專利名稱：真空裝置用照明器具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空裝置用照明器具，該照明器具被安裝到用于觀察真空裝置的內(nèi)部的觀察窗，并且照亮真空裝置的內(nèi)部。
背景技術(shù)：
存在如下氫量測定裝置(真空裝置)，其設(shè)置有:真空室，其容納測定對象物；輸送單元，其被聯(lián)接到真空室的一端并且將測定對象物輸送到室的內(nèi)部；加熱器，其逐漸地將真空室的溫度從低溫升高到高溫；分壓分析計(jì)，其在被輸送到真空室內(nèi)部的測定對象物的溫度增加的情況下分析從測定對象物釋放的氫氣的氫氣分壓；以及控制器，其基于從分壓分`析計(jì)輸出的氫氣分壓確定包含于測定對象物中的氫量(參見專利文件I)。輸送單元由具有預(yù)定容積的殼體、能夠插入到殼體的內(nèi)部并且從殼體的內(nèi)部拉出的輸送桿、被安裝到輸送桿的一端并且可裝卸地支撐測定對象物的支撐構(gòu)件和配置于殼體外周面的引導(dǎo)磁體形成。在該氫量測定裝置中，安裝到輸送桿一端的支撐構(gòu)件可裝卸地支撐測定對象物，通過使用輸送桿和引導(dǎo)磁體使測定對象物從室的一端移動到室的中央部，并且，在測定對象物載置于處于室的中央部的載物臺之后，測定測定對象物的氫量。專利文獻(xiàn)1:特開2009-006877號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題雖然在圖中未示出，但是在上述公報(bào)中公開的氫量測定裝置(真空裝置)設(shè)置有多個(gè)用于觀察真空室內(nèi)部的觀察窗。氫量測定裝置允許在通過觀察窗目視地檢查的情況下使測定對象物移動到室的中央部并被載置在載物臺上。在該氫量測定裝置中，照明器具不能設(shè)置于真空室中或殼體中，使得有必要通過使用外部照明來經(jīng)觀察窗目視地檢查測定對象物。然而，當(dāng)外部照明量小時(shí)，通過觀察窗進(jìn)入到真空室的內(nèi)部和殼體的內(nèi)部的光量小，使得不可能有效地照亮室的內(nèi)部和殼體的內(nèi)部,并且看見室的內(nèi)部和殼體的內(nèi)部。如果不能看見真空室的內(nèi)部，則不能目視地檢查測定對象物，使得有時(shí)候不能將對象物輸送到設(shè)置于室的中央部的載物臺，并且將對象物載置在該載物臺上。而且，如果不能夠看見殼體的內(nèi)部，當(dāng)多個(gè)測定對象物貯存于殼體內(nèi)時(shí)，有時(shí)候，不能從這些測定對象物中拾取期望的對象物。本發(fā)明的目的是提供真空裝置用照明器具，該照明器具允許光通過觀察窗進(jìn)入真空裝置的內(nèi)部，并且使得可以通過照亮真空裝置的內(nèi)部而經(jīng)觀察窗看見真空裝置的內(nèi)部。本發(fā)明的另一目的是提供一種真空裝置用照明器具，該照明器具在使光通過觀察窗進(jìn)入到真空裝置內(nèi)部而允許人觀察真空裝置的內(nèi)部的情況下能夠可靠地將真空處理對象物輸送到真空裝置的預(yù)定位置。用于解決問題的方案本發(fā)明的用于解決上述問題的前提是真空裝置用照明器具，所述照明器具被安裝到用于觀察真空裝置的內(nèi)部的觀察窗，并且所述照明器具照亮所述真空裝置的內(nèi)部。本發(fā)明的基于上述前提的特征在于，所述照明器具包括:聯(lián)接適配器，其經(jīng)由聯(lián)接單元被能裝卸地聯(lián)接到所述觀察窗；開口，其形成于所述聯(lián)接適配器的中央部，并且允許通過所述觀察窗觀察所述真空裝置的內(nèi)部；以及多個(gè)LED(發(fā)光二極管)，其設(shè)置于所述聯(lián)接適配器并且面對所述觀察窗。作為本發(fā)明的示例，所述聯(lián)接適配器由周壁和環(huán)狀的LED設(shè)置板形成，所述周壁沿著軸向延伸并且具有位于所述觀察窗所在側(cè)的前端部、位于所述前端部的相反側(cè)的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之間的中間部，所述LED設(shè)置板被固定到所述周壁的所述中間部處的內(nèi)周面，并且所述LED設(shè)置板以圍繞所述開口的方式沿著所述周壁的徑向向內(nèi)延伸，并且所述多個(gè)LED被設(shè)置于所述LED設(shè)置板的相反面，所述相反面面對所述觀察窗。作為本發(fā)明的另一示例，所述多個(gè)LED沿所述LED設(shè)置板的相反面的周向等間隔地配置。作為本發(fā)明的另一示例，用于漫射從所述LED照射的光的光漫射板被安裝到所述聯(lián)接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部處的內(nèi)周面以及所述LED設(shè)置板的相反面的至少一方。作為本發(fā)明的另一示例，用于反射從所述LED照射的光的光反射板被安裝到所述聯(lián)接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部的內(nèi)周面以及所述LED設(shè)置板的相反面的至少一方。作為本發(fā)明的另一示例，所述照明器具包括:攝像裝置，其被能裝卸地設(shè)置于所述聯(lián)接適配器的周壁的后端部并且用于拍攝所述真空裝置的內(nèi)部的圖像；以及顯示裝置，其用于顯示所述攝像裝置所拍攝的圖像。作為本發(fā)明的另一示例，所述攝像裝置為具有CXD圖像傳感器的CXD相機(jī)。作為本發(fā)明的另一示例，所述真空裝置包括真空室和輸送單元，所述輸送單元被聯(lián)接到所述真空室并且具有輸送部，所述輸送部用于將真空處理對象物輸送到所述真空室的內(nèi)部，所述觀察窗形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室，所述照明器具被設(shè)置于形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室的觀察窗。作為本發(fā)明的另一示例，所述顯示裝置被設(shè)置于所述輸送單元的輸送部附近。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明的真空裝置用照明器具包括:聯(lián)接適配器，其經(jīng)由聯(lián)接單元被能裝卸地聯(lián)接到所述觀察窗；開口，其形成于所述聯(lián)接適配器的中央部，并且允許通過所述觀察窗觀察所述真空裝置的內(nèi)部；以及多個(gè)LED(發(fā)光二極管)，其設(shè)置于所述聯(lián)接適配器并且面對所述觀察窗，并且，當(dāng)照明器具被設(shè)置于觀察窗時(shí)，從LED照射的光通過觀察窗進(jìn)入真空裝置的內(nèi)部并且該光照亮真空裝置內(nèi)部的整個(gè)空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內(nèi)部，并且通過觀察窗可靠地目視檢查設(shè)置于真空裝置內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，聯(lián)接適配器包括:周壁，其沿著軸向延伸并且包括前后端部和中間部；以及LED設(shè)置板，其被固定到周壁在中間部處的內(nèi)周面，多個(gè)LED被設(shè)置于LED設(shè)置板的相反面,并且所述相反面面對觀察窗，由于多個(gè)LED設(shè)置于LED設(shè)置板的相反面，并且來自LED的光從LED設(shè)置板的相反面向觀察窗照射,從LED照射的光通過觀察窗可靠地進(jìn)入真空裝置的內(nèi)部，并且利用該光照亮真空裝置內(nèi)部的整個(gè)空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內(nèi)部，并且通過觀察窗可靠地目視檢查設(shè)置于真空裝置內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，所述多個(gè)LED沿所述LED設(shè)置板的相反面的周向等間隔地配置，由于來自LED的光從LED設(shè)置板的相反面被均勻地照射于整個(gè)觀察窗，所以從LED照射的光通過觀察窗可靠地進(jìn)入到真空裝置的內(nèi)部，并且利用該光照亮真空裝置內(nèi)部的整個(gè)空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內(nèi)部并且通過觀察窗可靠地目視檢查設(shè)置于真空裝置的內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，用于漫射從所述LED照射的光的光漫射板被安裝到所述聯(lián)接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部處的內(nèi)周面以及所述LED設(shè)置板的相反面的至少一方，由于從LED照射的光被光漫射板漫射，并且來自LED的光被均勻地照射于整個(gè)觀察窗，所以從LED照射的光在被漫射的同時(shí)通過觀察窗可靠地進(jìn)入到真空裝置的內(nèi)部，并且利用該光照亮真空裝置內(nèi)部的整個(gè)空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內(nèi)部并且通過觀察窗可靠地目視檢查設(shè)置于真空裝置的內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，用于反射從所述LED照射的光的光反射板被安裝到所述聯(lián)接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部的內(nèi)周面以及所述LED設(shè)置板的相反面的至少一方，即使當(dāng)從LED照射的光被觀察窗反射時(shí)，由于該光被反射板反射，并且再次進(jìn)入觀察窗，所以從LED照射的大多數(shù)光通過觀察窗進(jìn)入真空裝置的內(nèi)部，并且利用該光照亮真空裝置內(nèi)部的整個(gè)空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內(nèi)部，并且通過觀察窗可靠地目視檢查設(shè)置于真空裝置的內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，所述照明器具包括:攝像裝置，其被能裝卸地設(shè)置于所述聯(lián)接適配器的周壁的后端部并且用于拍攝所述真空裝置的內(nèi)部的圖像；以及顯示裝置，其用于顯示所述攝像裝置所拍攝的圖像，由于不需要通過觀察觀察窗來看真空裝置的內(nèi)部，并且人能夠通過用于顯示攝像裝置所拍攝的圖像的顯示裝置來看真空裝置的內(nèi)部，所以即使當(dāng)人必須在遠(yuǎn)離觀察窗的位置操作真空裝置時(shí)，也能夠通過使用攝像裝置和顯示裝置了解真空裝置的內(nèi)部狀態(tài)，并且通過使用攝像裝置和顯示裝置目視地檢查設(shè)置于真空裝置內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，由于攝像裝置能夠被安裝到聯(lián)接適配器的周壁的后端部，并且能夠從聯(lián)接適配器的周壁的后端部移除，所以當(dāng)人直接地通過觀察窗而不是使用攝像裝置來看真空裝置的內(nèi)部時(shí)，僅需從聯(lián)接適配器移除攝像裝置，并且不僅可以通過攝像裝置也可以通過觀察窗看真空裝置的內(nèi)部。在真空裝置用照明器具中，所述攝像裝置為具有CXD圖像傳感器的CXD相機(jī)，由于在使用CCD相機(jī)時(shí)，能夠通過用于顯示CCD相機(jī)所拍攝的圖像的顯示裝置來看真空裝置的內(nèi)部，所以即使當(dāng)人必須在遠(yuǎn)離觀察窗的位置操作真空裝置時(shí)，也能夠通過使用CCD相機(jī)和顯示裝置了解真空裝置的內(nèi)部狀態(tài)，并且通過使用C⑶相機(jī)和顯示裝置目視地檢查設(shè)置于真空裝置內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，由于CCD相機(jī)能夠被安裝到聯(lián)接適配器的周壁的在后端部處的內(nèi)周面，并且能夠從聯(lián)接適配器的周壁的在后端部處的內(nèi)周面移除，所以當(dāng)人直接地通過觀察窗而不是使用CCD相機(jī)來看真空裝置的內(nèi)部時(shí)，僅需從適配器移除CXD相機(jī)，并且不僅可以通過CXD相機(jī)也可以通過觀察窗來看真空裝置的內(nèi)部。
在真空裝置用照明器具中，所述真空裝置包括真空室和輸送單元，所述輸送單元被聯(lián)接到所述真空室并且具有輸送部，所述輸送部用于將真空處理對象物輸送到所述真空室的內(nèi)部，所述觀察窗形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室，所述照明器具被設(shè)置于形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室的觀察窗，從LED照射的光進(jìn)入真空室的內(nèi)部和輸送單元的內(nèi)部，并且利用該光照亮真空室的內(nèi)部和輸送單元的內(nèi)部，使得能夠通過使用觀察窗和顯示裝置有效地看見真空室的內(nèi)部和輸送單元的內(nèi)部，并且通過使用觀察窗和顯示裝置可靠地目視檢查從輸送單元設(shè)置于真空室中的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，當(dāng)真空處理對象物從輸送單元被輸送到真空室時(shí)，由于利用從LED照射的光照亮真空室的內(nèi)部和輸送單元的內(nèi)部，所以能夠通過使用觀察窗和顯示裝置可靠地將真空處理對象物從輸送單元輸送到真空室中的預(yù)定位置。在真空裝置用照明器具中，所述顯示裝置被設(shè)置于所述輸送單元的輸送部附近，由于顯示攝像裝置所拍攝的圖像的顯示裝置被設(shè)置于輸送單元的輸送部附近，并且能夠通過顯示裝置來看真空裝置的內(nèi)部，所以，即使當(dāng)輸送單元設(shè)置于遠(yuǎn)離觀察窗的位置且人必須在遠(yuǎn)離觀察窗的位置進(jìn)行真空處理對象物的輸送操作時(shí)，也能夠通過使用攝像裝置和顯示裝置了解真空裝置的內(nèi)部的狀態(tài)，并且通過使用攝像裝置和顯示裝置目視地檢查設(shè)置于真空裝置內(nèi)部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，由于在檢查顯示裝置的同時(shí)人能夠?qū)⒄婵仗幚韺ο笪飶妮斔蛦卧斔偷秸婵帐?，所以能夠通過使用顯示裝置可靠地從輸送單元將真空處理對象物輸送到真空室中的預(yù)定位置。


圖1是作為示例示出的真空裝置用照明器具的立體圖；圖2是沿著圖1的線2-2截取的截面圖；圖3是真空裝置用照明器具的主視圖；圖4是真空裝置的概念圖，示出圖1的照明器具設(shè)置于觀察窗的狀態(tài)；圖5是沿著圖4的以箭頭示出的線5-5截取的截面圖；圖6是作為另一示例示出的真空裝置用照明器具的立體圖；圖7是沿著圖6的以箭頭示出的線7-7截取的截面圖；圖8是真空裝置用照明器具的主視圖；圖9是真空裝置的概念圖，示出圖6的照明器具設(shè)置于觀察窗的狀態(tài)；以及圖10是沿著圖9的以箭頭示出的線10-10截取的截面圖。
具體實(shí)施例方式下面，將參照諸如圖1等

根據(jù)本發(fā)明的照明器具的細(xì)節(jié)，圖1是作為示例示出的真空裝置用照明器具的立體圖。順便提及，圖2是沿著圖1的線2-2截取的截面圖，并且圖3是真空裝置用照明器具IOA的主視圖。在圖1中，由箭頭L表示軸向。在圖3中，由箭頭M表示徑向，由箭頭N表示周向。真空裝置用照明器具IOA被可裝卸地安裝到稍后將說明的用于看真空裝置50的真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部的觀察窗60，并且通過將光照射到真空室51和殼體63內(nèi)而照亮室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部。順便提及，諸如真空蒸發(fā)裝置、濺射裝置、干蝕刻裝置、灰化裝置(ashingapparatus)、CVD裝置以及離子注入裝置等的真空薄膜形成和加工裝置，諸如真空反應(yīng)裝置、真空蒸餾裝置、真空干燥裝置、真空冷卻裝置、真空蒸發(fā)/濃縮/結(jié)晶裝置、真空浸滲裝置、真空注入裝置、真空消泡裝置、真空發(fā)泡裝置以及真空乳化裝置等的真空化學(xué)裝置，諸如電子檢測表面分析裝置、離子檢測表面分析裝置和光檢測表面分析裝置等的表面分析裝置，以及諸如氦泄漏檢測器、真空疲勞試驗(yàn)機(jī)、真空彎曲試驗(yàn)機(jī)以及真空拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)等的試驗(yàn)裝置，作為能夠使用照明器具IOA的真空裝置50。真空裝置用照明器具IOA具有:聯(lián)接適配器11，該聯(lián)接適配器11被可裝卸地聯(lián)接到真空裝置50的室51或殼體63的觀察窗60 ;形成于適配器11的中央部的圓形開口 12 ；以及多個(gè)LED13 (發(fā)光二極管)。聯(lián)接適配器11由周壁14和LED設(shè)置板15形成。周壁14由ABS樹脂制成，被成型為圓筒狀且沿著軸向延伸。周壁14具有前端部16、位于前端部16的相反側(cè)的后端部18以及位于前端部16與后端部18之間的中間部17。前端部16是當(dāng)照明器具IOA被設(shè)置于真空裝置的觀察窗60時(shí)觀察窗60所在側(cè)的部分。在周壁14的前端部16，形成有在彼此遠(yuǎn)離180度的位置處沿徑向穿透周壁14的兩個(gè)聯(lián)接螺釘孔19。聯(lián)接螺釘孔19具有內(nèi)螺紋(未示出)。聯(lián)接螺釘20 (聯(lián)接單元)的形成有外螺紋的軸被螺接到這些聯(lián)接螺釘孔19。在周壁14的中間部17，形成沿軸向延伸的兩個(gè)固定螺釘孔21。光漫射板22被安裝到周壁14的在前端部16和中間部17的內(nèi)周面。光漫射板22是通過將諸如硅石、碳酸鋇或鈦酸鋇等白色微粉末加入到丙烯酸樹脂或聚碳酸酯而獲得的乳白色塑料板。光漫射板22在其所有各處漫射已進(jìn)入光漫射板22的光。在周壁14的后端部18的外表面，形成連接器裝配端子24，從AC適配器22延伸的電線23的連接器(參照圖4)被可裝卸地裝配在連接器裝配端子24中。AC適配器22將直流電力供給到LED13。順便提及，雖然未在圖中示出，但是，轉(zhuǎn)換從AC適配器22供給的直流電力的0N/0FF的開關(guān)被安裝到周壁14的后端部18的外表面。LED設(shè)置板15由ABS樹脂制成并且被成型為圓環(huán)狀。LED設(shè)置板15以圍繞開口12的方式沿著周壁14的徑向向內(nèi)延伸。LED設(shè)置板15經(jīng)由螺接到固定螺釘孔21的多個(gè)固定螺釘25被安裝到周壁14的中間部17的內(nèi)周面。用于反射從LED13照射的光的光反射板26被安裝到LED設(shè)置板15的相反面。這里，LED設(shè)置板15的相反面是當(dāng)照明器具IOA被設(shè)置于真空裝置的觀察窗60時(shí)面對觀察窗60的面。由PET樹脂制成的超微細(xì)發(fā)泡光反射板被用作光反射板26。光反射板26漫射和反射已進(jìn)入光反射板26的96%的光。蒸鍍有鋁箔的板或被施加鏡面加工的金屬板也可以用作光反射板26。開口 12在聯(lián)接適配器11的中央部沿著軸向穿過適配器11。LED13被設(shè)置于LED設(shè)置板15的相反面并且沿周向等間隔地配置于設(shè)置板15的相反面。在圖3中，12個(gè)LED13設(shè)置于LED設(shè)置板15的相反面，但是LED13的數(shù)量不限于圖中示出的數(shù)量。根據(jù)諸如LED13的輸出、尺寸以及照度等各種條件，可以在設(shè)置板15上設(shè)置任何數(shù)量的LED13。圖4是真空裝置50的概念圖，示出真空裝置用照明器具IOA被設(shè)置于觀察窗60的狀態(tài)；圖5是沿著圖4的以箭頭示出的線5-5截取的截面圖。在圖4中，未示出諸如各種傳感器、分析計(jì)、電爐和控制器等形成真空裝置50的組成部件。順便提及，圖4是真空裝置50的示例，并且真空裝置不限于圖中示出的示例中的真空裝置。如前所述，照明器具IOA能夠被設(shè)置于各種類型的真空薄膜形成和加工裝置、真空化學(xué)裝置、表面分析裝置以及試驗(yàn)裝置的觀察窗60。
真空裝置50具有真空室51、輸送單元52、真空閥53和54、以及真空泵55和56。真空室51是被成型為四棱柱狀的金屬箱并且是大致矩形的六個(gè)壁直角相交的六面體。真空室51能夠容納具有預(yù)定形狀的真空處理對象物57。在真空室51中，真空處理對象物57被載置在位于真空室51的中央部的載物臺58 (設(shè)置部位)。真空閥53和真空泵55被聯(lián)接到真空室51的壁。真空閥53和真空泵55經(jīng)由真空管路59彼此連接。在真空管路59中設(shè)置了真空計(jì)，雖然圖中未示出。在真空室51的兩個(gè)壁中，設(shè)置允許人看室51內(nèi)部的觀察窗60。如圖5所示，這些觀察窗60均由從真空室51的壁延伸的圓筒狀周壁61和固定到周壁61的圓形玻璃形成。周壁61由與制造室51的金屬類似的金屬制成。鋼化玻璃或耐熱玻璃被用作玻璃62。輸送單兀52由殼體63、在一個(gè)方向上長的輸送桿64、允許輸送桿64插入和退出的輸送管路65以及配置于輸送管路65的外周面的引導(dǎo)磁體66形成。殼體63是被成型為四棱柱狀的金屬箱并且是大致矩形的六個(gè)壁直角相交的六面體。允許人看殼體63內(nèi)部的觀察窗60設(shè)置于殼體63的兩個(gè)壁。這些觀察窗60均由從殼體63的壁延伸的圓筒狀周壁61和固定到周壁61的圓形玻璃62形成(參照圖5)。殼體63經(jīng)由聯(lián)接管路67被聯(lián)接到真空室51。在聯(lián)接管路67的中央，設(shè)置可開閉的閘閥68。真空閥54和真空泵56被聯(lián)接到殼體63的一個(gè)壁。真空閥54和真空泵56經(jīng)由真空管路69彼此連接。在真空管路69中設(shè)置了真空計(jì)，雖然圖中未示出。輸送管路65被聯(lián)接到殼體63的一個(gè)壁。如圖4中箭頭P所示，輸送桿64能夠在輸送管路65中沿著一個(gè)方向移動?？裳b卸地支撐真空處理對象物57的支撐構(gòu)件71被安裝到輸送桿64的一端。用于吸引引導(dǎo)磁體66的磁體70被安裝到輸送桿64的另一端。雖然圖中未不出，但是可開閉的艙口蓋(hatch)被安裝到輸送管路65的后端部。輸送桿64通過輸送管路65并且從殼體63的內(nèi)部到達(dá)真空室51的內(nèi)部。當(dāng)磁體66在輸送管路65的外周面上滑動時(shí),磁體66能夠在輸送管路65的外周面上沿著一個(gè)方向移動且能夠在輸送管路65的外周面上沿著周向移動。輸送單元52通過使用輸送桿64將真空處理對象物57從殼體63的內(nèi)部輸送到真空室51的中央部，并且將真空處理對象物57輸送到室51的載物臺58。用于將照明器具IOA設(shè)置于真空裝置50的室51的觀察窗60和殼體63的觀察窗60的步驟如下。被螺接到照明器具IOA的聯(lián)接適配器11的前端部16的聯(lián)接螺釘20沿逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動，以將螺釘20的軸的頂端退避到聯(lián)接螺釘孔19。接著，聯(lián)接適配器11的前端部16被裝配到觀察窗60的周壁61的外部，并且適配器11被設(shè)定在觀察窗60的周壁61。順便提及，聯(lián)接適配器11的前端部16的內(nèi)周緣的半徑比觀察窗60的周壁61的外周緣的半徑稍大，并且，當(dāng)適配器11的前端部16被裝配到觀察窗60的周壁61時(shí)，適配器11的前端部16的內(nèi)周面圍繞觀察窗60的周壁61的外周面。在聯(lián)接適配器11被設(shè)定在觀察窗60的周壁61之后，使聯(lián)接螺釘20沿順時(shí)針轉(zhuǎn)動以使螺釘20的軸的頂端壓抵觀察窗60的周壁61的外周面，由此，適配器11被固定到觀察窗60的周壁61。在聯(lián)接適配器11 (照明器具10A)經(jīng)由聯(lián)接螺釘20被固定到觀察窗60的周壁61之后，開關(guān)轉(zhuǎn)換到0N。當(dāng)開關(guān)轉(zhuǎn)換到ON時(shí)，直流電力從AC適配器22被供給到LED13，并且從LED13照射出光。從LED13照射的光中的已直接進(jìn)入觀察窗60的玻璃62的光穿過玻璃62，并且通過觀察窗進(jìn)入真空室51的內(nèi)部。從LED13照射的光中的已進(jìn)入光漫射板22的光由漫射板22漫射而進(jìn)入觀察窗60的玻璃62，穿過玻璃62并且通過觀察窗進(jìn)入真空室51的內(nèi)部。順便提及，由玻璃62反射的光被光反射板26反射并且再次進(jìn)入玻璃62，穿過玻璃62，并且經(jīng)觀察窗60進(jìn)入真空室51的內(nèi)部。真空室51的內(nèi)部通過從LED13照射的光的照明而變亮。當(dāng)通過相同的步驟將照明器具IOA設(shè)置于殼體63的觀察窗60時(shí),殼體63的內(nèi)部通過從LED13照射的光的照明而變亮。順便提及，當(dāng)照明器具IOA未設(shè)置于室51的觀察窗60和殼體63的觀察窗60時(shí)，由于外來光不容易通過觀察窗60進(jìn)入真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部是陰暗的，因此不可能清楚地目視檢查室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部。下面將說明當(dāng)使用照明器具IOA時(shí)通過輸送單元52將真空處理對象物57輸送到真空室51的中央部的步驟的示例。首先，關(guān)閉管路69的真空閥54，將氮?dú)庾⑷氲綒んw63和輸送管路65,并且殼體63的內(nèi)部壓力和輸送管路65的內(nèi)部壓力變成大氣壓力。此時(shí)，閘閥68處于關(guān)閉狀態(tài)，并且聯(lián)接到真空室51的真空泵55工作。真空室51和真空管路59的內(nèi)部的真空度通過泵被維持在I X KT7Pa至I X KTwPa的范圍內(nèi)。在殼體63的內(nèi)部壓力和輸送管路65的內(nèi)部壓力恢復(fù)到大氣壓力之后，使輸送桿64的支撐構(gòu)件71支撐真空處理對象物57,打開輸送管路65的艙口蓋,并且輸送桿64被設(shè)置于輸送管路65。此時(shí)，支撐構(gòu)件71面對閘閥68。在設(shè)置了真空處理對象物57的輸送桿64被設(shè)置于輸送管路65中之后,艙口蓋關(guān)閉以密封輸送管路65。在輸送管路65被密封之后，真空管路69的真空閥54被打開，并且氮?dú)鈴臍んw63和輸送管路65經(jīng)由真空泵56被排到外部。在殼體63的內(nèi)部和輸送管路65的內(nèi)部的真空度達(dá)到預(yù)定真空度之后，閘閥68被打開。當(dāng)閘閥68被打開時(shí)，從LED13照射的光在通過真空室51之后到達(dá)殼體63，并且殼體63的內(nèi)部通過從LED13照射的光的照明而變亮。人能夠通過觀察設(shè)置于殼體63的觀察窗60來檢查由輸送桿64的支撐構(gòu)件71支撐的真空處理對象物57的狀態(tài)。順便提及，當(dāng)多個(gè)真空處理對象物57貯存于殼體63時(shí)，人能夠通過觀察設(shè)置于殼體63的觀察窗60來識別這些待測定對象物57中的期望的對象物57，并且使輸送桿64的支撐構(gòu)件71支撐期望的對象物57。接著，引導(dǎo)磁體66在輸送管路65的外周面上沿著一個(gè)方向朝真空室51移動。由于磁體66和磁體70通過輸送桿64的磁體70的磁力與引導(dǎo)磁體66的磁力的作用而彼此吸引，輸送桿64沿著一個(gè)方向朝閘閥68移動。當(dāng)引導(dǎo)磁體66進(jìn)一步地沿著一個(gè)方向朝真空室51移動時(shí)，由輸送桿64的支撐構(gòu)件71支撐的真空處理對象物57在通過閘閥68之后朝向室51的中央部移動，并且真空處理對象物57到達(dá)室51的載物臺58。人通過觀察觀察窗60能夠檢查真空室51中的真空處理對象物57的移動以及真空處理對象物57已經(jīng)到達(dá)室51的載物臺58的狀態(tài)。在真空處理對象物57已到達(dá)真空室51的載物臺58之后，引導(dǎo)磁體66沿著輸送管路65的周向移動以轉(zhuǎn)動輸送桿64。當(dāng)輸送桿64轉(zhuǎn)動時(shí)，支撐構(gòu)件71轉(zhuǎn)動，并且真空處理對象物57面對室51的下部。在該狀態(tài)釋放支撐構(gòu)件71對真空處理對象物57的支撐并且真空處理對象物57被載置在室51的載物臺58。在真空處理對象物57被載置于真空室51的載物臺58之后，引導(dǎo)磁體66沿著引導(dǎo)磁體66遠(yuǎn)離室51移動的方向移動,并且輸送桿64從室51被拔出。在輸送桿64從室51被拔出之后，閘閥68被關(guān)閉。通過將真空裝置用照明器具IOA設(shè)置于觀察窗60,由于來自LED13的光從LED設(shè)置板15的相反面向觀察窗60照射，從LED13照射的光通過觀察窗60進(jìn)入真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且照亮真空室51內(nèi)部和殼體63內(nèi)部的整個(gè)空間，使得能夠通過觀察窗60看見真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且通過觀察窗60目視地檢查設(shè)置于室51內(nèi)部的真空處理對象物57。在真空裝置用照明器具IOA中，由于多個(gè)LED13沿周向等間隔地配置于LED設(shè)置板15的相反面，來自LED13的光從LED設(shè)置板15的相反面被均勻地照射于整個(gè)觀察窗60。而且，由于漫射從LED13照射的光的光漫射板22被安裝到聯(lián)接適配器11的周壁14的前端部16和中間部17的內(nèi)周面，從LED13照射的光通過漫射板22被漫射，并且從LED13照射的光均勻地照射于整個(gè)觀察窗60。此外，由于反射從LED13照射的光的光反射板26被安裝到LED設(shè)置板15的相反面，即使從LED13照射的光被觀察窗60的玻璃62反射，該光也會由反射板26反射并且再次進(jìn)入觀察窗60。因此，照明器具IOA允許來自LED13的光通過觀察窗有效地進(jìn)入室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，使得能夠通過來自LED13的光經(jīng)觀察窗60有效地看見室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且通過觀察窗60可靠地目視檢查設(shè)置于室51和殼體63的內(nèi)部的真空處理對象物57。圖6是作為另一示例示出的真空裝置用照明器具IOB的立體圖，圖7是沿著圖6的箭頭示出的線7-7截取的截面圖。圖8是真空裝置用照明器具IOB的主視圖，以及圖9是真空裝置50的概念圖，示出真空裝置用照明器具IOB設(shè)置于觀察窗的狀態(tài)。圖10是沿著圖9的箭頭示出的線10-10截取的截面圖。在圖6中，由箭頭L表示軸向。在圖8中，由箭頭M表示徑向，由箭頭N表示周向。照明器具IOB與圖1的照明器具IOA的區(qū)別在于:照明器具IOB具有彩色液晶顯示器28 (顯示裝置)和可裝卸地設(shè)置于適配器11的CXD相機(jī)27 (攝像裝置)，由于其他組成元件與圖1的照明器具IOA的其它組成元件相同，所以采用與圖1的附圖標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記表示這些其它組成元件，并且將省略對照明器具IOB的其他組成部件的詳細(xì)說明。真空裝置用照明器具IOB被安裝到觀察窗60，并且照亮真空裝置50的室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，其中，觀察窗60用于看真空裝置50的室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且照明器具IOB通過使用CXD相機(jī)27對真空裝置50的室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部進(jìn)行拍攝。照明器具IOB具有聯(lián)接適配器111、形成于適配器11的中央部的圓形開口 12、多個(gè)LED13、CXD相機(jī)27以及顯示器28。聯(lián)接適配器11由周壁14、相機(jī)固定環(huán)29以及LED設(shè)置板15形成。周壁14由ABS樹脂制成，被成型為沿著軸向延伸的圓筒狀。周壁14具有前端部16、后端部18以及中間部17。兩個(gè)聯(lián)接螺釘孔19形成于周壁14的前端部16，并且聯(lián)接螺釘20 (聯(lián)接單元)的軸螺接到這些聯(lián)接螺釘孔19。光漫射板22被安裝到周壁14的在前端部16與中間部19的內(nèi)周面。連接器裝配端子24形成于周壁14的后端部18的外表面，并且轉(zhuǎn)換0N/0FF的開關(guān)(未示出)安裝于周壁14的后端部18的外表面。相機(jī)固定環(huán)29由ABS樹脂制成并且被成型為圓筒狀。在相機(jī)固定環(huán)29中，形成用于將相機(jī)固定環(huán)29固定到適配器11的固定螺釘孔30、用于固定CCD相機(jī)28的固定螺釘孔31，其中，固定螺釘孔30沿著軸向穿過相機(jī)固定環(huán)29，固定螺釘孔31沿著徑向穿過相機(jī)固定環(huán)29。這些固定螺釘孔30和31具有內(nèi)螺紋(未示出)。相機(jī)固定環(huán)29經(jīng)由螺接到螺釘孔30的固定螺釘32被固定到周壁14的后端部18。LED設(shè)置板15由ABS樹脂制成并且被成型為圓環(huán)狀。LED設(shè)置板15以圍繞開口12的方式沿著周壁14的徑向向內(nèi)延伸，并且被安裝到周壁14的中間部17的內(nèi)周面。光反射板26被安裝到LED設(shè)置板15的相反面。開口 12在聯(lián)接適配器11的中央部沿著軸向穿過適配器11。CXD相機(jī)27以CXD相機(jī)27的鏡頭(未示出)面對適配器11的前端部16的方式被設(shè)置于適配器11的后端部18，并且經(jīng)由螺接到螺釘孔31的固定螺釘33被固定到相機(jī)固定環(huán)29。顯示器28經(jīng)由接口 34被連接到C⑶相機(jī)27，并且如圖8所示，被設(shè)置于輸送單元52的輸送管路65 (輸送單元)附近。顯示器28顯示由CXD相機(jī)27拍攝的真空裝置50的室51的內(nèi)部的圖像和殼體63的內(nèi)部的圖像。用于將CXD相機(jī)27設(shè)置于聯(lián)接適配器11的步驟如下。螺接到相機(jī)固定環(huán)29的固定螺釘孔31的固定螺釘33沿逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動，以將螺釘33的軸的頂端退避到固定環(huán)29的內(nèi)部。接著，CCD相機(jī)27的鏡頭側(cè)頂端被插入固定環(huán)29，相機(jī)27被設(shè)定于聯(lián)接適配器11。順便提及，相機(jī)固定環(huán)29的內(nèi)周緣和適配器11的前端部16的內(nèi)周緣的半徑比CCD相機(jī)27的外周緣的半徑稍大，并且，當(dāng)相機(jī)27的前端部被裝配到環(huán)29和適配器11時(shí)，環(huán)29的內(nèi)周面與適配器11的后端部18的內(nèi)周面圍繞相機(jī)27的外周面。在CCD相機(jī)27被設(shè)定于聯(lián)接適配器11之后，使固定螺釘33沿順時(shí)針轉(zhuǎn)動，以使螺釘33的軸的頂端壓抵相機(jī)27的外周面，由此，相機(jī)27被固定到適配器11。真空裝置50的結(jié)構(gòu)與圖5的真空裝置的結(jié)構(gòu)相同。而且，由于用于將照明器具IOB設(shè)置于真空裝置50的室51和殼體63的觀察窗60的步驟與圖5中的步驟相同，所以通過引用對圖5的說明而省略對其的說明。在照明器具IOB被固定到觀察窗60的周壁61之后，照明器具IOB的開關(guān)被轉(zhuǎn)換為0N，并且CCD相機(jī)27的開關(guān)和顯示器28的開關(guān)被轉(zhuǎn)換為0N。當(dāng)這些開關(guān)被轉(zhuǎn)換為ON時(shí)，直流電力從AC適配器22被供給到LED13，并且從LED13照射光。從LED13照射的光中的已直接進(jìn)入觀察窗60的玻璃62的光穿過玻璃62并且通過觀察窗60進(jìn)入真空室51。從LED13照射的光中的已進(jìn)入光漫射板22的光由光漫射板22漫射而進(jìn)入觀察窗60的玻璃62，穿過玻璃62，并且通過觀察窗60進(jìn)入真空室51。順便提及，由玻璃62反射的光被光反射板26反射并且再次進(jìn)入玻璃62，穿過玻璃62，并且通過觀察窗60進(jìn)入真空室51。真空室51的內(nèi)部通過從LED13照射的光的照明而變亮。通過CXD相機(jī)27拍攝真空室51的內(nèi)部狀態(tài)的圖像并且將圖像顯示于顯示器28。當(dāng)照明器具IOB被設(shè)置于殼體63的觀察窗60時(shí)，殼體63的內(nèi)部通過從LED13照射的光的照明而變亮。通過CCD相機(jī)27拍攝殼體63的內(nèi)部狀態(tài)的圖像并且將圖像顯示于顯示器28。順便提及，當(dāng)照明器具IOB未設(shè)置于室51的觀察窗60和殼體63的觀察窗60時(shí)，由于外來光不容易通過觀察窗60進(jìn)入真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部是陰暗的，因此，不可能清楚地拍攝室51的內(nèi)部狀態(tài)和殼體63的內(nèi)部狀態(tài)的圖像。在使用LED13、CXD相機(jī)27以及顯示器28時(shí)，真空裝置50通過輸送單元52將真空處理對象物57輸送到真空室51的載物臺58。人在檢查顯示器28上的由CXD相機(jī)27拍攝的圖像的同時(shí)進(jìn)行輸送操作。由于用于將真空處理對象物57輸送到真空室51的載物臺58的步驟與圖5的步驟相同，因此，通過引用對圖5的說明而省略對其的說明。真空裝置用照明器具IOB除了具有圖1的優(yōu)點(diǎn)以外還具有如下優(yōu)點(diǎn)。由于在使用CXD相機(jī)27時(shí)，照明器具IOB不需要人通過觀察觀察窗60看真空裝置50的真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，并且允許人通過顯示(XD相機(jī)27所拍攝的圖像的顯示器28看真空裝置50的真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部，所以即使當(dāng)人必須在遠(yuǎn)離觀察窗50的位置操作真空室50時(shí)，也能夠通過使用CCD相機(jī)27和顯示裝置28 了解真空室51的內(nèi)部狀態(tài)和殼體63的內(nèi)部狀態(tài)，并且通過使用CXD相機(jī)27和顯示裝置28目視地檢查設(shè)置于真空室51內(nèi)部的真空處理對象物57。在真空裝置用照明器具IOB中，由于CXD相機(jī)27能夠經(jīng)由相機(jī)固定環(huán)29被安裝到聯(lián)接適配器11的周壁14的后端部18，并且能夠經(jīng)由相機(jī)固定環(huán)29從聯(lián)接適配器11的周壁14的后端部18移除，當(dāng)人直接地通過觀察窗60而不是使用CCD相機(jī)27看真空裝置50的真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部時(shí)，僅需從適配器11移除(XD相機(jī)27，并且不僅可以通過(XD相機(jī)27也可以通過觀察窗63看真空室51的內(nèi)部和殼體63的內(nèi)部。利用真空裝置用照明裝置10B，當(dāng)真空處理對象物57從輸送單元52被輸送到真空室51時(shí)，由于利用從LED13照射的光照亮真空室51的內(nèi)部和輸送單元52的內(nèi)部，能夠通過使用觀察窗60和顯示器28將真空處理對象物57從輸送單元52可靠地輸送到真空室51的載物臺58。在附圖中示出的照明器具IOA和照明器具IOB中，光漫射板22被安裝到周壁14的在前端部16和中間部17的內(nèi)周面，并且光反射板26被安裝到LED設(shè)置板15的相反面，但是光漫射板22和光反射板26可以不安裝到這些面。而且，光反射板26可以安裝到周壁14的在前端部16和中間部17的內(nèi)周面，并且光漫射板22可以被安裝到LED設(shè)置板15的相反面。在照明器具IOA和照明器具IOB中，光漫射板22可以安裝到周壁14的在前端部16和中間部17的內(nèi)周面，并且光漫射板22可以被安裝到LED設(shè)置板15的相反面。此外，光反射板26可以安裝到周壁14的在前端部16和中間部17的內(nèi)周面，并且光反射板26可以安裝到LED設(shè)置板15的相反面。符號的說明IOA真空裝置用照明器具IOB真空裝置用照明器具11聯(lián)接適配器12 開口13LED (發(fā)光二極管)14 周壁15LED 設(shè)置板16前端部17中間部18后端部22光漫射板26光反射板27CCD相機(jī)(攝像裝置)28顯示器(顯示裝置)
50真空裝置51真空室52輸送單元60觀察窗
權(quán)利要求
1.一種真空裝置用照明器具，所述照明器具能被安裝到用于觀察真空裝置的內(nèi)部的觀察窗，并且所述照明器具照亮所述真空裝置的內(nèi)部，其中， 所述照明器具包括:聯(lián)接適配器，其經(jīng)由聯(lián)接單元被能裝卸地聯(lián)接到所述觀察窗；開口，其形成于所述聯(lián)接適配器的中央部，并且允許通過所述觀察窗觀察所述真空裝置的內(nèi)部；以及多個(gè)LED (發(fā)光二極管)，其設(shè)置于所述聯(lián)接適配器并且面對所述觀察窗。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述聯(lián)接適配器由周壁和環(huán)狀的LED設(shè)置板形成，所述周壁沿著軸向延伸并且具有位于所述觀察窗所在側(cè)的前端部、位于所述前端部的相反側(cè)的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之間的中間部，所述LED設(shè)置板被固定到所述周壁的所述中間部處的內(nèi)周面，并且所述LED設(shè)置板以圍繞所述開口的方式沿著所述周壁的徑向向內(nèi)延伸，并且 所述多個(gè)LED被設(shè)置于所述LED設(shè)置板的相反面，所述相反面面對所述觀察窗。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述多個(gè)LED沿所述LED設(shè)置板的相反面的周向等間隔地配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 用于漫射從所述LED照射的光的光漫射板被安裝到所述聯(lián)接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部處的內(nèi)周面以及所述LED設(shè)置板的相反面的至少一方。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 用于反射從所述LED照射的光的光反射板被安裝到所述聯(lián)接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部的內(nèi)周面以及所述LED設(shè)置板的相反面的至少一方。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述照明器具包括:攝像裝置，其被能裝卸地設(shè)置于所述聯(lián)接適配器的周壁的后端部并且用于拍攝所述真空裝置的內(nèi)部的圖像；以及顯示裝置，其用于顯示所述攝像裝置所拍攝的圖像。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述攝像裝置為具有CXD圖像傳感器的CXD相機(jī)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述真空裝置包括真空室和輸送單元，所述輸送單元被聯(lián)接到所述真空室并且具有輸送部，所述輸送部用于將真空處理對象物輸送到所述真空室的內(nèi)部， 所述觀察窗形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室，以及 所述照明器具被設(shè)置于形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室的觀察窗。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述顯示裝置被設(shè)置于所述輸送單元的輸送部附近。
全文摘要
提供一種真空裝置用照明器具，其中，光能通過觀察窗進(jìn)入真空裝置的內(nèi)部，并且真空裝置的內(nèi)部能夠被照亮從而能夠從觀察窗目視地確認(rèn)真空裝置的內(nèi)部。[解決方案]真空裝置用照明器具(10A)包括聯(lián)接適配器(11)，其通過聯(lián)接單元被可裝卸地聯(lián)接到觀察窗；開口(12)，其形成在聯(lián)接適配器(11)的中央部，并且經(jīng)過該開口可以通過觀察窗目視地確認(rèn)真空裝置的內(nèi)部；以及多個(gè)LED(發(fā)光二極管)(13)，其被安裝于聯(lián)接適配器(11)，并且面對觀察窗。照明器具(10A)被安裝到用于目視地確認(rèn)真空裝置內(nèi)部的觀察窗，并且照亮真空裝置的內(nèi)部。
文檔編號F21V19/00GK103097802SQ201180043532
公開日2013年5月8日 申請日期2011年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月9日
發(fā)明者佐佐木友章, 千葉昭雄 申請人:株式會社Avc