專利名稱：用于支撐硅片的工裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽電池的制作工具，尤其涉及一種在連續(xù)式微波增強等離子化 學(xué)氣相沉積設(shè)備中所使用的載片舟上用于支撐硅片的工裝。
背景技術(shù)：
太陽電池作為新興的清潔可再生能源，因具能直接將太陽能轉(zhuǎn)換為電能，且具有 壽命長、維護簡單、可實現(xiàn)無人值守等優(yōu)點而備受矚目。太陽能電源系統(tǒng)取得了越來越廣泛 的應(yīng)用。PECVD(增強等離子體化學(xué)氣相沉積)工藝是晶體硅太陽電池生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵 工序，在PECVD工藝中，需要使用一種工裝將硅片騰空支撐起，以便硅片的朝下面被沉積上 一層氮化硅薄膜。此工裝與硅片接觸的點需盡量小，即被遮擋的不能沉積上氮化硅薄膜的 面積需盡量小，這樣對太陽電池的效率提升有益。但由于硅片與支撐鉤接觸面積小，又帶來 硅片表面的接觸點受到的壓強過大，會造成該處硅片表面容易受到損傷，以致碎片率升高。 所以此類工裝又要求硅片表面不受到太大的損傷。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的，就是為了解決上述問題，提供一種用于支撐硅片的工裝。為了達到上述目的，本實用新型采用了以下技術(shù)方案一種用于支撐硅片的工裝， 包括一個U形體，在U形體的一角延伸有一個支撐鉤，該支撐鉤的鉤尖朝向側(cè)上方并且高于 該側(cè)U形體邊線的下端點。所述的支撐鉤的鉤尖呈圓弧形。本實用新型的用于支撐硅片的工裝用作增強等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備所使用的 載片舟上支撐硅片，四個一組使用，將硅片置于四個支撐鉤上，滿足接觸面積小，又不會損 傷硅片的雙重要求。

圖1是本實用新型用于支撐硅片的工裝的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
參見圖1，本實用新型用于支撐硅片的工裝，包括一個U形體1，在U形體1的一角 延伸有一個支撐鉤2，該支撐鉤的鉤尖21朝向側(cè)上方該支撐鉤的鉤尖朝向側(cè)上方并且高于 該側(cè)U形體邊線的下端點11。支撐鉤的鉤尖21呈圓弧形。本實用新型用于支撐硅片的工裝四個一組組合使用，使用時，將硅片平放于四個 工裝的四個突出的支撐鉤上，使硅片兩側(cè)各有2個支撐鉤，如此硅片可以非常穩(wěn)當(dāng)?shù)刂糜?支撐鉤上。由于將支撐鉤與硅片接觸的鉤尖設(shè)計成圓弧形，從而改善了碎片率較高的問題， 并且與硅片接觸的面積也較小。
權(quán)利要求一種用于支撐硅片的工裝，其特征在于包括一個U形體，在U形體的一角延伸有一個支撐鉤，該支撐鉤的鉤尖朝向側(cè)上方并且高于該側(cè)U形體邊線的下端點。
2.如權(quán)利要求1所述的用于支撐硅片的工裝，其特征在于所述的支撐鉤的鉤尖呈圓 弧形。
專利摘要本實用新型提供了一種用于支撐硅片的工裝，它包括一個U形體，在U形體的一角延伸有一個支撐鉤，該支撐鉤的鉤尖朝向側(cè)上方，支撐鉤的鉤尖呈圓弧形。本實用新型的用于支撐硅片的工裝用作增強等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備所使用的載片舟上支撐硅片，四個一組使用，將硅片置于四個支撐鉤上，滿足接觸面積小，又不會損傷硅片的雙重要求。
文檔編號H01J37/02GK201581128SQ200920212578
公開日2010年9月15日 申請日期2009年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月4日
發(fā)明者鄧超, 顧涵奧 申請人:上海太陽能科技有限公司