專利名稱：光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種顯微鏡，尤其涉及一種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈。
背景技術(shù)：
現(xiàn)行半導(dǎo)體業(yè)界內(nèi)晶圓宏觀目檢都是通過光學(xué)顯微鏡強(qiáng)光燈進(jìn)行的，但是在使用 過程中發(fā)現(xiàn)，目前光學(xué)顯微鏡強(qiáng)光燈存在以下三個缺點 1、光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈只能提供單一的光源。但是對于晶圓而言，不同的產(chǎn)品有 不同的感光度，如果只是通過單一光源進(jìn)行晶圓宏觀目檢，很可能造成某些色差缺陷不易 被發(fā)現(xiàn)，從而造成晶圓缺陷漏檢情況的發(fā)生。 2、光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈是通過鹵素光纖線纜進(jìn)行發(fā)光的，但是鹵素光纖線纜發(fā)出 來的光源比較集中，所以在晶圓宏觀目檢過程中只能覆蓋到晶圓的晶面或晶背的一小部分 區(qū)域，不能覆蓋晶圓的晶面或晶背的全部區(qū)域，因而容易造成因光源不夠發(fā)散而造成晶圓 宏觀缺陷漏檢的情況發(fā)生。 3、控制光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈的發(fā)光頭的光纖線纜外包金屬波紋管，由于金屬波紋 管比較柔軟使得發(fā)光頭的高度不能固定，因而，在實際操作過程中容易因金屬波紋管過度 向下彎曲，從而造成強(qiáng)光燈發(fā)光頭致使晶圓破碎事件發(fā)生。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，該光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈具 有多光源，可根據(jù)不同的晶圓選擇適用合適的光源，便于檢測人員查找較小色差缺陷，提高 晶圓檢測效率。 為了達(dá)到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案 —種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，包括發(fā)光源裝置和光纖線纜，所述發(fā)光源裝置包括旋 轉(zhuǎn)式的發(fā)光源座、控制面板及均布于所述發(fā)光源座上的若干發(fā)光源體及，所述發(fā)光源座和 光纖線纜的入射端通過固定框架相對設(shè)置，所述光纖線纜的出射端(即發(fā)光頭)設(shè)置在用 于放置晶圓的載物臺上方，所述發(fā)光源座和所述發(fā)光源體分別與所述控制面板連接，所述 控制面板控制所述發(fā)光源座轉(zhuǎn)動使得需要的發(fā)光源體對準(zhǔn)所述光纖線纜的入射端。 所述光纖線纜的出射端設(shè)有光束發(fā)散元件。 所述光束發(fā)散元件是上、下底面開口的上小下大的內(nèi)部空心的棱臺體，所述棱臺 體的側(cè)壁通過將光束反射擴(kuò)大光束的照射面積。 所述光纖線纜靠近出射端的管段外包硬管，所述光纖線纜靠近出射端的管段設(shè)置 有調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)。 所述調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)包括手柄、連桿組件和固定架，所述連桿組件包括第一水平連 桿、中間連桿和第二水平連桿，所述手柄的下端與固定架的第一支點鉸接，所述第一水平連 桿的一端與手柄的靠近下端處鉸接，所述第一水平連桿的另一端與所述中間連桿的下端鉸 接，所述中間連桿的上端與所述第二水平連桿的一端鉸接，所述第二水平連桿的另一端與所述光纖線纜靠近出射端的管段的上端鉸接，所述光纖線纜靠近出射端的管段的靠近上端處與固定架的第二支點鉸接。 所述固定架包括第一水平支架、豎直支架、第二水平支架和固定支架，所述第一水平支架、豎直支架、第二水平支架分別通過所述固定支架固定，所述第一水平支架的一端為第一支點，所述第一水平支架的另一端與所述豎直支架的下端固定連接，所述豎直支架的上端與所述第二水平支架的一端固定連接，所述第二水平支架的另一端為第二支點。[0014] 所述第一水平連桿上設(shè)有鎖緊套，所述鎖緊套與所述固定架固定連接，所述第一水平管穿套于所述鎖緊套內(nèi)，所述鎖緊套外設(shè)有夾緊件。[0015] 所述夾緊件是夾緊螺栓組件。[0016] 本實用新型的有益效果如下 本實用新型光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈具有多光源，可根據(jù)不同的晶圓選擇適用合適的光源，便于檢測人員查找較小色差缺陷，提高晶圓缺陷檢測準(zhǔn)確率和效率。另外，通過在光纖線纜的出射端設(shè)置光束發(fā)散元件，使光源發(fā)散，從而擴(kuò)大光源照射在晶圓上的面積，避免由于晶圓的晶面或晶背未完全覆蓋光源而造成漏檢現(xiàn)象，從而進(jìn)一步提高晶圓缺陷的檢測準(zhǔn)確性。另外，通過增設(shè)調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)，可以調(diào)節(jié)并固定光纖線纜靠近出射端的管段，并藉此來調(diào)節(jié)和固定光束發(fā)散元件的高度和角度，從而達(dá)到最佳的檢驗晶圓所需的燈光角度效果，同時還可以避免因光束發(fā)散元件的高度不固定致使光束發(fā)散元件損壞晶圓事件的發(fā)生。

本實用新型的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈由以下的實施例及附圖給出。
圖1是本實用新型光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)整光纖線纜靠近出射端的管段的狀態(tài)圖之一 ； 圖3是調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)整光纖線纜靠近出射端的管段的狀態(tài)圖之二 ； 圖中，1-發(fā)光源裝置，11-發(fā)光源座，111-發(fā)光源體，12-固定框架，13-控制面板，
2-光纖線纜，21-光纖線纜靠近出射端的管段，3-載物臺，4-光束發(fā)散元件，5-手柄，61-第
一水平連桿，62-中間連桿，63-第二水平連桿，71-第一水平支架，711-第一支點，72-豎直
支架，73-第二水平支架，731-第二支點，8-固定支架，9-鎖緊套，10-夾緊件。
具體實施方式以下將對本實用新型的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 下面將參照附圖對本實用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選
實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型
的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對
本實用新型的限制。 為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。 為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。 請參閱圖1，圖1所示為本實用新型光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈的結(jié)構(gòu)示意圖； 這種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，包括發(fā)光源裝置1和光纖線纜2。所述發(fā)光源裝置1包 括旋轉(zhuǎn)式的發(fā)光源座11、控制面板13及均布于所述發(fā)光源座11上的若干發(fā)光源體111。所 述發(fā)光源座11和光纖線纜2的入射端通過固定框架12相對設(shè)置。所述光纖線纜2的出射 端(即強(qiáng)光燈的發(fā)光頭)設(shè)置在用于放置晶圓的載物臺3上方。所述發(fā)光源座ll和所述發(fā) 光源體111分別與所述控制面板13連接，所述控制面板13控制所述發(fā)光源座11轉(zhuǎn)動，使 得需要的發(fā)光源體111對準(zhǔn)所述光纖線纜2的入射端。由于該光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈具有多 光源，即具有多個發(fā)光源體111，而且還可以根據(jù)不同的晶圓通過控制面板13選擇適用合 適的發(fā)光源體lll，便于檢測人員查找較小色差缺陷，提高晶圓缺陷檢測的準(zhǔn)確率和效率。 所述光纖線纜2的出射端設(shè)有光束發(fā)散元件4。本實施例中，所述光束發(fā)散元件 4是上、下底面開口的上小下大的內(nèi)部空心的棱臺體，所述棱臺體的側(cè)壁通過將光束反射擴(kuò) 大光束的照射面積。當(dāng)然，所述光束發(fā)散元件4也可以是能起到將光束發(fā)散的其他結(jié)構(gòu)形 式。通過在光纖線纜2的出射端設(shè)置光束發(fā)散元件4，使光源發(fā)出的光束發(fā)散，從而擴(kuò)大 光源照射在晶圓上的面積，避免由于晶圓的晶面或晶背沒有完全被光源覆蓋而造成漏檢現(xiàn) 象，從而進(jìn)一步提高晶圓缺陷的檢測準(zhǔn)確性。 優(yōu)選的，所述光纖線纜2靠近出射端的管段外包硬管，且所述光纖線纜2靠近出射 端的管段設(shè)置有調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)。通過增設(shè)調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)，可以調(diào)節(jié)并固定光纖線纜靠近出 射端的管段21，進(jìn)而來調(diào)節(jié)和固定設(shè)于光纖線纜2的出射端的光束發(fā)散元件4的高度和角 度，從而達(dá)到最佳的檢驗晶圓所需的燈光角度，同時也可以避免因光束發(fā)散元件4的高度 不固定而致使光束發(fā)散元件4損壞晶圓事件的發(fā)生。 所述調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)包括手柄5、連桿組件和固定架。所述連桿組件包括第一水平連 桿61、中間連桿62和第二水平連桿63。所述手柄5的下端與固定架的第一支點711鉸接。 所述第一水平連桿61的一端與手柄5的靠近下端處鉸接。所述第一水平連桿61的另一端 與所述中間連桿62的下端鉸接。所述中間連桿62的上端與所述第二水平連桿63的一端 鉸接。所述第二水平連桿63的另一端與所述光纖線纜靠近出射端的管段21的上端鉸接， 所述光纖線纜靠近出射端的管段21的靠近上端處與所述固定架的第二支點731鉸接。 所述固定架包括第一水平支架71、豎直支架72、第二水平支架73和固定支架8。 所述第一水平支架71、豎直支架72、第二水平支架73分別通過所述固定支架8固定。所述 第一水平支架71的一端為固定架的第一支點711，所述第一水平支架71的另一端與所述豎 直支架72的下端固定連接。所述豎直支架72的上端與所述第二水平支架73的一端固定 連接。所述第二水平支架73的另一端為固定架的第二支點731。 另外，所述第一水平連桿61上設(shè)有鎖緊套9，所述鎖緊套9與所述固定架固定連 接，所述第一水平連桿61穿套于所述鎖緊套9內(nèi)，所述鎖緊套9外設(shè)有夾緊件10。本實施 例中，所述夾緊件10是夾緊螺栓組件。 本實用新型是這樣使用的
5[0035] 對于晶圓而言，不同的晶圓產(chǎn)品具有不同的感光度。當(dāng)準(zhǔn)備檢查特定材質(zhì)的晶圓后，可以選用合適的發(fā)光源體111來檢測，避免某些色差缺陷漏檢。其中，選擇發(fā)光源體111的方法是檢查人員通過控制面板13控制發(fā)光源座11轉(zhuǎn)動，使得所需的發(fā)光源體111對準(zhǔn)所述光纖線纜2的入射端；然后，通過控制面板13使得該所需的發(fā)光源體111發(fā)光，從而使得所需的發(fā)光源體111發(fā)出的光束直接射入光纖線纜2內(nèi)，并沖光纖線纜2的出射端射出并照射在晶圓上。如此，檢測人員就可以檢測晶圓了 。 請參閱圖2和圖3，圖2和圖3分別示出了調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)整光纖線纜靠近出射端的管段21的兩種狀態(tài)圖。請結(jié)合參閱圖l，所述調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)調(diào)整光纖線纜靠近出射端的管段21的高度和角度的方法如下當(dāng)夾緊件10放松鎖緊套9的時候，可以通過轉(zhuǎn)動手柄5來調(diào)節(jié)光纖線纜靠近出射端的管段21。當(dāng)手柄5從豎直位置(如圖2所示)，向下轉(zhuǎn)動的時候，可以帶動連桿組件動作，從而帶動光纖線纜靠近出射端的管段21轉(zhuǎn)動，使得位于出射端的光束發(fā)散元件4轉(zhuǎn)動以變換照射角度(如圖3所示)。當(dāng)光束發(fā)散元件4調(diào)整到所需的高度和角度后，通過夾緊件10夾緊鎖緊套9，使得第一水平連桿61相對固定架固定，從而固定了光纖線纜靠近出射端的管段21高度和角度，進(jìn)而固定了光束發(fā)散元件4的高度和角度。因此，通過該調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)可以方便的調(diào)節(jié)光纖線纜靠近出射端的管段21的角度，從而可以方便地調(diào)節(jié)光束發(fā)散元件4的高度和照射角度。而且當(dāng)光束發(fā)散元件4調(diào)整到合適的高度和照射角度的時候，可以通過調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)中的夾緊件10和鎖緊套9鎖住第一水平連桿61，來鎖住所述光束發(fā)散元件4的高度和照射角度，從而避免光束發(fā)散元件4由于高度不固定發(fā)生損壞晶圓事件的發(fā)生。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，包括發(fā)光源裝置和光纖線纜，其特征在于，所述發(fā)光源裝置包括旋轉(zhuǎn)式的發(fā)光源座、控制面板及均布于所述發(fā)光源座上的若干發(fā)光源體及，所述發(fā)光源座和光纖線纜的入射端通過固定框架相對設(shè)置，所述光纖線纜的出射端設(shè)置在用于放置晶圓的載物臺上方，所述發(fā)光源座和所述發(fā)光源體分別與所述控制面板連接，所述控制面板控制所述發(fā)光源座轉(zhuǎn)動使得需要的發(fā)光源體對準(zhǔn)所述光纖線纜的入射端。
2. 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述光纖線纜的出射端設(shè)有光束發(fā)散元件。
3. 如權(quán)利要求2所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述光束發(fā)散元件是上、下底面開口的上小下大的內(nèi)部空心的棱臺體，所述棱臺體的側(cè)壁通過將光束反射擴(kuò)大光束的照射面積。
4. 如權(quán)利要求1-3中任意一項所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述光纖線纜靠近出射端的管段外包硬管，且所述光纖線纜靠近出射端的管段設(shè)置有調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)。
5. 如權(quán)利要求4所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述調(diào)節(jié)控制機(jī)構(gòu)包括手柄、連桿組件和固定架，所述連桿組件包括第一水平連桿、中間連桿和第二水平連桿，所述手柄的下端與固定架的第一支點鉸接，所述第一水平連桿的一端與手柄的靠近下端處鉸接，所述第一水平連桿的另一端與所述中間連桿的下端鉸接，所述中間連桿的上端與所述第二水平連桿的一端鉸接，所述第二水平連桿的另一端與所述光纖線纜靠近出射端的管段的上端鉸接，所述光纖線纜靠近出射端的管段的靠近上端處與固定架的第二支點鉸接。
6. 如權(quán)利要求5所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述固定架包括第一水平支架、豎直支架、第二水平支架和固定支架，所述第一水平支架、豎直支架、第二水平支架分別通過所述固定支架固定，所述第一水平支架的一端為第一支點，所述第一水平支架的另一端與所述豎直支架的下端固定連接，所述豎直支架的上端與所述第二水平支架的一端固定連接，所述第二水平支架的另一端為第二支點。
7. 如權(quán)利要求5所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述第一水平連桿上設(shè)有鎖緊套，所述鎖緊套與所述固定架固定連接，所述第一水平管穿套于所述鎖緊套內(nèi)，所述鎖緊套外設(shè)有夾緊件。
8. 如權(quán)利要求7所述的光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，其特征在于，所述夾緊件是夾緊螺栓組件。
專利摘要本實用新型涉及一種顯微鏡，尤其涉及一種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈。這種光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈，包括發(fā)光源裝置和光纖線纜，所述發(fā)光源裝置包括旋轉(zhuǎn)式的發(fā)光源座、控制面板及均布于所述發(fā)光源座上的若干發(fā)光源體及所述發(fā)光源座和光纖線纜的入射端通過固定框架相對設(shè)置，所述光纖線纜的出射端設(shè)置在用于放置晶圓的載物臺上方，所述發(fā)光源座和所述發(fā)光源體分別與所述控制面板連接，所述控制面板控制所述發(fā)光源座轉(zhuǎn)動使得需要的發(fā)光源體對準(zhǔn)所述光纖線纜的入射端。由于光學(xué)顯微鏡的強(qiáng)光燈具有多光源，可根據(jù)不同的晶圓選擇適用合適光源，便于檢測人員查找較小色差缺陷，提高晶圓缺陷檢測準(zhǔn)確率和效率。通過增設(shè)光束發(fā)散元件，擴(kuò)大光源照射在晶圓上的面積。
文檔編號F21V8/00GK201532492SQ20092021192
公開日2010年7月21日 申請日期2009年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月5日
發(fā)明者趙慶國, 高海林 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司