專利名稱：燈單元及光傳感器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及燈單元及光傳感器，特別涉及不會受到因紫外線被照射到 于大氣所引起的氧濃度變動的影響，能夠檢測紫外線的光傳感器及具備該 光傳感器的燈單元。
背景技術：
在半導體基板、液晶基板等的制造工序中，使用燈單元，該燈單元具 備準分子燈，該準分子燈以基板的洗凈為目的而照射真空紫外線。
以往，在這種燈單元中，在成為框體的開口部的半導體基板、液晶基 板等被照射物與準分子燈之間，設置有由石英玻璃所構成的窗。但是，由 于由石英玻璃所構成的窗價格昂貴，所以在近年的燈單元中，如專利文獻l 所記載，除去由石英玻璃所構成的窗，采用使被照射物與準分子燈接近的 構造。
另外，準分子燈，因伴隨其使用而老化，所照射的真空紫外線的強度 逐漸降低。當所照射的真空紫外線的強度降低時，用來洗凈被照射物的表 面的能力也降低。因此，隨時檢測來自于準分子燈的真空紫外線的強度， 進行反饋以提高燈輸入，使強度不會降低至規(guī)定值以下，在強度不能成為 規(guī)定值以上的情況下，需要更換準分子燈。在專利文獻1中，記載了設有 檢測來自于準分子燈的真空紫外線的強度的光傳感器。
圖14是表示專利文獻1所記載的燈單元200的概略結構的剖面圖，該 燈單元20沿著相對于準分子燈201的長度方向的垂直方向，圖15是表示 圖14所示的準分子燈201的結構的斜視圖。
如圖15所示，具備長方體的放電容器202的準分子燈201，相對于長 度方向的垂直方向的剖面為長方形，在放電容器202的上下兩表面，以沿 著放電容器202的長度方向延伸的方式分別設有外部電極203， 204。設置 于上表面的一方的外部電極203構成為板狀，設置于下表面的另一方的外 部電極204構成為網(wǎng)狀。并且，在放電容器202的上表面設有開口部206，該開口部206是與后述的光傳感器205相對向并且構成為板狀的外部電極 203的一部分被切削所形成的。
如圖14所示，準分子燈201是以構成為網(wǎng)狀的另一方的外部電極204 與被照射物W相對向的方式，在燈單元200的框體207的內部設置了多支， 如圖所示為3支?？蝮w207構成為一面呈開口的箱狀，在與該開口面平行 的方向，搬送被照射物W。在框體207的與前述開口面相對向的面上，設 有貫通孔208，該貫通孔208導出導入光傳感器205，該光傳感器205用來 測定來自于準分子燈201的真空紫外線。因為該貫通孔208導出導入光傳 感器205，所以，該貫通孔208被設置于與準分子燈201的開口部206相對 向的位置。
在由框體207的貫通孔208導出導入的光傳感器205中，設有螢光體 209和光檢測元件210，該熒光體209被準分子燈201照射真空紫外線，該 光檢測元件210檢測由螢光體209變換的可見光。當檢測來自于準分子燈 201的真空紫外線時，光傳感器205被汽缸211從框體207的貫通孔208導 入至框體207的內部，朝準分子燈201的開口部206以一定量移動并接近。 接近開口部206的光傳感器205由螢光體209將真空紫外線變換成可見光， 由光檢測元件2 0來檢測可見光。當檢測結束時，光傳感器205由汽缸211， 再次通過貫通孔208而被導出至框體207的外部。此光傳感器205的導出 導入是由連接于光傳感器205的汽缸211來進行。
專利文獻1:日本特開2004—97986公報
但是，因此燈單元200，由于框體207的一面呈開口，所以，框體207 的內部會成為大氣狀態(tài)。因此，當準分子燈201點燈時，由準分子燈201 所照射的真空紫外線會與大氣中的氧產(chǎn)生反應，因此，大氣中氧濃度會變 動。另一方面，伴隨利用未圖示的搬送機構來搬送被照射物w，框體207 的內部會產(chǎn)生氧濃度變動了的大氣對流C。因此，由于該對流C，造成光傳 感器205與準分子燈201之間的氧濃度變動，使得由準分子燈201所放射 的真空紫外線的氧的吸收量產(chǎn)生變動，由光傳感器205所檢測的真空紫外 線的強度產(chǎn)生變動。
如此，在框體207的一面呈開口的燈單元200中，通過搬送被照射物 W，無法使框體207的內部的氧濃度成為均等，在準分子燈201與接近此準分子燈的光傳感器205之間的氧濃度、和準分子燈201與被照射物W之 間的氧濃度變成不同。因此，當根據(jù)由光傳感器205所檢測到的真空紫外 線的強度，控制準分子燈201的輸入時，會有對被照射物w照射規(guī)定值以 上的真空紫外線的情況，也會有照射規(guī)定值以下的真空紫外線的情況，這 樣就無法對被照射物w照射均等的真空紫外線。
為了防止因氧濃度變動的大氣對流所引起的準分子燈201與光傳感器 205之間的氧濃度產(chǎn)生變動，可考慮使準分子燈201與光傳感器205抵接。 但是，因為準分子燈201的放電容器202由石英玻璃形成，所以，當來自 于外部之按壓力大時，會有破損的可能性，為了抵接光傳感器205,必須使 來自于汽缸211的按壓力變小。然而，在所制造的準分子燈201上會有制 造上的偏差，由準分子燈201到光傳感器205的距離并非一定，無法決定 利用汽缸211的光傳感器205的移動量L3。因此，必須考慮另外設置用來 檢測光傳感器205抵接于準分子燈201的例如CCD照相機來控制汽缸211， 但即使如此，會產(chǎn)生燈單元200復雜化、高成本化的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明鑒于上述問題點而開發(fā)完成，其目的在于提供一種光傳感器及 具備該光傳感器的燈單元，該光傳感器及具備該光傳感器的燈單元以簡單 的構造，可防止因不期望的負荷所導致的準分子燈的破損，并且能夠抑制 因氧濃度產(chǎn)生變動的大氣對流所導致的紫外線的測定值變動。
本發(fā)明為了解決上述課題，采用以下技術方案。技術方案l， 一種燈單 元，由用來放射紫外線的準分子燈、接收前述紫外線的光傳感器及至少收
容保持該光傳感器的框體所構成，該燈單元特征在于
前述光傳感器具備檢測可見光的光檢測體；附設于該光檢測體的筒狀的 保持體；及可動體，該可動體能夠移動地保持于該保持體上，并且可與前 述準分子燈抵接地被設置成筒狀或柱狀，使透過構件與變換構件被設置成 被該光檢測體、該保持體、該可動體所包圍。該透過構件使來自于前述準 分子燈的紫外線透過，該變換構件將透過該透過構件的紫外線變換成可見 光。
技術方案2是如技術方案1所述的燈單元，其特征在于，將前述透過 構件與前述變換構件設置于該可動體的抵接前述準分子燈的一側。技術方案3是如技術方案1或技術方案2所述的燈單元，其特征在于， 使用兼具前述透過構件與前述變換構件的兩功能之構件，來代替前述透過 構件與前述變換構件。
技術方案4是如技術方案1-3中的任一技術方案的燈單元，其特征在于， 前述可動體的抵接于前述準分子燈的抵接面形成為，吻合前述準分子燈的 抵接于前述可動體的位置的外面形狀。
技術方案5是如技術方案1-4中的任一技術方案的燈單元，其特征在于， 前述框體具備框體蓋構件，該框體蓋構件封住除了使前述保持體貫通的貫 通孔外的前述框體，前述光檢測體由光檢測元件與處理該光檢測元件的受 光信號的電氣安裝體所構成，在前述光檢測體與前述保持體之間設有第1 密封體，在前述保持體與前述框體蓋構件之間設有第2密封體。
技術方案6是如技術方案1-5中的任一技術方案的燈單元,其特征在于， 前述可動體被設置為在前述保持體上可滑動。
技術方案7是如技術方案l-6中的任一技術方案的燈單元，其特征在于， 設有對于前述保持體使前述可動體分開地發(fā)揮作用的彈性構件。
技術方案8， 一種光傳感器，其特征在于，具備有檢測可見光光檢測 體，檢測可見光；保持體，附設于該光檢測體，呈筒狀；及可動體，該可 動體能夠移動地保持于該保持體上，并且紫外線可射入，并被設置成筒狀 或柱狀，透過紫外線的透過構件、與將透過該透過構件的紫外線變換成可 見光的變換構件被設置為被該光檢測體、該保持體與該可動體所包圍
技術方案9是如技術方案8所述的燈單元，其特征在于，將前述透過 構件與前述變換構件設置于該可動體的前述紫外線射入口 一側。
技術方案10是如技術方案8或技術方案9所述的燈單元，其特征在于， 使用兼具前述透過構件與前述變換構件的兩個功能的構件，來代替前述透 過構件與前述變換構件。
技術方案11是如技術方案8-10中的任一技術方案所述的燈單元，其特 征在于，前述可動體被設置成在前述保持體上可滑動。
技術方案12是如技術方案8-11中任一技術方案所述的燈單元，其特征 在于，設有相對于前述保持體使前述可動體分開地發(fā)揮作用的彈性構件。
如果根據(jù)技術方案1所記載的發(fā)明，通過設置對于保持體移動的可動 體，使得當可動體抵接于準分子燈時，能夠通過可動體的移動來吸收來自于準分子燈的反作用力。因此，不期望的負荷不會施加于準分子燈，所以 能夠防止準分子燈的破損。此外，即使因準分子燈的制造偏差造成形狀產(chǎn) 生偏差，也能經(jīng)由可動體的栘動來吸收該偏差程度的部分，所以，不期望 的負荷不會施加到準分子燈，能夠防止準分子燈的破損。
此外，通過使能夠移動的可動體抵接于準分子燈，能夠使得受到該光 檢測體、該保持體、與該可動體所包圍的區(qū)域，不會受到因對流而流入到 框體內的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣的影響。通過在受到光檢測體、該保持體、 與該可動體所包圍的區(qū)域設置透過構件與變換構件，能夠檢測準分子燈的 真空紫外線。
此外，不需要CCD照相機等昂貴的電子機器，就能以簡單的構造，在 不會對準分子燈施加不期望的負荷的前提下來檢測真空紫外線。
并且，即使排列多支準分子燈，也因為保持體構成為筒狀，所以，能 夠防止來自于未抵接的周邊的準分子燈的可見光被光檢測體所接收。
如果根據(jù)技術方案2所記載的發(fā)明，由于使能夠移動的可動體抵接于 準分子燈，使來自于準分子燈的真空紫外線直接經(jīng)由透過構件透過，再經(jīng) 由變換構件變換成可見光，所以，射入至可動體的真空紫外線不會被氧濃 度產(chǎn)生變動的大氣所吸收，而能變換成可見光。
如果根據(jù)技術方案3所記載的發(fā)明，由于不需要分別使用透過構件與 變換構件，而能夠利用1個構件來具備前述各構件的功能，可將光傳感器 作成簡單的結構。
如果根據(jù)技術方案4所記載的發(fā)明，由于可動體卡合于欲抵接的準分 子燈的外形狀，所以，能夠無間隙地配置在可動體與準分子燈之間。因此， 在可動體與準分子燈之間，能夠抑制因對流所致的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣
的流入，能夠抑制被可動體的變換構件所變換的真空紫外線的氧濃度產(chǎn)生 變動所引起的強度的變動。
如果根據(jù)技術方案5所記載的發(fā)明，通常地，電氣安裝體以樹脂構成 印刷基板等，會有被臭氧分解而老化的可能，但是，因電氣安裝體被配置 于臭氧無法進入的密閉空間內，所以，遮斷了電氣安裝體與臭氧的接觸， 能夠防止因臭氧所引起的電氣安裝體的老化。
如果根據(jù)技術方案6所記載的發(fā)明，當可動體對于保持體移動時，保 持體作為導件來發(fā)揮功能，能使可動體順利地栘動。如果根據(jù)技術方案7所記載的發(fā)明，能夠由任意的方向使光傳感器的 可動體抵接準分子燈，可將光傳感器配置于任意位置。
如果根據(jù)技術方案8所記載的發(fā)明，通過設置對于保持體移動的可動 體，使得當可動體抵接于紫外線放射體時，能夠經(jīng)由可動體的移動來吸收 來自于紫外線放射體的反作用力。因此，由于不期望的負荷不會施加于準 分子燈，所以能夠防止準分子燈的破損。此外，即使因準分子燈的制造偏 差造成形狀產(chǎn)生偏差，由于也能通過可動體的移動來吸收該偏差的部分， 所以，不期望的負荷不會施加到準分子燈，能夠防止準分子燈的破損。
并且，即使排列多支準分子燈，由于保持體構成為筒狀，所以，能夠 防止可見光被光檢測體所接收，該可見光具有來自于未抵接的周邊的準分 子燈的可能性。
如果根據(jù)技術方案9所記載的發(fā)明，由于使能夠移動的可動體抵接于 準分子燈，使來自于準分子燈的真空紫外線直接通過透過構件透過，再通 過變換構件變換成可見光，所以，射入至可動體之真空紫外線不會被氧濃 度產(chǎn)生變動之大氣所吸收，而能變換成可見光。
如果根據(jù)技術方案IO所記載的發(fā)明，由于不需分別使用透過構件與變 換構件，而能夠利用1個構件來具備前述各構件的功能，可將光傳感器作 成簡單的結構。
如果根據(jù)技術方案ll所記載的發(fā)明，當可動體對于保持體移動時，保 持體作為導件來發(fā)揮功能，能使可動體順利地移動。
如果根據(jù)技術方案12所記載的發(fā)明，由于能夠由任意的方向使光傳感 器的可動體抵接紫外線放射體，所以可將光傳感器配置于任意位置。


圖1是顯示具備第1實施方式的發(fā)明的燈單元2、且沿著準分子燈5的 長度方向的紫外線照射裝置1的概略結構的圖。
圖2是由圖1所示的紫外線照射裝置1的A—A剖面觀看紫外線照射 裝置l的剖面圖。
圖3是圖1及圖2所示的準分子燈5的放大斜視圖及放大剖面圖。
圖4是圖1所示的燈單元2的放大剖面圖。
圖5是顯示從燈單元2取下準分子燈5時的光傳感器6的狀態(tài)、及將準分子燈5設置于燈單元2時的光傳感器6的狀態(tài)的圖。 圖6是第2實施方式的發(fā)明的燈單元2的放大剖面圖 圖7是顯示從燈單元2取下準分子燈5時的光傳感器6的狀態(tài)、及將
準分子燈5設置于燈單元2時的光傳感器6的狀態(tài)的圖。
圖8是顯示具備第3實施方式的發(fā)明的燈單元2，且沿著準分子燈11
的長度方向的紫外線照射裝置1的概略結構的圖。
圖9是圖8所示的準分子燈11的放大斜視圖及放大剖面圖。 圖10是圖8所示的燈單元2的放大剖面圖。
圖11是第4實施方式的發(fā)明，顯示一部分與第2實施方式的圖6所示 的燈單元2和光傳感器6的可動體64的結構不同的燈單元2的結構的局部 放大圖。
圖12是第5實施方式的發(fā)明，顯示一部分與第1實施方式的圖6所示 的燈單元2和光傳感器6的可動體64的結構不同的燈單元2的結構的局部 放大圖。
圖13是第6實施方式的發(fā)明，顯示沿著相對于準分子燈5的長度方向 的垂直方向的燈單元2的結構的剖面圖。；
圖14是顯示專利文獻1所記載，顯示相對于準分子燈201的長度方向 的垂直方向的燈單元200的概略結構的剖面圖。
圖15是顯示圖14所示的準分子燈201的結構的斜視圖。
附圖標記
1:紫外線照射裝置 2:燈單元 3:搬送機構 4:框體
41:框體蓋構件 42:燈支承體 43:貫通孔 5:準分子燈 51:放電容器
52、 53:外部電極
54:開口部55-紫外線反射膜
551:開口部 6:光傳感器 61:光檢測體 611:光檢測元件 612:電氣安裝體
62- 第1密封體
63- 保持體 631:圓筒構件 632:突出體 633:鍔體 634:貫通孔 635:彈性構件
64:可動體 641:筒狀構件
642:突出部 6421:卡合面 643:防止落下部 644:貫通孔 645:透過構件 646:變換構件 647:螢光玻璃 65:第2密封體 66:可動體 661:透過構件
662:鍔體 663:平坦部 664:突出部
7:滾子 8:驅動部 9:搬入口10:搬出口
11:準分子燈
111:放電管
112:封裝部
113:內側電極
114:內管
115:外側電極
116:鉬箔
117:外部導線
W:被照射物
Sl:框體內部(密閉空間)
S2:框體內部
具體實施例方式
使用圖1至圖5來說明本發(fā)明的第1實施形態(tài)。
圖1是顯示具備本實施方式的發(fā)明的燈單元2，沿著相對于準分子燈5 的長度方向呈垂直方向的紫外線照射裝置1的概略結構的圖，圖2是由圖1 所示的紫外線照射裝置1的A—A剖面觀看的紫外線照射裝置1的剖面圖。
如這些圖所示，紫外線照射裝置1大致由在構成為箱狀的框體4內具 有準分子燈5與光傳感器6的燈單元2(圖面上方)及載置燈單元2并且搬送 被照射物w的搬送機構3(圖面下方)所構成。
如這些圖所示，燈單元2由準分子燈5、設置成可抵接于準分子燈5的 光傳感器6、及收容準分子燈5與光傳感器6并予以支承的框體4所構成。 此外，搬送機構3用于載置燈單元2的框體4，并且具備排列配置于內部的 多個滾子7;及設置于各滾子7的兩端的、并且驅動滾子7轉動的驅動部8。 從搬送機構3的搬入9被搬送的被照射物W被載置于滾子7上，通過驅動 驅動滾子7轉動，將其搬入準分子燈5的正下方。已被搬入的被照射物W 由于是與準分子燈5以例如3mm的距離靠近，所以，來自于準分子燈5的 真空紫外線不會完全被氧所吸收而可充分地照射。受到真空紫外線所照射 的被照射物W由搬出口 IO被搬出。
圖3(a)是圖1及圖2所示的準分子燈5的放大斜視圖，圖3(b)是由圖3(a)的B—B剖面所觀看的準分子燈5的剖面圖，圖3(c)是由圖3(a)的C一C 剖面面所觀看的準分子燈5的剖面圖。
如這些圖所示，準分子燈5具有長方體的放電容器51，此放電容器51 由照射真空紫外線的石英玻璃所構成。在放電容器51的內部封裝有例如氙 氣。放電容器51在相對于長度方向的垂直方向上的剖面為長方形。在放電 容器51的上下兩表面，設有一對外部電極52， 53，該一對外部電極52， 53貫穿放電容器51的長度方向連接于高頻電源上。外部電極52、 53藉由 例如將混合有銅與低融點玻璃的導電性膠體呈網(wǎng)眼狀地涂敷于放電容器51 的外表面并加以燒成來形成的。在放電容器51的上部內壁面上，設有用來 反射真空紫外線的例如由二氧化硅膜所構成的紫外線反射膜55。紫外線反 射膜55被貫穿設置于放電容器51的上部內壁面的長度方向及寬度方向。
圖4是圖1所示的燈單元2的放大剖面圖。
如圖4所示，準分子燈5將紫外線反射膜55配置于光傳感器6 —側， 與光傳感器6相對向。因此，光傳感器6，為了檢測由準分子燈5所放射的 真空紫外線，形成于放電容器51的上部內表面的紫外線反射膜55在光傳 感器6所抵接的位置上，設有紫外線反射膜55被去除的開口部551。在開 口部551存在的放電容器51的外表面，光傳感器6的可動體64可抵接地 被設置著。光傳感器6由可動體64、在內部設有供可動體64能夠移動的貫 通孔634的筒狀的保持體63、及連接于此保持體63的上端的光檢測體61 所構成。
可動體64具有筒狀構件641，該筒狀構件641為圓筒狀并在內部具有 貫通孔644，在可動體64的筒狀構件641的一端設有朝內部的貫通孔644 側突出的突出部642,在筒狀構件641的另一端設有朝其外周方向延伸的環(huán) 狀的防止落下部643?？蓜芋w64由具有電氣絕緣性的、例如塊滑石這樣的 陶瓷所形成。
保持體63具有圓筒構件631，在其內部具有可供可動體64能夠移動的 貫通孔634。在圓筒構件631的一端設有朝貫通孔634側突出的突出體632， 在圓筒構件631的另一端設有朝其外周方向延伸的鍔體633。保持體63由 例如鋁所形成。可動體64的筒狀構件641被設置成能夠通過突出體632所 包圍的圓狀的開口導出導入，可動體64的防止落下部643被設置成與保持 體63的突出體632可抵接地。在設置于保持體63的另一端的鍔體633的上方，光檢測體61經(jīng)由例 如由氟樹脂所構成的環(huán)狀的第1密封體62被接合。在光檢測體61中，設 置有透過構件645，該透過構件645例如由石英玻璃所構成的，供真空紫外 線透過，在與透過構件645中的突出部642 —側的面相反側的面中，涂敷 有變換構件646，該變換構件646例如由螢光體所構成且可將紫外線變換成 可見光。并且，光檢測體61具有檢測可見光的光檢測元件611，光檢測元 件611以與變換構件646相對向的方式接合于保持體63的鍔體633。在光 檢測元件611的上方，設有電氣安裝體612，該電氣安裝體內裝有電氣安裝 部件，該電氣安裝部件用來處理利用光檢測元件611所接收到的受光信號。
通過上述結構，使得透過構件645與變換構件646受到光檢測體61、 保持體63和可動體64所包圍。
框體4設置成:準分子燈5側的一面呈開口 ，包圍準分子燈5的四面(準 分子燈5的沒有設置一對外部電極52、 53的四面的外側)。并且，在框體4 中設有框體蓋構件41來對框體4加蓋，在框體蓋構件41中設有用來支承 準分子燈5的兩端的燈支承體42(參照圖2)，并且設有供光傳感器6插入的 貫通孔43。被插入至框體蓋構件41的貫通孔43的光傳感器6，其設置于 可動體64的一端的突出部642抵接于準分子燈5。由于準分子燈5呈長方 體，所以光傳感器6所抵接的一面為平坦狀，光傳感器6所抵接的突出部 642的面也同樣呈平坦狀，因此，光傳感器6的可動體64能以無間隙的方 式載置于準分子燈5上。保持體63的鍔體633以設有例如由氟樹脂所構成 的第2密封體65的方式接合于框體4的框體蓋構件41的上表面。
通過第1密封體62接合于保持體63的鍔體633的光檢測體61，由于 位于框體蓋構件41的上方位置，所以配置于框體蓋構件41的上方的光檢 測體61的外方設置成被框體4及框體蓋構件41包圍，該框體4及框體蓋 構件41構成為箱狀，g卩，光傳感器6的光檢測體61配置于密閉空間S1， 該密閉空間S1受到框體4，框體蓋構件41，第2密封體65、鍔體633及第 l密封體62所包圍。因此，能夠防止配置于光檢測體61的電氣安裝體612 受到因臭氧所產(chǎn)生的壞影響。
其次，使用圖4來說明燈單元2的動作。準分子燈5，當高頻的高電壓 被施加于一對的外部電極52、 53時，在放電容器51的內部，作為發(fā)光氣 體的氙氣被激發(fā)，由所激發(fā)的發(fā)光氣體，產(chǎn)生具有172nm以下的峰值波長的真空紫外線。在放電容器51的內部所產(chǎn)生的真空紫外線與受到設置于放 電容器51的內部的紫外線反射膜55所反射的真空紫外線一同從放電容器 51的外部電極53側朝外部被放射。由準分子燈5所放射的真空紫外線的一 部分被大氣中的氧所吸收而產(chǎn)生臭氧。
另外，從準分子燈5的削除紫外線反射膜55的一部分所形成的開口部 551，朝與其相對向的光傳感器6放射真空紫外線。光傳感器6的可動體64 的筒狀構件641的突出部642與準分子燈5卡合地抵接，由此，在可動體 64與準分子燈5之間，能夠防止朝框體4的內部S2對流而來的氧濃度產(chǎn)生 變動后的大氣的流入。通過了紫外線反射膜55的開口部551的真空紫外線 通過網(wǎng)眼狀的外部電極52的網(wǎng)眼(開口部54)，再通過受到可動體64的突 出部642所包圍的開口部，射入到透過構件645。
另外，在圖4中，圖示為使準分子燈5的外部電極52、 53突出，但因 外部電極52、 53以例如網(wǎng)版印刷等所形成，所以實際上的外部電極52、 53 的厚度非常薄，幾乎不會有從網(wǎng)眼狀的外部電極52、 53的開口部54流入 的氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣。因此，由準分子燈5的紫外線反射膜55的開 口部551所放射的真空紫外線，不會受到氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣的影響， 可適宜地朝透過構件645射入。
此外，從準分子燈5也會射出真空紫外線以外的可見光，但如圖4所 示，在具有多支準分子燈5的燈單元中，可見光被照射于例如位于中央的 光傳感器6，該被照射的可見光為來自于位于該光傳感器6所測定的準分子 燈5的周邊的準分子燈5的可見光。因此，當位于中央的光傳感器6的光 檢測元件611接收到來自于位于周邊的準分子燈5的可見光時，無法正確 地僅檢測來自于所測定的中央的準分子燈5的紫外線的強度。但是，因為 保持構件63形成為筒狀，所以可遮斷來自于位于周邊的準分子燈的可見光， 位于中央的光傳感器6的光檢測元件611能夠防止來自于周邊的其他準分 子燈5的可見光的受光。g卩，光傳感器6的光檢測元件611僅能測定可動 體64所抵接的準分子燈5的紫外線強度。
如果根據(jù)本實施方式的發(fā)明，即使對被照射物W照射真空紫外線時所 產(chǎn)生的氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣因對流而進入到框體4的內部S2，也可使 光傳感器6抵接于準分子燈5，將射入到光傳感器6的真空紫外線在不會受 到氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣的影響的狀態(tài)下變換成可見光并進行檢測，所以，能夠將真空紫外線對被照射物w的強度設定于期望的規(guī)定值。
其次，使用圖5，對于準分子燈5更換時的光傳感器6的狀態(tài)進行說明。 圖5(a)是顯示由燈單元2取下準分子燈5時的光傳感器6的狀態(tài)的圖，圖 5(b)是顯示將準分子燈5設置于燈單元2時的光傳感器6的狀態(tài)的圖。
首先，如圖5(a)所示，當由燈單元2取下準分子燈5時，光光傳感器6 的可動體64由于自重下降，設置于可動體64的另一端的防止落下部643 抵接到設置于保持體63的一端的突出體632，可動體64被保持于保持體 63。因保持體63被支承于框體蓋構件41，所以可動體64經(jīng)由保持體63被 支承于框體蓋構件41。在此下降時，通過筒狀的圓筒構件631的內周面與 防止落下部643的外周面滑動，可動體64被筒狀的圓筒構件631的內周面 所導引，而能適宜地下降。
其次，如圖5(b)所示，當在燈單元2以抵接于可動體64的突出部642 的方式配置準分子燈5時，可動體64的圓筒構件641被壓于準分子燈5， 在保持體63的圓筒構件631的貫通孔634內朝上方移動。因貫通孔634形 成為與可動體64的防止落下部643的外形相同或該外形以上，被壓于準分 子燈5的可動體64能容易在貫通孔634內移動。因可動體64在抵接于準 分子燈5的狀態(tài)下能夠在貫通孔634內移動，所以不會有不期望的負荷施 加于準分子燈5，僅施加有光傳感器6的可動體64的重力。此外，經(jīng)由圓 筒構件631的內周面與防止落下部643的外周面滑動，使得可動體64被導 引于圓筒構件631的內周面而能適宜地朝上方移動。因此，即使在準分子 燈5更換時及更換后，也不會有不期望的負荷施加到準分子燈5。此外，即 使在因準分子燈5的制造偏差造成燈形狀等不同的情況下，由于保持體63 的貫通孔634形成為具有充分高度，所以可動體64能夠移動相當于貫通孔 634的高度的程度，可充分地吸收制造偏。
如此，可動體64雖然能夠在保持體63的貫通孔634內移動，但過度 增大貫通孔634的中心軸方向的長度Ll時，造成設置于可動體64的一端 的突出部642抵接到保持體63的突出部632,可動體64完全進入至圓筒構 件631的內部，就有可能無法由突出部632導出可動體64的筒狀構件641。 因此，如圖5(a)所示，將距離L1作成為比L2小,該L1為由突出部632的 與光檢測體61相對向的面至連接到鍔體633的第1封裝部62中抵接于光 檢測體61的面為止的距離，該L2為突出部642至防止落下部643為止的可動體64的全長。由此，即使可動體64上升而使防止落下部643抵接到 光檢測體61,也能從被突出部642所包圍的開口部導出突出部642,由此 能夠防止可動體64進入到保持體63的貫通孔631。
在此，光傳感器6與放電容器51的數(shù)值例例如以下所示。針對光傳感 器6，保持體63的貫通孔634的直徑為19mm、環(huán)狀的鍔體633的直徑為 38mm。可動體64的貫通孔644的直徑為16mm、環(huán)狀的防止落下部643 的直徑為19mm。由設置于保持體63的一端的突出部632的與檢測體61 相對向的面至連接到保持體63的另一端的鍔體633的第1封裝部62中抵 接于光檢測體61的面為止的距離Ll為23mm，由設置于可動體64的一端 的突出部642至設置于另一端的防止落下部643為止的可動體64的全長L2 為35mm。此外，針對準分子燈5，放電容器51的長度方向的長度為904mm。 在沿著對于放電容器51的長度方向呈垂直方向的長方形的剖面，長邊為 43mm、短邊為15mm。封裝于放電容器51的內部的氙氣例如為10 100kPa。
使用圖6及圖7，對本發(fā)明的第2實施方式進行說明。另外，顯示第2 實施方式的紫外線照射裝置1的概略結構的圖與在第1實施方式所使用的 圖1通用，此外第2實施方式的紫外線照射裝置1的剖面圖與圖2通用， 因此，使用圖l及圖2進行說明對第2實施方式進行說明。
圖6是圖l所示的燈單元2的放大剖面圖。
如圖6所示，準分子燈5，紫外線反射膜55配置于光傳感器6側，與 光傳感器6相對向。因此，光傳感器6，為了檢測由準分子燈5所放射的真 空紫外線，形成于放電容器51的上部內表面的紫外線反射膜55在光傳感 器6所抵接的位置，設置有削除了紫外線反射膜55的開口部551。在開口 部551所存在的放電容器51的外表面，光傳感器6的可動體64可抵接地 被設置著。光傳感器6包括可動體64、在內部設有可供可動體64能夠移 動的貫通孔634的筒狀的保持體63，及連接于此保持體63的上端的光檢測 體61。
另外，搬送機構3的結構及功能與第1實施方式的圖1所作說明相同 者，在此省略其說明。
可動體64具有在內部具有貫通孔644的圓筒狀的筒狀構件641，在可 動體64的筒狀構件641的一端，設有朝內部的貫通孔644側突出的突出部 642，在筒狀構件641的另一端，設有朝其外周方向延伸的環(huán)狀的防止落下部643。可動體64由具有電氣絕緣性的例如塊滑石這樣的陶瓷所形成。在 突出部642中，設有供真空紫外線透過的例如由石英玻璃所構成的透過構 件645，在透過構件645的與突出部642側的面相反側的面，涂敷有變換構 件646，該變換構件646由例如螢光體所構成，并可將紫外線變換成可見光。
保持體63具有圓筒構件631,在其內部具有可供可動體64能夠移動的 貫通孔634。在圓筒構件631的一端，設有朝貫通孔634側突出的突出體 632，在圓筒構件631的另一端，設有朝其外周方向延伸的鍔體633。保持 體63由例如鋁所形成?？蓜芋w64的筒狀構件641可通過突出體632所包 圍的圓狀的開口導出導入地被設置著，可動體64的防止落下部643與保持 體63的突出體632可抵接地被設置著。
在設置于保持體63的另一端的鍔體633的上方，光檢測體61經(jīng)由例 如由氟樹脂所構成的環(huán)狀的第1密封體62被接合。光檢測體61具有檢測 可見光的光檢測元件611，光檢測元件611以與設置于可動體64的變換構 件646相對向的方式接合于保持體63的鍔體633。在光檢測元件611的上 方設有電氣安裝體612，該電氣安裝體內裝有用來處理被光檢測元件611所 接收到的受光信號的電氣安裝零件。
根據(jù)上述結構，使得透過構件645與變換構件646受到光檢測體61、 保持體63和可動體64所包圍。
框體4的準分子燈5側的一面呈開口，包圍準分子燈5的四面(準分子 燈5的未設有一對的外部電極52、 53的四面的外側)。并且，在框體4中， 設有框體蓋構件41來對框體4加蓋，在框體蓋構件41中，設有用來支承 準分子燈5的兩端的燈支承體42(參照圖2)，并且設有供光傳感器6插入的 貫通孔43。被插入至框體蓋構件41的貫通孔43的光傳感器6，其設置于 可動體64的一端的突出部642抵接于準分子燈5。由于準分子燈5呈長方 體，光傳感器6所抵接的一面為平坦狀，光傳感器6所抵接的突出部642 的面也同樣呈平坦，因此，光傳感器6的可動體64能以無間隙的方式載置 于準分子燈5。保持體63的鍔體633和框體4的框體蓋構件41的上表面之 間設有例如由氟樹脂所構成的第1密封體65。
以設有第1密封體62的方式接合于保持體63的鍔體633的光檢測體 61，由于位于框體蓋構件41的上方位置，所以配置于框體蓋構件41的上 方的光檢測體61的外方設置成，受到框體4及框體蓋構件41所包圍，該框體4及框體蓋構件41構成為箱狀。即，光傳感器6的光檢測體61配置 于密閉空間Sl，該密閉空間Sl受到框體4、框體蓋構件41、第2密封體 65、鍔體633、及第1密封體62所包圍。因此，能夠防止配置于光檢測體 61的電氣安裝體612受到因臭氧所產(chǎn)生的壞影響。
其次，使用圖6，說明關于燈單元2的動作。準分子燈5，當高頻的高 電壓被施加于一對的外部電極52、 53時，在放電容器51的內部，作為發(fā) 光氣體的氙氣被激發(fā)，由所激發(fā)的發(fā)光氣體產(chǎn)生具有172nm以下的峰值波 長的真空紫外線。在放電容器51的內部，所產(chǎn)生的真空紫外線與受到設置 于放電容器51的內部的紫外線反射膜55所反射的真空紫外線一同從放電 容器51的外部電極53側朝外部被放射。由準分子燈5所放射的真空紫外 線的一部分被大氣中的氧所吸收而產(chǎn)生臭氧。
另外，從準分子燈5的削除紫外線反射膜55的一部分所形成的開口部 551，朝與其相對向的光傳感器6放射真空紫外線。光傳感器6的可動體64 的筒狀構件641的突出部642與準分子燈5卡合地抵接，在可動體64與準 分子燈5之間，能夠防止朝框體4的內部S2對流而來的氧濃度產(chǎn)生變動后 的大氣的流入。通過了紫外線反射膜55的開口部551之真空紫外線通過網(wǎng) 眼狀的外部電極52的網(wǎng)眼(開口部54)，再通過受到可動體64的突出部642 所包圍的開口部，射入至透過構件645。
另外，在圖6中，雖然圖示有使準分子燈5的外部電極52、 53突出的 狀態(tài)，但因外部電極52、 53以例如網(wǎng)版印刷等所形成，所以實際上的外部 電極52、 53的厚度非常薄，幾乎不會有從網(wǎng)眼狀的外部電極52、 53的開 口部54流入的氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣。因此，由準分子燈5的紫外線反 射膜55的開口部551所放射的真空紫外線，不會受到氧濃度產(chǎn)生變動后的 大氣的影響，可適宜地朝透過構件645射入。
透過了透過構件645的真空紫外線，經(jīng)由變換構件646變換成可見光， 該變換構件由螢光體所構成的，涂布于透過構件645的上表面。在圓筒構 件631內部的貫通孔634，為了使可動體64的保持構件641可移動，而不 將保持體63與可動體54之間予以封裝，就有可能使對流來的氧濃度變動 后的大氣流入。但是，通過貫通孔644及貫通孔634的光，由于經(jīng)由變換 構件656將真空紫外線變換成可見光，所以，不會被可動體64與保持體63 的內部的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣所吸收。即，被變換構件646所變換的可見光由于不會被氧所吸收，因此其強度不會降低，而能被對向配置的光檢
測元件611所檢測。此外，流入到保持體63的內部的真空紫外線與氧反應 所產(chǎn)生的臭氧，可經(jīng)由設置于保持體63的鍔體633與光檢測體61之間的 第1密封體62，防止臭氧流入至密閉空間Sl側，而能夠防止臭氧對電氣安 裝體612內的電氣安裝零件產(chǎn)生壞影響。
此外，從準分子燈5也會射出真空紫外線以外的可見光，但如圖6所 示，在具有多支準分子燈5的燈單元中，來自于位于該光傳感器6所測定 的準分子燈5的周邊的準分子燈5的可見光被照射于例如位于中央的光傳 感器6。因此，當位于中央的光傳感器6的光檢測元件611接收到來自于位 于周邊的準分子燈5的可見光時，無法正確地僅檢測來自于所測定的中央 的準分子燈5的紫外線的強度。但是，因為保持構件63形成為筒狀，所以 能夠遮斷來自于位于周邊的準分子燈的可見光，位于中央的光傳感器6的 光檢測元件611能夠防止來自于周邊的其他準分子燈5的可見光的受光。 即，光傳感器6的光檢測元件611能僅測定可動體64所抵接的準分子燈5 的紫外線強度。
如果根據(jù)本實施方式的發(fā)明，即使對被照射物W照射真空紫外線之際 所產(chǎn)生之氧濃度產(chǎn)生變動后之大氣因對流而進入到框體4的內部S2，也可 使光傳感器6抵接于準分子燈5，將射入到光傳感器6的真空紫外線在不會 受到氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣的影響的狀態(tài)下變換成可見光并進行檢測， 所以，能夠將真空紫外線對被照射物w的強度設定于期望的規(guī)定值。
其次，使用圖7，說明關于準分子燈5更換時的光傳感器6的狀態(tài)。圖 7(a)是顯示由燈單元2取下準分子燈5時的光傳感器6的狀態(tài)的圖，圖7(b) 是顯示將準分子燈5設置于燈單元2時的光傳感器6的狀態(tài)的圖。
首先，如圖7(a)所示，當由燈單元2取下準分子燈5時，光傳感器6 的可動體64由于自重下降，設置于可動體64的另一端的防止落下部643 抵接到設置于保持體63的一端的突出體632，可動體64被保持于保持體 63。由于保持體63被支承于框體蓋構件41，所以可動體64經(jīng)由保持體63 被支承于框體蓋構件41，在此下降時，通過筒狀的圓筒構件631的內周面 與防止落下部643的外周面滑動，可動體64被筒狀的圓筒構件631的內周 面所導引，而能適宜地下降。
其次，如圖7(b)所示，當在燈單元2以抵接于可動體64的突出部642的方式配置準分子燈5時，可動體64的圓筒構件641被壓于準分子燈5， 在保持體63的圓筒構件631的貫通孔634內朝上方移動。因貫通孔634形 成為與可動體64的防止落下部643的外形相同或大于該外形，被壓于準分 子燈4的可動體64能容易在貫通孔634內移動。由于可動體64在抵接于 準分子燈5的狀態(tài)下能夠在貫通孔634內栘動，所以不會有不期望的負荷 施加于準分子燈5，僅施加有光傳感器6的可動體64的重力。此外，通過 圓筒構件631的內周面與防止落下部643的外周面滑動，使得可動體64被 導引于圓筒構件631的內周面而能順利地朝上方移動。因此，即使在準分 子燈5更換時及交換后，也不會有不期望的負荷施加到準分子燈5。此外， 即使在由于準分子燈5的制造偏差造成燈形狀等不同的情況下，也因保持 體63的貫通孔634形成為具有充分高度，所以可動體64能夠移動相當于 貫通孔634的高度的量，可充分地吸收制造偏差。
如此，可動體64雖可在保持體63的貫通孔634內移動，但過度增大 貫通孔634的中心軸方向的長度Ll時，造成設置于可動體64的一端的突 出部642抵接到保持體63的突出部632，可動體64完全進入至圓筒構件 631的內部，就有可能產(chǎn)生無法由突出部632導出可動體64的筒狀構件641 。 因此，如圖7(a)所示，將L1作成為比L2小，該L1是由突出部632的與光 檢測體61相對向的面至連接到鍔體633的第1封裝部62中抵接于光檢測 體61的面為止的距離，該L2是由突出部642至防止落下部643為止的可 動體64的全長。由此，即使可動體64上升使防止落下部643抵接到光檢 測體61，也能從受到突出部642所包圍的開口部導出突出部642，由此能 夠防止可動體64進入到保持體63的貫通孔631。
在此，光傳感器6與放電容器51的數(shù)值例例如以下所示。針對光傳感 器6，保持體63的貫通孔634的直徑為19mm，環(huán)狀的鍔體633的直徑為 38mm，可動體64的貫通孔644的直徑為16mm、環(huán)狀的防止落下部643 的直徑為19mm。由設置于保持體63的一端的突出部632的與檢測體61 相對向的面至連接到保持體63的另一端的鍔體633的第1封裝部62中抵 接于光檢測體61的面為止的距離Ll為23mm，由設置于可動體64的一端 的突出部642至設置于另一端的防止落下部643為止的可動體64的全長L2 為35mm。此外，針對準分子燈5，放電容器51的長度方向的長度為卯4mm。 在沿著相對于放電容器51的長度方向呈垂直方向的長方形的剖面，長邊為43mm、短邊為15mm。封裝于放電容器51的內部的氙氣例如為10 100kPa。 使用圖8至圖10，說明關于本發(fā)明的第3實施方式。 圖8是顯示具備本實施方式的發(fā)明的燈單元2，沿著準分子燈11的長 度方向的紫外線照射裝置1的概略結構的圖。
如圖8所示，紫外線照射裝置1，大致由在呈箱狀的框體4內具備有準 分子燈11與光傳感器6的燈單元2(圖面上方)、及載置燈單元2并且搬送被 照射物W的搬送機構3(圖面下方)所構成，燈單元2包括由準分子燈11、 可與準分子燈5抵接地被設置的光傳感器6、及收容準分子燈11與光傳感 器6并加以支承的框體4。另外，搬送機構3的結構及功能，因與在第l實 施方式中的圖l作過說明的相同，因此在此省略其說明。
圖9(a)是沿著圖8所示的準分子燈11的管軸方向的放大剖面圖，圖9(b) 是由圖9(a)的D—D切斷面所觀看的準分子燈11的剖面圖。
如這些圖所示，準分子燈ll由圓筒狀的例如石英玻璃所形成，包括-填充有作為放電氣體的氙氣的放電管111、與將放電管111的管軸方向的兩 端予以氣密地封裝的封裝部112。
內側電極113在例如由線圈狀的鎢所構成的內側電極113的長度方向 的兩端，將由例如棒狀的鎢所構成的內側電極113以線圈狀的內側電極113 與棒狀的內側電極113朝長度方向的中心軸一致的方式加以配置，通過熔 接等予以接合來形成。內側電極113被配置成在放電管111的大致管軸方向 延伸。
在放電管111內，設有由例如石英玻璃所構成的作為圓筒狀的電介質 來發(fā)揮功能的內管114，內管114的管軸方向的兩端以不會與放電管111接 觸的方式離隔著，并且，以包圍內側電極113的外周的方式配置著。內管 114，在其外周配置有未圖示的圓盤狀的由例如石英玻璃所構成的支承構 件，經(jīng)由此支承構件支承于放電管111內部。
在封裝部112的兩端，設有突出的由例如鎢所構成的外部導線117，封 裝部112通過將放電管111的管軸方向的兩端的管體作成為熔融狀態(tài)并壓潰 的收縮密封法來形成。在封裝部112內，內側電極113與外部導線117在由 例如鉬所構成的箔116被電連接并埋設。此外，封裝部112，也可通過將管
體作成熔融狀態(tài)后再將內部予以減壓形成的收縮密封法來形成。由此，在 內側電極113中，于內管114的管軸方向的兩端與封裝部112之間，形成內側電極113，該內側電極113的徑方向不會被內管114所覆蓋，并且朝未被 封裝部112所埋設的徑方向露出。
在放電管111的外周面，密接形成有由例如網(wǎng)狀的銅-鎳合金所構成的 外側電極115，在放電管lll的管軸方向上，以比內管114的管軸方向的兩 端短的方式配置著。由封裝部112突出的一對的外部導線117中， 一方的 外部導線117連接于未圖示的交流電源。
準分子燈11的具體的數(shù)值例如下，放電管111為管軸方向的長度 2250mm、外徑18.5mm、內徑16.5mm、封入的氙氣的封入量66.5kPa。內 管114的管軸方向的長度2200mm、外徑4mm、內徑2mm。線圈狀的內側 電極113的長度方向的長度2030mm、外徑1.8mm，外側電極115的厚度 0.2mm。被供給至準分于燈11的電壓波形為例如矩形波，峰值電壓為5kV、 頻率為60kHz。
圖10為圖8所示的燈單元2的放大剖面圖。
如圖IO所示，本實施方式的發(fā)明的準分子燈11的外形為圓柱狀。因 此，在光傳感器6的可動體64的底部的突出部642上，形成為與準分子燈 11抵接的面成為呈圓弧狀凹陷的卡合面6421。另外，其他結構與第2實施 方式的圖6所示的同符號的結構相對應，在此省略其說明。
如圖10所示，通過將可動體64的突出部642抵接于準分子燈11的面 作成為圓弧狀的卡合面6421，使得卡合面6421抵接成卡合于圓柱狀的準分 子燈11，能夠防止對流至框體4的內部S2的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣進入到 可動體64與準分子燈11之間。
在本實施方式的發(fā)明中，即使對被照射物W照射真空紫外線時所產(chǎn)生 的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣因對流而進入到框體4的內部S2，也能使光傳感 器6抵接于準分子燈5，可將真空紫外線在不會受到氧濃度產(chǎn)生變動的大氣 的影響的狀態(tài)下變換成可見光，能夠將真空紫外線對被照射物W的強度設 定于期望的規(guī)定值。
另外，在第3實施方式的說明中，以將透過構件645與變換構件646 設置于可動體64側為例進行了說明，但，即可為如第1實施方式的光傳感 器6 —樣設置于光檢測體61側的情況，也可獲得相同的效果。
使用圖ll，說明關于本發(fā)明的第4實施方式。
圖11是顯示本實施形態(tài)的發(fā)明，與第2實施方式的圖6所示的燈單元2和光傳感器6的可動體64的結構一部分不同的燈單元2的結構的局部放 大圖。
如圖11所示，本實施方式的光傳感器6的可動體66，使用由例如石英 玻璃所構成的圓柱狀的透過構件661，來代替第1實施方式的圖6所示的可 動體64的透過構件645。即，與準分子燈5抵接的透過構件661的一端， 形成有平坦部663，來與平坦的準分子燈5卡合，在透過構件661的另一端， 形成有與保持體63的突出部632抵接的鍔狀的防止落下構件662，并且在 其上表面涂敷有由例如螢光體所構成的變換構件646。
另外，此燈單元2的其他結構與圖6所示的燈單元2的同符號的結構 相對應，在此省略其說明。
在本實施方式的發(fā)明中，即使對被照射物W照射真空紫外線時所產(chǎn)生 的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣因對流而進入到框體4的內部S2，也能通過以透 過構件661構成可動體66全體，使得由準分子燈5所接收的真空紫外線通 過透過構件661 ，直接射入至涂敷于透過構件661的上表面的變換構件646， 因此，在準分子燈5與變換構件646之間，不會有讓臭氧進入到框體4的 內部S2的多余空間。因此，能夠將真空紫外線在不受到氧濃度產(chǎn)生變動的 大氣的影響的狀態(tài)下變換成可見光，能夠將真空紫外線對被照射物W的強 度設定于期望的規(guī)定值。
使用圖12，說明關于本發(fā)明的第5實施方式。
圖12是顯示本實施方式的發(fā)明中的，與第1實施方式中的圖6所示的 燈單元2和光傳感器6的可動體64的結構一部分不同的燈單元2的結構的 局部放大圖。
如圖12所示，本實施形態(tài)的光傳感器6的可動體64，使用螢光玻璃 647來代替第1實施方式中圖6所示的可動體64的透過構件645及變換構 件646，該熒光玻璃647—并具有發(fā)揮供紫外線透過的透過構件的功能、及 作為將真空紫外線變換成可見光的變換構件的功能。
另外，此燈單元2的其他結構，與圖6所示的燈單元2的同符號的結 構相對應，在此省略其說明。
在本實施方式的發(fā)明中，即使對被照射物W照射真空紫外線時所產(chǎn)生 的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣因對流而進入到框體4的內部S2，也能經(jīng)由設置 于可動體64的螢光玻璃647，使得由準分子燈5所接收的真空紫外線射入至透過構件兼變換構件的螢光玻璃647，所以，在準分子燈5與螢光玻璃 647之間，不會有讓臭氧進入到框體4的內部S2的多余空間。因此，能夠 將真空紫外線在不受到氧濃度產(chǎn)生變動的大氣的影響的狀態(tài)下變換成可見 光，能夠將真空紫外線對被照射物W的強度設定于期望的預定值。
另外，在第5實施方式的說明中，以將螢光玻璃647設置于可動體64 側為例進行了說明，但在如第1實施方式的光傳感器6這樣，設置于光檢 測體61側的情況，也可獲得相同的效果
使用圖13，對本發(fā)明的第6實施形態(tài)進行說明。
圖13是顯示本實施方式的發(fā)明中，沿著對準分子燈5的長度方向呈垂 直方向的燈單元2的結構的剖面圖。
如圖13所示，本實施方式的燈單元2，配置成將彈性構件635插入至 保持體63的貫通孔634，使光傳感器6的可動體64的一端朝準分子燈5接 收彈性力，將光傳感器6由準分子燈5的未配置有外部電極52、 53的橫向 抵接于準分子燈5，來代替第1實施方式的圖6的燈單元，
另外，此燈單元2的其他結構，與圖6所示的燈單元2的同符號的結 構相對應，在此省略其說明。
彈性構件635配置于保持體63的貫通孔634，并由例如線圈彈簧等的 構件所構成，彈性構件635的一端抵接于可動體64的防止落下部643，其 另一端抵接于檢測體610，由此，所起的作用為設置于可動體64的另一端 的防止落下部643與保持體63的突出體632抵接。
由于彈性構件635使可動體64朝準分子燈5作用，所以，不需要經(jīng)由 可動體64的自重進行對準分子燈5的抵接。g卩，即使朝準分子燈4的橫向 (相對于重力方向的垂直方向)設置光傳感器6，也能經(jīng)常地使光傳感器6抵 接于準分子燈5。在準分子燈5中，雖然會被施加有由于彈性構件635所產(chǎn) 生的負荷，但是，能適宜地選擇該彈性構件使得彈性構件635的彈性力不 會造成準分子燈5的破損。另外，彈性構件635，在第1實施方式的圖6所 示的燈單元2中，也可設置于朝準分子燈5的一方的外部電極52、 53抵接 的光傳感器6中。
在本實施方式的發(fā)明中，即使對被照射物W照射真空紫外線時所產(chǎn)生 的氧濃度產(chǎn)生變動的大氣因對流而進入到框體4的內部S2，也可使光傳感 器6抵接于準分子燈5，將射入到光傳感器6的真空紫外線在不會受到氧濃度產(chǎn)生變動后的大氣的影響的狀態(tài)下變換成可見光并進行檢測，所以，能
夠將真空紫外線對被照射物w的強度設定于期望的規(guī)定值。
另外，在第6實施方式的說明中，以將透過構件645與變換構件646 設置于可動體64側為例進行了說明，但在如第1實施方式的光傳感器6這 樣，設置于光檢測體61側的情況，也可獲得相同的效果。
權利要求
1.一種燈單元，包括用來放射紫外線的準分子燈、接收前述紫外線的光傳感器及至少收容保持該光傳感器的框體，其特征在于，前述光傳感器具有光檢測體，檢測可見光；保持體，呈筒狀，附設于該光檢測體；及可動體，呈筒狀或柱狀，能夠移動地保持于該保持體上，并且被設置成可與前述準分子燈抵接，透過構件與變換構件被設置成被該光檢測體、該保持體、該可動體所包圍，前述透過構件使來自于前述準分子燈的紫外線透過，前述變換構件將透過該透過構件的紫外線變換成可見光。
2. 如權利要求1所述的燈單元，其特征在于，將前述透過構件與前述 變換構件設置于該可動體的抵接于前述準分子燈的一側。
3. 如權利要求1或2所述的燈單元，其特征在于，使用兼具前述透過 構件與前述變換構件的兩功能的構件，來代替前述透過構件與前述變換構 件。
4. 如權利要求1-3中任一項所述的燈單元，其特征在于，前述可動體 抵接于前述準分子燈的抵接面形成為，吻合前述準分子燈抵的接于前述可 動體的位置的外表面形狀。
5. 如權利要求1-4中任一項所述的燈單元，其特征在于，前述框體具 有框體蓋構件，該框體蓋構件封住除了使前述保持體貫通的貫通孔外的前 述框體，前述光檢測體包括光檢測元件與處理該光檢測元件的受光信號的 電氣安裝體，在前述光檢測體與前述保持體之間設有第1密封體，在前述 保持體與前述框體蓋構件之間設有第2密封體。
6. 如權利要求1-5中的任一項所述的燈單元，其特征在于，前述可動體被設置成在前述保持體上可滑動。
7. 如權利要求l-6中的任一項所述的燈單元，其特征在于，設有彈性
8. —種光傳感器，其特征在于，具備 光檢測體，檢測可見光；保持體，呈筒狀，附設于該光檢測體；可動體，呈筒狀或柱狀，能夠移動地保持于該保持體上，并且被設置 成紫外線可射入，透過紫外線的透過構件與將透過該透過構件的紫外線變換成可見光的 變換構件被設置成被該光檢測體、該保持體、該可動體所包圍。
9. 如權利要求8所述的光傳感器，其特征在于，將前述透過構件與前 述變換構件設置于前述可動體的前述紫外線射入口 一側。
10. 如權利要求8或9所述的光傳感器，其特征在于，使用兼具前述 透過構件與前述變換構件的兩功能的構件，來代替前述透過構件與前述變 換構件。
11. 如權利要求8-10中任一項所述的光傳感器，其特征在于，前述可 動體被設置成在前述保持體上可滑動。
12. 如權利要求8-11中任一項所述的光傳感器，其特征在于，設有彈 性構件，該彈性構件的作用為使前述可動體相對于前述保持體分開。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供光傳感器及具備此光傳感器的燈單元，以簡單的構造，可防止因不期望的負荷所致的準分子燈的破損，并且可抑制因氧濃度變動的大氣的對流所引起的測定值變動。用以解決課題的手段為，一種燈單元，包括用來放射紫外線的準分子燈、接收紫外線的光傳感器、及至少收容保持光傳感器的框體，其特征為光傳感器具有檢測可見光的光檢測體、附設于光檢測體的筒狀的保持體，能夠移動地保持于保持體內并且以可抵接于準分子燈的方式被設置的筒狀或柱狀的可動體，來自于準分子燈的供紫外線透過的透過構件、與將透過透過構件的紫外線變換成可見光的變換構件設置成，受到該光檢測體、該保持體、該可動體所包圍。
文檔編號F21S2/00GK101539253SQ200910128019
公開日2009年9月23日 申請日期2009年3月17日 優(yōu)先權日2008年3月18日
發(fā)明者菅敏幸, 遠藤真一 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社