專利名稱：多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種新型的多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，屬于電鏡制造的技術(shù)領(lǐng) 域。
背景技術(shù)：
樣品臺(tái)支架是用于擺放各種形狀的樣品臺(tái)，諸如圓柱形樣品臺(tái)和釘型樣品臺(tái)。常規(guī)而言，不同公司生產(chǎn)的樣品臺(tái)支架可以固定的樣品臺(tái)種類不同。JE0L、ISS/ABT/T0PC0N等 公司的掃描電鏡專用圓柱型樣品臺(tái)，Cambridge，Leica, ZEISS/LEO, FEI/Phi lips，CamScan， Tescan, Hitachi等公司的掃描電鏡專用釘型樣品臺(tái)。一般樣品臺(tái)支架只能單一地固定同 一種類型的樣品臺(tái)，很少有能同時(shí)固定不同形狀樣品臺(tái)的支架。上述前一類公司的標(biāo)準(zhǔn)樣 品臺(tái)支架無(wú)法有效固定釘型樣品臺(tái)，后一類公司的標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)支架無(wú)法有效固定圓柱型樣 品臺(tái)。與此同時(shí)，目前現(xiàn)有的樣品臺(tái)支架能固定的樣品臺(tái)數(shù)量往往較少。JE0L-5610LV型電 鏡由于樣品在樣品室中的有效觀測(cè)范圍較小，標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)支架只有一個(gè)和四個(gè)的樣式。在 開(kāi)展電鏡觀察的時(shí)候，如果樣品數(shù)量較多，往往需要頻繁換樣，工作效率較低。另外，值得一 提的是形貌觀察的最佳工作距離大約在IOmm左右，成分分析一般工作距離在20mm左右，二 者相差約IOmm左右。因此，將不同樣品臺(tái)固定在同一樣品臺(tái)支架上同時(shí)開(kāi)展形貌觀察和成 分分析測(cè)試時(shí)，往往需要反復(fù)上下移動(dòng)樣品臺(tái)支架以期不斷改變工作距離，從而實(shí)現(xiàn)形貌 觀察和成分分析對(duì)于工作距離最佳適應(yīng)性的不同要求。即針對(duì)同一樣品臺(tái)支架，在開(kāi)展形 貌觀察和成分分析不同測(cè)試切換時(shí)，需要同時(shí)實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)支架上下IOmm距離左右的不斷 切換。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題就是針對(duì)JE0L-5610LV型電鏡所提供的標(biāo)準(zhǔn)樣 品臺(tái)支架的現(xiàn)狀提供一種新型的多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，既可以固定圓柱形樣品臺(tái)，又 可以固定釘型樣品臺(tái)，拓展了 JE0L-5610LV型電鏡對(duì)不同樣品臺(tái)的適應(yīng)性。而且，本支架 將一次性固定的樣品臺(tái)數(shù)量由一個(gè)或四個(gè)增加至七個(gè)，節(jié)省了換樣時(shí)間，提高了使用效率。 此外，本支架合理利用標(biāo)準(zhǔn)釘型樣品臺(tái)(高度約5mm)和標(biāo)準(zhǔn)圓柱型樣品臺(tái)支架(高度約 12-15mm)之間的高度差(約7_10mm左右)，充分適應(yīng)了形貌觀察和成分分析所需要的最佳 工作距離之間的差別(約10mm)，能夠在無(wú)須反復(fù)上下移動(dòng)樣品臺(tái)的情況下，同時(shí)開(kāi)展針對(duì) 不同樣品的形貌觀察和成分分析測(cè)試工作。本實(shí)用新型技術(shù)的技術(shù)方案是一種多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，由圓臺(tái)樣品臺(tái)支 架構(gòu)成，其特征在于，在該圓臺(tái)樣品臺(tái)支架上，垂直地設(shè)有6個(gè)大圓孔，該6個(gè)大圓孔的圓心 分別位于一個(gè)同心圓的6個(gè)等分點(diǎn)上；同時(shí)，在該圓臺(tái)樣品臺(tái)支架的圓心處也設(shè)有一個(gè)垂 直的小圓孔。更優(yōu)化和更具體的方案是所述圓臺(tái)樣品臺(tái)支架的直徑為32mm，厚度約為5mm ；所 述大圓孔的直徑為IOmm ；同心圓的直徑為20mm ；所述小圓孔的直徑為3. 5mm。[0006]換言之，本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)是在直徑為32mm的圓臺(tái)樣品臺(tái)支架上，分別以其圓 心為中心、以其圓心上偏左45°方向和上偏右45°直線距離為IOmm處為中心、以其圓心下 偏左45°方向和下偏右45°直線距離為IOmm處為中心、以其圓心水平向右和水平向左直 線距離為IOmm處為中心，各開(kāi)有一個(gè)直徑為IOmm的圓孔；以其圓心中心開(kāi)有一個(gè)直徑為 3. 5mm的圓孔，樣品臺(tái)支架高度約為5mm。 本實(shí)用新型所解決了現(xiàn)有技術(shù)中JE0L-5610LV型電鏡的標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)支架對(duì)樣品 臺(tái)形狀的適應(yīng)具有唯一性；支架有效觀測(cè)范圍較小，一次性固定樣品臺(tái)的數(shù)量較少；且不 能在不上下移動(dòng)樣品臺(tái)的情況下同時(shí)最佳地開(kāi)展形貌觀察和成分分析工作等不足。所提供 的新型多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，既可以固定圓柱形樣品臺(tái)，又可以固定釘型樣品臺(tái)；增加 了一次性固定的樣品臺(tái)數(shù)量；而且，能夠在保持不上下移動(dòng)樣品臺(tái)的情況下，同時(shí)最佳地開(kāi) 展形貌觀察和成分分析工作，有利于拓展JE0L-5610LV型電鏡對(duì)不同樣品臺(tái)的適應(yīng)性，節(jié) 省換樣和觀測(cè)時(shí)間，提高儀器的使用效率，減少機(jī)械磨損，延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

圖1是本實(shí)用新型多功能復(fù)合型單位樣品臺(tái)支架結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1，參照?qǐng)D1 在直徑為32mm的圓臺(tái)樣品臺(tái)支架1上，分別以其圓心為中心、 以其圓心上偏左45°方向和上偏右45°直線距離為IOmm處為中心、以其圓心下偏左45° 方向和下偏右45°直線距離為IOmm處為中心、以其圓心水平向右和水平向左直線距離為 IOmm處為中心，各開(kāi)有一個(gè)直徑為IOmm的大圓孔2 ；以其圓心中心開(kāi)有一個(gè)直徑為3. 5mm 的小圓孔3，樣品臺(tái)支架1高度約為5mm。其用途可以放置四個(gè)專用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N 等公司掃描電鏡的標(biāo)準(zhǔn)圓柱型樣品臺(tái)，小圓孔3的用途是可以放置專用于Cambridge， Leica, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan, Hitachi 等公司掃描電鏡的標(biāo)準(zhǔn)釘型樣 品臺(tái)。
權(quán)利要求一種多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，由圓臺(tái)樣品臺(tái)支架構(gòu)成，其特征在于，在該圓臺(tái)樣品臺(tái)支架上，垂直地設(shè)有6個(gè)大圓孔，該6個(gè)大圓孔的圓心分別位于一個(gè)同心圓的6個(gè)等分點(diǎn)上；同時(shí)，在該圓臺(tái)樣品臺(tái)支架的圓心處也設(shè)有一個(gè)垂直的小圓孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，其特征在于，所述圓臺(tái)樣品臺(tái)支 架的直徑為32mm，厚度約為5mm ；所述大圓孔的直徑為10mm ；同心圓的直徑為20mm ；所述小 圓孔的直徑為3. 5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，其特征在于，所述大圓孔放置 四個(gè)專用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司掃描電鏡的標(biāo)準(zhǔn)圓柱型樣品臺(tái)；所述小圓孔放置 專用于 Cambridge，Leica，ZEISS/LEO，F(xiàn)EI/Philips，CamScan，Tescan，Hitachi 公司掃描電 鏡的標(biāo)準(zhǔn)釘型樣品臺(tái)。
專利摘要多功能復(fù)合型樣品臺(tái)支架，由圓臺(tái)樣品臺(tái)支架構(gòu)成，特征是在該圓臺(tái)樣品臺(tái)支架上，垂直地設(shè)有6個(gè)大圓孔，6個(gè)大圓孔的圓心分別位于一個(gè)同心圓的6個(gè)等分點(diǎn)上；在圓心處也設(shè)有一個(gè)垂直的小圓孔。優(yōu)化方案中圓臺(tái)樣品臺(tái)支架的直徑為32mm，厚度約為5mm；大圓孔的直徑為10mm；同心圓的直徑為10mm；小圓孔的直徑為3.5mm。本實(shí)用新型解決了JEOL-5610LV型電鏡標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)支架的不足。本設(shè)計(jì)既可以固定圓柱形樣品臺(tái)，又可以固定釘型樣品臺(tái)，拓展了JEOL-5610LV型電鏡對(duì)不同樣品臺(tái)的適應(yīng)性。本設(shè)計(jì)增加了一次性固定的樣品臺(tái)數(shù)量，節(jié)省了換樣時(shí)間，提高了使用效率。本設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了能夠在保持工作距離不變的情況下，同時(shí)開(kāi)展形貌觀察和成分分析工作，減少了同樣條件下需上下不斷切換工作距離所帶來(lái)的機(jī)器磨損，延長(zhǎng)儀器的使用壽命；同時(shí)節(jié)省了觀測(cè)時(shí)間，提高了儀器的使用效率。
文檔編號(hào)H01J37/20GK201590396SQ200920283238
公開(kāi)日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2009年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月30日
發(fā)明者景穎杰, 莫祥銀 申請(qǐng)人:南京師范大學(xué)