專利名稱：一種用于透射電鏡的加速極的制造方法及其陶瓷環(huán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及儀器儀表(分析儀器)領(lǐng)域，特別是一種用于透射電鏡的加速極的制 造方法及其陶瓷環(huán)。
背景技術(shù)：
透射電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱透射電鏡)是一種利用電子的波動(dòng)性來(lái)直接觀察固體材料 內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的儀器。透射電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)(又稱鏡筒)、真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng)三部分 組成。其中，電子光學(xué)系統(tǒng)是透射電鏡的基本部分，自上而下地包括電子槍、聚光系統(tǒng)、成像 系統(tǒng)、放大系統(tǒng)和記錄系統(tǒng)等。其中，電子槍是透射電鏡的照明源，其工作環(huán)境為超高真空，電子槍通常包括陰極 (又稱燈絲)、控制極(又稱柵極)和陽(yáng)極(又稱加速極)。陰極用于發(fā)射電子；控制極的電 位較陰極為負(fù)，用來(lái)控制電子束流的大小和像的亮度，從而會(huì)聚電子束；陽(yáng)極與陰極之間有 較高的電位差，用于加速?gòu)年帢O發(fā)射出的電子。為了保證工作安全，一般都是將陽(yáng)極接地， 陰極接負(fù)高壓。當(dāng)加速電壓低于100KV時(shí)，可以采用單級(jí)加速，即采用由一個(gè)陶瓷環(huán)構(gòu)成的 加速極進(jìn)行加速；當(dāng)加速電壓高于200KV時(shí)，一般要采用多級(jí)加速，即采用由多個(gè)陶瓷環(huán)和 封接金屬片(又稱為可伐)封接而成的加速極進(jìn)行加速，上述加速極通常采用六級(jí)陶瓷環(huán) 和七級(jí)封接金屬片封接組成?，F(xiàn)有技術(shù)中，雖然存在用于多級(jí)加速的加速極產(chǎn)品，但其加工工藝都屬于各生產(chǎn) 廠家的技術(shù)秘密，本領(lǐng)域技術(shù)人員無(wú)法獲得相關(guān)技術(shù)資料，也不能通過(guò)結(jié)構(gòu)破解來(lái)獲得該 技術(shù)資料，使得本領(lǐng)域技術(shù)人員不能依照現(xiàn)有技術(shù)制造出該產(chǎn)品。本申請(qǐng)人獨(dú)自研發(fā)制造 加速極，在研發(fā)制造過(guò)程中發(fā)現(xiàn)存在兩個(gè)技術(shù)難點(diǎn)問(wèn)題，一個(gè)是陶瓷環(huán)的成型，另一個(gè)是陶 瓷環(huán)的金屬化，而陶瓷環(huán)的金屬化直接影響到陶瓷環(huán)與封接金屬片的封接技術(shù)問(wèn)題。如果 陶瓷環(huán)成型密度過(guò)大，雖然能達(dá)到耐壓要求(耐壓200KV以上)，但使得陶瓷晶粒偏小，造成 玻璃相遷移不足，導(dǎo)致后續(xù)金屬化強(qiáng)度和封接強(qiáng)度偏低，無(wú)法實(shí)現(xiàn)良好的金屬化，造成陶瓷 環(huán)與封接金屬片封接不牢固，抗拉強(qiáng)度達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)；而如果過(guò)分注重金屬化效果，雖然能滿 足抗拉強(qiáng)度要求，但陶瓷環(huán)的密度過(guò)低，造成陶瓷環(huán)質(zhì)地疏松，致密性不好，達(dá)不到耐壓要 求。因此，必須將陶瓷環(huán)成型工藝與金屬化工藝相結(jié)合，才能制造出滿足各種性能要求的加 速極。而現(xiàn)有技術(shù)加速極中的陶瓷環(huán)為內(nèi)部中空的圓柱體形，其內(nèi)壁和外壁均為平整柱 面。單級(jí)加速極的爬電距離是指兩個(gè)封接金屬片之間沿陶瓷環(huán)表面的最短距離，由于陶瓷 環(huán)的內(nèi)外表面(即內(nèi)壁和外壁)均為平整柱面，所以上述單級(jí)加速極的爬電距離等于陶瓷 環(huán)的高度，而由于設(shè)置空間所限，陶瓷環(huán)的高度都很小，導(dǎo)致上述爬電距離很短，在使用過(guò) 程中容易發(fā)生爬電、打火甚至擊穿，而工作時(shí)，陶瓷環(huán)的極間電壓通常都在幾萬(wàn)伏，所以一 旦發(fā)生爬電、打火或擊穿事故是非常危險(xiǎn)的，存在安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容
為此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于制造加速極過(guò)程中如果陶瓷環(huán)成型密度過(guò) 大，將無(wú)法實(shí)現(xiàn)良好的金屬化，造成陶瓷環(huán)與封接金屬片封接不牢固，抗拉強(qiáng)度達(dá)不到標(biāo) 準(zhǔn)，如果過(guò)分注重金屬化效果，陶瓷環(huán)的密度將過(guò)低，造成陶瓷環(huán)質(zhì)地疏松，致密性不好，達(dá) 不到耐壓要求，而且現(xiàn)有技術(shù)中的陶瓷環(huán)爬電距離短、容易發(fā)生爬電、打火或擊穿事故的技 術(shù)問(wèn)題，而提供一種將陶瓷環(huán)成型工藝與金屬化工藝相結(jié)合，能滿足耐高壓、抗拉強(qiáng)度等各 種性能要求的用于透射電鏡的加速極的制造方法，及爬電距離長(zhǎng)、能保證使用安全的陶瓷 環(huán)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下一種用于透射電鏡的加速極的制造方法，包括以下步驟①陶瓷環(huán)成型，采用等靜壓成型工藝，使陶瓷粉成型為內(nèi)部中空的圓柱體狀的陶 瓷環(huán)；②金屬化，采用厚膜工藝對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)進(jìn)行金屬化；③組裝，將η個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)與η+1個(gè)圓環(huán)狀的封接金屬片同軸心且相 間隔地固定組裝在一起，組裝后在其中一端的所述封接金屬片上固定連接能與所述透射電 鏡其他部件裝配的連接機(jī)構(gòu)，從而形成所述加速極。上述制造方法中，所述步驟①中采用的壓力為150_350MPa ；所述陶瓷粉為95氧化
鋁陶瓷。上述制造方法中，所述步驟②中采用厚膜工藝鉬錳法對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)進(jìn)行
金屬化。上述制造方法中，在所述步驟①之后還包括清洗和焙燒的步驟。上述制造方法中，在所述步驟③之前還包括對(duì)所述封接金屬片進(jìn)行防銹處理的步驟。上述制造方法中，所述防銹處理的步驟為在所述封接金屬片表面鍍鎳。上述制造方法中，所述步驟③中采用氫焊或真空焊接方法使相鄰所述陶瓷環(huán)和所 述封接金屬片焊接在一起；所述連接機(jī)構(gòu)包括依次連接組裝在一起的第一絕緣環(huán)、連接圈 和第二絕緣環(huán)，所述第一絕緣環(huán)與所述封接金屬片固定連接。上述制造方法中，在所述步驟③之后還包括對(duì)組裝后的所述加速極進(jìn)行檢漏的步
馬聚ο一種用于組裝上述加速極的陶瓷環(huán)，具有內(nèi)部中空的圓柱體外形，在所述陶瓷環(huán) 的內(nèi)壁沿其周向成型有向所述陶瓷環(huán)的外壁凹進(jìn)的凹槽。上述陶瓷環(huán)中，所述凹槽沿所述陶瓷環(huán)軸向的截面形狀為梯形。上述陶瓷環(huán)中，所述凹槽的槽底的寬度小于所述凹槽開(kāi)口位置的寬度。上述陶瓷環(huán)中，臨近所述陶瓷環(huán)的端面的所述內(nèi)壁上成型有自所述內(nèi)壁向所述端 面傾斜的內(nèi)壁斜面；所述內(nèi)壁斜面形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口靠近所述端面。上述陶瓷環(huán)中，臨近所述陶瓷環(huán)的所述端面的所述外壁上成型有自所述外壁向所 述端面傾斜的外壁斜面；所述外壁斜面形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口遠(yuǎn)離所述端面。本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)①本發(fā)明提供的用于透射 電鏡的加速極的制造方法，包括陶瓷環(huán)成型步驟、金屬化步驟和組裝步驟，其中陶瓷環(huán)成型 步驟中采用等靜壓成型工藝，使陶瓷在顯微鏡下呈現(xiàn)出晶粒排列整齊，晶粒大小一致，無(wú)明
4顯凹坑的特點(diǎn)，能達(dá)到耐壓要求(耐壓200KV以上)，而且能夠使陶瓷晶粒較大、玻璃相遷 移足夠，金屬化強(qiáng)度和封接強(qiáng)度較高，能實(shí)現(xiàn)良好的金屬化，為后續(xù)金屬化步驟奠定良好基 礎(chǔ)，在金屬化步驟中采用的厚膜工藝，使得制造出的加速極，能夠到達(dá)200KV以上耐壓要 求和足夠的抗拉強(qiáng)度要求，還使得加速極內(nèi)部可承受超高真空IX IO-IOTorr (托)，外部 7Bar (巴，即7個(gè)大氣壓)，本發(fā)明將金屬化工藝與陶瓷環(huán)成型工藝有機(jī)地結(jié)合起來(lái)，使陶瓷 環(huán)成型步驟與金屬化步驟相互配合，使加速極能滿足各種性能要求；②本發(fā)明提供的用于 透射電鏡的加速極的制造方法，組裝步驟中將η個(gè)金屬化后的陶瓷環(huán)與η+1個(gè)圓環(huán)狀的封 接金屬片同軸心且相間隔地固定組裝在一起，使組裝后的加速極能達(dá)到同心度(即各陶瓷 環(huán)和各封裝金屬片的軸心重合度的誤差)小于0. Imm的要求；③本發(fā)明提供的用于透射電 鏡的加速極的制造方法，選用95氧化鋁陶瓷，陶瓷環(huán)成型步驟采用的壓力為150-350MPa， 使陶瓷密度能夠達(dá)到3. 72g/cm3,從而充分滿足加速極200KV以上的耐壓要求；④本發(fā)明 提供的用于透射電鏡的加速極的制造方法，在金屬化步驟中采用厚膜工藝鉬錳法，鉬錳配 膏能夠與陶瓷層表面結(jié)晶形成良好的玻璃相，增強(qiáng)金屬化強(qiáng)度和封接強(qiáng)度，達(dá)到抗拉強(qiáng)度 標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)良好的金屬化，使后續(xù)陶瓷環(huán)與封接金屬片的組裝封接非常牢固；⑤本發(fā)明提 供的用于透射電鏡的加速極的制造方法，在陶瓷環(huán)成型步之后還包括清洗和焙燒的步驟， 其中焙燒步驟可使得陶瓷更加堅(jiān)硬，以便于打磨加工成要求的尺寸；⑥本發(fā)明提供的用于 透射電鏡的加速極的制造方法，在組裝步驟之前還包括對(duì)封接金屬片進(jìn)行防銹處理的步 驟，優(yōu)選為在封接金屬片的表面鍍鎳，抗腐蝕，保證封接金屬片的使用壽命；⑦本發(fā)明提供 的用于透射電鏡的加速極的制造方法，在組裝步驟后還包括檢漏的步驟，保證加速極漏率 小于5X lO—H/S，保證加速極的正常使用；⑧本發(fā)明提供的用于透射電鏡加速極的陶瓷 環(huán)，具有內(nèi)部中空的圓柱體外形，在陶瓷環(huán)的內(nèi)壁沿其周向成型有向陶瓷環(huán)的外壁凹進(jìn)的 凹槽，該凹槽使得在有限的空間內(nèi)盡可能地加長(zhǎng)了兩極之間的爬電距離，使陶瓷環(huán)不易擊 穿、不爬電、不打火，實(shí)現(xiàn)陶瓷環(huán)極間交流工頻耐壓50kV;⑨本發(fā)明提供的用于透射電鏡加 速極的陶瓷環(huán)，其中凹槽沿陶瓷環(huán)軸向的截面形狀為梯形，盡可能地加長(zhǎng)了兩極之間的爬 電距離，實(shí)現(xiàn)不擊穿、不爬電、不打火，使得陶瓷環(huán)極間交流工頻耐壓50kV;⑩本發(fā)明提供 的用于透射電鏡加速極的陶瓷環(huán)，優(yōu)選是槽底寬度小于凹槽開(kāi)口位置寬度的梯形，這樣可 以在狹小的尺寸空間內(nèi)方便加工.本發(fā)明提供的用于透射電鏡加速極的陶瓷環(huán)，在臨近 陶瓷環(huán)的端面的內(nèi)壁上成型有自內(nèi)壁向端面傾斜的內(nèi)壁斜面，內(nèi)壁斜面形成的圓臺(tái)側(cè)面的 敞口靠近端面，而且在臨近陶瓷環(huán)的端面的外壁上成型有自外壁向端面傾斜的外壁斜面， 外壁斜面形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口遠(yuǎn)離端面，上述內(nèi)壁斜面和外壁斜面均能進(jìn)一步加長(zhǎng)兩極 之間的爬電距離，充分保證每個(gè)陶瓷環(huán)實(shí)現(xiàn)極間交流工頻耐壓50kV，而且實(shí)現(xiàn)不擊穿、不爬 電、不打火。


為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本發(fā)明的具體實(shí)施例并結(jié)合 附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中圖1是本發(fā)明的加速極的示意圖；圖2是本發(fā)明的加速極中陶瓷環(huán)的剖視圖；圖3是本發(fā)明的加速極中封接金屬片的示意圖。
圖中附圖標(biāo)記表示為1-陶瓷環(huán)，2-封接金屬片，3-第一絕緣環(huán)，4-連接圈，5-第 二絕緣環(huán)，6-內(nèi)壁，7-外壁，8-凹槽，9-端面，10-內(nèi)壁斜面，11-槽底，12-外壁斜面，13-凸 起。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例一如圖1所示，是本發(fā)明優(yōu)選的用于透射電鏡的加速極的示意圖，本發(fā)明所提供的 所述加速極的制造方法，包括以下步驟①陶瓷環(huán)成型，采用等靜壓成型工藝，使陶瓷粉成型為內(nèi)部中空的圓柱體狀的陶 瓷環(huán)1，在本實(shí)施例中所述陶瓷粉選用95氧化鋁陶瓷(即氧化鋁含量為95%的陶瓷粉)；②金屬化，采用厚膜工藝對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)1進(jìn)行金屬化，首先在所述陶瓷 環(huán)1的兩個(gè)端面9上涂覆金屬化配膏，然后利用厚膜工藝法對(duì)所述陶瓷環(huán)1進(jìn)行金屬化；③組裝，將η個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)1與η+1個(gè)圓環(huán)狀的封接金屬片2同軸心 且相間隔地固定組裝在一起，組裝后在其中一端的所述封接金屬片2上固定連接能與所述 透射電鏡其他部件裝配的連接機(jī)構(gòu)，從而形成所述加速極，在本實(shí)施例中，所述η為6，即將 六個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)1與η+1個(gè)所述封接金屬片2同軸心且相間隔地固定組裝在一 起，其中所述封接金屬片2如圖3所示，所述封接金屬片2的內(nèi)側(cè)具有三個(gè)向圓心突出的凸 起13，所述凸起13用于設(shè)置所述透射電鏡的其他附件，所述連接機(jī)構(gòu)包括依次連接組裝在 一起的第一絕緣環(huán)3、連接圈4和第二絕緣環(huán)5，所述第一絕緣環(huán)3與所述封接金屬片2固 定連接，所述第一絕緣環(huán)3和所述均由陶瓷材料制成。如圖2所示，所述陶瓷環(huán)1具有內(nèi)部中空的圓柱體外形，在所述陶瓷環(huán)1的內(nèi)壁6 沿其周向成型有向所述陶瓷環(huán)1的外壁7凹進(jìn)的凹槽8，在本實(shí)施例中所述凹槽8沿所述陶 瓷環(huán)1軸向的截面形狀為梯形，而且為槽底11寬度小于所述凹槽8開(kāi)口位置寬度的梯形。 在本實(shí)施例中，在臨近所述陶瓷環(huán)1的端面9的所述內(nèi)壁6上成型有自所述內(nèi)壁6向所述 端面9傾斜的內(nèi)壁斜面10 ；所述內(nèi)壁斜面10形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口靠近所述端面9 ；在臨 近所述陶瓷環(huán)1的所述端面9的所述外壁7上成型有自所述外壁7向所述端面9傾斜的外 壁斜面12 ；所述外壁斜面12形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口遠(yuǎn)離所述端面9。本實(shí)施例中，設(shè)加速電壓為200KV，分為六級(jí)加速(即六個(gè)所述陶瓷環(huán)1)，每級(jí)加 速電壓約為200KV/6 = 33KV。而為了工作安全，制造所述陶瓷環(huán)1時(shí)，每個(gè)所述陶瓷環(huán)1要 實(shí)現(xiàn)耐壓50KV，以多預(yù)留出50%以上的預(yù)耐壓量。再如圖1所示，所述加速極中的7個(gè)所 述封接金屬片2自上而下設(shè)置，工作時(shí)，200KV電壓在各極間等分，最上面的所述封接金屬 片2接-200KV電壓，最下面的所述封接金屬片2接OKV電壓。實(shí)施例二在本實(shí)施例中，所述陶瓷環(huán)1的外形結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一中完全相同。本實(shí)施例中所 述加速極的制造方法，包括以下步驟a、陶瓷環(huán)成型，采用等靜壓成型工藝，使陶瓷粉成型為內(nèi)部中空的圓柱體狀的陶 瓷環(huán)1，在本實(shí)施例中等靜壓成型工藝采用的壓力為150-350MPa，優(yōu)選200MPa，所述陶瓷粉 選用95氧化鋁陶瓷(即氧化鋁含量為95%的陶瓷粉)；b、清洗和焙燒，對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)1進(jìn)行清洗然后焙燒，使所述陶瓷環(huán)1更加
6堅(jiān)硬，便于按照尺寸要求打磨成形；C、金屬化，采用厚膜工藝對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)1進(jìn)行金屬化，在本實(shí)施例中優(yōu) 選采用厚膜工藝鉬錳法，首先在所述陶瓷環(huán)1的兩個(gè)端面9上涂覆鉬錳配膏，然后利用厚膜 工藝法對(duì)所述陶瓷環(huán)1進(jìn)行金屬化；d、防銹處理，對(duì)封接金屬片2進(jìn)行防銹處理的步驟，優(yōu)選采用對(duì)所述封接金屬片2 表面鍍鎳的方法；e、組裝，將η個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)1與η+1個(gè)圓環(huán)狀的封接金屬片2同軸心 且相間隔地固定組裝在一起，組裝后在其中一端的所述封接金屬片2上固定連接能與所述 透射電鏡其他部件裝配的連接機(jī)構(gòu)，從而形成所述加速極，在本實(shí)施例中，所述η為6，將六 個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)1與η+1個(gè)所述封接金屬片2同軸心且相間隔地通過(guò)氫焊的方法 固定組裝在一起，其中所述封接金屬片2如圖3所示，所述封接金屬片2的內(nèi)側(cè)具有三個(gè)向 圓心突出的凸起13，所述凸起13用于設(shè)置所述透射電鏡的其他附件，所述連接機(jī)構(gòu)包括依 次連接組裝在一起的第一絕緣環(huán)3、連接圈4和第二絕緣環(huán)5，所述第一絕緣環(huán)3與所述封 接金屬片2固定連接，所述第一絕緣環(huán)3和所述均由陶瓷材料制成；f、檢漏，對(duì)組裝后的所述加速極進(jìn)行檢漏。在將所述加速極與所述透射電鏡其他部件裝配時(shí)，要根據(jù)不同連接要求在所述連 接圈4和最下面的所述封接金屬片2的下表面焊接法蘭，然后再對(duì)安裝所述法蘭后的所述 加速極進(jìn)行檢漏和耐高壓檢測(cè)，檢測(cè)合格后便可與所述透射電鏡其他部件裝配使用。本實(shí) 施例中，所述加速極的加速電壓的設(shè)置方式與實(shí)施例一相同。在其他實(shí)施例中，所述陶瓷環(huán)1中所述梯形可相對(duì)于所述槽底11的垂直平分線左 右對(duì)稱。只要加工條件允許，所述梯形的形狀也可為所述槽底11寬度大于所述凹槽8開(kāi)口 位置寬度的梯形。在其他實(shí)施例中，還可采用真空焊接方法將相鄰所述陶瓷環(huán)1和所述封接金屬片 2焊接在一起。顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì) 于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或 變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或 變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求
一種用于透射電鏡的加速極的制造方法，其特征在于包括以下步驟①陶瓷環(huán)成型，采用等靜壓成型工藝，使陶瓷粉成型為內(nèi)部中空的圓柱體狀的陶瓷環(huán)(1)；②金屬化，采用厚膜工藝對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)(1)進(jìn)行金屬化；③組裝，將n個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)(1)與n+1個(gè)圓環(huán)狀的封接金屬片(2)同軸心且相間隔地固定組裝在一起，組裝后在其中一端的所述封接金屬片(2)上固定連接能與所述透射電鏡其他部件裝配的連接機(jī)構(gòu)，從而形成所述加速極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于所述步驟①中采用的壓力為 150-350MPa ；所述陶瓷粉為95氧化鋁陶瓷。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于所述步驟②中采用厚膜工藝鉬錳法 對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)(1)進(jìn)行金屬化。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法，其特征在于在所述步驟①之后還包括清洗和焙 燒的步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制造方法，其特征在于在所述步驟③之前還包括對(duì)所述封 接金屬片(2)進(jìn)行防銹處理的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造方法，其特征在于所述防銹處理的步驟為在所述封接 金屬片(2)表面鍍鎳。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制造方法，其特征在于所述步驟③中采用氫焊或真空焊接 方法使相鄰所述陶瓷環(huán)(1)和所述封接金屬片(2)焊接在一起；所述連接機(jī)構(gòu)包括依次連 接組裝在一起的第一絕緣環(huán)(3)、連接圈(4)和第二絕緣環(huán)(5)，所述第一絕緣環(huán)(3)與所 述封接金屬片(2)固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其特征在于在所述步驟③之后還包括對(duì)組裝后 的所述加速極進(jìn)行檢漏的步驟。
9.一種用于組裝權(quán)利要求1-8中加速極的陶瓷環(huán)(1)，其特征在于具有內(nèi)部中空的圓 柱體外形，在所述陶瓷環(huán)(1)的內(nèi)壁(6)沿其周向成型有向所述陶瓷環(huán)(1)的外壁(7)凹 進(jìn)的凹槽(8)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陶瓷環(huán)(1)，其特征在于所述凹槽(8)沿所述陶瓷環(huán)(1) 軸向的截面形狀為梯形。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的陶瓷環(huán)(1)，其特征在于所述凹槽(8)的槽底(11)的寬 度小于所述凹槽(8)開(kāi)口位置的寬度。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的陶瓷環(huán)(1)，其特征在于臨近所述陶瓷環(huán)(1)的端面(9) 的所述內(nèi)壁(6)上成型有自所述內(nèi)壁(6)向所述端面(9)傾斜的內(nèi)壁斜面(10)；所述內(nèi)壁 斜面(10)形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口靠近所述端面(9)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的陶瓷環(huán)(1)，其特征在于臨近所述陶瓷環(huán)(1)的所述端面 (9)的所述外壁(7)上成型有自所述外壁(7)向所述端面(9)傾斜的外壁斜面(12)；所述 外壁斜面(12)形成的圓臺(tái)側(cè)面的敞口遠(yuǎn)離所述端面(9)。
全文摘要
一種用于透射電鏡的加速極的制造方法及其陶瓷環(huán)，制造方法包括①陶瓷環(huán)成型，采用等靜壓成型工藝，使陶瓷粉成型為內(nèi)部中空的圓柱體狀的陶瓷環(huán)；②金屬化，采用厚膜工藝對(duì)成型后的所述陶瓷環(huán)進(jìn)行金屬化；③組裝，將n個(gè)金屬化后的所述陶瓷環(huán)與n+1個(gè)圓環(huán)狀封接金屬片同軸心且相間隔地固定組裝在一起，組裝后在其中一端的所述封接金屬片上固定連接能與所述透射電鏡其他部件裝配的連接機(jī)構(gòu)，形成所述加速極。所述陶瓷環(huán)具有內(nèi)部中空的圓柱體外形，在所述陶瓷環(huán)的內(nèi)壁沿其周向成型有向所述陶瓷環(huán)外壁凹進(jìn)的凹槽。本發(fā)明的加速極制造方法及其陶瓷環(huán)，將陶瓷環(huán)成型工藝與金屬化工藝相結(jié)合，能滿足耐高壓、抗拉強(qiáng)度等各種性能要求。
文檔編號(hào)H01J37/065GK101964289SQ20101026296
公開(kāi)日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月25日
發(fā)明者劉亞琪, 孫占峰, 巢衛(wèi)中 申請(qǐng)人:北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司