專(zhuān)利名稱(chēng)：一種毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明設(shè)計(jì)一種行波管零件的制備方法，具體涉及一種毫米波或小型化柵控行波管的柵網(wǎng)的制備方法。
背景技術(shù)：
行波管是一種靠調(diào)制電子注的速度來(lái)實(shí)現(xiàn)放大功能的微波電子管，行波管的特點(diǎn)是頻帶寬、增益高、動(dòng)態(tài)范圍大和噪聲低，行波管頻帶寬度(頻帶高低兩端頻率之差/中心頻率)可達(dá)100%以上，增益在25 70分貝范圍內(nèi)，低噪聲行波管的噪聲系數(shù)最低可達(dá)1 2分貝，因此現(xiàn)代行波管已成為雷達(dá)、電子對(duì)抗、中繼通信、衛(wèi)星通信、電視直播衛(wèi)星、導(dǎo)航、 遙感、遙控、遙測(cè)等電子設(shè)備的重要微波電子器件。毫米波行波管具有帶寬寬、波束窄、傳播受氣候的影響小、尺寸小易小型化等特點(diǎn)，其中柵網(wǎng)是毫米波行波管的重要零件，但是現(xiàn)有球面柵網(wǎng)的加工方法為機(jī)床沖壓成球面毛胚再用電火花加工柵網(wǎng)，這種方法制備得到的柵網(wǎng)大多有毛刺大，輪的同心度和對(duì)稱(chēng)度難以保證的缺點(diǎn)，且毫米波或小型化柵控行波管的柵網(wǎng)尺寸太小，輻條多，幾乎無(wú)法采用電火花加工。且現(xiàn)有技術(shù)柵網(wǎng)球面成型時(shí)由于工裝設(shè)計(jì)不合理，經(jīng)常導(dǎo)致柵網(wǎng)球冠的曲率半徑不正確或柵絲斷裂，合格率較低；且現(xiàn)有技術(shù)制備得到的柵網(wǎng)由于表面毛刺多，柵網(wǎng)打火幾率較大，裝配的行波管質(zhì)量不穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種操作性強(qiáng)，工藝設(shè)計(jì)合理，能制備尺寸小、柵網(wǎng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且表面無(wú)毛刺的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法。技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案為 一種毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，它包括以下步驟
(a)根據(jù)實(shí)際所需柵網(wǎng)大小設(shè)計(jì)平面柵網(wǎng)的尺寸，根據(jù)平面柵網(wǎng)尺寸選取柵網(wǎng)基材， 清除柵網(wǎng)基材表面的雜質(zhì)微粒，在柵網(wǎng)基材上以旋轉(zhuǎn)方式涂覆光刻膠，然后在真空狀態(tài)下 85 120°C熱板上烘焙3(Γ60秒(除去光刻膠部分溶劑，增強(qiáng)其黏附性，釋放光刻膠膜內(nèi)的應(yīng)力，防止光刻膠玷污設(shè)備)，然后將掩模板和光柵圖形對(duì)準(zhǔn)柵網(wǎng)基材上的光刻膠，然后用光學(xué)光刻機(jī)(高壓汞燈，它所產(chǎn)生的光為紫外光)曝光，曝光后采用旋覆浸沒(méi)方式進(jìn)行顯影，從而去除非聚合的光刻膠，顯影后在10(T200°C熱板上硬烘1至2分鐘(可以完全蒸發(fā)掉光刻膠里面的溶劑；堅(jiān)膜，以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力；進(jìn)一步增強(qiáng)光刻膠與基材表面之間的黏附性；進(jìn)一步減少駐波效應(yīng))，硬烘后采用反應(yīng)離子法或感應(yīng)耦合等離子法進(jìn)行刻蝕，刻蝕后去除基材表面的光刻膠，即可在基材上得到光柵圖形的平面柵網(wǎng)，備用；
(b)取步驟(a)得到的平面柵網(wǎng)進(jìn)行球面成型工藝，首先將下凹模(1)和銅基( 裝入基座(3)內(nèi)，然后將平面柵網(wǎng)放在銅基( 上，并將上凹模(4)壓在柵網(wǎng)上，并用壓緊螺釘[5]壓緊后放在電爐上加熱至320°C，然后把凸模(6)放入上凹模內(nèi)后迅速移至油壓機(jī)上，對(duì)凸模(6)上部施加2飛Mpa的壓力，并保壓1至2分鐘后卸載工裝，車(chē)削柵網(wǎng)外圓，并用鉻酸去除銅基，得到球冠形柵網(wǎng)，備用；
(c)取步驟(b)得到的球冠形柵網(wǎng)，進(jìn)行電解拋光處理，首先將柵網(wǎng)放入濃度為20%氫氧化鈉溶液中煮沸30至40分鐘去除柵網(wǎng)表面的油脂和氧化物，然后取出后將柵網(wǎng)浸入鉻酸纊12秒，然后取出柵網(wǎng)浸入在比例為1 :1 :1的水-氨水-雙氧水溶液中5至8分鐘去除柵網(wǎng)表面的黑色金屬熔融物，然后取出柵網(wǎng)在H2PO4-H2SO4-NiSO4-H2O的體系溶液中，以電壓 16至20伏，溫度20至50°C拋光2至15秒，拋光后再將柵網(wǎng)浸入鉻酸2至5秒，最后脫水， 烘干即得。作為優(yōu)選方案，以上所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，步驟(a)所述柵網(wǎng)基材為鉬或鉬錸，厚度可為0. 03、. 1mm，可以有效降低柵極溫度，降低柵極的電子發(fā)射。作為優(yōu)選方案，以上所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，步驟(a)所述的光刻膠為線性酚醛樹(shù)脂(酚醛甲醛)正性膠，涂覆的厚度可為0. 5^1. 5Mm。作為優(yōu)選方案，以上所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，步驟(a)顯影所用的顯影液為四甲基氫氧化銨。作為優(yōu)選方案，以上所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，步驟(a)采用光學(xué)光刻機(jī)接觸式曝光(即掩膜板直接與光刻膠層接觸曝光)，或者采用投影式曝光(掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實(shí)現(xiàn)曝光)。作為優(yōu)選方案，以上所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，步驟(b)在安裝工裝前先將銅基置于燒氫爐在850°c燒氫退火處理20分鐘，這樣可以降低銅基的硬度。本發(fā)明在步驟(b)中設(shè)計(jì)柵網(wǎng)球面成型的專(zhuān)用工裝，且本發(fā)明對(duì)柵網(wǎng)球冠成型時(shí)的壓力進(jìn)行篩選，因?yàn)閴毫^(guò)小柵網(wǎng)達(dá)不到所需的球冠高度，但是壓力過(guò)大，球冠易變形，本發(fā)明經(jīng)過(guò)優(yōu)選得到球面成型的最佳壓力范圍為2 5Mpa，更優(yōu)選4. 5 5Mpa，并保壓1分鐘可以得到優(yōu)良的球面柵網(wǎng)，成型后的柵網(wǎng)直邊平整，柵絲無(wú)斷裂，柵網(wǎng)球冠的曲率半徑精確度高，性能好， 未出現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)成型時(shí)橢圓球冠現(xiàn)象，合格率提升1倍多。作為優(yōu)選方案，以上所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，步驟(C)所述的 H3PO4-H2SO4-NiSO4-H2O 的體系溶液組成為H3P0440(T450ml，H2SO4150 200ml，NiS044(T60g， H20150 200ml。本發(fā)明采用穩(wěn)壓的方式對(duì)球形柵網(wǎng)進(jìn)行拋光處理，根據(jù)R=PL/S，(P表示材料的系數(shù)，L表示柵網(wǎng)距陽(yáng)極的距離，S表示柵網(wǎng)的面積)，U=IR，I正比于S，
即其它因素不變的情況下，柵網(wǎng)面積越大，電流越大，電流大柵絲產(chǎn)熱量大，本發(fā)明通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)篩選柵網(wǎng)電解拋光的最佳電壓范圍為16至20伏，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)電壓小于 16伏時(shí)，柵網(wǎng)表面的毛刺不能充分去除，柵網(wǎng)的拋光效果差，任然存在打火隱患，但是電壓大于20伏時(shí)，電流過(guò)大，細(xì)的柵絲容易燒斷，因此本發(fā)明電解拋光柵網(wǎng)的最佳電壓為16 20 伏，優(yōu)選18伏。拋光時(shí)間和柵網(wǎng)余量有關(guān)，同時(shí)本發(fā)明對(duì)拋光時(shí)間進(jìn)行了優(yōu)選，因?yàn)閽伖鈺r(shí)間太長(zhǎng)，腐蝕量太大，柵絲易斷，但拋光時(shí)間太短，同樣達(dá)不到拋光的效果，本發(fā)明經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)比較，篩選出最佳的拋光時(shí)間為纊15秒，更加優(yōu)選4至5秒，不僅能完全去除毛刺，柵網(wǎng)的拋光效果好，且不會(huì)損壞柵絲。
同時(shí)拋光溫度也影響拋光效果的重要因素，因?yàn)閽伖鉁囟冗^(guò)低，柵網(wǎng)表面拋光不均勻，嚴(yán)重時(shí)柵網(wǎng)表面會(huì)出現(xiàn)花斑，但是溫度過(guò)高，拋光太劇烈，產(chǎn)生的氣泡使柵網(wǎng)的表面產(chǎn)生麻點(diǎn)，影響柵網(wǎng)的性能，本發(fā)明經(jīng)過(guò)大量實(shí)驗(yàn)篩選出柵網(wǎng)的最佳拋光溫度為25 5(TC， 更加優(yōu)選30至45°C。本發(fā)明提供的電解拋光液，組分中磷酸是主要成分，它在拋光過(guò)程中既起溶解作用又能夠在柵網(wǎng)表面形成磷酸鹽保護(hù)膜，從而可以起到避免表面發(fā)生過(guò)度溶解，并且可以抑制腐蝕的發(fā)生同時(shí)又可以增加溶液的黏稠度使表面形成黏膜層的作用。組分中硫酸有助于提高電拋光液的電導(dǎo)率，提高分散能力和陽(yáng)極電流效率，且硫酸有利于金屬表面的溶解整平，改善表面的粗糙度和拋光質(zhì)量。而組分中的硫酸鉬有助于提高拋光液的導(dǎo)電能力和緩沖腐蝕的作用，以上各組份的配比經(jīng)正交實(shí)驗(yàn)篩選確定，在鉬柵網(wǎng)電解拋光過(guò)程中拋光效果好。有益效果本發(fā)明提供的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)
1、本發(fā)明提供的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，可操作性強(qiáng)，工藝設(shè)計(jì)合理，首先應(yīng)用光刻技術(shù)在柵網(wǎng)基材上刻蝕得到所需要形狀的平面柵網(wǎng)，然后采用專(zhuān)用的球面成型模具將平面柵網(wǎng)加工成型得到球冠形柵網(wǎng)，成型后的球面柵網(wǎng)拉伸量小、直邊平整，柵絲無(wú)斷裂，柵網(wǎng)球冠的曲率半徑精確度高，性能好；最后再采用優(yōu)選方案，對(duì)柵網(wǎng)進(jìn)行拋光處理，可以有效去掉柵網(wǎng)表面的毛刺，減少柵網(wǎng)的打火幾率，提高柵網(wǎng)的性能。2、本發(fā)明提供的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，可以加工制備尺寸小，材料薄、 柵網(wǎng)形狀復(fù)雜、有特殊尺寸要求的球面柵網(wǎng)，如網(wǎng)格柵、蜂窩柵、孔柵等，制備得到的柵網(wǎng)能裝配毫米波或小型化的行波管，具有重要的應(yīng)用價(jià)值。


圖1為本發(fā)明所述的柵網(wǎng)球面成型時(shí)所用到的工裝模具的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明所述的方法制備得到的毫米波行波管的散射狀柵網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明所述的方法制備得到的毫米波行波管的20等分柵網(wǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。實(shí)施例1毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備
(a)設(shè)計(jì)平面柵網(wǎng)的尺寸，根據(jù)平面柵網(wǎng)尺寸選取厚度為0.06mm的柵網(wǎng)鉬基材，清除柵網(wǎng)鉬基材表面的雜質(zhì)微粒，在柵網(wǎng)鉬基材表面以旋轉(zhuǎn)方式(500轉(zhuǎn)/分鐘低速旋轉(zhuǎn)、滴膠、 3000轉(zhuǎn)/分鐘加速旋轉(zhuǎn)、甩膠、揮發(fā)溶劑)涂覆厚度為IMffl的線性酚醛樹(shù)脂正性光刻膠，然后在真空狀態(tài)下110°C熱板上烘焙30秒，然后將掩模板和散射狀光柵圖形對(duì)準(zhǔn)柵網(wǎng)鉬基材上的光刻膠，然后用光學(xué)光刻機(jī)(高壓汞燈)投影式曝光處理，曝光后采用旋覆浸沒(méi)方式(噴覆足夠的顯影液到基材表面，并形成水坑形狀使顯影液的流動(dòng)保持較低，以減少邊緣顯影速率的變化，基材固定或慢慢旋轉(zhuǎn)，采用多次旋覆顯影液第一次涂覆、保持1(Γ30秒、去除； 第二次涂覆、保持、去除，最后用去離子水沖洗旋轉(zhuǎn)甩干)進(jìn)行顯影(顯影所用的顯影液為四甲基氫氧化銨)，從而去除非聚合的光刻膠，顯影后在150°C熱板上硬烘2分鐘，硬烘后采用感應(yīng)耦合等離子法進(jìn)行刻蝕，刻蝕后去除鉬基材表面上剩余的光刻膠，得到散射狀的平面柵網(wǎng)，備用；
(b)如圖1所示，取步驟(a)得到的平面柵網(wǎng)進(jìn)行球面成型工藝，首先將銅基(2)置于燒氫爐在850°C燒氫退火處理20分鐘，然后將下凹模(1)和銅基⑵裝入基座(3)內(nèi)，然后將平面柵網(wǎng)放在銅基( 上，并將上凹模(4)壓在柵網(wǎng)上，并用壓緊螺釘( 壓緊后放在電爐上加熱至320°C，然后把凸模(6)放入上凹模內(nèi)后迅速移至油壓機(jī)上，對(duì)凸模(6)上部施加4. 5Mpa的壓力，并保壓1分鐘后卸載工裝，車(chē)削柵網(wǎng)外圓，并用鉻酸去除銅基(2)，得到球冠形柵網(wǎng)，備用；
(c)取步驟(b)得到的球冠形柵網(wǎng)，進(jìn)行電解拋光處理，首先將柵網(wǎng)放入濃度為20%氫氧化鈉溶液中煮沸30分鐘去除柵網(wǎng)表面的油脂和氧化物，然后取出后將柵網(wǎng)浸入鉻酸10 秒，然后取出柵網(wǎng)浸入在比例為1 :1 1的水-氨水-雙氧水溶液中8分鐘去除柵網(wǎng)表面的黑色金屬熔融物，然后取出柵網(wǎng)在&P04-H2S04-NiSO4-H2O的體系溶液中，以電壓18伏，溫度 35°C拋光4秒，拋光后再將柵網(wǎng)浸入鉻酸2秒，最后脫水，烘干即得厚度為0. 06mm，表面無(wú)毛刺散射狀的毫米波行波管的球面柵網(wǎng)，結(jié)構(gòu)如圖2所示。以上步驟(c)所述的H3PO4-H2SO4-NiSO4-H2O 的體系溶液組成為=H3PO4 450ml,H2SO4 200ml, NiSO4 60g, H2O 200ml。實(shí)施例2毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備
(a)設(shè)計(jì)平面柵網(wǎng)的尺寸，根據(jù)平面柵網(wǎng)尺寸選取厚度為0.08mm的柵網(wǎng)鉬錸基材，清除柵網(wǎng)鉬錸基材表面的雜質(zhì)微粒，在柵網(wǎng)鉬基材表面以旋轉(zhuǎn)方式涂(500轉(zhuǎn)/分鐘低速旋轉(zhuǎn)、滴膠、3000轉(zhuǎn)/分鐘加速旋轉(zhuǎn)、甩膠、揮發(fā)溶劑)覆厚度為0. 6Mffl的線性酚醛樹(shù)脂正性光刻膠，然后在真空狀態(tài)下120°C熱板上烘焙30秒，然后將掩模板和20等分光柵圖形對(duì)準(zhǔn)柵網(wǎng)鉬基材上的光刻膠，然后用光學(xué)光刻機(jī)(高壓汞燈)投影式曝光處理，曝光后采用旋覆浸沒(méi)方式(噴覆足夠的顯影液到基材表面，并形成水坑形狀使顯影液的流動(dòng)保持較低，以減少邊緣顯影速率的變化，基材固定或慢慢旋轉(zhuǎn)，采用多次旋覆顯影液第一次涂覆、保持 10^30秒、去除；第二次涂覆、保持、去除，最后用去離子水沖洗旋轉(zhuǎn)甩干)進(jìn)行顯影(顯影所用的顯影液為四甲基氫氧化銨)，從而去除非聚合的光刻膠，顯影后在200°C熱板上硬烘1 分鐘，硬烘后采用感應(yīng)耦合等離子法進(jìn)行刻蝕，刻蝕后去除鉬錸基材表面上剩余的光刻膠， 得到20等分形狀的平面柵網(wǎng)，備用；
(b)取步驟(a)得到的平面柵網(wǎng)進(jìn)行球面成型工藝，首先將下凹模(1)和銅基( 裝入基座(3)內(nèi)，然后將平面柵網(wǎng)放在銅基( 上，并將上凹模(4)壓在柵網(wǎng)上，并用壓緊螺釘 (5)壓緊后放在電爐上加熱至320°C，然后把凸模(6)放入上凹模內(nèi)后迅速移至油壓機(jī)上，對(duì)凸模(6)上部施加3Mpa的壓力，并保壓2分鐘后卸載工裝，車(chē)削柵網(wǎng)外圓，并用鉻酸去除銅基O)，得到球冠形柵網(wǎng)，備用；
(c)取步驟(b)得到的球冠形柵網(wǎng)，進(jìn)行電解拋光處理，首先將柵網(wǎng)放入濃度為20% 氫氧化鈉溶液中煮沸40分鐘去除柵網(wǎng)表面的油脂和氧化物，然后取出后將柵網(wǎng)浸入鉻酸8 秒，然后取出柵網(wǎng)浸入在比例為1 :1 1的水-氨水-雙氧水溶液中6分鐘去除柵網(wǎng)表面的黑色金屬熔融物，然后取出柵網(wǎng)在H2PO4-H2SO4-NiSO4-H2O的體系溶液中，以電壓20伏，溫度 50°C拋光6秒，拋光后再將柵網(wǎng)浸入鉻酸4秒，最后脫水，烘干即得20等分，厚度為0. 08mm,表面無(wú)毛刺的毫米波行波管的球面柵網(wǎng)，結(jié)構(gòu)如圖3所示。以上步驟(c)所述的H3PO4-H2SO4-NiSO4-H2O 的體系溶液組成為=H3PO4 400ml,H2SO4 150ml, NiSO4 40g, H2O 150ml。經(jīng)本發(fā)明提供的方法制備得到的毫米波行波管的柵網(wǎng)，精密度高，性能穩(wěn)定，裝配得到的毫米波行波管柵極的電子發(fā)射低，柵網(wǎng)打火幾率低，穩(wěn)定性好。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，它包括以下步驟(a)設(shè)計(jì)平面柵網(wǎng)的尺寸，根據(jù)平面柵網(wǎng)尺寸選取柵網(wǎng)基材，清除柵網(wǎng)基材表面的雜質(zhì)微粒，在柵網(wǎng)基材上以旋轉(zhuǎn)方式涂覆光刻膠，然后在真空狀態(tài)下85 120°C熱板上烘焙 3(Γ60秒，然后將掩模板和光柵圖形對(duì)準(zhǔn)柵網(wǎng)基材上的光刻膠，然后用光學(xué)光刻機(jī)曝光，曝光后采用旋覆浸沒(méi)方式進(jìn)行顯影，從而去除非聚合的光刻膠，顯影后在10(T20(TC熱板上硬烘1至2分鐘，硬烘后采用反應(yīng)離子法或感應(yīng)耦合等離子法進(jìn)行刻蝕，刻蝕后去除光刻膠， 得到平面柵網(wǎng)，備用；(b)取步驟(a)得到的平面柵網(wǎng)進(jìn)行球面成型工藝，首先將下凹模(1)和銅基( 裝入基座(3)內(nèi)，然后將平面柵網(wǎng)放在銅基( 上，并將上凹模(4)壓在柵網(wǎng)上，并用壓緊螺釘 (5)壓緊后放在電爐上加熱至320°C，然后把凸模(6)放入上凹模內(nèi)后迅速移至油壓機(jī)上，對(duì)凸模(6)上部施加2飛Mpa的壓力，并保壓1至2分鐘后卸載工裝，車(chē)削柵網(wǎng)外圓，并用鉻酸去除銅基O)，得到球冠形柵網(wǎng)，備用；(c)取步驟(b)得到的球冠形柵網(wǎng)，進(jìn)行電解拋光處理，首先將柵網(wǎng)放入濃度為20%氫氧化鈉溶液中煮沸30至40分鐘去除柵網(wǎng)表面的油脂和氧化物，然后取出后將柵網(wǎng)浸入鉻酸纊12秒，然后取出柵網(wǎng)浸入在比例為1 :1 :1的水-氨水-雙氧水溶液中5至8分鐘去除柵網(wǎng)表面的黑色金屬熔融物，然后取出柵網(wǎng)在H2PO4-H2SO4-NiSO4-H2O的體系溶液中，以電壓 16至20伏，溫度25至50°C拋光2至15秒，拋光后再將柵網(wǎng)浸入鉻酸2至5秒，最后脫水， 烘干即得。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，步驟(a)所述柵網(wǎng)基材為鉬或鉬錸，厚度為0. 03、. 1mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，步驟(a)所述的光刻膠為線性酚醛樹(shù)脂正性膠，涂覆的厚度0. 5^1. 5Mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，步驟(a)顯影所用的顯影液為四甲基氫氧化銨。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，步驟(a)采用光學(xué)光刻機(jī)接觸式曝光或投影式曝光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，步驟(b)在安裝工裝前先將銅基( 置于燒氫爐在850°C燒氫退火處理20分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，其特征在于，步驟(c) 所述的 H3PO4-H2SO4-NiSO4-H2O 的體系溶液組成為:H3P04400 450ml，H2S0415(T200ml， NiS0440 60g，H20150 200ml。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，該方法首先應(yīng)用光刻技術(shù)在柵網(wǎng)基材上刻蝕得到所需要形狀的平面柵網(wǎng)，然后采用專(zhuān)用的球面成型模具將平面柵網(wǎng)加工成型得到球冠形柵網(wǎng)，最后再對(duì)柵網(wǎng)進(jìn)行拋光處理得到。本發(fā)明提供的毫米波行波管的柵網(wǎng)的制備方法，可操作性強(qiáng)，工藝設(shè)計(jì)合理，可以加工制備尺寸小，材料薄、柵網(wǎng)形狀復(fù)雜、有特殊尺寸要求的球面柵網(wǎng)，所制備得到的柵網(wǎng)表面無(wú)毛刺，柵網(wǎng)的打火幾率低，柵網(wǎng)合格率高，性能穩(wěn)定，具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
文檔編號(hào)H01J9/16GK102184821SQ20111009055
公開(kāi)日2011年9月14日 申請(qǐng)日期2011年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月12日
發(fā)明者劉洋, 吳亞琴, 朱軍方 申請(qǐng)人:南京三樂(lè)電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司