專利名稱：一種離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種校準(zhǔn)裝置，特別涉及離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置。
背景技術(shù)：
離子注入機(jī)臺中，離子源的作用十分重要。通過離子源內(nèi)部的燈絲和陰極產(chǎn)生離 子打到晶圓上，在性能維護(hù)周期內(nèi)對離子源進(jìn)行組裝時，考慮到離子源內(nèi)部的一些組件耗 損的原因需要更換，如燈絲、陰極、絕緣體等。而離子源組裝的好壞影響離子注入機(jī)臺的性 能維護(hù)是否成功，其中包括燈絲與陰極的位置，位置過近會導(dǎo)致很難產(chǎn)生電磁弧，位置過 遠(yuǎn)會導(dǎo)致燈絲與陰極的使用壽命縮短，以至縮短性能維護(hù)的時間；支撐燈絲與陰極的夾鉗 與絕緣材料的固定位置，雖然夾鉗與絕緣材料是緊密結(jié)合的，但是有的組件在使用過程中 會產(chǎn)生誤差，導(dǎo)致夾鉗的位置出現(xiàn)偏差與其他組件連接，使燈絲與陰極短路。在組裝過程 中，為避免問題發(fā)生，需檢驗(yàn)多次還很難保證準(zhǔn)確率的提高?，F(xiàn)有的組裝方法中使用手動安裝夾板與絕緣材料，人眼確認(rèn)位置是否正確，三根 夾板是否平行，在很大程度上降低了組裝的準(zhǔn)確度。在安裝燈絲與陰極的過程中，手動使用 工具撐開夾鉗，把燈絲與陰極安裝到夾鉗上。因?yàn)闉榇_保夾鉗可以夾緊燈絲與陰極，夾鉗的 緊密度很高，撐開夾鉗需要很大的作用力，在這過程中會導(dǎo)致夾鉗與絕緣材料的位置發(fā)生 變化。在調(diào)整燈絲與陰極的位置關(guān)系的時候需要撐開夾鉗，在這過程中也會導(dǎo)致夾鉗與絕 緣材料的位置發(fā)生變化以及燈絲與陰極的位置發(fā)生變化。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是為解決手動撐開夾鉗安裝燈絲與陰極，導(dǎo)致組件之間位置發(fā)生變化 的缺陷，其目的在于提出一種離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置。該離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，包括底座、位于該底座上并與底座一體成型 的基板，該基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在該第一凹槽的 反面安裝第一齒輪、該第二凹槽的反面安裝帶有搖桿的第二齒輪以及第四齒輪、該第三凹 槽的反面安裝第三齒輪；第一齒輪、第二齒輪、第三齒輪安裝在滾動帶內(nèi)，并且該第二齒輪 位于第一齒輪與第三齒輪之間，該第四齒輪與第二齒輪銜接匹配。優(yōu)選地，第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽與底座垂直。優(yōu)選地，第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽與離子注入機(jī)臺的夾鉗的規(guī)格大小相互匹 配。優(yōu)選地，該基板是矩形體。優(yōu)選地，該基板是塑鋼材料。優(yōu)選地，第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽所處的基板面內(nèi)留有與緊靠夾鉗的絕緣板 規(guī)格大小相匹配的空間。優(yōu)選地，該第四齒輪離所在基板面的距離大于第一齒輪或第三齒輪離所在基板面 的距離。[0012]優(yōu)選地，該第二齒輪通過搖桿控制與所在基板面的距離。優(yōu)選地，遠(yuǎn)離底座的三個凹槽端分別設(shè)置與夾鉗夾口大小規(guī)格匹配的第一連接 塊、第二連接塊、第三連接塊，并且該第一連接塊、第二連接塊、第三連接塊穿過基板分別固 定在第一齒輪、第四齒輪、第三齒輪的軸內(nèi)。優(yōu)選地，該連接塊是鋼塊。優(yōu)選地，該連接塊是長方體。本實(shí)用新型采用的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，在安裝離子注入機(jī)臺離子源 的燈絲和陰極的時候，使用搖桿對三根夾鉗進(jìn)行撐托，調(diào)節(jié)搖桿可以選擇性的對燈絲還是 陰極進(jìn)行撐托，使得在安裝陰極的同時不會對燈絲造成影響。進(jìn)一步地，凹槽與夾鉗的規(guī)格大小相互匹配，該離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置 提供的凹槽用于安置夾鉗，確保夾鉗的位置不發(fā)生偏移，并且確保夾鉗互相平行。對夾鉗進(jìn) 行的操作不會對夾鉗造成位置的偏移，也不會使燈絲和陰極的位置發(fā)生變化。進(jìn)一步地，凹 槽所處的基板面內(nèi)留有與緊靠夾鉗的絕緣板規(guī)格大小相匹配的空間。絕緣板固定在該空 間，夾鉗與絕緣板之間緊密結(jié)合，確保夾鉗與絕緣板之間不發(fā)生偏移。

在參照附圖閱讀了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
以后，將會更清楚地了解本發(fā)明的 各個方面。其中，圖Ia為離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ib為離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置反面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為離子注入機(jī)臺的夾鉗以及與夾鉗連接的絕緣材料的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3a為第一齒輪、第二齒輪、第三齒輪位于滾動帶內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖北為第二齒輪與第四齒輪銜接的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖4為使用離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置前后對五臺機(jī)臺測試情況的表格示 意圖。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。在整個描述 中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。本實(shí)用新型提出的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，能夠避免手動撐開夾鉗帶來 組件之間位置的變化。圖Ia為離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ib為離子注入機(jī)臺 離子源的校準(zhǔn)裝置反面結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖Ia和圖lb，離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置 100，包括底座101、垂直位于底座101上并與底座101 —體成型的基板102，基板102的表面 具有相互平行的第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105，并在第一凹槽103的反面安裝 第一齒輪106、第二凹槽104的反面安裝帶有搖桿110的第二齒輪107以及第四齒輪108、第 三凹槽105的反面安裝第三齒輪109 ；第一齒輪106、第二齒輪107、第三齒輪109安裝在滾 動帶111內(nèi)，并且該第二齒輪107位于第一齒輪106與第三齒輪109之間，該第四齒輪108 與第二齒輪107銜接匹配。[0028]第四齒輪108離所在基板面的距離大于第一齒輪106或第三齒輪109離所在基板 面的距離。第二齒輪107通過搖桿110控制與所在基板面的距離。遠(yuǎn)離底座101的三個凹槽端分別設(shè)置與離子注入機(jī)臺的夾鉗夾口大小規(guī)格匹配 的第一連接塊112、第二連接塊113、第三連接塊114，并且第一連接塊112、第二連接塊113、 第三連接塊114穿過基板101分別固定在第一齒輪106、第四齒輪108、第三齒輪109的軸 內(nèi)。其中，第一連接塊112、第二連接塊113、第三連接塊114分別外露于第一凹槽103、第二 凹槽104、第三凹槽105。在本實(shí)施例中，第一連接塊112、第二連接塊113、第三連接塊114 是長方體鋼塊。在本實(shí)施例中，基板是矩形體，并為塑鋼材料。圖2為離子注入機(jī)臺的夾鉗以及與夾鉗連接的絕緣材料的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖2， 第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105與底座101垂直，并且第一凹槽103、第二凹槽 104、第三凹槽105與離子注入機(jī)臺的第一夾鉗201、第二夾鉗202、第三夾鉗203的規(guī)格大 小相互匹配。第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105所處的基板102面內(nèi)留有與緊靠 夾鉗的絕緣板204規(guī)格大小相匹配的空間。將離子注入機(jī)臺的第一夾鉗201、第二夾鉗202、第三夾鉗203安裝在離子注入機(jī) 臺離子源的校準(zhǔn)裝置100的第一凹槽103、第二凹槽104、第三凹槽105內(nèi)，并且使絕緣板 204位于基板102面內(nèi)留有與絕緣板204規(guī)格大小相匹配的空間內(nèi)。安裝在離子注入機(jī)臺 離子源的校準(zhǔn)裝置100內(nèi)夾鉗和絕緣材料204緊密結(jié)合，在對夾鉗進(jìn)行撐開作業(yè)的時候，不 容易使夾鉗與絕緣材料204左右偏移。圖3a為第一齒輪、第二齒輪、第三齒輪位于滾動帶內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖3a， 在進(jìn)行安裝離子源中的燈絲的時候，需要使用搖桿110轉(zhuǎn)動第二齒輪107，使第二齒輪107、 第一齒輪106、第三齒輪109位于滾動帶111內(nèi)，安裝燈絲的具體步驟包括第一步，轉(zhuǎn)動搖 桿110，第二齒輪107帶動滾動帶111并使第一齒輪106以及第三齒輪109轉(zhuǎn)過45度角，從 而使固定在第一齒輪106以及第三齒輪109軸內(nèi)第一連接塊112和第三連接塊114分別撐 開第一夾鉗201和第三夾鉗203 ；第二步，將燈絲的兩端分別放置在撐開的第一夾鉗201和 第三夾鉗203內(nèi)；第三步，與第一步中的轉(zhuǎn)動方向相反，轉(zhuǎn)動搖桿110帶動滾動帶111并使 第一齒輪106以及第三齒輪109轉(zhuǎn)過45度角，第一夾鉗201和第三夾鉗203夾緊燈絲的兩 端。圖北為第二齒輪與第四齒輪銜接的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖北，在進(jìn)行安裝離子源中 的陰極的時候，第一夾鉗201和第三夾鉗203中已夾緊了燈絲的兩端，需要使用搖桿110轉(zhuǎn) 動第二齒輪107，使第二齒輪107遠(yuǎn)離基板面運(yùn)動直至與第四齒輪108銜接，安裝陰極的具 體步驟包括第一步，轉(zhuǎn)動搖桿110使第二齒輪107帶動第四齒輪108轉(zhuǎn)過45度角，從而使 固定在第四齒輪108軸內(nèi)第二連接塊113撐開第二夾鉗202;第二步，將陰極放置在撐開的 第二夾鉗202內(nèi)；第三步，與第一步中的轉(zhuǎn)動方向相反，轉(zhuǎn)動搖桿110使第二齒輪107帶動 第四齒輪108轉(zhuǎn)過45度角，第二夾鉗202夾緊陰極。在本實(shí)施例中齒輪轉(zhuǎn)過的角度為45度，是夾鉗能夠被撐開的安置燈絲和陰極時 的最佳角度。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解，夾鉗撐開的角度不僅僅局限在45度上，還 可以為在45度到90度范圍內(nèi)的其它能夠安置燈絲和陰極時夾鉗所張開的角度。例如，在 進(jìn)行安裝離子源中的燈絲的時候，第一步轉(zhuǎn)動搖桿110，第二齒輪107帶動滾動帶111并使第一齒輪106以及第三齒輪109轉(zhuǎn)過60度角，從而使固定在第一齒輪106以及第三齒輪 109軸內(nèi)第一連接塊112和第三連接塊114分別撐開第一夾鉗201和第三夾鉗203，第二 步將燈絲的兩端分別放置在撐開的第一夾鉗201和第三夾鉗203內(nèi)；第三步與第一步中 的轉(zhuǎn)動方向相反，轉(zhuǎn)動搖桿110帶動滾動帶111并使第一齒輪106以及第三齒輪109轉(zhuǎn)過 60度角，第一夾鉗201和第三夾鉗203夾緊燈絲的兩端。在安裝離子注入機(jī)臺離子源的燈絲和陰極的時候，使用搖桿110分別對第一夾鉗 201、第三夾鉗203以及第二夾鉗202進(jìn)行撐托，調(diào)節(jié)搖桿110可以選擇性的對燈絲還是陰 極進(jìn)行撐托，使得在安裝陰極的同時不會對燈絲造成影響。夾鉗安裝在離子注入機(jī)臺離子 源的校準(zhǔn)裝置100以后，對夾鉗進(jìn)行的操作不會對夾鉗造成位置的偏移，也不會使燈絲和 陰極的位置發(fā)生變化。圖4為使用離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置前后對五臺機(jī)臺測試情況的表格示 意圖。參照圖4，在對夾鉗進(jìn)行作業(yè)時，進(jìn)行第一次手動操作，從七月到十一月分別對機(jī)臺 1、機(jī)臺2、機(jī)臺3、機(jī)臺4、機(jī)臺5進(jìn)行連續(xù)測試，七月份的測試結(jié)果失敗，機(jī)臺測試的成功率 為80%;進(jìn)行第二次手動操作，從七月到十一月分別對機(jī)臺1、機(jī)臺2、機(jī)臺3、機(jī)臺4、機(jī)臺5 進(jìn)行連續(xù)測試，九月份的測試結(jié)果失敗，機(jī)臺測試的成功率為80% ；進(jìn)行第三次手動操作， 從七月到十一月分別對機(jī)臺1、機(jī)臺2、機(jī)臺3、機(jī)臺4、機(jī)臺5進(jìn)行連續(xù)測試，八、九、十一月 份的測試結(jié)果失敗，機(jī)臺測試的成功率為40%。使用離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置100， 從七月到十一月分別對機(jī)臺1、機(jī)臺2、機(jī)臺3、機(jī)臺4、機(jī)臺5進(jìn)行連續(xù)測試，測試準(zhǔn)確率高， 每次測試均成功，機(jī)臺測試的成功率達(dá)到了 100%。夾鉗與絕緣材料始終保持緊密結(jié)合，燈 絲與陰極的位置也不容易發(fā)生變化，提高了組裝的準(zhǔn)確度。上文中，參照附圖描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù) 人員能夠理解，在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以對本實(shí)用新型的具體 實(shí)施方式作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本實(shí)用新型權(quán)利要求書所限定的范圍 內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，包括底座、位于所述底座上并與底座一體成 型的基板，其特征在于，所述基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并 在所述第一凹槽的反面安裝第一齒輪、所述第二凹槽的反面安裝帶有搖桿的第二齒輪以及 第四齒輪、所述第三凹槽的反面安裝第三齒輪；所述第一齒輪、所述第二齒輪、所述第三齒 輪安裝在滾動帶內(nèi)，并且所述第二齒輪位于所述第一齒輪與所述第三齒輪之間，所述第四 齒輪與所述第二齒輪銜接匹配。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第一凹 槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽與所述底座垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第一凹 槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽與離子注入機(jī)臺的夾鉗的規(guī)格大小相互匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述基板是 矩形體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第一凹 槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽所處的基板面內(nèi)留有與緊靠夾鉗的絕緣板規(guī)格大小相匹 配的空間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述基板是 塑鋼材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第四齒 輪離所在基板面的距離大于所述第一齒輪或所述第三齒輪離所在基板面的距離。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第二齒 輪通過所述搖桿控制與所在基板面的距離。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，遠(yuǎn)離所述底 座的三個凹槽端分別設(shè)置與所述夾鉗夾口大小規(guī)格匹配的第一連接塊、第二連接塊、第三 連接塊，并且所述第一連接塊、第二連接塊、第三連接塊穿過所述基板分別固定在所述第一 齒輪、所述第四齒輪、所述第三齒輪的軸內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述連接塊 是鋼塊。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述連接塊 是長方體。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置，包括底座、位于該底座上并與底座一體成型的基板，該基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在該第一凹槽的反面安裝第一齒輪、該第二凹槽的反面安裝帶有搖桿的第二齒輪以及第四齒輪、該第三凹槽的反面安裝第三齒輪；第一齒輪、第二齒輪、第三齒輪安裝在滾動帶內(nèi)，并且該第二齒輪位于第一齒輪與第三齒輪之間，該第四齒輪與第二齒輪銜接匹配。使用離子注入機(jī)臺離子源的校準(zhǔn)裝置安裝離子注入機(jī)臺離子源的燈絲和陰極的時候，使用搖桿對三根夾鉗進(jìn)行撐托，可以調(diào)節(jié)搖桿對燈絲還是陰極進(jìn)行撐托，使得在安裝陰極的同時不會對燈絲造成影響。
文檔編號H01J37/304GK201845737SQ20102026600
公開日2011年5月25日 申請日期2010年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月21日
發(fā)明者許鹖 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司