專利名稱：準分子放電燈的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種通過準分子放電而放射紫外線的準分子放電燈。尤其涉及一種放 電容器由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的準分子放電燈。
背景技術：
現(xiàn)有技術中，在光清洗、表面改性及化學物質感光等光化學反應的用途中，準分子 放電燈作為紫外線光源使用。作為該準分子放電燈的發(fā)光氣體，公知封入例如氙氣這樣的 稀有氣體、及例如氟化物這樣的鹵化物。鹵素或鹵化物在點燈時被電離，變?yōu)辂u素離子，與 其他物質的反應性變得極高。因此，準分子放電燈需要對封入鹵素或鹵化物的放電容器進 行研究。作為進行了研究的準分子放電燈，包括專利文獻1所述的燈。圖5是專利文獻1所述的準分子放電燈9的說明圖，是表示燈端部的截面圖。準分子放電燈9具有由藍寶石管構成的放電容器91 ；設置在該放電容器91兩端 的鈦制罩911 ；以及在該放電容器91的外面分離設置的金屬網(wǎng)93。放電容器91用氟樹脂系的0形環(huán)921將鈦制罩密封，在放電容器91的內(nèi)部形成 氣密的放電空間。在該放電空間中，作為放電用氣體填充氙氣和氯氣。金屬網(wǎng)93連接到未圖示的電源，施加高頻、高電壓，開始放電。在放電空間中，產(chǎn) 生準分子放電，獲得源自氙和氯的300-320nm的波長區(qū)域的紫外線。藍寶石管91具有紫外線透過性，因此向燈9的外部放射準分子放電產(chǎn)生的紫外線。專利文獻1 日本特開平06-310106號公報在上述準分子放電燈9中，為了向放電空間封入放電用氣體，需要在鈦制罩911上 設置排氣管。因此作為準分子放電燈的整體圖如圖6所示。對圖6省略與圖5共同部分的說明，而說明不同的部分。放電容器91的一端設置的鈦制罩911上，與放電空間連通的排氣管94例如通過 釬焊等連接。在放電空間中通過該排氣管94封入放電氣體。封入后，為了密封放電空間， 密封切斷排氣管94，形成圖6所示的密封部941。排氣管94使用可進行密封切斷的部件，例如使用金屬。使圖6所示的準分子放電燈9點燈時，存在一對金屬網(wǎng)93之間無法放電的情況。這是因為，燈點燈時，向一個金屬網(wǎng)93施加高電壓，但相對該高電壓，排氣管94是 低電壓，因此在一個金屬網(wǎng)93和排氣管94之間產(chǎn)生放電。在一個金屬網(wǎng)93和排氣管94之間產(chǎn)生放電時，排氣管94被加熱，罩911和排氣 管94之間的焊接處產(chǎn)生熱膨脹差，可能破損。并且，即使罩911和排氣管94之間不破損，排氣管94被加熱，從而0形環(huán)921也 通過罩911被加熱，0形環(huán)921劣化，難以保持放電容器91的氣密性。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種抑制了對排氣管的放電的準分子放電燈。第1發(fā)明涉及的準分子放電燈由以下構成在內(nèi)部具有放電空間的放電容器；設 置在該放電容器的外表面的一對電極；以及封入到該放電空間，至少由稀有氣體及鹵素或 鹵化物構成的放電用氣體，該準分子放電燈的特征在于，該放電容器由設置有該一對電極 的管狀的側壁、密封該側壁的一端的一個端壁、以及設置在該側壁的另一端的另一個端壁 構成，該側壁和一對端壁由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成，另一個端壁上設置有由金屬或 合金構成的排氣管，在位于設置了該一對電極的側壁的內(nèi)表面和排氣管的最短距離之間的 該端壁上，設置有由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁。第1發(fā)明涉及的準分子放電燈通過上述特征，能夠在設置了一對電極的內(nèi)表面和 排氣管之間提高電阻，能夠抑制對排氣管的放電。


圖1是本發(fā)明涉及的準分子放電燈的說明圖。圖2是本發(fā)明涉及的準分子放電燈的說明圖。圖3是本發(fā)明涉及的準分子放電燈的說明圖。圖4是實驗結果的說明圖。圖5是現(xiàn)有技術涉及的準分子放電燈的說明圖。圖6是用于說明發(fā)明課題的準分子放電燈的說明圖。
具體實施例方式圖1是第1實施例涉及的準分子放電燈的說明圖，是沿著放電容器2的長邊方向 的截面圖。第1實施例涉及的準分子放電燈1具有直管狀的放電容器2、設置在該放電容器 2的另一端的排氣管4、在該放電容器2的外表面分離設置的一對電極31、32。該放電容器2由直管狀的側壁21、設置在側壁21的一端的板狀的一個端壁221、 設置在側壁21的另一端的環(huán)狀的另一個端壁222構成，由藍寶石(單晶氧化鋁A1203)、 YAG(釔鋁石榴石)或單晶氧化釔Y203)形成。另一個端壁222上設置貫穿其中央的孔222b。該孔222b由紙面左側的小徑的孔 222c以及與該小徑的孔222c連接并且直徑大于該小徑的孔222c的大徑的孔222d構成。 該小徑的孔222c和大徑的孔222d之間構成階梯，該階梯就是間隔壁222a。排氣管4的外周的一部分插通到端壁222的大徑的孔222b，間隔壁222a抵接到該 一個端部(紙面左側的端部)。對形成有大徑的孔222d的面實施金屬化，與排氣管4之間例如填充銀焊料等焊 材。排氣管4例如由鎳等金屬部件、例如Ni-Cr類合金、Ni-Cu類合金或Ni_Fe類合金等合 金部件形成，因此通過焊材與進行了金屬化的面釬焊。此外，作為連接金屬和陶瓷的方法，包括活性金屬法，排氣管4和另一個端壁222 的連接也可利用該活性金屬法結合。具體而言，作為焊材使用含有鈦等活性金屬的活性金
4屬焊料，形成有大徑的孔222d的面和排氣管4通過該活性金屬焊料結合。該活性金屬法的 情況下，對形成有大徑的孔222d的面也可不實施金屬化。排氣管4的另一個端部(紙面右側的端壁)通過壓接形成密封部41。這樣一來， 在放電容器2的內(nèi)部設置氣密的放電空間23。該放電空間23中作為放電用氣體例如封入氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等稀有氣體， 例如氟(F2)、氯(Cl2)、溴(Br2)、碘(12)等鹵素或六氟化硫(SF6)等鹵化物。在放電容器2的外表面，一對電極31、32彼此分離地配置。這樣一來，一對電極 31,32通過放電容器2的側壁21和放電空間23介于其間而相對配置。第1實施例涉及的準分子放電燈1在設置了一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211 和排氣管4的最短距離L之間設置間隔壁222a，并且在設置了另一個電極32的側壁21的 內(nèi)表面211和排氣管4的最短距離L之間也設置間隔壁222a。此外，第1實施例的最短距離L如圖1所示，是指在設置了一對電極31、32的側壁 21的內(nèi)表面211中的最接近排氣管4的部分與最接近該部分的排氣管4的部分(圖1中紙 面左側的一個端部)之間。在第1實施例中，設置了一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211 和排氣管4的最短距離L之間與設置了另一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211和排氣管4 之間的最短距離L之間，基本是同一距離，因此在兩個最短距離L之間設置間隔壁222a。并且，設置在最短距離L之間的間隔壁222a設置在位于形成最短距離L的直線 (表示圖1所示的最短距離L的虛線)上的端壁222上。接著參照圖2說明準分子放電燈1的制造方法的一例。圖2(a)是表示將一對平板體51、52和環(huán)狀體53固定到夾具71的俯視圖。圖2(b) 是表示研磨圖2(a)所示的一對平板體51、52及環(huán)狀體53的工序的截面圖(圖2 (a)的B_B 截面圖)。圖2(c)是表示擠壓在圖2(b)中研磨后的一對平板體51、52及環(huán)狀體53的同時 進行加熱的工序的透視圖。圖2(d)是表示在圖2(c)中結合的放電容器形成部件5上結合 排氣管形成部件6的工序的截面圖。此外，圖2中對和圖1所示部件相同的部件標以同樣的符號。例如，準備由藍寶石構成的3塊平板體，其中的一個平板體設置貫穿其中央部分 的長方形的孔，作為環(huán)狀體53。一個環(huán)狀體53如圖2 (a)所示，例如將紙面眼前一側作為想要研磨的面時，以該想 要研磨的面位于紙面眼前一側的方式配置在支持臺(圖2(a)中未圖示，圖2(b)中的標記 73)上。支持臺73上設有孔用夾具731，因此環(huán)狀體53配置在支持臺73上，以使該孔用夾 具731位于該中央的孔。接著，二個平板體51、52在使想要研磨的面朝向紙面眼前一側的 狀態(tài)下配置在環(huán)狀體53的左右。二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53通過夾具71和粘合 劑72覆蓋其外周，固定到支持臺(圖2(a)中未圖示，圖2(b)中的標記73)。在圖2(a)中固定的二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53如圖2(b)所示，使想要研 磨的面(圖2(b)中的紙面下側的面)和研磨臺74相對。在該研磨工序中，為了進行研磨(Grinding)、修光(Rapping)、拋光(Polishing) 三個研磨工序，在各研磨工序中變更研磨臺74和研磨劑77的粒徑。首先，在稱為研磨的研磨工序中，作為研磨臺74使用鋼。二個平板體51、52和一 個環(huán)狀體53的與研磨臺74相對的面通過研磨臺74構成的凹凸、或由研磨劑供給體76提供到想要研磨的面和研磨臺74之間的例如二氧化硅(Si02)、碳化硅(SiC)、金鋼石(C)、氧 化鈽(Ce02)這樣的研磨劑77而被研磨。接著，至少一個環(huán)狀體53的與被研磨的面相反一 側的面(圖2(b)中的紙面上側的面)被研磨。接著，在稱為修光的研磨工序中，作為研磨臺74使用錫。二個平板體51、52和一 個環(huán)狀體53的與研磨臺74相對的面通過研磨臺74構成的凹凸、或由研磨劑供給體76提 供到想要研磨的面和研磨臺74之間的例如二氧化硅(Si02)、碳化硅(SiC)、金鋼石(C)、氧 化鈽(Ce02)這樣的研磨劑77而被再次研磨。此時使用的研磨劑77采用比研磨時使用的 研磨劑77粒徑小的研磨劑。接著，至少一個環(huán)狀體53的與被研磨的面相反一側的面(圖 2(b)中的紙面上側的面)再次被研磨。最后，在稱為拋光的研磨工序中，作為研磨臺74使用涂布了樹脂的鋁。二個平板 體51、52和一個環(huán)狀體53的與研磨臺74相對的面通過由研磨劑供給體76提供到想要研 磨的面和研磨臺74的樹脂之間的例如二氧化硅(Si02)、碳化硅(SiC)、金鋼石(C)、氧化鈽 (Ce02)這樣的研磨劑77而被再次研磨。此時使用的研磨劑77采用比修光時使用的研磨劑 77粒徑小的研磨劑。接著，至少一個環(huán)狀體53的與被研磨的面相反一側的面(圖2(b)中 的紙面上側的面)再次被研磨。這樣一來，二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53通過研磨、修光、拋光三個研磨工 序，研磨劑77的粒徑依次變小，可提高其研磨面的平滑度。在圖2(b)中，研磨二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53后，彼此研磨的面接觸，從 而使二個平板體51、52通過一個環(huán)狀體53相對配置地層疊。參照圖2(c)具體來說，一個 平板體51的研磨過的面上，接觸環(huán)狀體53的研磨過的一個面(圖2(c)中的紙面上側的 面)。并且，環(huán)狀體53的研磨過的另一個面(圖2(c)中的紙面下側的面)上，接觸另一個 平板體52的研磨過的面。這樣一來，通過一對平板體51、52包圍環(huán)狀體53的孔。二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53在層疊的狀態(tài)下為了使研磨過的面緊密接觸， 從一對平板體51、52的外表面(圖2(c)中的一個平板體51的紙面上方側的面、及圖2(c) 中的另一個平板體52的紙面下側的面)通過未圖示的推壓單元78推壓。二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53在層疊的同時被推壓的狀態(tài)下被減壓，例如在 1300 1400°C下加熱8 15小時。圖2(c)的加熱后，冷卻到室溫的二個平板體51、52和一個環(huán)狀體53中，彼此接觸 的面結合成一體，該一體物變?yōu)榉烹娙萜餍纬刹考?。該放電容器形成部件5中如圖2(d)所示，在其內(nèi)部形成源自環(huán)狀體53的放電空 間23，在其長邊方向的另一個端壁222上設置有與放電空間23連通的貫通孔531。該貫通 孔531中，小徑的孔222c和大徑的孔222d之間構成階梯，該階梯就是間隔壁222a。對該大徑的孔222d通過銅實施金屬化后，插通由鎳構成的排氣管形成部件6的一 端。在大徑的孔222d和排氣管形成部件6的外周面之間，填充銀焊料的焊材，將兩者結合。放電容器形成部件5從排氣管形成部件6的另一端進行中空部的排氣后，向該中 空部封入作為放電用氣體的氬和六氟化硫。排氣管形成部件6由金屬形成，因此通過壓接 其另一端可形成密封部41。這樣一來，放電容器形成部件5的中空部變?yōu)闅饷艿姆烹娍臻g 23，成為放電容器2。雖未圖示，但在放電容器2的一對相對的外表面上，例如將糊狀的銅通過印刷涂
6敷為網(wǎng)狀后，將放電容器2和該涂敷的糊狀的銅加熱至高溫，將該糊狀的銅燒成，從而設置 網(wǎng)狀的電極31、32。這樣一來，準分子放電燈1完成。通過形成本發(fā)明涉及的準分子放電燈 1，可不使用樹脂部件形成密閉的放電空間23。此外，放電容器2的形狀可以是相對長邊方向正交的截面是方形的長方體狀，也 可是截面為圓狀的圓管狀。第1實施例涉及的準分子放電燈1中，未圖示的電源連接到一對電極31、32。接著說明準分子放電燈1的點燈時的情況。準分子放電燈1在被提供高頻、高電壓時，在設置有高電壓側的電極(例如一個電 極31)的放電容器2的內(nèi)表面積蓄電荷，該電荷向低電壓側的電極(例如另一個電極32)移 動。放電用氣體是氬和六氟化硫時，接收電荷后放電用氣體被電離，形成氬離子和氟離子。 通過這些離子形成由氬-氟構成的受激準分子，產(chǎn)生193nm波長的紫外線。此時，放電容器2雖然曝露于氟離子，但其由藍寶石、YAG或單晶氧化釔形成，它們 與鹵素離子的反應性較低，所以可長時間使用。進一步，在該放電容器2中，不使用現(xiàn)有的樹脂部件，而形成氣密的放電空間23， 因此也不存在樹脂部件劣化的問題，可長時間維持放電空間23的氣密性。放電容器2具有紫外線透過性，因此可使在放電空間23中產(chǎn)生的193nm的紫外線 放射到外部。第1實施例涉及的準分子放電燈1形成密封部41，因此排氣管4由金屬部件或合 成部件形成。因此，燈點燈時，對高電壓側的電極(例如一個電極31，下同)而言，排氣管4 與低電壓側的電壓(例如另一個電極32，下同)一并，也是低電壓狀態(tài)，在高電壓側的電極 31和排氣管4之間會產(chǎn)生電場。此時，設置有高電壓側的電極31的側壁21的內(nèi)表面211 中積蓄電荷，該電荷可向著排氣管4放電。因此，第1實施例涉及的準分子放電燈1中，在位于設置了一對電極31、32的側壁 的內(nèi)表面和排氣管4的最短距離L之間的端壁222上，設置由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構 成的間隔壁222a。該間隔壁222a和排氣管4相比，電阻較高，并且和電極31,32相比電阻 也較高。因此第1實施例中，通過間隔壁222a，在設置了一對電極31、32的內(nèi)表面和排氣管 4之間，可提高電阻，抑制放電的產(chǎn)生。除了第1實施例以外，作為本發(fā)明涉及的實施例，包括圖3所示的結構。圖3(a)是第2實施例涉及的準分子放電燈1的說明圖，是沿著放電容器2的長邊 方向的截面圖。此外，圖3(a)中，對和圖1相同的用同樣的符號表示。圖3(a)和圖1不同點是，小徑的孔222c和大徑的孔222d產(chǎn)生的階梯(間隔壁 222a)大于圖1的階梯。作為圖3(a)所示的第2實施例的說明，省略和圖1共同部分的說明，只說明不同 的部分。端壁222上設置的小徑的孔222c和圖1所示的小徑的孔222c相比，直徑更小。因 此，間隔壁222a向放電容器2的中心軸延伸的高度大于圖1的間隔壁222a。在第2實施例中，也在位于設置了一對電極31、32的側壁21的內(nèi)表面211和排 氣管4的最短距離L之間的端壁222上，設置了由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁
7222a,因此可獲得和第1實施例同樣的效果。圖3(b)是第3實施例涉及的準分子放電燈1的說明圖，是沿著放電容器2的長邊 方向的截面圖。此外，圖3(b)中，對和圖1相同的用同樣的符號表示。圖3(b)和圖1不同點是，貫通的孔222b只由小徑的孔形成；小徑的孔與大徑的孔 不連通。作為圖3(b)所示的第3實施例的說明，省略和圖1共同部分的說明，只說明不同 的部分。另一個端壁222上形成有貫穿其中央的孔222c。在位于該端壁222的外部(圖 3(b)中的紙面右側的外表面)的、貫穿的孔222c的圓周方向的位置上，形成有與貫穿的孔 222c不連通的環(huán)狀的凹部222e。對該凹部222e實施金屬化，通過銀焊料等焊材連接有排
氣管4。在第3實施例中，也在位于設置了一對電極31、32的側壁21的內(nèi)表面211和排氣 管4的最短距離L之間的端壁222上，設置由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁222a， 因此可獲得和第1實施例同樣的效果。圖3 (c)是第4實施例涉及的準分子放電燈1的說明圖，是沿著放電容器2的長邊 方向的截面圖。此外，圖3(c)中，對和圖1相同的用同樣的符號表示。圖3(c)和圖1不同點是，貫通的孔222b形成為截面L字狀。作為圖3(c)所示的第4實施例的說明，省略和圖1共同部分的說明，只說明不同 的部分。另一個端壁222上形成有沿著放電容器2的中心軸延伸的孔222b，該孔222b在另 一個端壁222的中途相對于放電容器2的中心軸向垂直方向延伸，連通放電空間23和排氣 管4的內(nèi)部。排氣管4插通端壁222上設置的孔222b，由焊材等連接。在第4實施例中，一對電極31、32連接未圖示的電源，一個電極31變?yōu)楦唠妷簜龋?另一個電極32變?yōu)榈碗妷簜?，在位于設置了一對電極31、32的側壁21的內(nèi)表面211和排 氣管4的最短距離L之間的端壁222上，設置由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁 222a。即，第4實施例中，在位于設置了高電壓側的電極31的側壁21的內(nèi)表面211和排氣 管4的最短距離L之間的端壁222上設置由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁222a， 因此可獲得和第1實施例同樣的效果。此外，第4實施例涉及的最短距離L如圖3(c)所示，是指在設置了一對電極31、 32的側壁21的內(nèi)表面211中，最接近排氣管4的部分與最接近該部分的排氣管4的部分 之間。在第4實施例中，設置了一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211和排氣管4的最短距 離L之間與設置了另一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211和排氣管4的最短距離中，設置 了一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211和排氣管4的最短距離L之間較為接近。因此在第 4實施例中，間隔壁222a被設置在位于設置了一個電極31的側壁21的內(nèi)表面211和排氣 管4的最短距離L之間的端壁222上。接著說明表示本發(fā)明涉及的準分子放電燈的效果的實驗。在實驗中，準備三種準分子放電燈。三種中二種是比較例，另一種是本發(fā)明。圖4表示該準分子放電燈的示意圖。在圖4的比較例1中，模擬了圖6所示的準分子放電燈的構成。圖4的比較例1 和圖6的不同點在于，去除了低電壓側的電極的構成；不是0形環(huán)密封，而是通過活性金屬 法將放電容器和罩結合并密封。比較例2從與比較例1的不同點的角度來說明，放電容器不使用樹脂部件，而是直 接結合藍寶石之間的構造。此時，在設置了電極的側壁的內(nèi)表面和排氣管之間不設置間隔壁。本發(fā)明模擬了圖1所示的準分子放電燈的構成，是去除了低電壓側的電極(例如 另一個電極32)、并去除該低電壓側的電極和排氣管之間的間隔壁的構成。各準分子放電燈的通用構成是，放電容器2使用藍寶石，排氣管使用鎳，電極使用 糊狀的銅燒成的電極，放電用氣體使用氬氣。比較例1的特有構造是，作為罩使用鎳。各準分子放電燈1的通用數(shù)值是，放電容器2的寬(圖3中的紙面上下方向的長 度)是10mm，放電容器的長(圖3中的紙面左右方向的長度)是100mm，放電容器2的高 (圖3中的紙面內(nèi)側與眼前方向的長度)是10mm，放電用氣體的封入壓是13. 3kPa,電極到 端壁的距離是10mm。在實驗中，將電極作為高電壓側的電極、排氣管作為接地側的電極連接到電源，調 查電極和排氣管之間開始放電為止的電壓(放電開始電壓)。在各準分子放電燈1中，分別 調查5次放電開始電壓，求出其平均值。在比較例1中，因罩使用鎳，因此排氣管和罩導通，在罩和電極之間開始放電。與之相對，在比較例2中，不使用由金屬構成的罩，構成了密閉的放電容器2，從而 使電極和排氣管的電氣性的最短距離L大于比較例1，絕緣空間(放電空間)延伸，因此放 電開始電壓和比較例1相比大1. 8kV(p-p)。進一步，在本發(fā)明中，在設置了電極的側壁的內(nèi)表面和排氣管之間設置間隔壁，從 而使該間隔壁作為絕緣體作用，放電開始電壓和比較例2相比大1. lkv(p-p)。因此，相對于現(xiàn)有的準分子放電燈(比較例1)，在本發(fā)明中，可使放電開始電壓高 70%。S卩，本發(fā)明涉及的準分子放電燈1不使用由金屬構成的罩而構成氣密地密封的放 電容器，且在設置了電極的側壁的內(nèi)表面和排氣管之間設置間隔壁，從而可提高電極和排 氣管之間的電阻，增大放電開始電壓。
權利要求
一種準分子放電燈，由以下構成在內(nèi)部具有放電空間的放電容器；設置在該放電容器的外表面的一對電極；以及封入到該放電空間，至少由稀有氣體及鹵素或鹵化物構成的放電用氣體，該準分子放電燈的特征在于，該放電容器由設置有該一對電極的管狀的側壁、密封該側壁的一端的一個端壁、以及設置在該側壁的另一端的另一個端壁構成，該側壁和一對端壁由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成，另一個端壁上設置有由金屬或合金構成的排氣管，在位于設置了該一對電極的側壁的內(nèi)表面和排氣管的最短距離之間的該端壁上，設置有由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種抑制對排氣管的放電的準分子放電燈，第1發(fā)明涉及的準分子放電燈由以下構成在內(nèi)部具有放電空間的放電容器；設置在該放電容器的外表面的一對電極；以及封入到該放電空間，至少由稀有氣體及鹵素或鹵化物構成的放電用氣體，該準分子放電燈的特征在于，該放電容器由設置有該一對電極的管狀的側壁、密封該側壁的一端的一個端壁、以及設置在該側壁的另一端的另一個端壁構成，該側壁和一對端壁由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成，另一個端壁上設置有由金屬構成的排氣管，在位于設置了該一對電極的側壁的內(nèi)表面和排氣管的最短距離之間的該端壁上，設置有由藍寶石、YAG或單晶氧化釔構成的間隔壁。
文檔編號H01J61/00GK101859678SQ20101015542
公開日2010年10月13日 申請日期2010年4月2日 優(yōu)先權日2009年4月10日
發(fā)明者森安研吾, 森本幸裕 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社