專利名稱：掃描電子顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及掃描電子顯微鏡的防振技術(shù)，尤其涉及與臺(tái)式掃描電子顯微鏡相關(guān)的防振技術(shù)。
背景技術(shù)：
以往，能獲得高放大倍數(shù)的掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope SEM)利用集中的電子射線掃描試樣，由此檢測(cè)從試樣飛出的電子，能夠利用該檢測(cè)出的信號(hào)將試樣的掃描電子圖像顯示在圖像顯示裝置上。這些電子顯微鏡從用于產(chǎn)生電子束的電子槍的性質(zhì)出發(fā)，需要數(shù)十千伏的高壓電。另外，為了獲得穩(wěn)定的電子束，電子顯微鏡內(nèi)必須保持為真空。因此，由于高電壓的產(chǎn)生裝置、真空泵及電子顯微鏡自身必須是耐壓結(jié)構(gòu)等，因此裝置容易大型化，且需要專用的房間。因此，一般是設(shè)置在清潔間或測(cè)量室等大型的結(jié)構(gòu)。另外，在利用電子顯微鏡觀察試樣的場(chǎng)合，需要防止試樣圖像劣化的防振技術(shù)。圖2表示現(xiàn)有的電子顯微鏡的防振結(jié)構(gòu)。電子顯微鏡通常是相當(dāng)大型的裝置，電子顯微鏡主體和控制電子顯微鏡主體的控制裝置及顯示觀察圖像的監(jiān)視器由不同的支座保持。在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，包括電子槍201、透鏡系統(tǒng)203、試樣室202及試樣載置臺(tái)204 的電子顯微鏡主體205固定在負(fù)荷板206上，包括該負(fù)荷板206的整個(gè)系統(tǒng)通過緩沖器207 安裝在第一支座208上。通過做成這樣的結(jié)構(gòu)，來自地面的振動(dòng)難以傳播到電子顯微鏡主體 205。另外，用于對(duì)電子顯微鏡主體內(nèi)進(jìn)行真空排氣的主泵209與試樣室202下部連接， 對(duì)試樣室202進(jìn)行真空排氣。另一方面，從主泵209的排氣路徑通過配管210也與電子槍 201連接，電子槍201及透鏡系統(tǒng)203的內(nèi)部也進(jìn)行真空排氣。防振用緩沖器211介于主泵 209和試樣室202之間。通過該結(jié)構(gòu)，能夠減少由泵產(chǎn)生的振動(dòng)向電子顯微鏡主體205的傳播。在專利文獻(xiàn)1中公開了這種結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。另一方面，顯示觀察圖像的監(jiān)視器212保持在第二支座213上。在第二支座213 的內(nèi)部保持有電子顯微鏡主體205的控制部214及實(shí)施監(jiān)視器212所顯示的觀察圖像的圖像處理的計(jì)算機(jī)215。普遍在控制部214及計(jì)算機(jī)215上設(shè)置冷卻用風(fēng)扇，對(duì)電子顯微鏡主體205來說，這些也成為振動(dòng)源。通過由不同的支座分離地保持成為振動(dòng)源的主泵209、控制部214及計(jì)算機(jī)215，能夠減少向電子顯微鏡主體205傳播的振動(dòng)量，作為結(jié)果，能夠獲得沒有由振動(dòng)產(chǎn)生的干擾的良好的觀察圖像。根據(jù)近年來的小型化技術(shù)，提出了能設(shè)置在工件臺(tái)或作業(yè)臺(tái)上而使用的小型的電子顯微鏡裝置。這種臺(tái)式電子顯微鏡由于設(shè)置在桌子上的特性，無法在不同的支座上分離地設(shè)置成為振動(dòng)源的電子顯微鏡主體的控制部及真空泵，不得不配置在同一機(jī)箱內(nèi)。圖3 表示簡(jiǎn)單地將電子顯微鏡主體的控制部及真空泵設(shè)置在同一機(jī)箱內(nèi)的臺(tái)式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)例。電子顯微鏡主體305構(gòu)成為包括電子槍301、透鏡系統(tǒng)303、試樣室302及試樣載置臺(tái)304等。電子顯微鏡主體305固定在支撐整個(gè)系統(tǒng)的底板312上，在其間配置有防振用的緩沖器313。底板312自身由支腳部317支撐。另外，對(duì)電子顯微鏡主體內(nèi)進(jìn)行真空排氣的主泵309與透鏡系統(tǒng)303的上部連接，在其間設(shè)有防振用的緩沖器314。另外，在支撐整體的底板312上搭載有包括電源及基板的控制系統(tǒng)315。在控制系統(tǒng)315中具備空氣冷卻用的風(fēng)扇等。包括電子槍301、透鏡系統(tǒng)303、試樣室302及試樣載置臺(tái)304的電子顯微鏡主體305及控制系統(tǒng)315由罩316覆蓋。如上所述，在簡(jiǎn)單地將現(xiàn)有的電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)要素集中在同一機(jī)箱內(nèi)的場(chǎng)合， 普遍采用利用緩沖器吸收來自地板的振動(dòng)及由泵產(chǎn)生的振動(dòng)的結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本實(shí)開昭61-79450號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
要解決的課題在圖3所示的結(jié)構(gòu)的臺(tái)式電子顯微鏡中，控制系統(tǒng)315固定在底板312上。因此， 存在由空氣冷卻用風(fēng)扇產(chǎn)生的、無法利用緩沖器313完全防振的振動(dòng)傳播到電子顯微鏡主體的情況。其結(jié)果，成為圖像障礙而顯示在觀察圖像上。本發(fā)明所要解決的課題在于，在將電子顯微鏡主體、排氣系統(tǒng)、包括電源及空氣冷卻風(fēng)扇的控制系統(tǒng)設(shè)置在同一底板上的臺(tái)式電子顯微鏡中，實(shí)現(xiàn)比以往提高了防振性能的臺(tái)式電子顯微鏡。解決課題的方法根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)思想的一個(gè)側(cè)面，通過將支撐電子顯微鏡主體的緩沖器延伸到比支撐電子顯微鏡主體和控制系統(tǒng)的底板的高度方向的位置靠設(shè)置有電子顯微鏡的設(shè)置面?zhèn)?，解決上述課題。更具體地說，在底板上設(shè)置開口，通過將上述緩沖器延伸到比該開口靠下側(cè)，能夠比以往提高防振性能。緩沖器可以直接與設(shè)置面接觸，也可以通過某種部件與設(shè)置面接觸。發(fā)明效果由于能夠使緩沖器的長(zhǎng)度比以往長(zhǎng)，因此如果電子顯微鏡主體的尺寸(尤其是高度)相同，則能夠使固有振動(dòng)頻率比以往低。因此，能比以往更寬地獲取振動(dòng)頻率的除振頻帶，其結(jié)果，與以往相比提高了防振性能。


圖1表示實(shí)施例一的電子顯微鏡的防振結(jié)構(gòu)。圖2表示現(xiàn)有的電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)。圖3表示現(xiàn)有的臺(tái)式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)。圖4是實(shí)施例一的電子顯微鏡的電子光學(xué)柱鏡筒架的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。圖5是實(shí)施例一的電子顯微鏡的防振結(jié)構(gòu)的變形例。圖6是實(shí)施例二的電子顯微鏡的防振結(jié)構(gòu)。圖7是實(shí)施例二的電子顯微鏡的俯視圖。圖8是未兼用緩沖器和支腳部的場(chǎng)合的掃描電子顯微鏡的布局的俯視圖。
具體實(shí)施例方式下面，對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。實(shí)施例一在本實(shí)施例中，說明通過設(shè)在底板的開口，使緩沖器直接與地面接觸的結(jié)構(gòu)的臺(tái)式掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)例。首先，下面使用圖4對(duì)電子顯微鏡主體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。本實(shí)施例的掃描電子顯微鏡主體由電子槍1、透鏡系統(tǒng)3及試樣室2等結(jié)構(gòu)要素構(gòu)成。雖然未圖示，但在試樣室2 內(nèi)部還容納有試樣載置臺(tái)。在裝置使用時(shí)，進(jìn)行真空排氣以使裝置內(nèi)部成為規(guī)定的真空度以上。當(dāng)對(duì)電子源17施加高壓時(shí)，放射出電子束18。被放射出的電子束18利用維納爾電極19的電位而受到集中作用，使軌道彎曲，在維納爾電極19和陽極電極20之間產(chǎn)生第一交叉21。電子束18繼續(xù)在由維納爾電極19和陽極電極20間的電位差(加速電壓)進(jìn)行加速的狀態(tài)下通過陽極電極20，由第一聚光透鏡22受到集中作用。其結(jié)果，在第一聚光透鏡22和第二聚光透鏡23之間形成第二交叉M。通過第二交叉M的位置的電子束18由第二聚光透鏡23受到集中作用，在第二聚光透鏡23和物鏡25間形成第三交叉26。通過第三交叉沈的位置的電子束18以擴(kuò)散某程度的狀態(tài)通過物鏡光圈27，其結(jié)果，只有一部分電子束入射到物鏡25。入射到物鏡25的電子束被集中，照射到試樣臺(tái)觀的表面。照射到試樣表面的電子束18產(chǎn)生在試樣表面彈回的反射電子及從試樣表面飛出的二次電子等。雖然省略圖示，但在試樣室2內(nèi)(物鏡的下面)設(shè)置有檢測(cè)器，具有檢測(cè)這些反射電子及二次電子，并作為檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行信號(hào)輸出的功能。檢測(cè)信號(hào)在經(jīng)過放大電路及AD轉(zhuǎn)換器后，作為圖像信號(hào)傳送到監(jiān)視器，作為圖像進(jìn)行顯示。被顯示的圖像的畫質(zhì)由于裝置的振動(dòng)、干擾或污物等原因而受到影響。圖1是表示本實(shí)施例的掃描電子顯微鏡的整體結(jié)構(gòu)的剖視圖。在本實(shí)施例的臺(tái)式電子顯微鏡中，包括電子槍1、透鏡系統(tǒng)3、試樣室2及試樣載置臺(tái)4的電子顯微鏡主體5未固定在支撐整體的底板12上，而是通過防振用緩沖器13之類的具有振動(dòng)吸收性的支撐部件，直接設(shè)置在作為裝置設(shè)置面的地板上。為此，在底板12上設(shè)有開口部108，緩沖器13通過該開口部與地面接觸。未圖示，但緩沖器13設(shè)在底板的角部四個(gè)部位，電子顯微鏡主體 5相對(duì)于設(shè)置面被四點(diǎn)支撐。另外，底板12自身相對(duì)于設(shè)置面由支腳部106支撐。對(duì)電子顯微鏡主體5內(nèi)進(jìn)行真空排氣的主泵9通過防振用的緩沖器14與透鏡系統(tǒng)3的上部連接。在底板12上設(shè)置有包括電子顯微鏡主體5及主泵9的電源、控制基板、 或空氣冷卻用風(fēng)扇等的控制系統(tǒng)15。為了包括電源、基板的控制系統(tǒng)15的冷卻及主泵9的冷卻，空氣冷卻用風(fēng)扇是必須的。包括電子槍1、透鏡系統(tǒng)3、試樣室2及試樣載置臺(tái)4的電子顯微鏡主體5及控制系統(tǒng)15由罩16覆蓋。罩16也由底板12支撐，但構(gòu)成為不與電子顯微鏡主體5接觸。在圖3所示的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，沒有本實(shí)施例的開口部108，緩沖器13全部設(shè)置在底板12上。因此，在現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，緩沖器13的長(zhǎng)度只能為從試樣室2的底面到底板12的上表面107(用單點(diǎn)劃線表示的)的長(zhǎng)度。對(duì)此，在本實(shí)施例的場(chǎng)合，由于能夠越過上表面107 而將緩沖器的長(zhǎng)度延伸到設(shè)置面?zhèn)?，因此能夠減小緩沖器的固有振動(dòng)頻率。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠擴(kuò)大除振頻帶。本實(shí)施例的電子顯微鏡的另一個(gè)結(jié)構(gòu)特征在于，通過使電子顯微鏡主體5與底板12分離，直接支撐在設(shè)置面上，能夠使在裝置內(nèi)部產(chǎn)生的振動(dòng)與緩沖器13分離。裝置內(nèi)部的主要的振動(dòng)源是主泵9和設(shè)在控制系統(tǒng)15上的空氣冷卻用風(fēng)扇。真空排氣是必要的，難以使主泵9與電子顯微鏡主體5分離，但如果是控制系統(tǒng)15，只要除了電線，即使與電子顯微鏡主體5分離也沒關(guān)系。如圖2所示，就成為振動(dòng)源之一的控制系統(tǒng)15而言，也有與電子顯微鏡主體5完全成為不同單元的方法。但是，在臺(tái)式電子顯微鏡的場(chǎng)合，為了裝置小型化，需要電子顯微鏡主體5和控制系統(tǒng)15 —體配置在同一機(jī)箱內(nèi)。因此，本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)在臺(tái)式電子顯微鏡的場(chǎng)合是有效的。實(shí)施例二在圖1的結(jié)構(gòu)中，由于成為振動(dòng)源的控制系統(tǒng)15與底板12分離，因此與以往相比，提高了防振性能。但是，由于電子顯微鏡主體5是完全未固定在底板12上的狀態(tài)，因此在移動(dòng)裝置時(shí)，電子顯微鏡主體5無法追蹤移動(dòng)，為被拖動(dòng)的狀態(tài)。另外，由于受到某種沖擊，存在電子顯微鏡主體5從緩沖器躍起來而落到底板12上的可能。因此，在本實(shí)施例中， 為了解決上述問題，在底板下部設(shè)置用于使電子顯微鏡主體追蹤底板的移動(dòng)的追蹤機(jī)構(gòu)。 下面，對(duì)該追蹤機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說明。圖5表示從試樣室側(cè)觀察本實(shí)施例的電子顯微鏡的主視圖(省略機(jī)箱的圖示)。 為了方便說明，著重記載主要的結(jié)構(gòu)要素，各結(jié)構(gòu)要素的尺寸與圖1所示的電子顯微鏡大致相同。本實(shí)施例的追蹤機(jī)構(gòu)的基本特征在于，使用彈簧產(chǎn)生用于追蹤的張力。在圖5的結(jié)構(gòu)例中，支撐電子顯微鏡主體5的緩沖器13在中途分離，中間設(shè)有板部件31。因此，板部件31在底板12的下側(cè)與底板相離地配置。也可以不是分離緩沖器的結(jié)構(gòu)，而是構(gòu)成為簡(jiǎn)單地將緩沖器載置在板部件31上，并在緩沖器的下部設(shè)置第二支腳部500。在此，由于第二支腳部500期望相對(duì)于地板順滑地移動(dòng)，因此由摩擦系數(shù)小的聚四氟乙烯等氟化碳樹脂或縮醛樹脂構(gòu)成。在底板12和板部件31之間的空間設(shè)有彈簧29。另外，在板部件31上設(shè)有用于固定彈簧四的一端的銷32。另一方面，彈簧四的另一端固定在設(shè)在底板12的底面上的銷 30上。由此，在底板12和支撐電子顯微鏡主體5的緩沖器13之間產(chǎn)生張力33，以使電子顯微鏡主體5追蹤底板12的移動(dòng)。此時(shí)，銷30、銷32及彈簧四的配置是以張力的平衡位置成為試樣室2的底面的中心或重心的方式配置。由此，在彈簧的平衡位置，緩沖器13位于開口部108的中心，因此保持不與底板12接觸的狀態(tài)。由此，能夠防止來自底板的振動(dòng)的傳播。在圖5中，表示紙面左右方向的追蹤機(jī)構(gòu)，就紙面進(jìn)深方向而言，做成設(shè)置銷和彈簧，在前后方向上也產(chǎn)生用于追蹤的張力的結(jié)構(gòu)。由此，由于張力作用在底板底面內(nèi)的XY 方向，因此電子顯微鏡主體5也能夠追蹤移動(dòng)。對(duì)于電子顯微鏡主體5落到底板12上之類的問題，在試樣室2的下部側(cè)面設(shè)置凸緣501，在該凸緣上設(shè)置銷34。同時(shí)，在底板12上設(shè)置底架35，底架的上表面與凸緣501相對(duì)地配置。在底架35上設(shè)置供銷34插入的孔36，此時(shí)，將孔36的大小做成不與銷34接觸的程度的大小。由此，在電子顯微鏡主體5向上躍起時(shí)，由于利用底架35定位，因此能夠解決電子顯微鏡主體5落到底板12上之類的問題。
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另外，在圖5的說明中，銷34垂直地固定在設(shè)于試樣室2的下部側(cè)面的凸緣501 上，但也可以構(gòu)成為不形成凸緣而將銷34橫向地固定在試樣室2的側(cè)面，在底板12上垂直地立起開口的板狀部件，將銷橫向地插入該孔中。實(shí)施例三在實(shí)施例一中，對(duì)使支撐電子顯微鏡主體的緩沖器直接與地面接觸的臺(tái)式電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。但是，在簡(jiǎn)單地將緩沖器設(shè)置在裝置設(shè)置面上的方式中，產(chǎn)生底板和電子顯微鏡主體的追蹤的問題，需要實(shí)施例二那樣的追蹤機(jī)構(gòu)。因此，在本實(shí)施例中，對(duì)有效地利用能夠使緩沖器的長(zhǎng)度比以往長(zhǎng)的本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)，且不產(chǎn)生實(shí)施例一那樣的追蹤的問題的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。首先，對(duì)本實(shí)施例的防振結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，由于電子光學(xué)柱鏡筒架的內(nèi)部結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一相同，因此省略說明。圖6表示本實(shí)施例的臺(tái)式電子顯微鏡的截面結(jié)構(gòu)。包括電子槍601、透鏡系統(tǒng)602、 主排氣泵603、試樣室605及試樣載置臺(tái)605的電子顯微鏡主體606不固定在底板611上， 只有控制系統(tǒng)613和機(jī)箱610固定在底板611上的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例一相同。對(duì)電子顯微鏡主體606的內(nèi)部進(jìn)行真空排氣的主排氣泵603通過防振用緩沖器612與透鏡系統(tǒng)602的上部連接?？刂葡到y(tǒng)613構(gòu)成為包括電子光學(xué)柱鏡筒架(由電子槍601及透鏡系統(tǒng)602構(gòu)成) 或主排氣泵603的電源及控制基板、或空氣冷卻用風(fēng)扇等。以上的電子顯微鏡主體606及控制系統(tǒng)613全部容納在機(jī)箱614內(nèi)。電子顯微鏡主體606由四個(gè)防振用緩沖器608支撐。在此，在底板611上至少形成四個(gè)開口孔607，上述四個(gè)防振用緩沖器608分別貫通該開口孔。另一方面，在四個(gè)開口孔607的下部分別設(shè)有第二支腳部609，與底板611螺釘固定。在第二支腳部609的底部安裝有第二支腳部支承部件629。第二支腳部支承部件通過做成能夠減輕振動(dòng)的影響的部件，能夠難以受到外部振動(dòng)的影響。本實(shí)施例的防振結(jié)構(gòu)的特征在于，將防振用緩沖器608不與地面直接接觸地固定在設(shè)于底板611的下表面的第二支腳部609上。由于防振用緩沖器608和第二支腳部609 的固定面當(dāng)然位于比底板611靠下側(cè)，因此與在底板611的上表面固定防振用緩沖器608 的現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠延長(zhǎng)防振用緩沖器608的長(zhǎng)度。在本實(shí)施例的場(chǎng)合，在第二支腳部 609的內(nèi)表面設(shè)置凹部，在凹部的內(nèi)壁面固定防振用緩沖器608，因此與不制造凹部地在第二支腳部609的上表面固定防振用緩沖器608相比，能夠延長(zhǎng)第二支腳部609的長(zhǎng)度。同時(shí)，第二支腳部609固定在底板611上，并且防振用緩沖器608也固定在底板611上，因此不會(huì)產(chǎn)生實(shí)施例一那樣的追蹤的問題。另外，在以上的說明中，第二支腳部609構(gòu)成為與底板611為不同部件，并利用螺釘固定，但明顯的是，通過利用沖壓等方法從底板鍛造第二支腳部，一體成形底板和第二支腳部，也能夠起到本實(shí)施例的作用效果。但是，為了即使不與作為振動(dòng)源的機(jī)箱10完全分離，也產(chǎn)生能夠減輕內(nèi)部振動(dòng)的影響的效果，優(yōu)選第二支腳部609和底板611由不同部件構(gòu)成。另外，與實(shí)施例一相同，即使在本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，內(nèi)部振動(dòng)也向設(shè)置面分散地傳播。即，從冷卻風(fēng)扇等產(chǎn)生的內(nèi)部振動(dòng)首先從底板611傳播到第二支腳部609，一部分經(jīng)由第二支腳部支承部件傳播到地面。剩下的傳播到防振用緩沖器608，利用防振用緩沖器減震之后，傳播到包括上述電子槍601、透鏡系統(tǒng)602、主排氣泵603、試樣室604及試樣載置臺(tái) 605的電子顯微鏡主體606。對(duì)此，在圖3所示的現(xiàn)有的臺(tái)式顯微鏡的結(jié)構(gòu)中，搭載電子顯微鏡主體303的緩沖器313固定在底板312上。因此，從冷卻風(fēng)扇等產(chǎn)生的內(nèi)部振動(dòng)從底板312通過緩沖器313 傳播到電子顯微鏡主體303，因此與本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)相比，容易受到從內(nèi)部產(chǎn)生的振動(dòng)的影響。由此，在本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，能夠比以往減少在內(nèi)部產(chǎn)生的振動(dòng)的影響。另外，根據(jù)本實(shí)施例，與假設(shè)將電子顯微鏡主體606載置在底板611上時(shí)相比，能夠降低防振用緩沖器608和電子顯微鏡主體606的固定面。因此，能夠使裝置整體的重心位置比以往低。如果電子顯微鏡主體606的高度與以往相比沒有變化，則機(jī)箱614的高度方向的尺寸也減小相當(dāng)于防振用緩沖器608和電子顯微鏡主體606的固定面之差的尺寸。作為本實(shí)施例的具備防振結(jié)構(gòu)的電子顯微鏡的另一個(gè)特征，可以列舉，支撐電子顯微鏡主體的防振用緩沖器和支撐底板的支腳部具有相同的支撐點(diǎn)。圖7和圖8表示第一支腳部和第二支腳部的配置的俯視圖。圖7對(duì)應(yīng)于支撐防振用緩沖器和底板的支腳部具有相同的支撐點(diǎn)的場(chǎng)合的配置，圖8對(duì)應(yīng)于沒有相同的支撐點(diǎn)的場(chǎng)合的配置。在圖7中，參照編號(hào)701所示的矩形表示底板，包括電子槍的電子光學(xué)柱鏡筒架與試樣室位于該底板701上。雖然未圖示，但機(jī)箱固定在底板701上。以虛線表示的矩形703 表示電子顯微鏡主體的底面(相當(dāng)于試樣室)向底板701的投影面。將試樣搬出或搬入試樣室的試樣搬入搬出面設(shè)在資料室的正面?zhèn)?圖7的紙面下側(cè))。電子光學(xué)柱鏡筒架位于 702的位置?？刂葡到y(tǒng)在底板701上配置在電子顯微鏡主體的相反側(cè)。706表示冷卻用風(fēng)扇。矩形705是控制機(jī)構(gòu)的底面向底板701的投影面。主排氣泵位于底板701的大致中心附近。在控制機(jī)構(gòu)的投影面705的內(nèi)部配置有一組沿底板701的寬度方向配置的一對(duì)第一支腳部708。在相同的電子顯微鏡主體的投影面703的內(nèi)部配置有兩組一對(duì)第二支腳部 707。在圖8的場(chǎng)合，在底板701的四角配置第一支腳部708和第二支腳部707，但必須需要在電子顯微鏡主體的下部配置具有振動(dòng)吸收性的支撐部件，如本發(fā)明，在防振用緩沖器貫通底板并延伸到設(shè)置面的結(jié)構(gòu)的場(chǎng)合，由于防振用緩沖器與支腳部干涉，因此如圖8 所示，無法增大試樣室的寬度。另一方面，在本實(shí)施例的場(chǎng)合，如圖6的單點(diǎn)劃線所示，防振用緩沖器608和第二支腳部609固定在同軸上。即，防振用緩沖器608承受負(fù)荷的位置和第二支腳部60承受負(fù)荷的位置在電子顯微鏡的設(shè)置面內(nèi)相同。如圖7，防振用緩沖器608配置在一對(duì)第二支腳部707的位置，防振用緩沖器與支腳部不會(huì)干涉。因此，與圖8的結(jié)構(gòu)相比，能夠?qū)⒃嚇邮业膶挾仍龃蟮秸麄€(gè)底板的寬度。另外，在實(shí)施例一 三所示的各實(shí)施例的裝置的結(jié)構(gòu)要素中，由于電子顯微鏡主體的重量最重，因此在底板面內(nèi)的裝置整體的重心位置位于比底板的中心(圖7的單點(diǎn)劃線的交點(diǎn))靠電子顯微鏡主體側(cè)。因此，在各實(shí)施例中，使支承底板的支腳部的個(gè)數(shù)在電子顯微鏡主體側(cè)比控制系統(tǒng)側(cè)多。在圖7的例子中，在控制系統(tǒng)側(cè)配置一組一對(duì)第一支腳部 708，在電子顯微鏡主體側(cè)配置兩組一對(duì)第二支腳部707。由此，使對(duì)支撐底板701的各支腳部的負(fù)荷平均化。
符號(hào)說明1、201、301、601-電子槍，2、202、302、604_ 試樣室，3、203、303、602_ 透鏡系統(tǒng)，4、 204、304、605_ 試樣載置臺(tái)，5、205、305、606_ 電子顯微鏡主體，9、209、309_ 主泵，12、312、 611,701-底板，13、14、207、211、313、314、612_ 緩沖器，17-電子源，18-電子束，19-維納爾電極，20-陽極電極，21-第一交叉，22-第一聚光透鏡，23-第二聚光透鏡，24-第二交叉， 25-物鏡，26-第三交叉，27-物鏡光圈，28-試樣臺(tái)，29-彈簧，30、32、34-銷，31-板，33-張力，35-底架，36-設(shè)在底架上的孔，106、317、616_支腳部，107-底板的上表面，108-開口部， 206-負(fù)荷板，208-第一支座，210-配管，212-監(jiān)視器，213-第二支座，214-控制部，215-計(jì)算機(jī)，315,613-控制系統(tǒng)，316、614_罩，500,609-第二支腳部，501-凸緣，603,704-主排氣泵，607-開口孔，608-防振用緩沖器，610-機(jī)箱，615-第一支腳部，629-第二支腳部支承部件，702-電子槍的位置，703-掃描電子顯微鏡主體向底板的投影面，705-控制機(jī)構(gòu)向底板的投影面，706-冷卻用風(fēng)扇的位置，707- 一對(duì)第二支腳部，708、709- —對(duì)第一支腳部。
權(quán)利要求
1.一種掃描電子顯微鏡，包括電子光學(xué)柱鏡筒架和試樣室的掃描電子顯微鏡主體與該掃描電子顯微鏡主體的控制機(jī)構(gòu)配置在同一機(jī)箱內(nèi)，該掃描電子顯微鏡的特征在于，具備配置在上述機(jī)箱、上述掃描電子顯微鏡主體及上述控制機(jī)構(gòu)的下部的底板； 設(shè)在上述底板的上述控制機(jī)構(gòu)側(cè)的底面上的第一支腳部； 設(shè)在上述底板的上述掃描電子顯微鏡側(cè)的開口 ；以及以固定在上述掃描電子顯微鏡主體的底面、并且貫通上述開口的方式配置的緩沖器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 構(gòu)成為，上述緩沖器與上述設(shè)置面直接接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 具備設(shè)在上述開口的下部的第二支腳部，上述緩沖器固定在第二支腳部的內(nèi)壁面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，具備用于使上述掃描電子顯微鏡主體追蹤上述底板或上述機(jī)箱的移動(dòng)的追蹤機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 上述追蹤機(jī)構(gòu)具備與上述緩沖器固定，并且與上述底板分離地設(shè)在該底板的上述設(shè)置面?zhèn)鹊陌宀考?設(shè)在上述板部件與底板之間的彈簧；以及將該彈簧固定在上述底板的底面及上述板部件的表面的固定機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 具備設(shè)在上述底板的上表面?zhèn)取⒉⑶揖哂虚_口的底架；以及安裝在上述試樣室上、并且插入上述開口的銷。
7.一種掃描電子顯微鏡，包括電子光學(xué)柱鏡筒架和試樣室的掃描電子顯微鏡主體與該掃描電子顯微鏡主體的控制機(jī)構(gòu)配置在同一機(jī)箱內(nèi)，該掃描電子顯微鏡的特征在于，具備配置在上述機(jī)箱、上述掃描電子顯微鏡主體及上述控制機(jī)構(gòu)的下部的底板；設(shè)在上述底板的上述控制機(jī)構(gòu)側(cè)的底面上的第一支腳部；設(shè)在上述底板的上述掃描電子顯微鏡側(cè)的底面上的第二支腳部；以及固定在上述掃描電子顯微鏡主體的底面、并且與上述第二支腳部固定在同軸上的緩沖ο
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，上述緩沖器通過設(shè)在上述底板上的貫通孔與上述緩沖器的內(nèi)壁面固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 上述第二支腳部與上述底板由不同部件構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 上述第二支腳部是與上述底板一體成型的部件。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于， 還具備設(shè)在上述第二支腳部的底面上的支承部件。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，在上述掃描電子顯微鏡主體的下表面至少配置四個(gè)上述緩沖器， 在上述底板的上述控制機(jī)構(gòu)側(cè)下表面至少配置兩個(gè)上述第一支腳部。
13.一種掃描電子顯微鏡，包括電子光學(xué)柱鏡筒架和試樣室的掃描電子顯微鏡主體與該掃描電子顯微鏡主體的控制機(jī)構(gòu)配置在同一機(jī)箱內(nèi)，該掃描電子顯微鏡的特征在于，具備配置在上述掃描電子顯微鏡主體及上述控制機(jī)構(gòu)的下部的底板；以及配置在上述底板的底面上的多個(gè)支腳部，該多個(gè)支腳部中的配置在上述掃描電子顯微鏡主體的下表面的支腳部具有振動(dòng)吸收性，另外，就上述支腳部的個(gè)數(shù)而言，在上述底板的上述掃描電子顯微鏡主體側(cè)的個(gè)數(shù)比在上述控制機(jī)構(gòu)側(cè)的個(gè)數(shù)多。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，具備與上述一對(duì)支腳部對(duì)應(yīng)地設(shè)置在上述底板的上述掃描電子顯微鏡主體的下表面?zhèn)鹊呢炌?；以及固定在上述掃描電子顯微鏡主體的底面上的多個(gè)緩沖器，由該多個(gè)緩沖器通過上述貫通孔與上述支腳部的內(nèi)壁面固定，使該支腳部具有振動(dòng)吸收性。
全文摘要
本發(fā)明想要解決的課題在于，在將電子顯微鏡主體、排氣系統(tǒng)、包括電源及空氣冷卻風(fēng)扇的控制系統(tǒng)設(shè)置在一個(gè)底板上的臺(tái)式電子顯微鏡中，獲得更高分辨率的圖像。本發(fā)明是將電子顯微鏡主體、對(duì)電子顯微鏡主體的內(nèi)部進(jìn)行排氣的排氣系統(tǒng)、及上述電子顯微鏡主體的控制系統(tǒng)配置在由底板及罩包圍而成的空間內(nèi)部的電子顯微鏡，其特征在于，上述控制系統(tǒng)配置在上述底板上，在上述底板上具有開口部，上述電子顯微鏡主體借助于通過上述開口部的緩沖器設(shè)置在設(shè)置有上述底板的地面上。通過防止由空氣冷卻風(fēng)扇等裝置內(nèi)部產(chǎn)生的振動(dòng)傳播到電子顯微鏡主體，能夠獲得更高分辨率的觀察圖像。
文檔編號(hào)H01J37/28GK102473577SQ20108003115
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月30日
發(fā)明者伊東佑博, 大沼滿, 大瀧智久, 安島雅彥, 小町章 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)