋁絕緣層以及吸氣劑；所述吸氣劑支架為電阻加熱絲繞成的螺旋，其上有一層氧化鋁絕緣層；整個(gè)螺旋被吸氣劑包覆起來(lái)，并且所述加熱絲螺旋的空腔中還填充有吸氣劑。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種熱子型吸氣元件，電阻加熱絲螺旋作為涂敷吸氣劑的支架，在螺旋絲上電泳一層氧化鋁作絕緣層，吸氣劑填充在螺旋空腔中，最后用吸氣劑將整個(gè)螺旋包覆起來(lái)。吸氣元件激活方式采用在螺旋絲兩端加上電源直接對(duì)吸氣元件進(jìn)行加熱，避免感應(yīng)加熱或烘烤加熱給電真空器件整體帶來(lái)的熱損傷。通過(guò)對(duì)電阻加熱絲材料、絲徑、螺旋參數(shù)的選擇，并根據(jù)吸氣劑的質(zhì)量來(lái)調(diào)節(jié)激活的電流或電壓，獲得所需的吸氣劑激活溫度。吸氣元件可根據(jù)電真空器件內(nèi)部形狀調(diào)整螺旋絲的弧度，有效利用電真空器件內(nèi)部空間，不需要單獨(dú)的吸氣劑室。本實(shí)用新型解決了吸氣元件的放置對(duì)電真空器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的限制，及感應(yīng)加熱或烘烤加熱給電真空器件整體帶來(lái)熱損傷的問(wèn)題。
文檔編號(hào)H01J9/39GK201210480SQ20082010856
公開(kāi)日2009年3月18日 申請(qǐng)日期2008年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月13日
發(fā)明者尉秀英, 艷 張, 李騰飛, 軍 杜, 毛昌輝, 熊玉華, 秦光榮, 鵬 苑 申請(qǐng)人:北京有色金屬研究總院