專利名稱:顯示器的抽真空裝置及抽真空方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是有關(guān)于顯示器,尤指ー種可長久維持顯示器內(nèi)部具有高真空度的顯示器的抽真空裝置及抽真空方法。
背景技術(shù):
顯示器是用于顯示圖像及色彩的電子產(chǎn)品,又顯示器依據(jù)顯像原理的不同而區(qū)分有多種類型,其中使用柵控電子槍(control gate electron gun)進(jìn)行顯像的為真空顯示器,例如場發(fā)射顯示器(field emission display ;FED),請(qǐng)參見圖7所示,為中國臺(tái)灣新型專利公告號(hào)第M296465號(hào)“場發(fā)射顯示器的真空氣導(dǎo)結(jié)構(gòu)”專利案,其真空顯示器70主要結(jié)構(gòu)具有相互結(jié)合的一陰極板71及一陽極板72,該陰極板71與該陽極板72之間形成有一腔室73,陰極板71穿設(shè)有連通于該腔室73的一抽氣孔74,于腔室73中且相鄰該抽氣孔74處設(shè)有吸氣劑(getter) 75,又腔室73呈現(xiàn)真空狀態(tài),藉以避免電子槍發(fā)射出的電子撞擊 至氣體而產(chǎn)生離子化并造成內(nèi)部元件毀損?,F(xiàn)有技術(shù)的顯示器的抽真空方法,其步驟是依序進(jìn)行加熱排氣エ藝(exhaustprocess)及老練エ藝(aging process),首先,于真空顯示器70外部相對(duì)于抽氣孔74處連接有一管體76,該管體76另端連接于一真空泵80,將真空顯不器70設(shè)置于一加熱排氣臺(tái)(圖中未示)上加熱,使真空顯示器70內(nèi)部元件在高溫下釋出氣體,并由真空泵80抽走,且吸氣劑75在高溫下將同時(shí)進(jìn)行活化(activation)釋出氣體,同樣由真空泵80抽走,持續(xù)數(shù)小時(shí)后,即完成加熱排氣エ藝;接下來的步驟為進(jìn)行老練エ藝,將真空顯示器70連接有電源,使陰極板71產(chǎn)生高動(dòng)能電子束撞擊至陽極板72,陽極板72會(huì)釋出氣體并經(jīng)該管體76由真空泵80抽走,持續(xù)數(shù)天后,當(dāng)陽極板72不再釋出氣體,即完成老練エ藝,最后,將抽氣孔74封閉,且通過活化后的吸氣劑75具有吸氣能力,可吸收真空顯示器70內(nèi)部的微量殘余氣體,由于此類殘余氣體為吸附カ較強(qiáng)的氣體或封閉抽氣孔74時(shí)逸入的氣體經(jīng)由吸氣劑75的作用后,進(jìn)而以確保真空顯示器70內(nèi)部具有高真空度。然而,上述的抽真空裝置及使用的抽真空方法存在有以下的缺點(diǎn)I.吸氣劑75于加熱排氣エ藝時(shí)即進(jìn)行活化而具有吸氣能力,故老練エ藝時(shí)陽極板72釋出的氣體除了會(huì)被真空泵80抽走外,亦同時(shí)會(huì)被吸氣劑75所吸收,當(dāng)吸氣劑75的吸氣量到達(dá)一定程度,吸氣劑75即呈飽和狀態(tài)進(jìn)而將喪失吸氣能力且容易碎裂,因此,完成老練エ藝時(shí),吸氣劑75可能就已喪失吸氣能力而無法吸收真空顯示器70內(nèi)部所釋出的微量殘余氣體,進(jìn)而影響真空顯示器70內(nèi)部的真空度,使得產(chǎn)品良率降低且使用壽命縮短。2.由于抽真空作業(yè)全程皆需仰賴加熱排氣臺(tái),故同一時(shí)間能進(jìn)行抽真空作業(yè)的真空顯示器70將受到加熱排氣臺(tái)數(shù)量的限制,因而影響生產(chǎn)效率,往往無法滿足所需產(chǎn)能,又加熱排氣臺(tái)的價(jià)格昂貴,使得抽真空作業(yè)的成本居高不下
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于前述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種顯示器的抽真空裝置及抽真空方法,通過設(shè)計(jì)有第一吸氣劑及第ニ吸氣劑,并于第二吸氣劑活化后,再將第一吸氣劑予以活化,進(jìn)而得以長久確保顯示器內(nèi)部具有高真空度。為達(dá)到前述的發(fā)明目的,本發(fā)明所設(shè)計(jì)的顯示器的抽真空裝置包括有一第一吸氣単元、一第二吸氣單元以及ー離子泵,其中該第一吸氣單元具有一第一殼體,該第一殼體內(nèi)部設(shè)置有第一吸氣劑;該第二吸氣單兀具有一第二殼體,該第二殼體內(nèi)部設(shè)置有第二吸氣劑;該離子泵具有一真空顯示儀,該離子泵與第一吸氣單元及第ニ吸氣單元連接,使第一殼體內(nèi)部、第二殼體內(nèi)部與離子泵相互連通。所述的顯示器的抽真空裝置,其中該第一殼體以金屬制成并具有ー開ロ,于該開ロ周緣處間隔設(shè)有兩絕緣環(huán),該兩絕緣環(huán)之間設(shè)有ー電極環(huán),該第一吸氣劑設(shè)有兩電扱,該第一吸氣劑以其所設(shè)的兩電極分別與電極環(huán)及第一殼體構(gòu)成電連接。所述的顯示器的抽真空裝置,其中該第二殼體以金屬制成并具有兩半部殼體,該兩半部殼體之間設(shè)有一絕緣環(huán),該第二吸氣劑設(shè)有兩電極,第二吸氣劑以其所設(shè)的兩電極 分別與第二殼體的兩半部殼體構(gòu)成電連接。所述的顯示器的抽真空裝置,其中該第一殼體外部連接有一第一管體;該第二殼體外部連接有一第二管體;該離子泵外部連接有一第三管體,該離子泵以該第三管體分別連接于第一管體及第ニ管體。所述的顯示器的抽真空裝置,其中該第一殼體外部連接有一第一管體;該第二殼體外部連接有一第二管體;該離子泵外部連接有一第三管體,該離子泵以該第三管體連接于第二管體,而第二管體連接于第一管體。一種顯示器的抽真空方法,其步驟包括加熱排氣エ藝抽真空裝置以第一吸氣単元與顯示器連接,且第一殼體的開ロ對(duì)應(yīng)于顯示器的抽氣孔,將顯示器與抽真空裝置設(shè)置于ー加熱排氣臺(tái)上,該加熱排氣臺(tái)由一加熱罩及一真空抽氣系統(tǒng)所組成,該加熱罩罩設(shè)于顯示器與抽真空裝置外側(cè),該真空抽氣系統(tǒng)與離子泵連接,利用加熱罩對(duì)顯示器加熱,使顯示器內(nèi)部元件在高溫下釋出氣體,并由真空抽氣系統(tǒng)抽走;第二吸氣劑活化于第二吸氣單元連接通有可分離的電源,使第二吸氣單元連接的該電源、第二殼體的兩半部殼體與第二吸氣劑構(gòu)成電流回路,并以電流加熱活化第二吸氣劑,第二吸氣劑于活化時(shí),所釋出的氣體由真空抽氣系統(tǒng)抽走,于第二吸氣劑完全活化后,將第二吸氣單元上的電源撤去;老練エ藝將顯示器自加熱排氣臺(tái)取下,于顯示器連接通有可分離的電源,使顯示器釋出氣體并由第二吸氣劑吸收,當(dāng)離子泵的真空度顯示儀所顯示的真空度為良好吋,即完成老練エ藝,并將顯示器上的電源撤去;第一吸氣劑活化于第一吸氣單元連接通有可分離的電源,使第一吸氣單元連接的該電源、第一殼體及電極環(huán)與第一吸氣劑構(gòu)成電流回路,并以電流加熱活化第一吸氣劑,第一吸氣劑于活化時(shí),所釋出的氣體由第二吸氣劑所吸收,當(dāng)離子泵的真空度顯示儀所顯示的真空度為良好時(shí),即完成第一吸氣劑活化,并將第一吸氣劑上的電源撤去;最終剪管將第一管體剪斷,使第二吸氣單元及離子泵與第一吸氣單元分離,利用第一吸氣劑吸收顯示器內(nèi)部所釋出的微量殘余氣體。本發(fā)明所提供的顯示器的抽真空裝置及抽真空方法,可以獲得的優(yōu)點(diǎn)及功效增進(jìn)至少包括I.于加熱排氣エ藝完成后,將第二吸氣劑予以活化,利用第二吸氣劑吸收顯示器于老練エ藝中所釋放的氣體,此時(shí)第一吸氣劑尚未被活化故不具吸氣能力,老練エ藝完成后,再將第一吸氣劑予以活化,此時(shí)剛活化完成的第一吸氣劑具有強(qiáng)大的吸氣能力可吸收顯示器內(nèi)部釋出的微量殘余氣體,故顯示器內(nèi)部得以長久維持高真空度,使得產(chǎn)品良率提升且使用壽命獲得延長。2.于進(jìn)行老練エ藝時(shí)不需仰賴加熱排氣臺(tái),可將顯示器自加熱排氣臺(tái)取下并搬移到任意適當(dāng)?shù)膱鏊?,利用活化后的第二吸氣劑具有?qiáng)大的吸氣能力即可吸收顯示器于老練エ藝中所釋放的氣體,故顯示器的老練エ藝將不再受加熱排氣臺(tái)數(shù)量的限制,大量的顯示器可于同一時(shí)間進(jìn)行老練エ藝,進(jìn)而提升生產(chǎn)效率,并確實(shí)滿足所需產(chǎn)能,又吸氣劑的價(jià)格低廉,可使抽真空作業(yè)的成本有效降低。
圖I是本發(fā)明的抽真空裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明的抽真空方法的加熱排氣エ藝示意圖。圖3是本發(fā)明的抽真空方法的第二吸氣劑活化示意圖。圖4是本發(fā)明的抽真空方法的老練エ藝及第一吸氣劑活化示意圖。圖5是本發(fā)明的抽真空方法的最終剪管示意圖。圖6是本發(fā)明的抽真空裝置另ー實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖7是現(xiàn)有技術(shù)的抽真空裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)號(hào)10第一吸氣單元11第一殼體12第一吸氣劑121、121A電極13、13A絕緣環(huán)14電極環(huán)15第一管體20第二吸氣單元21第二殼體22第二吸氣劑221、22IA 電極23 絕緣環(huán)24第二管體30離子泵31真空顯示儀32第三管體40顯不器41抽氣孔50加熱排氣臺(tái)51加熱罩52真空抽氣系統(tǒng)521離子泵522渦輪泵523無油粗抽泵61、62、63電源70真空顯示器71陰極板7 2陽極板73腔室74抽氣孔75吸氣劑76管體80真空泵
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參見圖I所示,本發(fā)明的顯示器的抽真空裝置包括有一第一吸氣單元10、一第ニ吸氣單元20以及ー離子泵(ion pump) 30,其中該第一吸氣單元10具有一中空金屬材質(zhì)制成的第一殼體11,該第一殼體11內(nèi)部設(shè)置有第一吸氣劑12,該第一吸氣劑12設(shè)有兩電極121U21A,第一殼體11具有ー開ロ,于該開ロ周緣處間隔設(shè)有兩陶瓷絕緣環(huán)13、13A,該兩絕緣環(huán)13、13A之間設(shè)有一金屬電極環(huán)
14,第一吸氣劑12是以其所設(shè)的兩電極121、121A分別與電極環(huán)14及第ー殼體11構(gòu)成電連接,且第一吸氣劑12亦以其所設(shè)的兩電極121U21A分別與電極環(huán)14及第ー殼體11連接,第一吸氣劑12未與電極環(huán)14及第ー殼體11接觸,使得該第一吸氣劑12以懸空形態(tài)設(shè)置于第一殼體11內(nèi)部,又第一殼體11外部連接有一金屬材質(zhì)制成的第一管體15,使得第一殼體11的內(nèi)部與該第一管體15的內(nèi)部為相通。該第二吸氣單兀20具有一中空金屬材質(zhì)制成的第二殼體21,該第二殼體21內(nèi)部設(shè)置有第二吸氣劑22,該第二吸氣劑22設(shè)有兩電極221、221A,第二殼體21具有兩半部殼體,該兩半部殼體之間設(shè)有ー陶瓷絕緣環(huán)23,使得該兩半部殼體不相互電導(dǎo)通,第二吸氣劑 22是以其所設(shè)的兩電極221、221A分別與第二殼體21的兩半部殼體構(gòu)成電連接,且第二吸氣劑22亦以其所設(shè)的兩電極221、221A分別與第二殼體21的兩半部殼體電連接,第二吸氣劑22未與第二殼體21的兩半部殼體接觸,使得該第二吸氣劑22以懸空形態(tài)設(shè)置于第二殼體21內(nèi)部,又第二殼體21外部連接有一金屬材質(zhì)制成的第二管體24,使得第一殼體21的內(nèi)部與該第二管體24的內(nèi)部為相通。該離子泵30具有一真空顯示儀31,且離子泵30外部連接有一第三管體32,于圖中所示的具體實(shí)施例,該離子泵30是以該第三管體32分別連接于第一管體15及第ニ管體24,使第一殼體11內(nèi)部、第二殼體21內(nèi)部與尚子泵30相互連通,請(qǐng)參見圖6所不,該尚子泵30亦可以該第三管體32連接于第二管體24,而第二管體24連接于第一管體15,使第一殼體11內(nèi)部、第二殼體21內(nèi)部與離子泵30相互連通。本發(fā)明的顯示器的抽真空方法,其步驟流程如下I.加熱排氣エ藝本發(fā)明的抽真空裝置以第一吸氣單元10與組裝完成的顯示器40連接,請(qǐng)參見圖I所示,且以第一殼體11的開ロ對(duì)應(yīng)于顯示器40的抽氣孔41,再請(qǐng)參見圖2所示,將顯示器40與本發(fā)明的抽真空裝置設(shè)置于一加熱排氣臺(tái)50上,該加熱排氣臺(tái)50由一加熱罩51及一真空抽氣系統(tǒng)52所組成,該加熱罩51罩設(shè)于顯不器40與本發(fā)明的抽真空裝置外側(cè),該真空抽氣系統(tǒng)52與真空裝置的離子泵30連接,該真空抽氣系統(tǒng)52設(shè)有相互連接的一離子泵521、一潤輪泵(turbo pump) 522及ー無油粗抽泵(oil-free roughingpump) 523,該加熱排氣臺(tái)50的組成構(gòu)件均為現(xiàn)有技術(shù),故不再詳加描述,利用加熱罩51對(duì)顯示器40加熱,使顯示器40內(nèi)部元件在高溫下釋出氣體,并由真空抽氣系統(tǒng)52抽走;圖中所示為使用小規(guī)格的加熱排氣臺(tái)50,本發(fā)明的另ー實(shí)施例,若欲實(shí)施在多個(gè)顯示器40吋,可使用規(guī)格較大的加熱排氣臺(tái)50,以同時(shí)對(duì)多個(gè)顯示器40進(jìn)行加熱排氣。2.第二吸氣劑活化請(qǐng)參見圖3所示,于第二吸氣單元20連接通有可分離的電源61,使連接的該電源61、第二殼體21的兩半部殼體與第二吸氣劑22構(gòu)成電流回路,并以電流加熱活化第二吸氣劑22,第二吸氣劑22于活化時(shí),所釋出的氣體由真空抽氣系統(tǒng)52抽走,于第二吸氣劑22完全活化后,將電源61撤去而與第二吸氣劑22形成沒有電連接。3.老練工藝將顯示器40自加熱排氣臺(tái)50取下,請(qǐng)參見圖4所示,于顯示器40上連接通有可分離的電源62,使顯示器40釋出氣體并由經(jīng)活化后的第二吸氣劑22吸收,且當(dāng)離子泵30的真空度顯示儀31所顯示的真空度為良好時(shí),代表不再有氣體釋放,即完成老練エ藝,并將電源62撤去而與顯示器40形成沒有電連接。4.第一吸氣劑活化于第一吸氣單元10連接通有可分離的電源63,使連接的該電源63、第一殼體11及電極環(huán)14與第一吸氣劑12構(gòu)成電流回路,并以電流加熱活化第一吸氣劑12,第一吸氣劑12于活化時(shí),所釋出的氣體由第二吸氣劑22所吸收,且當(dāng)離子泵30的真空度顯示儀31所顯示的真空度為良好吋,即完成第一吸氣劑11活化,并將電源63撤去而與第一吸氣劑12形成沒有電連接。5.最終剪管請(qǐng)參見圖5所示,將第一管體15剪斷,使第二吸氣單元20及離子泵30與第一吸氣單元10分離,利用經(jīng)活化后的第一吸氣劑12具有吸氣能力,可吸收顯示器40內(nèi)部所釋出的微量殘余氣體,進(jìn)而長久維持顯示器40內(nèi)部具有高真空度。本發(fā)明于加熱排氣エ藝完成后,將第二吸氣劑22予以活化,利用第二吸氣劑22吸 收顯示器40于老練エ藝中所釋放的氣體,于老練エ藝完成后,再將第一吸氣劑12予以活化,此時(shí)剛活化完成的第一吸氣劑12具有強(qiáng)大的吸氣能力可吸收顯示器40內(nèi)部的微量殘余氣體,故顯示器40內(nèi)部得以長久維持高真空度,進(jìn)而使得產(chǎn)品良率提升且使用壽命獲得延長。
權(quán)利要求
1.一種顯示器的抽真空裝置,其特征在于,所述真空顯示器的抽真空裝置包括一第一吸氣單元、一第二吸氣單元以及ー離子泵,其中 所述第一吸氣單元具有一第一殼體,所述第一殼體內(nèi)部設(shè)置有第一吸氣劑; 所述第二吸氣單元具有一第二殼體,所述第二殼體內(nèi)部設(shè)置有第二吸氣劑; 所述離子泵具有一真空顯示儀,所述離子泵與第一吸氣單元及第ニ吸氣單元連接,使第一殼體內(nèi)部、第二殼體內(nèi)部與離子泵相互連通。
2.如權(quán)利要求I所述的顯示器的抽真空裝置,其特征在于,所述第一殼體以金屬制成并具有ー開ロ,于所述開ロ周緣處間隔設(shè)有兩絕緣環(huán),所述兩絕緣環(huán)之間設(shè)有一電極環(huán),所述第一吸氣劑設(shè)有兩電極,所述第一吸氣劑以其所設(shè)的兩電極分別與電極環(huán)及第一殼體構(gòu)成電連接。
3.如權(quán)利要求I所述的顯示器的抽真空裝置,其特征在于,所述第二殼體以金屬制成并具有兩半部殼體,所述兩半部殼體之間設(shè)有一絕緣環(huán),所述第二吸氣劑設(shè)有兩電極,第二吸氣劑以其所設(shè)的兩電極分別與第二殼體的兩半部殼體構(gòu)成電連接。
4.如權(quán)利要求2所述的顯示器的抽真空裝置,其特征在于,所述第二殼體以金屬制成并具有兩半部殼體,所述兩半部殼體之間設(shè)有一絕緣環(huán),所述第二吸氣劑設(shè)有兩電極,第二吸氣劑以其所設(shè)的兩電極分別與第二殼體的兩半部殼體構(gòu)成電連接。
5.如權(quán)利要求I至4中任ー權(quán)利要求所述的顯示器的抽真空裝置,其特征在于所述第一殼體外部連接有一第一管體;所述第二殼體外部連接有一第二管體;所述離子泵外部連接有一第三管體,所述離子泵以所述第三管體分別連接于第一管體及第ニ管體。
6.如權(quán)利要求I至4中任一所述的顯示器之抽真空裝置,其中所述第一殼體外部連接有一第一管體;所述第二殼體外部連接有一第二管體;所述離子泵外部連接有一第三管體,所述離子泵以所述第三管體連接于第二管體,而第二管體連接于第一管體。
7.—種顯示器的抽真空方法,其其特征咋樣,所述的顯示器的抽真空方法包括 加熱排氣エ藝抽真空裝置以第一吸氣單元與顯示器連接,且第一殼體的開ロ對(duì)應(yīng)于顯示器的抽氣孔,將顯示器與抽真空裝置設(shè)置于一加熱排氣臺(tái)上,所述加熱排氣臺(tái)由一加熱罩及一真空抽氣系統(tǒng)所組成,所述加熱罩罩設(shè)于顯示器與抽真空裝置外側(cè),所述真空抽氣系統(tǒng)與離子泵連接,利用加熱罩對(duì)顯示器加熱,使顯示器內(nèi)部元件在高溫下釋出氣體,并由真空抽氣系統(tǒng)抽走; 第二吸氣劑活化于第二吸氣單元連接通有可分離的電源,使第二吸氣單元連接的所述電源、第二殼體的兩半部殼體與第二吸氣劑構(gòu)成電流回路,并以電流加熱活化第二吸氣齊U,第二吸氣劑于活化時(shí),所釋出的氣體由真空抽氣系統(tǒng)抽走,于第二吸氣劑完全活化后,將第二吸氣單元上的電源撤去; 老練工藝將顯示器自加熱排氣臺(tái)取下,于顯示器連接通有可分離的電源,使顯示器釋出氣體并由第二吸氣劑吸收,當(dāng)離子泵的真空度顯示儀所顯示的真空度為良好時(shí),即完成老練エ藝,并將顯示器上的電源撤去; 第一吸氣劑活化于第一吸氣單元連接通有可分離的電源,使第一吸氣單元連接的所述電源、第一殼體及電極環(huán)與第一吸氣劑構(gòu)成電流回路,并以電流加熱活化第一吸氣劑,第一吸氣劑于活化時(shí),所釋出的氣體由第二吸氣劑所吸收,當(dāng)離子泵的真空度顯示儀所顯示的真空度為良好時(shí),即完成第一吸氣劑活化,并將第一吸氣劑上的電源撤去;最終剪管將第一管體剪斷,使第二吸氣單元及離子泵與第一吸氣單元分離,利用第一吸氣劑吸收顯示器內(nèi)部所釋出的微量殘余氣體。全文摘要
本發(fā)明提供一種顯示器的抽真空裝置及抽真空方法,該抽真空裝置于一第一吸氣單元連接有一第二吸氣單元以及一離子泵,該第一吸氣單元設(shè)有第一吸氣劑,該第二吸氣單元設(shè)有第二吸氣劑,以第一吸氣單元與顯示器連接,抽真空方法為先進(jìn)行加熱排氣工藝并在完成后,將第二吸氣劑予以活化,利用第二吸氣劑吸收顯示器于老練工藝中所釋放的氣體,老練工藝完成后,再將第一吸氣劑予以活化,利用剛活化完成的第一吸氣劑可確實(shí)吸收顯示器內(nèi)部的微量殘余氣體,以長久維持顯示器內(nèi)部具有高真空度,進(jìn)而使顯示器的使用壽命獲得延長。
文檔編號(hào)H01J9/39GK102760627SQ20111010867
公開日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2011年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月28日
發(fā)明者陳漢穎 申請(qǐng)人:宏碩系統(tǒng)股份有限公司