專利名稱：光源的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種使內部所產生的光出射的光源。
背景技術：
—直以來，研究探討用于使光從光源高效率地輻射的構造。例如，在下述專利文獻I所記載的氘燈中，提出了在放電容器內以包圍陽極和陰極的方式具有遮蔽圍，并在該遮蔽圍的一部分設置了光反射材這樣的構造?，F(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開平7-6737號公報專利文獻2:日本特開2008-311068號公報專利文獻3:日本特開2010-27268號公報專利文獻4:日本實開平5-17918號公報專利文獻5:日本特公平4-57066號公報

發(fā)明內容
發(fā)明所要解決的技術問題然而，在上述現(xiàn)有的氘燈中，容易發(fā)生包含陽極和陰極的放電部與光取出窗之間的光損失，光的取出效率不充分。因此，本發(fā)明是鑒于所涉及的技術問題而作出的，其目的在于提供一種可以使光的從出射窗而來的取出效率穩(wěn)定地提高的光源。解決問題的技術手段為了解決上述技術問題，本發(fā)明的一個方面所涉及的光源具備:收納產生光的發(fā)光部的第I筐體；一個端側連接于第I筐體且將從發(fā)光部產生的光引導至設置在另一個端側的出射窗部的第2筐體；以及插入固定在第2筐體的出射窗部與連接第I筐體和第2筐體的部位之間且內壁面形成為反射光的反射面的筒狀構件。根據(jù)這樣的光源，通過將從第I筐體內的發(fā)光部產生的光引導至被插入到與第I筐體連接的第2筐體內的筒狀構件的內部，從而從設置在第2筐體的出射窗部出射。這里，由于筒狀構件的內壁面被形成為反射面，因此從發(fā)光部出射的光被筒狀構件內部的反射面全反射并且從第2筐體的一個端側被引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部產生的光而且能夠引導至第 2筐體的出射窗部。另外，由于筒狀構件的內壁自身是反射面，因此能夠抑制因反射面的剝離或脫落等而引起的性能劣化或異物產生，能夠實現(xiàn)長壽命化。由此，能夠使來自出射窗部的光的取出效率穩(wěn)定地提高。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠使光的來自出射窗的取出效率穩(wěn)定地提高。


圖1表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖2是圖1的反射筒部的截面圖。圖3是圖1的光源中的反射筒部的組裝狀態(tài)的側面圖。圖4是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖5 Ca)是圖4的反射筒部的側面圖，圖5 (b)是圖4的反射筒部的正面圖。圖6是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖7是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖8是表示本發(fā)明的第5實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖9是表示本發(fā)明的第6實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖10是表示本發(fā)明的變形例所涉及的光源的結構的截面圖。圖11 (a)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的側面圖，圖11 (b)是圖11 (a)的反射筒部的端面圖，圖11 (C)是圖11 (a)的反射筒部的立體圖。圖12 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的側面圖，圖12 (b)是圖12 (a)的反射筒部的端面圖，(c)是(a)的反射筒部的立體圖。圖13是表示本發(fā)明的變形例所涉及的光源的結構的側面圖。圖14是表示本發(fā)明的第7實施方式所涉及的氘燈的結構的截面圖。圖15 (a)是圖14的反射筒部的截面圖，圖15 (b)是圖14的反射筒部的端面圖。圖16是表示圖14的氘燈的反射筒部的組裝狀態(tài)的側面圖。圖17是表不來自于圖14的氣燈的發(fā)光中心的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。圖18是表示本發(fā)明的第8實施方式所涉及的氘燈的結構的截面圖。圖19 (a)是圖18的反射筒部的側面圖，圖19 (b)是圖18的反射筒部的端面圖。圖20是表示本發(fā)明的第9實施方式所涉及的氘燈的結構的截面圖。圖21 (a)是圖20的反射筒部的側面圖，圖21 (b)是圖20的反射筒部的端面圖，圖21 (c)是表示圖20的反射筒部被固定在收納盒的狀態(tài)的立體圖。圖22是表示本發(fā)明所涉及的氘燈的結構的截面圖。圖23 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的側面圖，圖23 (b)是圖23 (a)的反射筒部的端面圖，圖23 (c)是圖23 (a)的反射筒部的立體圖。圖24 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的側面圖，圖24 (b)是圖24 (a)的反射筒部的端面圖，圖24 (c)是圖24 Ca)的反射筒部的立體圖。圖25是表示本發(fā)明的變形例所涉及的氘燈的結構的側面圖。圖26是表示本發(fā)明的變形例所涉及的氘燈的結構的側面圖。圖27 (a)是圖26的反射筒部的截面圖，圖27 (b)是圖26的反射筒部的端面圖。圖28是表示圖26的氘燈的反射筒部的組裝狀態(tài)的側面圖。圖29是來自于本發(fā)明的比較例所涉及的氘燈的發(fā)光中心的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。圖30是表示本發(fā)明的第10實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖31 Ca)是圖30的反射筒部的截面圖，圖31 (b)是反射筒部的端面圖。
圖32是表示圖30的光源的反射筒部的向陰極的固定狀態(tài)的側面圖。圖33是表示圖30的光源的反射筒部的向陰極的固定狀態(tài)的側面圖。圖34是表不來自于圖30的光源的發(fā)光中心的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。圖35是表示本發(fā)明的第11實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖36 (a)是圖35的反射筒部的側面圖，圖36 (b)是圖35的反射筒部的端面圖。圖37是表示本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的向陰極的固定狀態(tài)的側面圖。圖38是表示本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的向陰極的固定狀態(tài)的側面圖。圖39 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的側面圖，圖39 (b)是圖39 (a)的反射筒部的端面圖，圖39 (c)是反射筒部的立體圖。圖40 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的側面圖，圖40 (b)是圖(a)的反射筒部的端面圖，圖40 (C)是圖(a)的反射筒部的立體圖。圖41是表示本發(fā)明的變形例所涉及的光源的結構的截面圖。圖42是圖41的反射筒部的立體圖。圖43是表示來自于本發(fā)明的比較例所涉及的光源的發(fā)光中心的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。圖44是本發(fā)明的第12實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖45 (a)是圖44的反射筒部的截面圖，圖45 (b)是圖44的反射筒部的端面圖。圖46是表示圖44的光源的反射筒部的組裝狀態(tài)的側面圖。圖47是本發(fā)明的第13實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖48 (a)是圖47的反射筒部的側面圖，圖48 (b)是圖47的反射筒部的端面圖。圖49是表示本發(fā)明的第14實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖50 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的截面圖，圖50 (b)是圖50 (a)的反射筒部的端面圖。圖51是表示本發(fā)明的變形例所涉及的光源的結構的截面圖。圖52 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的一部分的側面圖，圖52 (b)是圖52 Ca)的反射部的端面圖，圖52 (c)是圖52 Ca)的反射筒部的立體圖。圖53 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的一部分的側面圖，圖53 (b)是圖53 Ca)的反射部的端面圖，圖53 (c)是圖53 Ca)的反射筒部的立體圖。圖54 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的一部分的側面圖，圖54 (b)是圖54 Ca)的反射部的端面圖，圖54 (c)是圖54 Ca)的反射筒部的立體圖。圖55 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的一部分的側面圖，圖55 (b)是圖55 Ca)的反射部的端面圖，圖55 (c)是圖55 Ca)的反射筒部的立體圖。圖56 Ca)是本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部的一部分的側面圖，圖56 (b)是圖56 Ca)的反射部的端面圖，圖56 (c)是圖56 Ca)的反射筒部的立體圖。符號的說明1, 101，201，301，401，501，601，701 …光源、2，202，302…發(fā)光部、3A, 203A, 303A, 403A, 503A, 603A, 703A…發(fā)光筒部(第 I 筐體)、3B, 203B, 303B, 403B, 503B, 603B, 703B…導光筒部(第2筐體)、8b, 205A, 308A, 408A, 508B…固定環(huán)構件(定位構件、固定構件)、9，109, 609...反射筒部(金屬構件)、9a, 609a…反射面、9b, 109b, 609b…外壁面、12…彈簧構件(定位構件)、13…內壁面、112…金屬帶(定位構件)、li, IOli, 201i, 301i, 401i, 501i…氘燈、2i, 202i…發(fā)光部、3Ai, 303Ai, 403A1...發(fā)光筒部(第I筐體)、38丨，3038丨，4038卜.導光筒部(第2筐體)、4卜.出射窗部、5卜.陰極、6i...陽極、7i...方文電通道限制部、8ai…光通過口、8bi…固定環(huán)(固定構件)、208bi...爪部(固定構件)、9i，109i, 309i…反射筒部(筒狀構件)、9ai，109ai…反射面、9bi，109bi…外壁面(偵愐)、9ci...開口部、IOi…熱輻射膜、12i，112i…彈簧構件、308ei…孔部、lj, IOlj…光源、2j...發(fā)光部、3Aj…發(fā)光筒部(第I筐體)、3Bj...導光筒部(第2筐體)、4j…出射窗部、5j...陰極、6j...陽極、5aj，6aj…開口、7j…毛細管部、9j, 109」，209]_，309]、..反射筒部(筒狀構件)、9&」，109aj…反射面、9b j，109b j…外壁面(側面)、9cj，109cj, 209cj, 309cj…開口部、10j…熱輻射膜、12j，112j, 112aj…彈簧構件、X-光軸、lk, 101k, 201k, 301k…光源、2k, 202k…發(fā)光部、3Ak, 203Ak, 303Ak…發(fā)光筒部(第I筐體)、381^，20381^ 30381^..導光筒部(第2筐體)、4k…出射窗部、9k, 109k, 209k, 309k, 409k, 509k…反射筒部(筒狀構件)、9ak, 109ak…反射面、9bk，109bk...外壁面(側面)、9ck, 109ck, 209ck, 309ck, 409ck, 509ck…開口部、IOk…熱輻射膜。
具體實施例方式以下，一邊參照附圖一邊詳細地說明本發(fā)明所涉及的光源的優(yōu)選實施方式。再有，在附圖的說明中，用相同的符號表示相同或相當部分，省略重復的說明。另外，各附圖是為了說明用而制作的，并以特別強 調說明的對象部位的方式進行描繪。因此，附圖的各部件的尺寸比率不必與實際的一致。[第I實施方式]圖1是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所表示的光源I是作為質量分析裝置的光離子化源等的分析儀器用光源或真空除電用光源而使用的所謂的氘燈。該光源I具備玻璃制的密封容器3，該密封容器一體地連接有:收納有使氘氣放電而產生光的發(fā)光部2的大致圓筒狀的發(fā)光筒部(第I筐體)3A、以及與該發(fā)光筒部3A連通并且從發(fā)光筒部3A的側壁沿著發(fā)光部2所產生的光的光軸X而突出的大致圓筒狀的導光筒部(第2筐體)3B。在該密封容器3，氘氣被封入有數(shù)百Pa左右。更詳細而言，導光筒部3B的沿著光軸X的方向的一個端側與發(fā)光筒部3A —體化并連通，另一個端側被使從發(fā)光部2產生的光出射到外部的出射窗部4所封閉。該出射窗部4的材質例如是MgF2(氟化鎂)、LiF(氟化鋰)、石英玻璃、藍寶石玻璃等。收納在發(fā)光筒部3A的發(fā)光部2由陰極部5、陽極部6、在配置在陽極部6與陰極部5之間的中心部形成有開孔(aperture)的放電通道限制部7、以及圍繞這些而配置的收納盒8所構成。在該收納盒8的導光筒部3B側的面，用于取出由發(fā)光部2所產生的光的矩形形狀的光通過口 8a以與導光筒部3B的出射窗部4相對的方式形成，并且固定有由以圍繞該光通過口 8a的方式沿著導光筒部3B的側壁以圓形形狀延伸的壁部構成的固定環(huán)(固定構件)8b。這樣的發(fā)光部2,在陰極部5與陽極部6之間施加電壓時,使其間所存在的氣氣電離并放電，并通過放電通道限制部7將由此形成的等離子狀態(tài)縮窄而變成高密度的等離子狀態(tài)，將由此所產生的光(紫外光)從收容盒8的光通過口 8a朝向沿著光軸X的方向出射。再有，上述的發(fā)光部2由豎立設置在發(fā)光筒部3A的端面所設置的桿(stem)部的桿銷(stem pin)(未圖不)而保持在發(fā)光筒部3A內。S卩，該光源I是光軸X相對于發(fā)光筒部3A的管軸交叉的側面型光源。在這樣的密封容器3內的出射窗部4與連接發(fā)光筒部3A和導光筒部3B的部位之間，插入固定有大致圓筒狀的鋁制的反射筒部(金屬構件)9。如圖2所示，該反射筒部9組合有多個鋁制的金屬塊構件而成為具有比導光筒部3B的內徑更小的外徑的大致圓筒狀的形狀。另外，反射筒部9自身的內壁面被形成為沿著反射筒部9的中心軸線而為曲面或傾斜角階段性地變化的多段面的反射面9a。即，反射筒部9的中心軸方向的兩端形成為錐狀，以使該反射面9a能夠將光聚光于出射窗部4的外側的所期望的面或點。更具體而言，以從反射筒部9的長度方向的中心部至發(fā)光筒部3A側的端部由反射面9a所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9a相對于反射筒部9的中心軸即光軸X傾斜而形成。另外，以從反射筒部9的長度方向的中心軸到出射窗部4側的端部由反射面9a所包圍的直徑緩緩縮小的方式，反射面9a相對于反射筒部9的中心軸傾斜而形成。再有，反射面9a的錐狀部也可以不是將反射筒部9的中心軸方向的兩端而是將任意一方、例如僅將發(fā)光部2側(一個端側)形成為上述那樣的錐狀，并將出射窗部4側(另一個端側)的反射面9a相對于反射筒部9的中心軸平行地形成。該反射面9a以能夠將光聚光于所期望的面或點、或者在所期望的面或點使光發(fā)散的方式設定。這樣的反射面9a被加工成可以使由發(fā)光部2產生的光正反射的鏡面狀態(tài)，例如通過將金屬塊構件切削加工，在對其內壁實施拋光(buff)研磨、化學研磨、電解研磨、利用從這些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用組合這些研磨的研磨方法的研磨之后，實施洗凈處理或用于除去雜質氣體成分的真空處理等而形成。在本實施方式中，反射筒部9組合2個構件而形成，在像這樣由多個金屬塊構件形成反射面9a的情況下，由于能夠減小每個金屬塊構件的長度與內徑之比(長寬比)，因此加工整形時容易得到平坦度，其結果，反射面9a的鏡面度變高。此外，在反射筒部9的外壁面9b的大致整個面，形成有包含高熱輻射率的材料的熱輻射膜10。作為這樣的熱輻射膜10的材料，可以使用與氧化鋁等的反射筒部9的材料相比熱輻射率更高的材料。這里，熱輻射膜10形成在反射筒部9的大致整個面，但也可以形成在反射筒部9的外壁面9b的一個端側的一部分。另外，熱輻射膜10例如通過由蒸鍍或涂布等將構成熱輻射膜10的材料層疊在反射筒部9的外壁面9b上而形成，但特別在像本實施方式那樣反射筒部9由鋁構成的情況下，也可以通過對反射筒部9的外壁面9b進行氧化處理來形成作為熱輻射膜10的氧化鋁的層。另外，在反射筒部9的外壁面9b的長度方向的另一個端側的周緣部，形成有沿著該外壁面9b以成為臺階狀的突出部的方式被切口成圓形形狀的切口部11。該切口部11是為了在密封容器3內定位反射筒部9而設置的。這樣的反射筒部9，從與形成有切口部11的緣部相反側的緣部起，到該緣部與發(fā)光部2的收納盒8相接為止，沿著導光筒部3B的管軸(光軸X)而被插入，并且在彈簧構件12沿著外壁面9b而安裝于切口部11之后，導光筒部3B被出射窗部4所封閉(圖1和圖3)。此時，反射筒部9在其外壁面9b與導光筒部3B的內壁面13分離的狀態(tài)下被嵌入到收納盒8的固定環(huán)Sb的內側(圖3)。該彈簧構件12是金屬構件，例如是由耐熱性高的不銹鋼或鉻鎳鐵合金構成的反射筒部9的定位用的構件，配置在切口部11與出射窗部4之間，具有通過沿著光軸X從出射窗部4側向發(fā)光部2側對反射筒部9施力而推碰到收納盒8的功能。由此，反射筒部9,在密封容器3內的出射窗部4與發(fā)光部2之間與導光筒部3B分尚并且靠近發(fā)光部2的狀態(tài)下,在沿著光軸X的方向和與光軸X正交的方向上被定位。根據(jù)以上說明的光源I，通過將從發(fā)光筒部3A內的發(fā)光部2產生的光引導至被插入到與發(fā)光筒部3A連接的導光筒部3B的筒狀的反射筒部9的內部，從而從設置在導光筒部3B的出射窗部4出射。這里，由于反射筒部9的內壁面形成在反射面9a，因此，從發(fā)光部2出射的光被反射筒部9的內部的反射面9a全反射并被從導光筒部3B的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部2產生的光而引導至導光筒部3B的出射窗部4。此時，通過適當?shù)卦O定反射面9a的傾斜角，也能夠使出射窗部4的外部的出射光的分布為平行光、發(fā)散光、以及聚焦光，還能夠提高規(guī)定的照射面上的光強度的均勻性。與此同時，能夠提高來自出射窗部4的光的取出效率，并能夠增加出射光的總光量和照射面上的光量。另外，在現(xiàn)有的氘燈中，來自出射窗的光輻射圖案根據(jù)與該出射窗的距離而變化，有容易產生輻射光微弱缺失部分的傾向，但在光源I中，能夠減少那樣的光照射圖案的缺失部分的產生。另外，與通過由鋁塊等金屬構件構成反射筒部9自身而例如在反射筒部9的內部形成由金屬等構成的反射膜的情況不同，能夠抑制反復進行溫度上升和下降時的、因構成材料的膨脹系數(shù)的差異而產生的反射面9a的剝離或脫落等所引起的性能劣化或異物產生，從而能夠實現(xiàn)長壽命化。另外，由于鏡面度高的反射面的加工變得容易，因此能夠將所產生的光有效地聚光，而且所產生的紫外光不透過，另外，不會由于紫外光而劣化，因此能夠更高效地取出所產生的光。此外，由于反射筒部9的外壁面9b與導光筒部3B的內壁面13分離，因此，能夠防止由于反射筒部9與導光筒部3B的熱膨脹率的差異而造成的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或導光筒部3B的破損。另外，由于反射筒部9的反射面9a的兩端形成為錐狀，因此反射面9a上的光的反射角變大，使反射次數(shù)減少，由此能夠使來自出射窗部4的光的取出效率穩(wěn)定地提高。另外，由于反射筒部9通過被由金屬構件構成的定位構件即彈簧構件12施力而嵌入于收納盒8的固定環(huán)Sb從而在密封容器3內被定位，因此，不會因所產生的紫外光而劣化，使反射筒部9相對于密封容器3的位置穩(wěn)定化，能夠保持來自出射窗部4的光的取出效率。這里，通過采用利用彈簧構件12對收納盒8擠壓的構造，能夠使反射筒部9相對于密封容器3穩(wěn)定地固定，并且即使產生沿著反射筒部9的中心軸方向的熱膨脹，也能夠通過彈簧構件12吸收相對于發(fā)光筒部3A的位置偏移。此外，通過在反射筒部9的外壁面9b的大致整個面形成熱輻射膜10，能夠在反射筒部9的內面形成比周邊或封入氣體更低溫的區(qū)域，通過在該區(qū)域捕捉從發(fā)光筒部3A而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4的擴散或附著和與此相伴的光透過率的降低。另外，在接近于發(fā)光筒部3A的外壁面9b的一部分形成熱輻射膜10的情況下，外壁面9b的一個端側的熱輻射率與外壁面9b的另一個端側的熱輻射率相比更大，其結果，由于在離出射窗部4遠的位置容易附著有濺射物，因此降低了出射窗部4的污染。
另外，若將這樣的光源I作為光離子化源而利用在氣體色譜法質量分析裝置(GC/MS)或液體色譜法質量分析裝置(LC/MS)這樣的質量分析裝置(MS)，則由于能夠既提高聚光性又增大光量，因此不需要將光源I的窗部靠近樣品放出口，能夠減少如下的缺點。即，在光源內沒有光學系統(tǒng)的情況下，由于產生為了提高靈敏度而將窗位置靠近樣品放出口的必要，樣品溫度提高，因此，會有對窗材的密封材料造成不良影響、或者不能靠近等的缺點。另外，在將窗位置靠近樣品放出口的情況下，窗材或接近光源的窗外而設置的光學系統(tǒng)被樣品或溶劑污染，導致測量靈敏度劣化。[第2實施方式]圖4是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的光源的結構的截面圖、圖5 Ca)是圖4的反射筒部的側面圖，圖5 (b)是圖4的反射筒部的正面圖。在該圖所示的光源101中，反射筒部9的定位構造與第I實施方式的不同。即，在內置于光源101的反射筒部109，在其外壁面109b的出射窗部4側的端部，固定有作為定位構件的金屬帶112。在該金屬帶112，具有彈性的多個爪部112a沿著反射筒部109的外周而形成,金屬帶112通過其端部被重疊熔接而被固定在外壁面109b上。這樣的反射筒部109沿著導光筒部3B的內壁面13而被插入到密封容器3內，除了金屬帶112以外的外壁面10%以與內壁面13分離的方式被固定。通過這樣的構造，反射筒部109通過金屬帶112的爪部112a的彈性力，其端部被推碰至收納盒8的固定環(huán)8b，在密封容器3內在沿著光軸X的方向上被定位。此外，反射筒部109通過金屬帶112的爪部112a，在其外壁面109b與導光筒部3B的內壁面13保持一定距離而被分離的狀態(tài)下在光軸X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒109的金屬帶112安裝部，形成與該帶的寬度匹配的槽，由此，可以不增大導光筒部3B的內徑，取得大的從金屬帶112至導光筒部3B的內壁面13的距離，并可以增大爪部112a的角度，從而能夠增強爪部112a的彈性力。通過這樣的光源101，也能夠防止因反射筒部109與導光筒部3B的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部109的位置偏移或者反射筒部109或導光筒部3B的破損。另外，由于反射筒部109被定位構件即金屬帶112施力而嵌入于收納盒108的固定環(huán)8b從而在密封容器3內被定位，因此，使反射筒部109相對于密封容器3的位置穩(wěn)定化，能夠保持從出射窗部4而來的光的取出效率。[第3實施方式]圖6是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所示的光源201是將本發(fā)明適用于毛細放電管的情況下的例子。光源201具備連接有發(fā)光筒部203A與導光筒部203B的密封容器203。在該發(fā)光筒部203A，收納有由陰極部205、陽極部206、以及配置在陽極部206與陰極部205之間的毛細管207構成的發(fā)光部202。再有，密封容器203內封入有氫(H2)、氙(Xe)、氬(Ar)、氪(Kr)等氣體。這樣的發(fā)光部202，若在陰極部205與陽極部206之間施加電壓，則使其間所存在的氣體電離、放電，其結果產生的電子被聚焦在毛細管207內而變成等離子狀態(tài)，由此使光沿著光軸X朝向導光筒部203B側出射。例如，在使用Kr作為封入氣體且使用MgF2作為出射窗部4的材料的情況下，可以進行117/122nm的波長下的發(fā)光，在使用Ar作為封入氣體且使用LiF作為出射窗部4的材料的情況下，可以進行105nm的波長下的發(fā)光。該陰極部205也具有作為配置在分隔發(fā)光筒部203A與導光筒部203B的部位的連接構件的作用。詳細而言，陰極部205成為:形成有用于取出發(fā)光部202所產生的光的圓形形狀的光通過口 208a且成為以外壁面9b與導光筒部203B的內壁面分離的方式被插入的反射筒部9的定位用的固定構件的固定環(huán)構件205A、以及與導光筒部203B和環(huán)構件205A相接合的環(huán)構件205B的雙層構造。再有，也可以安裝其他構件作為反射筒部9相對于陰極部205的定位用的構件。在反射筒部9組裝到這樣的光源201的密封容器203時，將陰極部205的固定環(huán)構件205A和環(huán)構件205B分別密封于發(fā)光筒部203A和導光筒部203B。然后，在一邊將反射筒部9嵌入到固定環(huán)構件205A的臺階部一邊以與導光筒部203B的內壁面分離的方式插入之后，使固定環(huán)構件205A和環(huán)構件205B重疊并進行真空熔接而進行組裝。再有，也可以在將反射筒部9熔接于陰極部205并固定之后，通過將導光筒部203B可以真空保持地接合于陰極部205來進行組裝。通過這樣的光源201，也能夠防止因反射筒部9與導光筒部203B的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或導光筒部203B的破損。另外，由于反射筒部9被定位構件即彈簧構件12施力而嵌入于陰極部205的固定環(huán)構件205A從而在密封容器203內被定位，因此，使反射筒部9相對于密封容器203的位置穩(wěn)定化,能夠穩(wěn)定地保持從出射窗部4而來的光的取出效率。另外，通過在反射筒部9的靠近發(fā)光筒部203A的一個端側的外壁面9b形成有熱輻射膜10，從而能夠在接近于發(fā)光部202的反射筒部9的內側形成比周邊或封入氣體更低溫的部分，通過在該部分捕捉從發(fā)光筒部203A而來的濺射物等的異物，能夠抑制異物向出射窗部4的擴散和與此相伴的光透過率的降低。[第4實施方式]圖7是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所示的光源301是將本發(fā)明適用于電子激發(fā)光源的情況下的例子。光源301具備連接有發(fā)光筒部303A與導光筒部303B的密封容器303，其內部保持為高真空。在該發(fā)光筒部303A，收納有由具有AlGaN等結晶薄膜的固體發(fā)光靶305、電子槍部306、以及配置在固體發(fā)光靶305與電子槍部306之間的電子透鏡部307構成的發(fā)光部202。這樣的發(fā)光部302，通過利用電子透鏡部307控制由電子槍部306所形成的電子流而使其朝向固體發(fā)光靶305加速后碰撞。由此，發(fā)光部302能夠朝向導光筒部203B側而在沿著光軸X的方向上產生光。例如，在使用AlGaN作為固體發(fā)光靶305的結晶薄膜材的情況下，可以進行200 300nm左右的波帶的發(fā)光。構成密封容器203的發(fā)光筒部303A與導光筒部303B由具有導電性的封閉用環(huán)構件308連結，封閉用環(huán)構件308與發(fā)光筒部303A和導光筒部303B的接觸部分以可以真空保持的方式接合。該封閉用環(huán)構件308成為:形成有用于取出發(fā)光部302所產生的光的圓形形狀的光通過口 308a且成為以外壁面9b與導光筒部303B的內壁面分離的方式被插入的反射筒部9的定位用的固定構件的固定環(huán)構件308A、以及與導光筒部303B和固定環(huán)構件308A相接合的環(huán)構件308B的雙層構造。再有，也可以安裝其他構件作為反射筒部9相對于封閉用環(huán)構件308的定位用的構件。在該封閉用環(huán)構件308的固定環(huán)構件308A，接觸和固定有固定發(fā)光祀305,并通過從外部對固定環(huán)構件308A施加電位而設定固體發(fā)光祀305的電位。通過將固體發(fā)光靶305接觸和固定于固定環(huán)構件308A，能夠將由電子入射所產生的熱從封閉用環(huán)構件308A或反射筒部9放出到外部，從而提高發(fā)光效率或裝置壽命。另外，也可以通過另外設置電極來設定固體發(fā)光靶305的電位。通過這樣的光源301，也能夠防止因反射筒部9與導光筒部303B的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或導光筒部303B的破損。另外，由于反射筒部9被定位構件即彈簧構件12施力而被嵌入于封閉用環(huán)構件308的固定環(huán)構件308A的臺階部從而在密封容器303內被定位，因此，使反射筒部9相對于密封容器303的位置穩(wěn)定化，能夠穩(wěn)定地保持從出射窗部4而來的光的取出效率。[第5實施方式]圖8是表示本發(fā)明的第5實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所示的光源401是將本發(fā)明適用于激光激發(fā)光源的情況下的例子。光源401具備經由隔壁而密封有發(fā)光筒部403A與導光筒部403B的密封容器403，該發(fā)光筒部403A的內部封入有稀有氣體，導光筒部403B的內部封入有不活潑氣體或者保持為真空。在該發(fā)光筒部403A，在導光筒部403B的相反側密封有入射窗部407，在導光筒部403B側的隔壁設置有出射窗部407。具備該入射窗部406和出射窗部407的發(fā)光筒部403A自身構成發(fā)光部。即，若激光從未圖不的激光光源沿著光軸X入射至這樣的發(fā)光筒部403A的入射窗部406，則通過內部的稀有氣體激發(fā)光，該光沿著光軸X從出射窗口 407輻射。例如，在使用Xe作為稀有氣體且入射Nd: YAG激光的三倍波(355nm)的情況下，通過Xe的第三諧波發(fā)生法可以產生IlSnm的波長下的發(fā)光。發(fā)光筒部403A與導光筒部403B之間的隔壁由封閉用環(huán)構件408構成且封閉用環(huán)構件408與發(fā)光筒部403A和導光筒部403B的接觸部分以可以真空保持的方式接合。該封閉用環(huán)構件408成為:形成有用于經由出射窗部407取出由發(fā)光筒部403A所產生的光的圓形形狀的光通過口 408a且成為以外壁面9b與導光筒部403B的內壁面分離的方式被插入的反射筒部9的定位用的固定構件的固定環(huán)構件408A、以及與導光筒部403B和固定環(huán)構件408A相接合的環(huán)構件408B的雙層構造。再有，也可以安裝其他構件作為反射筒部9相對于封閉用環(huán)構件408的定位用的構件。通過這樣的光源401，也能夠防止因反射筒部9與導光筒部403B的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或導光筒部403B的破損。另外，由于反射筒部9被定位構件即彈簧構件12施力而被嵌入于封閉用環(huán)構件408的固定環(huán)構件408A的臺階部從而在密封容器403內被定位，因此，使反射筒部9相對于密封容器403的位置穩(wěn)定化，能夠穩(wěn)定地保持從出射窗部4而來的光的取出效率。另外，通過光源401的構造，能夠將由激光激發(fā)所產生的熱從封閉用環(huán)構件408或反射筒部9放出到外部，從而提高發(fā)光效率或裝置壽命。另外，也可以在發(fā)光筒部403A不設置出射窗部407,使發(fā)光筒部403A與導光筒部403B為相同的氣壓。[第6實施方式]圖9是表示本發(fā)明的第6實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所示的光源501是將本發(fā)明適用于與第5實施方式相比較替代激光而用電子來激發(fā)稀有氣體而發(fā)光的電子激發(fā)氣體光源的情況下的例子。光源501具備在發(fā)光筒部503A的兩端連接有導光筒部503B與電子發(fā)生筒部503C的密封容器503。該發(fā)光筒部503A經由隔壁即封閉用環(huán)構件508B，與以其內壁面與反射筒部9的外壁面9b分離的方式被插入固定有反射筒部9的導光筒部503B相密封，經由隔壁即封閉用環(huán)構件508C與電子發(fā)生筒部503C相密封。再者，發(fā)光筒部503A的內部封入有稀有氣體，導光筒部503B的內部封入有不活潑氣體或者保持為真空，電子產生筒部503C的內部保持為真空。在該封閉用環(huán)構件508C，設置有由Si或SiN等的具有電子透過性的材料形成的電子透過窗部507C，在封閉用環(huán)構件508B設置有出射窗部507B。再有，封閉用環(huán)構件508B的構造與第5實施方式所涉及的封閉用環(huán)構件408的構造是同樣的。在構成密封容器503的一部分的電子發(fā)生筒部503的內部，收納有電子槍部509和配置在電子透過窗部507C與電子槍部306之間的電子透鏡部510。在這樣的電子發(fā)生筒部503中，能夠通過利用電子透鏡部507C控制由電子槍部509所形成的電子流而使其朝向電子透過窗部507C沿著光軸X加速。再者，若在發(fā)光筒部503A的內部電子流沿著光軸X入射，則由內部的稀有氣體激發(fā)光，該光從出射窗部507B沿著光軸X福射而被引導到導光筒部503B內。通過這樣的光源501，也能夠防止因反射筒部9與導光筒部503B的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9的位置偏移或者反射筒部9或導光筒部503B的破損。另外，由于反射筒部9被定位構件即彈簧構件12施力而被嵌入于封閉用環(huán)構件508B的臺階部從而在密封容器503內被定位，因此，使反射筒部9相對于密封容器503的位置穩(wěn)定化,能夠穩(wěn)定地保持從出射窗部4而來的光的取出效率。另外，通過光源501的構造，能夠將由電子激發(fā)所產生的熱從封閉用環(huán)構件508或反射筒部9放出到外部，從而提高發(fā)光效率或裝置壽命。另外，也可以在發(fā)光筒部503A不設置出射窗部507,而使發(fā)光筒部503A與導光筒部503B為相同的氣壓。再有，本發(fā)明并不限定于上述的實施方式。例如，在上述的實施方式中，將反射筒部9推碰至設置在發(fā)光筒部3A，203A, 303A, 403A, 503A側的定位用的構件來進行固定，但也可以通過激光熔接等而直接固定于定位構件。在圖10中，作為本發(fā)明的變形例即光源601，表示反射筒部609通過激光熔接或點熔接而固定于發(fā)光部2的收納盒8的構造。詳細而言，將不銹鋼環(huán)614固定于反射筒部609的外壁面60%的端部，通過激光熔接或點熔接使其端部的不銹鋼環(huán)614與收納盒8的固定環(huán)8b的接觸部分熔融并彼此固著。在該圖所示的光源601中，雖然縮短導光筒部603B，但通過使反射筒部609與其匹配地設計從而能夠使出射光的分布為平行光或擴散光，并且能夠提高照射面上的光強度的均勻性。另外，如光源601那樣，可以在反射筒部609的發(fā)光筒部603A側的端部設置突出部615，并使該突出部615以在不阻礙荷電粒子的流動的范圍內靠近放電通道限制部7的方式在收納盒8內延伸地配置。由此，能夠增加來自出射窗部4的光量，并且能夠從發(fā)光部2的內部進行反射筒部609所引起的濺射物等異物的捕捉，從而能夠進一步抑制濺射物向低溫度部的出射窗部4的附著。另外，即使圖6 圖9所示的第3 第6實施方式的反射筒部9的固定中，也可以使用圖10所示的激光熔接或點熔接。此時，與圖10同樣地，優(yōu)選將不銹鋼環(huán)固定于反射筒部9的端部，并將該不銹鋼環(huán)與固定構件熔接。另外，作為固定在反射筒部609的前端的熔接用的構造體，也可以采用各種各樣的形狀的構造體。例如，如圖11所示，也可以通過將不銹鋼制的C型止輪等的止輪714固定于反射筒部609的端部609d的外周，并將該止輪714與收納盒8的反射筒部固定用構件熔接來使反射筒部609相對于發(fā)光部2固定。此外，如圖12所示，也可以將不銹鋼制的薄片材814以帶狀卷繞在反射筒部609的端部609d的外周部，并將其終端部重疊并熔接而固定。在該薄片材814的端部9d側，設置有相對于反射筒部609的中心軸垂直地延伸的多個凸緣部814a，可以通過將該凸緣部814a與固定用構件熔接而固定反射筒部609。另外，也可以通過不設置凸緣部814a而將薄片材814與固定用構件的接近部分熔接而固定反射筒部609。在圖13中，作為本發(fā)明的變形例，表示作為桿703C、發(fā)光筒部703A、以及導光筒部703B配置在與光軸同軸上的氘燈的光源701。在這樣的光源701中，可以進行從相同的軸方向的組裝。詳細而言，可以在將反射筒部109固定于發(fā)光部2的固定環(huán)Sb而一體化之后，插入到導光筒部703B和發(fā)光筒部703A —體化了的密封容器703內，并用桿703C封閉密封容器703而進行制作。與光源601的情況同樣地，將端部環(huán)614壓入并固定在該反射筒部109，通過將該端部環(huán)614與固定環(huán)Sb熔接，從而反射筒部109被固定。此外，在反射筒部109，與光源101的情況同樣地，在其外壁面109b的出射窗部4側的端部固定有金屬帶112。通過該金屬帶112，提高導光筒部703B與反射筒部109的同軸性。除了這樣的固定方法以夕卜，也可以是增加固定環(huán)8b的高度而對反射筒部109的插入部分與固定環(huán)Sb進行螺紋加工來固定，或者在固定環(huán)8b制作螺紋孔并插入反射筒部109后用螺絲等固定的方法。另外，在光源1，101,201中，在反射筒部9的外壁面9b的一部分或全體形成有熱輻射膜10，相反，也可以在外壁面9b的除了發(fā)光筒部3A，203A側的端部的部分，形成與反射筒部9的原材料相比熱輻射率更低的材料。由此,相對地提高一個端側的放熱性,能夠期待與熱輻射膜10同樣的效果。另外，也可以用與構成另一個端側的金屬塊構件的材料相比熱輻射率更大的材料來構成構成反射筒部9，109的一個端側的金屬塊構件的材料。另外，作為發(fā)光筒部3A，203A, 303A, 403A, 503A,也可以使用具有其他的發(fā)光方式的發(fā)光筒部，例如使用準分子燈。[第7實施方式]圖14是表示本發(fā)明的第7實施方式所涉及的氘燈的結構的截面圖。該氘燈Ii具備一體地連接有收納有使氘氣放電而產生光的發(fā)光部2i的大致圓筒狀的發(fā)光筒部(第I筐體)3A1、以及與該發(fā)光筒部3Ai連通并且從發(fā)光筒部3Ai的側壁沿著發(fā)光部2i所產生的光的光軸而突出的大致圓筒狀的導光筒部(第2筐體)3Bi的玻璃制的密封容器3i。在該密封容器3i，氘氣被封入有數(shù)百Pa左右。更詳細而言，導光筒部3Bi的沿著光軸X的方向的一個端側與發(fā)光筒部3Ai —體化并連通，另一個端側被使從發(fā)光部2i產生的光出射到外部的出射窗部4i所封閉。該出射窗部4i的材質例如是MgF2 (氟化鎂)、LiF (氟化鋰)、石英玻璃、藍寶石玻璃等。收納在發(fā)光筒部3Ai的發(fā)光部2i由陰極51、陽極61、在配置在陽極6i與陰極5i之間的中心部形成有由導電性的高熔點金屬制作的限制放電通道的開孔的放電通道限制部71、以及圍繞它們而配置的收納盒8i所構成。在該收納盒8i的導光筒部3Bi側的面，用于取出由發(fā)光部2i所產生的光的矩形形狀的光通過口(開口部)8ai以與導光筒部3Bi的出射窗部4i相對的方式形成，并且固定有由以圍繞該光通過口 8ai的方式沿著導光筒部3Β 的側壁以圓形形狀延伸的壁部構成的固定環(huán)(固定構件)8b。這樣的發(fā)光部2i，在陰極 5與陽極6i之間施加電壓時，使其間所存在的氘氣電離并放電，通過放電通道限制部7將由此形成的等離子狀態(tài)縮窄而變成高密度的等離子狀態(tài)，將由此所產生的光(紫外光)從收容盒8i的光通過口 8ai沿著光軸X的方向出射。再有，上述的發(fā)光部2i通過豎立設置在發(fā)光筒部3Ai的端面所設置的桿部的桿銷(未圖不)而被保持在發(fā)光筒部3Ai。S卩，該氣燈Ii是光軸X相對于發(fā)光筒部3Ai的管軸交叉的側面型氘燈。在這樣的密封容器3i內的出射窗部4i與連接發(fā)光筒部3Ai和導光筒部3Bi的部位之間，插入固定有大致圓筒狀的反射筒部(筒狀構件)9i。如圖15所示，該反射筒部9i組合有多個鋁制的金屬塊構件而成為具有比導光筒部3Bi的內徑更小的外徑的大致圓筒狀的形狀。該反射筒部9i自身的內壁面被形成為沿著反射筒部9i的中心軸線而為曲面或傾斜角階段性地變化的多段面的反射面9ai。即，反射筒部9i的中心軸方向的兩端形成為錐狀，以使該反射面9ai能夠將光聚光于出射窗部4i的外側的所期望的面或點。更具體而言，以從反射筒部9i的長度方向的中心部至發(fā)光筒部3Ai側的端部由反射面9ai所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9ai相對于反射筒部9i的中心軸即光軸X傾斜地形成。另外，以從反射筒部9i的長度方向的中心部到出射窗部4i側的端部由反射面9ai所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9ai相對于反射筒部9i的中心軸傾斜地形成。這里，反射面9ai以與將位于發(fā)光部2i的放電通道限制部7i的開孔的中心的發(fā)光中心C。與反射面9ai的發(fā)光部2i側的端部連結的線L相比較，反射面9ai相對于光軸X的傾斜角變小的方式設定。例如，相對于線L相對于光軸X的傾斜角為10 30度,離發(fā)光中心Cc!側最近的段的反射面9ai的傾斜角被設定為2 15度。再有，反射面9ai的錐狀部可以不是將反射筒部9i的中心軸方向 的兩端而是將任意一方、例如僅將發(fā)光部2i側(一個端側)形成為上述那樣的錐狀，將出射窗部4i側(另一個端側)的反射面9ai相對于反射筒部9i的中心軸平行地形成。這樣的反射面9ai被加工成使由發(fā)光部2i產生的光可以正反射的鏡面狀態(tài)，例如通過將金屬塊構件切削加工，在對其內壁實施拋光研磨、化學研磨、電解研磨、利用從這些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用結合這些研磨的研磨方法的研磨之后，實施洗凈處理或用于除去雜質氣體成分的真空處理等而形成。在本實施方式中，反射筒部9i組合2個構件而形成，在像這樣由多個金屬塊構件形成反射面9ai的情況下，由于能夠減小每個金屬塊構件的反射面9ai的長度與內徑之比(長寬比)，因此加工整形時容易得到平坦度，其結果，反射面9ai的鏡面度變高。此外，在反射筒部9i的外壁面9bi的大致整個面，形成有包含高熱輻射率的材料的熱輻射膜10i。作為這樣的熱輻射膜IOi的材料，可以使用與氧化鋁等的反射筒部9i的材料相比熱輻射率更高的材料。另外，熱輻射膜IOi例如通過由蒸鍍或涂布等將構成熱輻射膜IOi的材料層疊在反射筒部9i的外壁面9bi上而形成，但特別在像本實施方式那樣反射筒部9i由鋁構成的情況下，也可以通過對反射筒部9i的外壁面9bi進行氧化處理來形成作為熱輻射膜IOi的氧化鋁的層。
另外，在反射筒部9i的外壁面9bi的長度方向的另一個端側的周緣部，沿著其外壁面9bi，以成為臺階狀的突出部的方式形成有被切口成圓形形狀的切口部11 i。該切口部Ili是為了在密封容器3i內定位反射筒部9i而設置的。這樣的反射筒部9i，直到一個端側的端部9di與發(fā)光部2i的收納盒Si相接為止，從緣部9di側沿著導光筒部3Bi的管軸(光軸X)而被插入，并且在彈簧構件12i沿著外壁面9bi而安裝于切口部Ili之后，導光筒部3Bi的另一個端側被出射窗部4i封閉(圖14和圖16)。此時,反射筒部9i在其外壁面9bi與導光筒部3Bi的內壁面13i分尚的狀態(tài)下被嵌入到收納盒8i的固定環(huán)8bi的內偵彳(圖16)。該彈簧構件12i是金屬構件，例如是由耐熱性高的不銹鋼或鉻鎳鐵合金構成的反射筒部9i定位用的構件，配置在切口部Ili與出射窗部4i之間，具有通過對反射筒部9i沿著光軸X從出射窗部4i側向發(fā)光部2i側施力而推碰至收納盒8i的功能。由此，反射筒部9i在密封容器3i內的出射窗部4i與發(fā)光部2i之間，一個端側的端部9di與發(fā)光部2i的收納盒Si相接并且另一個端側被插入到導光筒部3Bi而接近于出射窗部4i的狀態(tài)下被定位。根據(jù)以上說明的氘燈li，發(fā)光筒部3Ai內的發(fā)光部2i的陰極5i與陽極6i之間所產生的放電被放電通道限制部7i縮窄而產生光，通過將由發(fā)光部2i所產生的光引導至從與發(fā)光筒部3Ai連通的導光筒部3Bi的出射窗部4i到發(fā)光部2i為止被插入的反射筒部9i的內部，從而從出射窗部4i出射。這里，由于在反射筒部9i的內壁面形成有反射面9ai，因此，從發(fā)光部2i出射的光被反射筒部9i的內部的反射面9ai反射并被從導光筒部3Bi的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部2i產生的光而引導至導光筒部3Bi的出射窗部4i。此外，由于反射面9ai的兩端側形成為錐狀，因此能夠將光聚光在出射窗部4i的外部的規(guī)定位置。此外，能夠提高從出射窗部4而來的光的取出效率，并增加出射光的總光量和照射面上的光量。另外，在現(xiàn)有的氘燈中，從出射窗而來的光輻射圖案根據(jù)與該出射窗的距離而變化，有容易產生輻射光微弱缺失部分的傾向，但在氘燈Ii中，能夠減少那樣的光照射圖案的部分的缺失的部分的產生。其結果，能夠高效率地取出所產生的光。圖17是表不來自于氣燈Ii的發(fā)光中心Ctl的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。圖29是來自于從氘燈Ii中除去反射筒部9i后的氘燈901i的發(fā)光中心C。的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。如圖29所示，相對于光軸X輻射角大的光成分La在氘燈901i中不全反射而透過密封容器3i或被吸收。與此相對，如圖17所示，在氘燈Ii中，由于使這樣的光成分La也在反射面9ai被全反射而作為前方照射成分起作用，因此照射光量增多。此外，由于發(fā)光中心C0側的反射面9ai成為錐狀，因此能夠使反射光不成為發(fā)散成分而從出射窗部4i被聚光在所期望位置周邊。另外，與在氘燈901i中被密封容器3i反射但成為發(fā)散光的光成分Lb，Ld相關，在氘燈Ii中能夠聚光在所期望位置周邊。此外，由于氘燈Ii的出射窗部4i側的反射面9ai成為錐狀，因此，由于減小相對于X軸的輻射角，因此能夠將氘燈901i中從出射窗部4i發(fā)散的光成分L。作為聚光成分來利用，并且能夠將光成分Ld聚光在所期望位置周邊的適當位置。其結果，能夠將反射筒部9i的反射面9ai做成可以將放射光的多的成分作為聚光成分來利用的構造。
再有，通過調整反射筒部9i的反射面9ai的錐狀部分的形狀，能夠將來自出射窗部4i的出射光不聚光而成為平行光多的分布、或相反變成擴散分布。另外，由于通過用鋁制的金屬塊構件等的金屬構件構成反射筒部9i自身，鏡面度高的反射面的加工變得容易，因此能夠有效地將所產生的光聚光。此外，與例如在反射筒部9i的內部形成由金屬等構成的反射膜的情況不同，能夠抑制在反復進行溫度上升和下降時的因構成材料的膨脹系數(shù)不同而產生的反射面9ai的剝離或脫落等所引起的性能劣化或異物產生，從而能夠實現(xiàn)長壽命化。而且，所產生的紫外光不透過，另外，不會因紫外光而劣化，因此能夠更高效地取出所產生的光。此外，由于反射筒部9i的外壁面9bi與導光筒部3Bi的內壁面13i分離，因此，能夠防止由于反射筒部9i與導光筒部3Bi的熱膨脹率的差異而造成的反射筒部9i的位置偏移或者反射筒部9i或導光筒部3Bi的破損。另外，由于反射筒部9i通過被由金屬構件構成的定位構件即彈簧構件12i施力而被嵌入于收納盒8的固定環(huán)Sbi從而在密封容器3i內被定位，因此，不會因所產生的紫外光而劣化，容易進行反射筒部9i相對于發(fā)光部2i的放電通道限制部7i的開孔的位置和軸對準，提高位置精度，并能夠保持從出射窗口 4i而來的光的取出效率。此外，通過采用利用彈簧構件12i對收納盒Si擠壓的構造，能夠使反射筒部9i相對于密封容器3i穩(wěn)定地固定，并且即使產生沿著反射筒部9i的中心軸方向的熱膨脹，也能夠通過彈簧構件12i吸收相對于發(fā)光筒部3Ai的位置偏移。這里，雖然也考慮到在氘燈的封裝之時使導光筒部3Bi與放電通道限制部7i的開孔的位置或角度的關系一致來調整輻射光分布，但是在這種情況下，由于出射窗部4i與開孔的進深位置差異大，因此位置調整難。在本實施方式中，通過導入反射筒部9i，使導光筒部3Bi與反射筒部9i的位置關系被穩(wěn)定地確定，通過使反射筒部9i與固定環(huán)8bi匹配而使反射筒部9i與開孔的位置或角度的關系也匹配。因此，使導光筒部3Β 與開孔的位置關系精度高地匹配。此外，如圖15所 示，通過在反射筒部9i的外壁面9bi的大致整個面形成熱輻射膜10i，能夠在接近于發(fā)光部2i的反射筒部9i的內面形成比周邊或封入氣體更低溫的區(qū)域，通過在該區(qū)域捕捉從發(fā)光筒部3Ai而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4i的擴散和與此相伴的光透過率的降低。另外，通過將這樣的氘燈Ii作為光離子化源而利用在氣體色譜法質量分析裝置(GC/MS)或液體色譜法質量分析裝置(LC/MS)這樣的質量分析裝置(MS)，可以實現(xiàn)高靈敏度化、窗材的污染的抑制、以及良好的時間響應特性。首先，通過能夠飛躍地增加照射面的光量而能夠提高與樣品的接觸概率，與現(xiàn)有的光離子化源相比能夠大幅(接近10倍)地提高靈敏度。另外，可以實現(xiàn)適合于各種MS的聚光性，從如下那樣的方面提高測量靈敏度。即，在MS的情況下，可以將用于在離子化室中將離子導入到識別部的電場分布集中照射于有效的部分。另外，在GC/MS的情況下，可以從離子化室的數(shù)mm左右的開口有效地集中導入光。另外，在LC/MS的情況下，可以聚光于將離子導入到識別部的開孔附近并提高離子密度，能夠使光離子化源的窗部遠離樣品的噴出口來抑制窗部的污染，并且由于與現(xiàn)有相比提高了聚光性，因此即使與離子化源遠離靈敏度也不會劣化。即，高密度的光投射到樣品的高密度部而能夠提高離子化效率從而實現(xiàn)高靈敏度化，能夠通過使光離子化源的窗部遠離樣品的噴出口來抑制窗部的污染，并通過聚光于樣品的噴出口而能夠加快響應速度。
[第8實施方式]圖18是表示本發(fā)明的第8實施方式所涉及的氘燈的結構的截面圖，圖19(a)是圖18的反射筒部的側面圖，圖19 (b)是圖18的反射筒部的端面圖。該圖所示的氣燈IOli,反射筒部109i的定位構造等與第7實施方式不同。即，在內置于氘燈IOli的反射筒部109i，在其外壁面109bi的出射窗部4i側的端部固定有作為定位構件的金屬帶112i。在該金屬帶112i，具有彈性的多個爪部112ai的沿著反射筒部109i的外周而形成，金屬帶112i通過其端部被重疊熔接而被固定在外壁面109bi上。這樣的反射筒部109i沿著導光筒部3Bi的內壁面13i而被插入到密封容器3i內，以除了金屬帶112i以外的外壁面109bi與內壁面13i分離的方式被固定。通過這樣的構造，反射筒部109i通過金屬帶112i的爪部112ai的彈性力，其一個端側的端部109di被推碰到收納盒8i的固定環(huán)8bi,在密封容器3i內在沿著光軸X的方向上被定位。此外，反射筒部109i通過金屬帶112i的爪部112ai，在其外壁面109bi與導光筒部3Bi的內壁面13i保持一定距離而被分離的狀態(tài)下在光軸X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒109i的金屬帶112i安裝部，形成與該帶寬度匹配的槽，由此可以不增大導光筒部3Bi的內徑，取得大的從金屬帶112i至導光筒部3Bi的內壁面13i的距離，并增大爪部112ai的角度，從而能夠增強爪部112ai的彈性力。通過這樣的氘燈101i，也能夠防止因反射筒部109i與導光筒部3Bi的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部109i的位置偏移或者反射筒部109i或導光筒部3Bi的破損。另外，由于反射筒部109i被定位構件即金屬帶112i施力而被嵌入于收納盒108i的固定環(huán)8bi從而在密封容器3i內被定位，因此，容易進行反射筒部9i相對于發(fā)光部2i的放電通道限制部7i的開孔的位置和軸匹配，提高位置精度，從而能夠保持從出射窗部4i而來的光的取出效率。特別地，在本實施方式中，能夠使反射筒部9i與密封容器3Bi的同軸性穩(wěn)定地維持。另外，由于反射面9ai的兩端側形成為錐狀，因此能夠使光聚光在出射窗部4i的外部的規(guī)定位置而從出射窗部4i高效率地取出光，能夠增加出射光的照射面上的光量。[第9實施方式]圖20是表示本發(fā)明的第9實施方式所涉及的氘燈的結構的截面圖，圖21 (a)是圖20的反射筒部的側面圖，圖21 (b)是圖20的反射筒部的端面圖，圖21 (c)是表示圖20的反射筒部的立體圖。該圖所示的氘燈201i的反射筒部的發(fā)光部側的定位構造與第7實施方式的不同。S卩，在氘燈201i的反射筒部9i的外壁面9bi的長度方向的一個端側，沿著反射筒部9i的外周形成有槽部9ei。另外，在發(fā)光部2i的收納盒8i的導光筒部3Bi側的面，固定有用于通過嵌入反射筒部9i的槽部9ei來固定反射筒部9i的端部的爪部(固定構件)208bi。該爪部208bi具有以圍繞收納盒8i的光通過口 8ai的方式配置的半圓狀部208c1、以及以從該半圓狀部208ci延伸的方式直線狀地形成的用于插入反射筒部9i的開放端部208di (圖 21 (C))。通過這樣的構造，反射筒部9i從爪部208bi的開放端部208di，以使該爪部208bi的凸部沿著槽部9ei的方式，沿著與中心軸垂直的方向被插入，通過插入至半圓狀部208ci的內部而確定相對于收納盒Si的位置。再有，也可以在爪部208bi的與反射筒部9i的外周部的接近部設置用于在插入至半圓狀部208ci的內部時反射筒部9i難以返回到開放端側208di側的卡止部。這里，由于槽部9ei的寬度相對于爪部208bi具有余量，因此，反射筒部9i被彈簧構件12i施力而推碰至收納盒8i，在密封容器3i內在沿著光軸X的方向上被定位。此外，通過將反射筒部9i插入到爪部208bi的半圓狀部208ci，從而在其外壁面9bi與導光筒部3Bi的內壁面13i保持一定距離而被分離的狀態(tài)下在光軸X的垂直方向上也被定位。此時，通過將用于將反射筒部9i向收納盒Si側施力的彈簧構件組裝到爪部208bi，從而可以省略彈簧構件12i。通過這樣的氘燈201i，也能夠防止因反射筒部9i與導光筒部3Bi的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9i的位置偏移或者反射筒部9i或導光筒部3Bi的破損。這里，由于反射筒部9i的長度方向的另一個端面、即與出射窗部4i的相對面，與出射窗部4i分離，因此，即使在組裝制作時或在動作時的溫度下，材質的膨脹產生差異，也不會使玻璃材或窗材破損。另外，反射筒部9i被定位構件即彈簧構件12i施力而與收納盒Si相接，并且通過插入到爪部208bi而在密封容器3i內被定位。由此，容易進行反射筒部9i相對于發(fā)光部2i的放電通道限制部7i的開孔的位置和軸匹配，提高位置精度并高效地取出從出射窗部4i而來的光。特別地，在本實施方式中，能夠使反射筒部9i與密封容器3Bi的同軸性穩(wěn)定地維持。另外，由于反射面9ai的兩端側形成為錐狀，因此能夠使光聚光在出射窗部4i的外部的規(guī)定位置而從出射窗部4i高效率地取出光，能夠增加出射光的照射面上的光量。再有，本發(fā)明不限定于上述的實施方式。例如，在反射筒部9i，109i，通過對金屬構件的內壁研磨加工而形成有反射面9ai，109ai，但是也可以通過蒸鍍或濺射而成膜反射面。詳細而言，對鋁等的金屬構件或玻璃、陶瓷等的構件實施切削加工或成型加工而制作基底，并根據(jù)需要對該基底實施研磨加工后，可以在基底的鏡面蒸鍍或濺射鋁、銠、電介質多層膜等而形成反射面。另外，反射筒部9i，109i由多個金屬塊構件形成，但也可以一體地形成。另外，在上述的實施方式中，通過將反射筒部9i，109i推碰至設置在發(fā)光筒部3Ai側的固定用的構件來固定，但也可以通過激光熔接或點熔接等而直接固定在固定用的構件。此時，在難以直接將反射筒部熔接在固定用構件的情況下，也可以利用嵌合等將可熔接的構造體固定在反射筒部，通過熔接該構造體與固定構件來進行固定。再有，在激光熔接的情況下，也可以隔著發(fā)光筒部3Ai的玻璃構件來進行熔接。在圖22中，作為本發(fā)明的變形例即氘燈301i，表示由由2種不同材料構成的金屬構件構成的反射筒部309i通過激光熔接或點熔接而固定于發(fā)光部2i的收納盒Si的構造。詳細而言，將由不銹鋼構成的端部環(huán)314i固定于由鋁構成的反射筒部309i的一個端側的端部309di的外周,通過激光熔接或點熔接將該端部環(huán)314i與收納盒8i的固定環(huán)8bi的接觸部分熔融并彼此固著。在該圖所示的氘燈301i中，雖然縮短導光筒部303Bi，但使反射筒部309i與其匹配地設計從而能夠使出射光的分布成為平行光或擴散光，并且能夠提高照射面上的光強度的均勻性。另外，如該圖所示，也可以在收納盒Si上的固定環(huán)Sbi的內側設置孔部308ei，將反射筒部309i的端部309di的前端以在不阻礙荷電粒子的流動的范圍內靠近放電通道限制部7i的方式被插入到孔部308ei內。若這樣做，則由于反射筒部9i (反射面9ai)接近于發(fā)光部2i的內部而配置，因此能夠從出射窗部4i更高效率地取出光。另外，作為固定在反射筒部309i的前端的熔接用的構造體，也可以采用各種各樣的形狀的構造體。例如，如圖23所示，也可以通過將不銹鋼制的C型止輪等的止輪615i固定于反射筒部9i的端部9di的外周，并將該止輪615i與收納盒8i的反射筒部固定用構件熔接來使反射筒部9i相對于發(fā)光部2i固定。此外，如圖24所示，也可以將不銹鋼制的薄片材715i帶狀地卷繞在反射筒部9i的端部9di的外周部并使其終端部重疊地熔接而固定。在該薄片材715i的端部9di偵Ij,設置有相對于反射筒部9i的中心軸垂直地延伸的多個凸緣部715ai，可以通過將該凸緣部715ai與固定用構件熔接而固定反射筒部9i。另外，也可以通過不設置凸緣部715i而將薄片材715i與固定用構件的接近部分熔接而固定反射筒部9i。在圖25中，作為本發(fā)明的變形例，表示桿403C1、發(fā)光筒部403A1、以及導光筒部403Bi配置在與光軸同軸上的氘燈401i。在這樣的氘燈401i中，可以進行從相同的軸方向的組裝。詳細而言，可以將反射筒部109i在固定于發(fā)光部2i的固定環(huán)8bi而一體化之后，被插入到導光筒部403Bi和發(fā)光筒部403Ai —體化了的密封容器403i內，并用桿403Ci封閉密封容器403i而制作。在該反射筒部109i，與氘燈301i的情況同樣地，通過端部環(huán)314i被壓入和固定，并將該端部環(huán)314i與固定環(huán)8bi熔接，從而反射筒部109i被固定。此外，在反射筒部109i，與光源IOli的情況同樣地，在其外壁面109bi的出射窗部4i側的端部固定有金屬帶112i。通過該金屬帶112i，提高了導光筒部403Bi與反射筒部109i的同軸性。除了這樣的固定方法以外，也可以是增加固定環(huán)8bi的高度并對反射筒部109i的插入部分與固定環(huán)Sbi進行螺紋加工來固定，或者在固定環(huán)8bi制作螺紋孔并插入反射筒部109i后用螺絲等固定的方法。另外，在氘燈li，101i,201i,301i,401i中，在反射筒部9i，109i, 309i的長度方向的發(fā)光筒部3Ai，303Ai側(一個端側)的外壁面9bi，109bi, 309bi，也可以形成有朝著反射面9ai, 109ai, 309ai貫通的開口部。例如，在圖26 28所示的氘燈501i中，在反射筒部9i的外壁面9bi的一個端側的緣部，形成有朝向該外壁面9bi的出射窗部4i側(另一個端側)而沿著反射筒部9i的中心軸切口的開口部9ci。詳細而言，開口部9ci沿著反射筒部9i的一個端側的周緣而等間隔地形成在3個地方，在相鄰接的開口部9ci之間3個地方形成有用于嵌入于發(fā)光部2i的固定環(huán)8bi的突出部9di。另外，在收納盒8i的固定環(huán)8bi，在與反射筒部9i的開口部9ci對應的位置形成有開口 8ci。通過這樣的構造，若反射筒部9i嵌入到收納盒Si的固定環(huán)8bi，則在位于發(fā)光筒部3Ai內的反射筒部9i的外壁面9bi的端部，貫通反射面9ai的開口部9ci在經由開口 8ci而與發(fā)光筒部3Ai的內部空間連通的狀態(tài)下配置有多個(圖28)。在這樣的氘燈50 Ii中，能夠將由發(fā)光部2i所產生的濺射物放出到反射筒部9i的外部，從而能夠抑制濺射物向反射筒部9i的反射面9ai或低溫度部的出射窗部4i的附著。其結果，能夠謀求長壽命化，并且提高出射窗部4i的光透過率。再有，由于該開口部9ci位于發(fā)光筒部3Ai內，因此，由發(fā)光部2i產生的派射物在發(fā)光筒部3Ai內被放出而在發(fā)光筒部3Ai內容易被捕捉。其結果，能夠進一步抑制濺射物向出射窗部4i的飛散，進一步延長壽命。另外，在圖22所示那樣的端部環(huán)314i被壓入反射筒部309i的構造中，也可以在端部環(huán)314i形成開口部。另外，在如圖24所示將薄片材715i卷繞在反射筒部9i的構造中，也可以在薄片材715i的與反射筒部9i的開口部9ci對應的位置形成開口部。另外，在圖26 28所示的氘燈501i中，在反射筒部9i的外壁面9bi的長度方向的一個端側形成有熱輻射膜10i。因此，能夠在接近于發(fā)光部2i的反射筒部9i的內側形成比周邊或封入氣體更低溫的部分，通過在該部分捕捉從發(fā)光筒部3Ai而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4i的擴散和與此相伴的光透過率的降低。另外，相反，也可以在外壁面9bi的另一個端側，形成與反射筒部9i的原材料相比熱輻射率更低的材料。由此，相對地提高一個端側的放熱性，能夠期待與熱放射膜IOi同樣的效果。另外，也可以用與構成另一個端側的金屬塊構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成構成反射筒部9i的一個端側的金屬塊構件的材料。[第10實施方式]圖30是表示本發(fā)明的第10實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所示的光源Ij是作為質量分析裝置的光離子化源等的分析儀器用光源或真空除電用光源而使用的所謂的毛細放電管該光源Ij具備一體地連接有收納有使氣體放電而產生光的發(fā)光部2j的大致圓筒狀的發(fā)光筒部(第I筐體)3Aj、以及與該發(fā)光筒部3Aj連通并且沿著從發(fā)光筒部3Aj內的發(fā)光部2j出射的光的光軸X而延伸的大致圓筒狀的導光筒部(第2筐體)3Bj的玻璃制的密封容器3j。更詳細而言,導光筒部3Bj的沿著光軸X的方向的一個端側與發(fā)光筒部3Aj連接而連通，另一個端側被使從發(fā)光部2j產生的光出射到外部的出射窗部4j所封閉。該出射窗部4j的材質例如是MgF2 (氟化鎂)、LiF (氟化鋰)、藍寶石玻璃等。收納在發(fā)光筒部3Aj的發(fā)光部2j由陰極5j、陽極6j、配置在陽極6j與陰極5j之間的毛細管部7j構成。在這些陰極5j和陽極6j，分別形成有開口 5aj和開口 6aj。再者，陰極5j、陽極6j和毛細管部7j，以這些開口 5aj，6aj的中心軸和毛細管部7j的管軸與發(fā)光筒部3Aj的管軸即光軸X —致的方式，保持在發(fā)光筒部3Aj的內部。總之，陰極5j、陽極6j和毛細管部7j由發(fā)光筒部3Aj保持成彼此配置在同軸上。另外，陰極5j具有配置在將發(fā)光筒部3Aj與導光筒部3Bj分隔的位置而作為連接構件的作用。詳細而言，陰極5j形成有開口 5aj，成為密封于發(fā)光筒部3Aj的金屬制的環(huán)構件5Aj、以及密封于導光筒部3Bj的金屬性的環(huán)構件5Bj的雙重構造。在該環(huán)構件5Aj，設置有與后述的反射筒部9j的端部相接并用于進行反射筒部9j的定位的承受構造。這里，環(huán)構件5Aj的開口 5aj成為用于向著導光筒部3Bj取出由發(fā)光部2j產生的光的出射口，以與導光筒部3Bj的出射窗部4j相對的方式設置。在該連接有發(fā)光筒部3Aj與導光筒部3Bj的密封容器3j內，封入有氫(H2)、氙(Xe)、氬(Ar)、氪(Kr)等氣體。再者，若在發(fā)光部2j中在陰極5j與陽極6j之間施加電壓，則使其間所存在的氣體電離、放電，其結果所產生的電子被收集在毛細管部7j內而成為等離子狀態(tài)。由此，光從毛細管部7j內經由開口 5aj而朝向導光筒部3Bj側，在沿著光軸X的方向上出射。例如，在使用Kr作為封入氣體且使用MgF2作為出射窗部4j的材料的情況下，可以進行117/122nm的波長下的發(fā)光，在使用Ar作為封入氣體且使用LiF作為出射窗部4j的材料的情況下，可以進行105nm的波長下的發(fā)光。在這樣的密封容器3j內的出射窗部4j與連接發(fā)光筒部3Aj和導光筒部3Bj的陰極5j之間，插入固定有大致圓筒狀的反射筒部(筒狀構件)9j。該反射筒部9j組合多個鋁制的金屬塊構件且成為具有比導光筒部3Bj的內徑小的外徑的大致圓筒狀的形狀。參照圖31，該反射筒部9j自身的內壁面被形成為沿著反射筒部9j的中心軸線而為曲面或傾斜角階段性地變化的多段面的反射面9aj。即，反射筒部9j的中心軸方向的兩端形成為錐狀，以使該反射面9aj能夠將光聚光于出射窗部4j的外側的所期望的面或點。更具體而言，以從反射筒部9j的長度方向的中心部至發(fā)光筒部3Aj側的端部由反射面9aj所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9aj相對于反射筒部9j的中心軸即光軸X傾斜而形成。另外，以從反射筒部9j的長度方向的中心軸到出射窗部4j側的端部由反射面9aj所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9aj相對于反射筒部9j的中心軸傾斜而形成。這里，反射面9aj以與將位于發(fā)光部2j的放電通道限制部7j的出射口的中心的發(fā)光中心Ctl與反射面9aj的發(fā)光部2j側的端部連結的線L相比較，反射面9aj相對于光軸X的傾斜角變小的方式設定。例如，相對于線L相對于光軸X的傾斜角為20 60度，離發(fā)光中心Ctl側最近的段的反射面9aj的傾斜角被設定為2 15度。再有，反射面9aj的錐狀部可以不是將反射筒部9j的中心軸方向的兩端而是將任意一方、例如僅將發(fā)光部2j側(一個端側)形成為上述那樣的錐狀，將出射窗部4j側(另一個端側)的反射面9aj相對于反射筒部9j的中心軸平行而形成。這樣的反射面9aj被加工成使由發(fā)光部2j產生的光可以正反射的鏡面狀態(tài)，例如通過將金屬塊構件切削加工，在對其內壁實施拋光研磨、化學研磨、電解研磨、利用從這些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用結合這些研磨的研磨方法的研磨之后，實施洗凈處理或用于除去雜質氣體成分的真空處理等而形成。在本實施方式中，反射筒部9j組合2個構件而形成，在像這樣由多個金屬塊構件形成反射面9aj的情況下，由于能夠減小每個金屬塊構件的反射面9aj的長度與內徑之比(長寬比)，因此加工整形時容易得到平坦度，其結果，反射面9aj的鏡面度變高。另外，在反射筒部9j的外壁面(側面)9bj的長度方向的發(fā)光筒部3Aj側(一個端偵D的緣部，形成有朝向該外壁面9b j的出射窗部4j側(另一個端側)而沿著反射筒部9 j的中心軸切口的開口部9cj。詳細而言，開口部9cj沿著反射筒部9j的一個端側的周緣而等間隔地形成在3個地方，相鄰接的開口部9cj之間3個地方形成有用于嵌入于設置在發(fā)光部2j的陰極5j的承受構造(詳情在后面敘述)的突出部9dj。此外，在反射筒部9j的外壁面9bj的大致整個面，形成有包含高熱輻射率的材料的熱輻射膜10j。作為這樣的熱輻射膜IOj的材料，可以使用與氧化鋁等的反射筒部9j的材料相比熱輻射率更高的材料。另外，熱輻射膜IOj例如通過由蒸鍍或涂布等將構成熱輻射膜IOj的材料層疊在反射筒部9j的外壁面9b j上而形成，但特別在像本實施方式那樣反射筒部9j由鋁構成的情況下，也可以通過對反射筒部9j的外壁面9bj進行氧化處理來形成作為熱輻射膜IOj的氧化鋁的層。另外，在反射筒部9j的外壁面9bj的長度方向的另一個端側的周緣部，沿著其外壁面9b j，以成為臺階狀的突出部的方式形成有被切口成圓形形狀的切口部11 j。該切口部Ilj是為了在密封容器3j內定位反射筒部9j而設置的?；氐綀D30，這樣的反射筒部9j在突出部9dj與陰極5j的環(huán)構件5Aj相接的狀態(tài)下沿著其管軸(光軸X)被插入于導光筒部3Bj，在切口部Ilj與出射窗部4j之間，彈簧構件12j沿著外壁面9bj被安裝。該彈簧構件12j是金屬構件，例如是由耐熱性高的不銹鋼或鉻鎳鐵合金構成的反射筒部9j的定位用的構件。再有，反射筒部9j在其外壁面9bj與導光筒部3Bj的內壁面13j分離的狀態(tài)下嵌入到環(huán)構件5Aj的承受構造。這里，在圖32和圖33中，表示環(huán)構件5Aj的承受構造的一個例子。如此，可以在環(huán)構件5Aj設置以與開口5aj同軸的方式具有與反射筒部9j的外徑相同的直徑的孔5bj，或者在環(huán)構件5Aj的面上固定以與開口 5aj同軸的方式具有與反射筒部9j的外徑相同的內徑的其它的環(huán)狀的固定構件5cj。通過這樣的反射筒部9 j的定位構造，反射筒部9 j通過彈簧構件12 j而沿著光軸X從出射窗部4j側向發(fā)光部2j側被施力，被推碰到陰極5j的承受構造。由此，反射筒部9j在密封容器3j內的出射窗部4j與陰極5j之間，在一個端側的突出部9dj與陰極5j的環(huán)構件5Aj相接并且另一個端側被插入到導光筒部3Bj而接近于出射窗部4j的狀態(tài)下被定位。另外，若反射筒部9j嵌入到環(huán)構件5Aj的承受構造，則在位于發(fā)光筒部3Aj內的反射筒部9bj的外壁面9bj的端部，配置有多個貫通反射面9aj的開口部9cj。這里，在組裝光源Ij時，分別使陰極5j的環(huán)構件5Aj和環(huán)構件5Bj密封于發(fā)光筒部3Aj和導光筒部3Bj。然后，將反射筒部9j嵌入到環(huán)構件5Aj的承受構造并且將彈簧構件12j安裝于切口部Ilj后，通過將反射筒部9j插入到導光筒部3Bj內，使環(huán)構件5Aj與環(huán)構件5Bj重疊并真空熔接來組裝光源lj。根據(jù)以上說明的光源lj，發(fā)光筒部3Aj內的發(fā)光部2j的陰極5j與陽極6j之間所產生的放電被毛細管部7j縮窄而產生光，將從發(fā)光部2j通過陰極5j的開口 5aj而出射的光，引導至從與發(fā)光筒部3Aj連通的導光筒部3Bj的出射窗部4j到發(fā)光部2j被插入的反射筒部9j的內部，從而從出射窗部4j出射。這里，由于在反射筒部9j的內壁面形成有反射面9aj，因此，從發(fā)光部2j出射的光被反射筒部9j的內部的反射面9aj反射并被從導光筒部3Bj的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部2j產生的光而引導至導光筒部3Bj的出射窗部4j。此外，由于反射面9aj的兩端側形成為錐狀，因此能夠將光聚光在出射窗部4j的外部的規(guī)定位置。此外，能夠提高從出射窗部4j而來的光的取出效率，并增加出射光的總光量和照射面上的光量。另外，雖然在現(xiàn)有的放電管中，從出射窗而來的光輻射圖案根據(jù)與該出射窗的距離而變化，有容易產生輻射光微弱缺失的部分的傾向，但在光源Ij中，能夠減少那樣的光照射圖案的部分的缺失部分的產生。其結果，能夠高效率地取出所產生的光。圖34是表不來自于光源Ij的發(fā)光中心Ctl的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖，圖43是表不來自于從光源Ij中去除反射筒部9j的光源901 j的發(fā)光中心Ctl的各種各樣的光出射方向的光成分的光路的圖。如圖43所示，相對于光軸X輻射角大的光成分La在光源901 j中不全反射而通過密封容器3j或被吸收。相對于此，如圖34所示，在光源Ij中，由于使這樣的光成分La也在反射面9aj被全反射而起到作為前方照射成分的作用，因此照射光量增多。此外，由于發(fā)光中心Ctl側的反射面9aj成為錐狀，因此能夠使反射光不成為發(fā)散成分而從出射窗部4j被聚光在所期望位置周邊。另外，與在光源901 j中被密封容器3j反射但成為發(fā)散光的光成分Lb，Ld相關，在光源Ij中能夠聚光在所期望位置周邊。此外，由于光源Ij的出射窗部4j側的反射面9aj成為錐狀，因此，由于減小相對于光軸X的輻射角，因此能夠將光源901j中從出射窗部4j發(fā)散的光成分L。作為聚光成分來利用，并且能夠將光成分Ld聚光在所期望位置周邊的適當位置。其結果，能夠將反射筒部9j的反射面9aj做成可以將放射光的多的成分作為聚光成分來利用的構造。再有，通過調整反射筒部9j的反射面9aj的錐狀部分的形狀，能夠將從出射窗部4j而來的出射光不聚光而成為平行光多的分布、或相反變成擴散分布。此外，由于在反射筒部9j的一個端側的外壁面9b j形成有開口部9c j，因此，能夠將由發(fā)光部2j所產生的濺射物放出到反射筒部9j的外部，能夠抑制濺射物對反射筒部9j的反射面9aj或低溫度部的出射窗部4j的附著。其結果，能夠謀求長壽命化，并且提高出射窗部4j的光透過率。再有，由于該開口部9cj位于發(fā)光筒部3Aj附近，因此，由發(fā)光筒部3Aj產生的濺射物在發(fā)光筒部3Aj的附近被放出而容易被捕捉。其結果，能夠進一步抑制濺射物向出射窗部4j的飛散，從而進一步延長壽命。另外，通過用鋁制的金屬塊構件等的金屬構件構成反射筒部9j自身，使鏡面度高的反射面的加工變得容易，因而能夠有效地將所產生的光聚光。此外，與例如在反射筒部9j的內部形成由金屬等構成的反射膜的情況不同，能夠抑制反復進行溫度上升與下降時的、因構成材料的膨脹系數(shù)的差異而產生的反射面9aj的剝離或脫落等所引起的性能劣化或異物產生，能夠實現(xiàn)長壽命化。此外，由于反射筒部9j的外壁面9bj與導光筒部3Bj的內壁面13j分離，反射筒部9j的軸方向長度比導光筒部3Bj的軸方向長度短，因此，能夠防止由于反射筒部9j與導光筒部3Bj的熱膨脹率的差異而造成的反射筒部9j、導光筒部3Bj、玻璃或窗材等的破損。另外，由于反射筒部9j通過被由金屬構件構成的定位構件即彈簧構件12j施力而被嵌入于陰極5j的承受構造從而在密封容器3j內被定位，因此，容易進行反射筒部9j相對于發(fā)光部2j的毛細管部7j的位置和軸匹配，提高位置精度，能夠保持從出射窗部4j而來的光的取出效率。此外，通過采用利用彈簧構件12j對陰極5j擠壓的構造，能夠使反射筒部9j相對于密封容器3j穩(wěn)定地固定，并且即使產生沿著反射筒部9j的中心軸方向的熱膨脹，也能夠通過彈簧構件12 j吸收相對于發(fā)光筒部3Aj的位置偏移。這里，雖然也考慮到在放電管的封裝之時使導光筒部3Bj與毛細管部7j的位置或角度的關系一致來調整輻射光分布，但是由于在這種情況下，出射窗部4j與毛細管部7j的進深位置差異大，因此位置調整難。在本實施方式中，通過導入反射筒部9j，使導光筒部3Bj與反射筒部9j的位置關系被穩(wěn)定地確定，通過使反射筒部9j與陰極5j匹配，使反射筒部9j與毛細管部7j的位置或角度的關系也匹配。因此，使導光筒部3Bj與發(fā)光中心的位置關系精度高地匹配。此外，通過在反射筒部9 j的外壁面9b j的大致整個面形成熱輻射膜IOj，能夠在反射筒部9j的內面形成比周邊或封入氣體更低溫的區(qū)域，通過在該區(qū)域捕捉從發(fā)光筒部3Aj而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4j的擴散和與此相伴的光透過率的降低。另外，通過將這樣的光源Ij作為光離子化源而使用在氣體色譜法質量分析裝置(GC/MS)或液體色譜法質量分析裝置(LC/MS)這樣的質量分析裝置(MS)，可以實現(xiàn)高靈敏度化、窗材的污染的抑制、以及良好的時間響應特性。首先，通過能夠飛躍地增加照射面的光量而能夠提高與樣品的接觸概率，與現(xiàn)有的光離子化源相比能夠大幅(接近10倍)地提高靈敏度。另外，可以實現(xiàn)適合于各種MS的聚光性，從如下那樣方面提高測量靈敏度。S卩，在MS的情況下，可以將用于在離子化室中將離子導入到識別部的電場分布集中照射于有效的部分。另外，在GC/MS的情況下，可以從離子化室的數(shù)毫米左右的開口有效地集中導入光。另外，在LC/MS的情況下，可以提高聚光于將離子導入到識別部的開孔附近的離子密度，能夠使光離子化源的窗部遠離樣品的噴出口來抑制窗部的污染，并且由于與現(xiàn)有相比提高了聚光性，因此即使與離子化源遠離，靈敏度也不會劣化。即，高密度的光投射到樣品的高密度部而能夠提高離子化效率從而實現(xiàn)高靈敏度化，能夠通過使光離子化源的窗部遠離樣品的噴出口來抑制窗部的污染，并能夠通過聚光于樣品的噴出口來加快響應速度。[第11實施方式]圖35是本發(fā)明的第11實施方式所涉及的光源的結構的截面圖，圖36 (a)是圖35的反射筒部的側面圖，圖36 (b)是圖35的反射筒部的端面圖。該圖所示的光源IOlj的反射筒部109 j的定位構造等與第10實施方式的不同。即，在內置于光源IOlj的反射筒部109j，在其外壁面109bj的出射窗部4j側的端部，固定有作為定位構件的金屬帶112j。在該金屬帶112j，具有彈性的多個爪部112aj沿著反射筒部109j的外周而形成，金屬帶112j通過其端部被重疊熔接而被固定在外壁面109bj上。該金屬帶112j對爪部112aj賦予沿著反射筒部109j的中心軸的彈性力，爪部112aj自身在與反射筒部109j的中心軸垂直的方向上也具有彈性力。這樣的固定有金屬帶112j的反射筒部109j沿著導光筒部3Bj的內壁面13j而被插入到密封容器3j內，以除了金屬帶112j以外的外壁面109bj與內壁面13j分離的方式被固定。通過這樣的構造，反射筒部109j通過金屬帶112j的爪部112aj的沿著光軸X的彈性力，形成在其端部的突出部109dj被推碰到陰極5j的環(huán)構件5Aj，在密封容器3j內在沿著光軸X的方向上被定位。此外，反射筒部109j通過金屬帶112j的爪部112aj的垂直于光軸X的方向的彈性力，在其外壁面109bj與導光筒部3Bj的內壁面13j保持一定距離而被分離的狀態(tài)下在光軸X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒部109j的金屬帶112j安裝部，形成與該帶寬度匹配的槽，由此，可以不增大導光筒部3Bj的內徑，取得大的從金屬帶112j至導光筒部3Bj的內壁面13j的距離，并增大爪部112aj的角度，從而能夠增強彈性力。通過這樣的光源101 j，也能夠防止因反射筒部109j與導光筒部3Bj的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部109j的位置偏移或者反射筒部109j或導光筒部3Bj的破損。另夕卜，由于反射筒部109j被定位構件即金屬帶112j施力而被嵌入于陰極5j的承受構造從而在密封容器3 j內被定位，因此，容易進行反射筒部9 j相對于發(fā)光部2 j的毛細管部7 j的位置和軸匹配，提高位置精度，從而能夠保持從出射窗部4j而來的光的取出效率。特別地，在本實施方式中，能夠使反射筒部9j與導光筒部3Bj的同軸性穩(wěn)定地維持。另外，由于反射面9aj的兩端側形成為錐狀，因此能夠使光聚光在出射窗部4j的外部的規(guī)定位置而從出射窗部4j高效率地取出光，從而能夠增加出射光的照射面上的光量。另外，由于熱輻射膜IOj形成在反射筒部109j的外壁面109bj的一個端側的一部分，因此能夠在接近于發(fā)光部2j的反射筒部9j的內側形成比周邊或封入氣體更低溫的部分，通過在該部分捕捉從發(fā)光筒部3Aj而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4j的擴散和與此相伴的光透過率的降低。再有，本發(fā)明不限定于上述的實施方式。例如，在反射筒部9j，109j，通過對金屬構件的內壁研磨加工而形成有反射面9aj，109aj，但是也可以通過蒸鍍或濺射而成膜反射面。詳細而言，對鋁等的金屬構件或玻璃、陶瓷等的構件實施切削加工或成型加工而制作基底，并根據(jù)需要對該基底實施研磨加工后，可以在基底的鏡面蒸鍍或濺射鋁、銠、電介質多層膜等而形成反射面。另外，反射筒部9j，109j由多個金屬塊構件形成，但也可以一體地形成。另外，在上述的實施方式中，通過推碰至陰極5j的承受構造而固定反射筒部9j, 109j，但也可以通過激光熔接或點熔接等而直接固定在承受構造。此時，在難以將反射筒部直接熔接在固定用構件的情況下，也可以利用嵌合等將可熔接的構造體固定在反射筒部，通過熔接該構造體與固定構件來進行固定。再有，在激光熔接的情況下，也可以隔著發(fā)光筒部3Aj的玻璃構件來進行熔接。例如，在圖37和圖38中，表示反射筒部9j通過激光熔接或點熔接而固定在陰極5j的承受構造的構造。詳細而言，通過壓入等將在由鋁構成的反射筒部9j的主體部的一個端側具備突出部9dj的由不銹鋼構成的筒狀構件固定，通過激光熔接或點熔接將該筒狀構件與陰極5j的孔5bj或固定構件5cj的接觸部分熔接并彼此固著。另外，作為固定在反射筒部9j的前端的熔接用的構造體，可以采用各種各樣的形狀的構造體。例如，如圖39和圖40所示的本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部209j，309j那樣，能夠將形成有開口部209cj，309cj和突出部209dj，309dj的不銹鋼制的構造體215j，315j壓入以及固定于反射筒部209j，309j的主體部，將其與陰極5j的承受構造熔接。另外，如圖41和圖42所示，在反射筒部9j沒有開口部的情況下，僅壓入沒有相同的開口部的由不銹鋼構成的端部環(huán)14j，將該端部環(huán)14j與陰極5j的孔5bj或固定構件5cj的接觸部分熔接并固定。替代上述那樣的將陰極5j與承受構造熔接的固定方法，也可以采用對承受構造與反射筒部進行直接螺紋加工而將兩者擰緊，或者在承受構造的外周方向進行螺紋加工而用螺絲固定等方法。另外，在光源lj，IOlj中，在反射筒部9j，109j的外壁面9bj，109j的一部分或全部形成有熱輻射膜10j，相反，也可以在外壁面9bj，109j的另一個端側形成與反射筒部9j, 109j的原材料相比熱輻射率更低的材料。由此，相對地提高一個端側的放熱性，能夠期待與熱輻射膜IOj同樣的效果。另外，也可以用與構成另一個端側的金屬塊構件的材料相比熱輻射率更大的材料來構成構成反射筒部9j，109j的一個端側的金屬塊構件的材料。[第12實施方式]圖44是本發(fā)明的第12實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所表示的光源Ik是作為質量分析裝置的光離子化源等的分析儀器用光源或真空除電用光源而使用的所謂的氘燈。該氘燈Ik具備一體地連接有收納有使氘氣放電而產生光的發(fā)光部2k的大致圓筒狀的發(fā)光筒部(第I筐體)3Ak、以及與該發(fā)光筒部3Ak連通并且從發(fā)光筒部3Ak的側壁沿著發(fā)光部2k所產生的光的光軸X而突出的大致圓筒狀的導光筒部(第2筐體)3Bk的玻璃制的密封容器3k。在該密封容器3k，氘氣被封入有數(shù)百Pa左右。更詳細而言，導光筒部3Bk的沿著光軸X的方向的一個端側與發(fā)光筒部3Ak —體化并連通，另一個端側被使從發(fā)光部2k產生的光出射到外部的出射窗部4k所封閉。該出射窗部4k的材質例如是MgF2 (氟化鎂)、LiF (氟化鋰)、石英玻璃、藍寶石玻璃等。收納在發(fā)光筒部3Ak的發(fā)光部2k由陰極部5k、陽極部6k、在配置在陽極部6k與陰極部5k之間的中心部形成有開孔的放電通道限制部7k、以及圍繞這些而配置的收納盒8k所構成。在該收納盒8k的導光筒部3Bk側的面，用于取出由發(fā)光部2k所產生的光的矩形形狀的光通過口 8ak以與導光筒部3Bk的出射窗部4k相對的方式形成,并且固定有由以圍繞該光通過口 8ak的方式沿著導光筒部3Bk的側壁而以圓形形狀延伸的壁部構成的固定環(huán)Sb。這樣的發(fā)光部2k，在陰極5k與陽極6k之間施加電壓時，使其間所存在的氘氣電離并放電，通過放電通道限制部7將由此形成的等離子狀態(tài)縮窄而變成高密度的等離子狀態(tài)，將由此所產生的光(紫外光)從收容盒8k的光通過口 8ak朝向沿著光軸X的方向出射。再有，上述的發(fā)光部2k由豎立設置在發(fā)光筒部3Ak的端面所設置的桿部的桿銷(未圖不)，保持在發(fā)光筒部3Ak內。S卩，該光源Ik是光軸X相對于發(fā)光筒部3Ak的管軸交叉的側面型的光源。在這樣的密封容器3k內的出射窗部4k與連接發(fā)光筒部3Ak和導光筒部3Bk的部位之間，插入固定有大致圓筒狀的反射筒部(筒狀構件)9k。如圖45所示，該反射筒部9k組合有多個鋁制的金屬塊構件而成為具有比導光筒部3Bk的內徑更小的外徑的大致圓筒狀的形狀。另外，該反射筒部9k自身的內壁面被形成為沿著反射筒部9k的中心軸線而為曲面或傾斜角階段性地變化的多段面的反射面9ak。即，反射筒部9k的中心軸方向的兩端形成為錐狀，以使該反射面9ak能夠將光聚光于出射窗部4k的外側的所期望的面或點。更具體而言，以從反射筒部9k的長度方向的中心部至發(fā)光筒部3Ak側的端部由反射面9ak所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9ak相對于反射筒部9k的中心軸即光軸X傾斜而形成。另外，以從反射筒部9k的長度方向的中心部到出射窗部4k側的端部由反射面9ak所包圍的空間的直徑緩緩縮小的方式，反射面9ak相對于反射筒部9k的中心軸傾斜而形成。再有，反射面9ak的錐狀部可以不是將反射筒部9k的中心軸方向的兩端而是將任意一方、例如僅將發(fā)光部2k側(一個端側)形成為上述那樣的錐狀，在出射窗部4k側(另一個端側)將反射面9ak相對于反射筒部9k的中心軸平行而形成。該反射面9ak以能夠在所期望的面或點將光聚光或發(fā)散的方式設定。這樣的反射面9ak被加工成使由發(fā)光部2k產生的光可以正反射的鏡面狀態(tài)，例如通過將金屬塊構件切削加工，在對其內壁實施拋光研磨、化學研磨、電解研磨、利用從這些研磨派生的研磨方法的研磨、或者利用結合這些研磨的研磨方法的研磨之后，實施洗凈處理或用于除去雜質氣體成分的真空處理等而形成。在本實施方式中，反射筒部9k組合2個構件而形成，在像這樣由多個金屬塊構件形成反射面9ak的情況下，由于能夠減小每個金屬塊構件的長度與內徑之比(長寬比)，因此加工整形時容易得到平坦度，其結果，反射面9ak的鏡面度變高。另外，在反射筒部9k的外壁面(側面)9bk的長度方向的一個端側的緣部，形成有朝向其外壁面9bk的另一個端側而沿著反射筒部9k的中心軸被切口的開口部9ck。由于像這樣通過切口而設置開口部9ck，因此開口部的加工容易。另外，詳細而言，開口部9ck沿著反射筒部9k的一個端側的周緣而等間隔地形成在3個地方，相鄰接的開口部9ck之間3個地方形成有用于嵌入于發(fā)光部2k的固定環(huán)8bk的突出部9dk。像這樣等間隔地形成開口部9ck，其結果，由于突出部9dk也被等間隔地設置，因此，也能夠確保突出部9dk自身的強度和固定時的強度。此外，在反射筒部9k的外壁面9bk的大致整個面，形成有包含高熱輻射率的材料的熱輻射膜10k。作為這樣的熱輻射膜IOk的材料，可以使用與氧化鋁等的反射筒部9k的材料相比熱輻射率更高的材料。另外，熱輻射膜IOk例如通過由蒸鍍或涂布等將構成熱輻射膜IOk的材料層疊在反射筒部9k的外壁面9bk上而形成，但特別在像本實施方式那樣反射筒部9k由鋁構成的情況下，也可以通過對反射筒部9k的外壁面9bk進行氧化處理來形成作為熱輻射膜IOk的氧化鋁的層。另外，在反射筒部9k的外壁面9bk的長度方向的另一個端側的周緣部，沿著其外壁面9bk，以成為臺階狀的突出部的方式形成有被切口成圓形形狀的切口部Ilk。該切口部Ilk是為了在密封容器3k內定位反射筒部9k而設置的。這樣的反射筒部9k，直到突出部9dk與發(fā)光部2k的收納盒8k相接為止，從形成有開口部9ck的一個端側的緣部，沿著導光筒部3Bk的管軸(光軸X)而被插入，并且在彈簧構件12k沿著外壁面9bk而安裝于切口部Ilk之后，導光筒部3Bk的另一個端側被出射窗部4k封閉(圖44和圖46)。此時，反射筒部9k在其外壁面9bk與導光筒部3Bk的內壁面13k分離的狀態(tài)下被嵌入到收納盒8k的固定環(huán)8bk的內側(圖46)。該彈簧構件12k是金屬構件，例如是由耐熱性高的不銹鋼或鉻鎳鐵合金構成的反射筒部9k定位用的構件，配置在切口部Ilk與出射窗部4k之間，具有通過對反射筒部9k沿著光軸X從出射窗部4k側向發(fā)光部2k側施力而推碰至收納盒8k的功能。由此，反射筒部9k在密封容器3k內的出射窗部4k與發(fā)光部2k之間，一個端側的突出部9dk與發(fā)光部2k的收納盒8k相接并且另一個端側被插入到導光筒部3Bk而接近于出射窗部4k的狀態(tài)下被定位。另外，在收納盒8k的固定環(huán)8bk，在與反射筒部9k的開口部9ck對應的位置形成有開口 8ck，若反射筒部9k嵌入到收納盒8k的固定環(huán)8bk，則在位于發(fā)光筒部3Ak內的反射筒部9k的外壁面9bk的端部，貫通反射面9ak的開口部9ck在經由開口 Sck而與發(fā)光筒部3Ak的內部空間連通的狀態(tài)下配置有多個。根據(jù)以上說明的光源lk，通過將從發(fā)光筒部3Ak的發(fā)光部2k產生的光，引導至從與發(fā)光筒部3Ak連通的導光筒部3Bk到發(fā)光部2k為止被插入的反射筒部9k的內部，從而從設置在導光筒部3Bk的出射窗部4k出射。這里，由于在反射筒部9k的內壁面形成有反射面9ak，因此，從發(fā)光部2k出射的光被反射筒部9k的內部的反射面9ak反射并被從導光筒部3Bk的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部2k產生的光而引導至導光筒部3Bk的出射窗部4k。此時，通過適當?shù)卦O定反射面9ak的傾斜角，也能夠將出射窗部4k的外部的出射光的分布變成平行光、發(fā)散光、以及聚焦光，還能夠提高規(guī)定的照射面上的光強度的均勻性。與此同時，能夠提高從出射窗部4k而來的光的取出效率，并能夠增加出射光的總光量和照射面上的光量。另外，在現(xiàn)有的氘燈中，從出射窗而來的光輻射圖案根據(jù)與該出射窗的距離而變化，有容易產生輻射光微弱缺失的部分的傾向，但在光源Ik中，能夠減少那樣的光照射圖案的缺失部分的產生。另外，由于在反射筒部9k的一個端側的外壁面9bk (側面)形成有開口部9ck，在固定環(huán)8bk的對應的位置也形成有開口 8ck，因此，能夠將由發(fā)光部2k所產生的濺射物放出到反射筒部9k的外部，能夠抑制濺射物對反射筒部9k的反射面9ak或低溫度部的出射窗部4k的附著。其結果，能夠謀求長壽命化，并且能夠提高出射窗部4k的光透過率。再有，由于該開口部9ck位于發(fā)光筒部3Ak內，因此，由發(fā)光部2k所產生的濺射物在發(fā)光筒部3Ak內被放出而在發(fā)光筒部3Ak內容易被捕捉。其結果，能夠進一步抑制濺射物向出射窗部4k的飛散，從而進一步延長壽命。另外，通過用鋁制的金屬塊構件等的金屬構件構成反射筒部9k自身，使鏡面度高的反射面的加工變得容易，因而能夠有效地將所產生的光聚光。此外，與例如在反射筒部9k的內部形成由金屬等構成的反射膜的情況不同，能夠抑制反復進行溫度上升與下降時的、因構成材料的膨脹系數(shù)的差異而產生的反射面9ak的剝離或脫落等所引起的性能劣化或異物產生，能夠實現(xiàn)長壽命化。而且，由于所產生的紫外光不透過，另外，不會由于紫外光而劣化，因此，能夠更高效率地取出所產生的光。此外，由于反射筒部9k的外壁面9bk與導光筒部3Bk的內壁面13k分離，因此，能夠防止因反射筒部9k與導光筒部3Bk的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9k的位置偏移或者反射筒部9k或導光筒部3Bk的破損。另外，由于反射筒部9k通過被由金屬構件構成的定位構件即彈簧構件12k施力而被嵌入于收納盒8k的固定環(huán)8bk從而在密封容器3k內被定位，因此，不會由于所產生的紫外光而劣化，使反射筒部9k相對于密封容器3k的位置穩(wěn)定化，能夠保持從出射窗部4k而來的光的取出效率。這里，通過采用利用彈簧構件12k對收納盒8k擠壓的構造，能夠使反射筒部9k相對于密封容器3k穩(wěn)定地固定，并且即使產生沿著反射筒部9k的中心軸方向的熱膨脹，也能夠通過彈簧構件12k吸收相對于發(fā)光筒部3Ak的位置偏移。此外，如圖45所示，通過在反射筒部9k的外壁面9bk的大致整個面形成熱輻射膜10k，能夠在反射筒部9k的內面形成比周邊或封入氣體更低溫的區(qū)域，通過在該區(qū)域捕捉從發(fā)光筒部3Ak而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4k的擴散和與此相伴的光透過率的降低。另外，通過將這樣的光源Ik作為光離子化源而使用在氣體色譜法質量分析裝置(GC/MS)或液體色譜法質量分析裝置(LC/MS)這樣的質量分析裝置(MS)，可以實現(xiàn)高靈敏度化、窗材的污染的抑制、以及良好的時間響應特性。首先，通過能夠飛躍地增加照射面的光量而能夠提高與樣品的接觸概率，與現(xiàn)有的光離子化源相比能夠大幅(接近10倍)地提高靈敏度。另外，可以實現(xiàn)適合于各種MS的聚光性，從如下那樣的方面提高測量靈敏度。即，在MS的情況下，可以將用于在離子化室中將離子導入到識別部的電場分布集中照射于有效的部分。另外，在GC/MS的情況下，可以從離子化室的數(shù)毫米左右的開口有效地集中導入光。另外，在LC/MS的情況下，可以提高聚光于將離子導入到識別部的開孔附近的離子密度，能夠使光離子化源的窗部遠離樣品的噴出口來抑制窗部的污染，并且由于與現(xiàn)有相比提高了聚光性，因此即使與離子化源遠離，靈敏度也不會劣化。即，高密度的光投射到樣品的高密度部而能夠提高離子化效率從而實現(xiàn)高靈敏度化，能夠通過使光離子化源的窗部遠離樣品的噴出口來抑制窗部的污染，并能夠通過聚光于樣品的噴出口來提高響應速度。[第13實施方式]圖47是本發(fā)明的第13實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。圖48 Ca)是圖47的反射筒部的側面圖，圖48 (b)是圖47的反射筒部的端面圖。該圖所示的光源IOlk的反射筒部109k的定位構造與第12實施方式的不同。即，在內置于光源IOlk的反射筒部109k，在其外壁面109bk的出射窗部4k側的端部，固定有作為定位構件的金屬帶112k。在該金屬帶112k，具有彈性的多個爪部112ak沿著反射筒部109k的外周而形成,金屬帶112k通過其端部被重疊熔接而被固定在外壁面109bk上。這樣的反射筒部109k沿著導光筒部3Bk的內壁面13k而被插入到密封容器3k內，以除了金屬帶112k以外的外壁面109bk與內壁面13k分離的方式被固定。通過這樣的構造，反射筒部109k通過金屬帶112k的爪部112ak的彈性力，形成在其端部的突出部109dk在被嵌入于熔接在收納盒8k的平板狀的固定環(huán)8bk的開口部的狀態(tài)下被推碰至收納盒8k，在密封容器3k內在沿著光軸X的方向上被定位。此外，反射筒部109k通過金屬帶112k的爪部112ak，在其外壁面109bk與導光筒部3Bk的內壁面13k保持一定距離而被分離的狀態(tài)下在光軸X的垂直方向上也被定位。另外，在反射筒109k的金屬帶112k安裝部，形成與該帶的寬度匹配的槽，由此，可以不增大導光筒部3Bk的內徑，取得大的從金屬帶112k至導光筒部3Bk的內壁面13k的距離，并增大爪部112ak的角度，從而能夠增強爪部112ak的彈性力。通過這樣的光源101k，也能夠防止因反射筒部109k與導光筒部3Bk的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部109k的位置偏移或者反射筒部109k或導光筒部3Bk的破損。另夕卜，由于反射筒部109k被定位構件即金屬帶112k施力而被嵌入于收納盒8k的固定環(huán)8b從而在密封容器3k內被定位，因此，使反射筒部109k相對于密封容器3k的位置穩(wěn)定化，能夠保持從出射窗部4k而來的光的取出效率。此外，由于在反射筒部109k的一個端側的外壁面109bk形成有開口部109ck，在固定環(huán)Sbk不被堵塞而使開口露出，因此，能夠將由發(fā)光筒部3Ak所產生的濺射物放出到反射筒部109k的外部，能夠抑制濺射物對反射筒部109k的反射面109ak或低溫度部的出射窗部4k的附著。[第14實施方式]圖49是表示本發(fā)明的第14實施方式所涉及的光源的結構的截面圖。該圖所示的光源201k是將本發(fā)明適用于毛細放電管的情況下的例子。光源201k具備連接有發(fā)光筒部203Ak與導光筒部203Bk的玻璃制的密封容器203k。在該發(fā)光筒部203Ak，收納有由陰極部205k、陽極部206k、以及配置在陽極部206k與陰極部205k之間的毛細管207k構成的發(fā)光部202k。再有，密封容器203k內封入有氫(H2)、氙(Xe)、氬(Ar)、氪(Kr)等氣體。這樣的發(fā)光部202k，若在陰極部205k與陽極部206k之間施加電壓則使其間所存在的氣體電離、放電，使電子聚焦在毛細管207k內而變成等離子狀態(tài)，由此使光沿著光軸X朝向導光筒部203Bk側出射。例如，在使用Kr作為封入氣體且使用MgF2作為出射窗部4k的材料的情況下，可以進行117/122nm的波長下的發(fā)光，在使用Ar作為封入氣體且使用LiF作為出射窗部4k的材料的情況下，可以進行105nm的波長下的發(fā)光。該陰極部205k也具有作為配置在分隔發(fā)光筒部203Ak與導光筒部203Bk的部位的連接構件的作用。詳細而言，陰極部205k成為:以與導光筒部203Bk的出射窗部4k相對的方式形成的、為了反射筒部9k的定位用而設置與反射筒部9k的外徑形狀匹配的尺寸的凹陷的固定環(huán)205Ak、以及用于密封于導光筒部203Bk且與固定環(huán)205Ak匹配而可以真空保持地進行接合的密封環(huán)205Bk的雙層構造。再有，也可以另外安裝反射筒部9k相對于陰極部205k的定位用的構件。
在反射筒部9k組裝到這樣的光源201k的密封容器203k時，將陰極部205k的固定環(huán)構件205Ak和密封環(huán)205Bk分別接合于發(fā)光筒部203Ak和導光筒部203Bk。然后，在一邊將反射筒部9k嵌入到固定環(huán)205Ak的內側一邊以與導光筒部203Bk的內壁面分離的方式插入之后，使固定環(huán)構件205Ak和密封環(huán)205Bk重疊而可以真空保持地進行接合來進行組裝。再有，也可以在將反射筒部9k熔接于陰極部205k并固定之后，通過將導光筒部203Bk可以真空保持地接合于陰極部205k來進行組裝。通過這樣的光源201k，也能夠防止因反射筒部9k與導光筒部203Bk的熱膨脹率的差異而引起的反射筒部9k的位置偏移或者反射筒部9k或導光筒部203Bk的破損。另外，由于反射筒部9k被定位構件即彈簧構件12k施力而被嵌入于陰極部205k的固定環(huán)205Ak從而在密封容器203k內被定位，因此，使反射筒部9k相對于密封容器203k的位置穩(wěn)定化，能夠保持從出射窗部4k而來的光的取出效率。此外，由于在反射筒部9k的一個端側形成開口部9ck，因此，能夠將由發(fā)光筒部203Ak所產生的濺射物放出到反射筒部9k的外部，能夠抑制濺射物對反射筒部9k的反射面9ak或低溫度部的出射窗部4k的附著。另外，通過在反射筒部9k的外壁面9bk的長度方向的一個端側形成熱輻射膜10k，能夠在接近于發(fā)光部202k的反射筒部9k的內側形成比周邊或封入氣體更低溫的部分，通過在該部分捕捉從發(fā)光筒部203Ak而來的濺射物等異物，能夠抑制異物向出射窗部4k的擴散和與此相伴的光透過率的降低。特別地，通過在接近于發(fā)光筒部203Ak的外壁面9bk的一部分形成熱輻射膜10k，外壁面9bk的一個端側的熱輻射率與外壁面9bk的另一個端側的熱輻射率相比更大，其結果，由于在接近于發(fā)光筒部203Ak的一側、即在離出射窗部4k遠的位置容易附著濺射物，因此更加降低了出射窗部4k的污染。再有，本發(fā)明不限定于上述的實施方式。例如，在反射筒部9k，109k，通過對金屬構件的內壁研磨加工而形成有反射面9ak，109ak，但是也可以通過蒸鍍或濺射而成膜反射面。詳細而言，對鋁等的金屬構件或玻璃、陶瓷等的構件實施切削加工或成型加工而制作基底，并根據(jù)需要對該基底實施研磨加工后，可以在基底的鏡面蒸鍍或濺射鋁、銠、電介質多層膜等而形成反射面。另外，反射筒部9k，109k由多個金屬塊構件形成，但也可以一體地形成。另外，作為反射筒部9k，109k的開口部9ck，109ck以及突出部9dk，109dk的形狀，能夠采用各種各樣的形狀。例如，如圖50所示的本發(fā)明的變形例所涉及的反射筒部209k那樣，也可以沿著外壁面9bk的一個端側的周緣形成有2個地方的開口部209ck，以夾著該2個地方的開口部9ck的方式形成有2個地方的突出部209dk。另外，在上述的實施方式中，通過將反射筒部9k，109k推碰至設置在發(fā)光筒部3Ak, 203Ak側的固定用的構件而固定，但也可以通過激光熔接或點熔接等而直接固定在固定用的構件。此時，在難以直接將反射筒部熔接在固定用構件的情況下，也可以利用嵌合等將可熔接的構造體固定在反射筒部，通過熔接該構造體與固定構件來進行固定。再有，在激光熔接的情況下，也可以隔著發(fā)光筒部3Ak，203Ak的玻璃構件來進行熔接。在圖51中，作為本發(fā)明的變形例即光源301k，表示用由2種不同材料構成的金屬塊構件構成的反射筒部309k通過激光熔接或點熔接而固定于發(fā)光部2k的收納盒8k的構造。詳細而言，將具有開口部309Ck的不銹鋼制的固定部壓入并固定于由鋁構成的反射筒部309k的主體部的發(fā)光部2k側的端部，通過激光熔接或點熔接將該固定部與收納盒8k的固定環(huán)8bk的接觸部分熔融并固定。在該圖所示的光源301k中，縮短了導光筒部303Bk，但能夠通過使反射筒部309k與其匹配地設計來使出射光的分布成為平行光或擴散光，并且能夠提高照射面上的光強度的均勻性。另外，如光源301k那樣，將反射筒部309k的突出部309dk以在不阻礙荷電粒子的流動的范圍內靠近放電通道限制部7k的方式在收納盒8k內延伸而配置。由此，能夠從發(fā)光部2k的內部進行利用反射筒部309k的濺射物的捕捉，能夠進一步抑制濺射物對低溫度部的出射窗部4k的附著。此外，若以包含反射筒部309k的突出部309dk的固定部的內壁面成為反射面的方式形成，則能夠不損失從發(fā)光部2k產生的光而引導到出射窗部4k。另外，作為固定在反射筒部309k的一個端側的熔接用的構造體，可以采用各種各樣的形狀的構造體。例如，圖52和圖53中，表示將構成圖51的反射筒部309k的金屬塊構件中、僅作為與收納盒8k的固定環(huán)8bk熔接固定的固定部的金屬塊構件作為本發(fā)明的變形例。如這些圖所示的反射筒部409k，509k那樣，能夠將具有與反射筒部9k的開口部9ck、突出部9dk同樣形成的開口部409ck和突出部409dk的不銹鋼制的固定部415k、或具有與反射筒部209k的開口部209ck、突出部209dk同樣形成的開口部509ck和突出部509dk的不銹鋼制的固定部515k壓入并固定在反射筒部409k的主體部，并將其與收納盒8k的固定環(huán)8bk熔接。另外，如圖54和圖55所示，也可以在反射筒部9k的突出部9dk的前端部的外周，以突出部9dk的前端突出的方式固定不銹鋼制的C型止輪等的止輪615k，將該止輪615k的突出部9dk側的面與收納盒8k的反射筒部固定用構件熔接而使反射筒部9k相對于發(fā)光部2k固定。此外，如圖56所示，也可以將不銹鋼制的薄片材715k帶狀地卷繞在反射筒部9k的突出部9dk的外周部并使其終端部重疊并熔接而固定。在該薄片材715k的突出部9dk的前端側，設置有相對于反射筒部9k的中心軸垂直地延伸的多個凸緣部715ak，可以通過將該凸緣部715ak與收納盒8k的反射筒部固定用構件熔接而固定反射筒部9k。另外，也可以通過不設置凸緣部715k而將薄片材715k與收納盒8k的反射筒部固定用構件的接近部分熔接而固定反射筒部9k。另外，在該薄片材715k，匹配地設置有多個可以將濺射物放出到與開口部9ck對應的地方的孔部715bk。另外，在光源lk，101k，201k中，在反射筒部9k，109k的外壁面9bk，109k的一部分或全部形成有熱輻射膜10k，相反，也可以在外壁面9bk，109k的另一個端側形成與反射筒部9k, 109k的原材料相比熱輻射率更低的材料。由此,相對地提高一個端側的放熱性,能夠期待與熱輻射膜IOk同樣的效果。另外，也可以用與構成另一個端側的金屬塊構件的材料相比熱輻射率更大的材料來構成構成反射筒部9k, 109k的一個端側的金屬塊構件的材料。這里，優(yōu)選筒狀構件的外壁面與第2筐體的內壁面分離。在這種情況下，能夠防止因筒狀構件與第2筐體的熱膨脹率的差異而引起的筒狀構件的位置偏移或者筒狀構件或第2筐體的破損，能夠使從出射窗部而來的光的取出效率穩(wěn)定地提高。另外，優(yōu)選筒狀構件的第I筐體側的反射面形成為錐狀。在這種情況下，反射面上的光的反射角變大，使反射次數(shù)減少，由此能夠使從出射窗部而來的光的取出效率穩(wěn)定地提聞。另外，優(yōu)選進一步設置有用于筒狀構件的定位的定位構件。若具備該定位構件，則能夠使筒狀構件相對于第I筐體和第2筐體的位置穩(wěn)定化，并使從出射窗部而來的光的取出效率穩(wěn)定地提高。另外，定位構件優(yōu)選包含從第2筐體的另一個端側向一個端側對筒狀構件施力的彈簧構件、以及被彈簧構件施力的筒狀構件所推碰的固定構件。如果采用該結構，則能夠使筒狀構件相對于第I筐體和第2筐體穩(wěn)定地固定，從而能夠使從出射窗部而來的光的取出效率穩(wěn)定地提高。此外，定位構件優(yōu)選設置于連接第I筐體與第2筐體之間的連接構件上。這樣做，也能夠使筒狀構件相對于第I筐體和第2筐體穩(wěn)定地固定，并能夠使從出射窗部而來的光的取出效率穩(wěn)定地提高?；蛘撸景l(fā)明的光源優(yōu)選還具備被封入到第I筐體和第2筐體的氘氣，發(fā)光部具有陰極、陽極和放電通道限制部，通過放電產生光，第2筐體的一個端側以與第I筐體連通的方式連接，筒狀構件的一個端側與第I筐體內的發(fā)光部相接，另一個端側被插入到第2筐體內，筒狀構件的反射面的至少一部分形成為錐狀。根據(jù)這樣的光源，第I筐體內的發(fā)光部的陰極與陽極之間所產生的放電被放電通道限制部縮窄而產生光，通過將由發(fā)光部所產生的光引導至從與第I筐體連通的第2筐體的出射窗部到發(fā)光部被插入的筒狀構件的內部，從出射窗部出射。這里，由于在筒狀構件的內壁面形成有反射面，因此，從發(fā)光部出射的光被筒狀構件的內部的反射面反射并被從第2筐體的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部產生的光而引導至第2筐體的出射窗部。此外，由于反射面的至少一部分形成為錐狀，因此能夠將光聚光在出射窗部的外部的規(guī)定位置。其結果，能夠高效率地取出所產生的光。筒狀構件優(yōu)選由金屬材料構成。若具備這樣的筒狀構件，則容易進行鏡面度高的反射面的加工，能夠更高效率地取出所產生的光。另外，筒狀構件的反射面的一個端側和另一個端側優(yōu)選形成為錐狀。在這種情況下，能夠進一步提高所期望的位置的光的照射強度，能夠更高效率地取出所產生的光。另外，優(yōu)選還具備從第2筐體的另一個端側向一個端側對筒狀構件施力的由金屬材料構成的彈簧構件、以及嵌入有被彈簧構件施力的筒狀構件且以包圍發(fā)光部的開口部的方式設置的固定構件。若采用該結構，則不會由于所產生的紫外光而劣化，能夠使筒狀構件相對于第I筐體和第2筐體穩(wěn)定地固定。此外，由于筒狀構件嵌入于發(fā)光部的固定構件，因此可靠地將來自于發(fā)光部的光引導至筒狀構件的內部，能夠更高效率地取出產生的光。此外，優(yōu)選在發(fā)光部形成有插入有筒狀構件的端部的孔部。若具備該孔部，則由于筒狀構件進一步接近發(fā)光部的內部而配置，因此能夠更高效率地取出所產生的光。此外，優(yōu)選在筒狀構件的一個端側的側面，形成有朝向反射面貫通的開口部。若這樣做，則能夠將由發(fā)光部產生的濺射物放出到筒狀構件的外部，能夠抑制濺射物對筒狀構件的反射面或出射窗部的附著。其結果，能夠更高效率地取出所產生的光。另外，優(yōu)選筒狀構件的外壁面由與筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成。若采用該結構，筒狀構件容易進一步被放熱，能夠進一步抑制出射窗部的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。此外，也可以在筒狀構件的外壁面的大致整個面，形成有包含與筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜，在這種情況下，能夠容易地提高筒狀構件的外壁面的熱輻射率，筒狀構件容易進一步被放熱，能夠進一步抑制出射窗部的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。另外，優(yōu)選筒狀構件的一個端側的熱輻射率比筒狀構件的另一個端側的熱輻射率大。若采用該結構，則由于能夠進一步在接近于發(fā)光部的部分捕捉濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。此外，也可以在筒狀構件的一個端側的外壁面形成有包含與筒狀構件的另一個端側的外壁面的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜，在這種情況下，由于能夠容易使一個端側的外壁面的熱輻射率比另一個端側的外壁面的熱輻射率大，能夠進一步在靠近發(fā)光部的部分捕捉濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。或者，在本發(fā)明的光源中，優(yōu)選發(fā)光部具有分別具有開口的陰極和陽極、以及配置在陰極與陽極之間的毛細管部，通過放電產生光，第I筐體以陰極和陽極的開口與毛細管部配置在同軸上的方式將發(fā)光部保持在內部，第2筐體的一個端側以與第I筐體連通的方式連接，筒狀構件的一個端側與第I筐體內的陰極相接，另一個端側被插入到第2筐體內，筒狀構件的反射面的至少一部分形成為錐狀。根據(jù)這樣的光源，第I筐體內的發(fā)光部的陰極與陽極之間所產生的放電被毛細管部縮窄而產生光，從發(fā)光部通過陰極的開口而出射的光，被引導至從與第I筐體連通的第2筐體的出射窗部到發(fā)光部為止被插入的筒狀構件的內部，從出射窗部出射。這里，由于在筒部構件的內壁面形成有反射面，因此，從發(fā)光部出射的光被筒部構件的內部的反射面反射并被從第2筐體的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部產生的光而引導至第2筐體的出射窗部。此外，由于反射面的至少一部分形成為錐狀，因此能夠將光聚光在出射窗部的外部的規(guī)定位置。其結果，能夠高效地取出所產生的光。筒狀構件優(yōu)選由金屬材料構成。若具備這樣的筒狀構件，則容易進行鏡面度高的反射面的加工，能夠將來自于發(fā)光部的光高效地聚光。另外，筒狀構件的反射面的一個端側和另一個端側優(yōu)選形成為錐狀。在這種情況下，能夠進一步提高所期望的位置上的光的照射強度，能夠高效率地取出所產生的光。此外，優(yōu)選還具備從第2筐體的另一個端側向一個端側對筒狀構件施力的彈簧構件。若采用該結構，則能夠使筒狀構件相對于陰極穩(wěn)定地固定。其結果，通過可靠地將來自于發(fā)光部的光引導至筒狀構件的內部，能夠更高效率地取出產生的光。此外，優(yōu)選在發(fā)光部形成有插入有筒狀構件的端部的孔部。若具備該孔部，則由于筒狀構件進一步接近發(fā)光部的內部而配置，因此能夠更高效率地取出所產生的光。此外，在筒狀構件的一個端側的側面，優(yōu)選形成有朝向反射面貫通的開口部。若這樣做，則能夠將由發(fā)光部產生的濺射物放出到筒狀構件的外部，能夠抑制濺射物對筒狀構件的反射面或出射窗部的附著。其結果，能夠更高效率地取出所產生的光。另外，優(yōu)選筒狀構件的外壁面由與筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成。若采用該結構，則筒狀構件容易進一步被放熱，能夠進一步抑制出射窗部上的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。此外，也可以在筒狀構件的外壁面的大致整個面，形成有包含與筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜，在這種情況下，能夠容易地提高筒狀構件的外壁面的熱輻射率，筒狀構件容易進一步被放熱，能夠進一步抑制出射窗部上的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。
另外，優(yōu)選筒狀構件的一個端側的熱輻射率比筒狀構件的另一個端側的熱輻射率大。若采用該結構，則由于能夠進一步在接近于發(fā)光部的部分捕捉濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。此外，也可以在筒狀構件的一個端側的外壁面形成有包含與筒狀構件的另一個端側的外壁面的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜，在這種情況下，由于能夠容易使一個端側的外壁面的熱輻射率比另一個端側的外壁面的熱輻射率大，并且能夠進一步在靠近發(fā)光部的部分捕捉濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更高效率地取出所產生的光。或者，在本發(fā)明的光源中，優(yōu)選發(fā)光部通過放電產生光，第2筐體的一個端側以與第I筐體連通的方式連接，筒狀構件的一個端側與第I筐體內的發(fā)光部相接，另一個端側被插入到第2筐體內，在筒狀構件的一個端側的側面形成有朝向反射面貫通的開口部。根據(jù)這樣的光源，從第I筐體內的發(fā)光部發(fā)出的光，被引導至從與第I筐體連通的第2筐體內到發(fā)光部為止被插入的筒狀構件的內部，由此從設置于第2筐體的出射窗部出射。這里，由于在筒部構件的內壁面形成有反射面，因此，從發(fā)光部出射的光被筒部構件的內部的反射面反射并被從第2筐體的一個端側引導至另一個端側，其結果，能夠不損失從發(fā)光部發(fā)出的光而引導至第2筐體的出射窗部。此外，由于在筒狀構件的一個端側形成有開口部，因此能夠將由發(fā)光部產生的濺射物放出到筒狀構件的外部，能夠抑制濺射物對筒狀構件的反射面或出射窗部的附著。其結果，能夠謀求長壽命化，并且能夠提高從出射窗部而來的光的取出效率。筒狀構件的開口部優(yōu)選配置在第I筐體內。在這種情況下，由發(fā)光部產生的濺射物被放出到第I筐體內，因此能夠進一步抑制向出射窗部的飛散，能夠更進一步地延長壽命O另外，筒狀構件的開口部優(yōu)選通過對筒狀構件的一個端側的緣部切口而形成。若具備該開口部，由于能夠進一步在靠近發(fā)光部的部分放出濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更進一步地延長壽命。另外，優(yōu)選沿著筒狀構件的一個端側的周緣而等間隔地形成有多個開口部。若采用該結構，則由于能夠高效率地將濺射物放出，因此能夠進一步抑制向出射窗部的飛散，能夠更進一步地延長壽命。另外，筒狀構件的外壁面優(yōu)選由與筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成。若采用該結構，筒狀構件容易進一步被放熱，能夠進一步抑制出射窗部上的濺射物的附著，能夠更進一步地延長壽命。此外，也可以在筒狀構件的外壁面的大致整個面，形成有包含與筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜，在這種情況下，能夠容易地提高筒狀構件的外壁面的熱輻射率，筒狀構件容易進一步被放熱，能夠進一步抑制出射窗部上的濺射物的附著，能夠更進一步地延長壽命。另外，筒狀構件的一個端側的熱輻射率優(yōu)選比筒狀構件的另一個端側的熱輻射率大。若采用該結構，則由于能夠進一步在接近于發(fā)光部的部分捕捉濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更進一步地延長壽命。此外，也可以在筒狀構件的一個端側的外壁面形成有包含與筒狀構件的另一個端側的外壁面的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜，在這種情況下，由于能夠容易使一個端側的外壁面的熱輻射率比另一個端側的外壁面的熱輻射率大，并且能夠進一步在靠近發(fā)光部的部分捕捉濺射物，因此能夠進一步抑制筒狀構件的反射面的大部分和出射窗部上的濺射物的附著，能夠更進一步地延長壽命。產業(yè)上的可利用性本發(fā)明以使內部所產生的光出射的光源作為使用用途，能夠使從光出射窗而來的光的取出效率穩(wěn)定地提高。
權利要求
1.一種光源，其特征在于， 具備: 第I筐體，收納產生光的發(fā)光部； 第2筐體，一個端側連接于所述第I筐體，并將從所述發(fā)光部產生的所述光引導至設置在另一個端側的出射窗部；以及 筒狀構件，插入固定在所述第2筐體的所述出射窗部與連接所述第I筐體和所述第2筐體的部位之間且內壁面形成為反射所述光的反射面。
2.如權利要求1所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的外壁面與所述第2筐體的內壁面分離。
3.如權利要求1或2所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的所述第I筐體側的所述反射面形成為錐狀。
4.如權利要求1 3中的任一項所述的光源,其特征在于， 還設置有用于所述筒狀構件的定位的定位構件。
5.如權利要求4所述的光源，其特征在于， 所述定位構件包含: 從所述第2筐體的所述另一個端側向所述一個端側對所述筒狀構件施力的彈簧構件； 以及 被所述彈簧構件施力的所述筒狀構件所推碰的固定構件。
6.如權利要求4所述的光源，其特征在于， 所述定位構件設置在連接所述第I筐體與所述第2筐體之間的連接構件上。
7.如權利要求1所述的光源，其特征在于， 還具備被封入到所述第I筐體和所述第2筐體的氘氣， 所述發(fā)光部具有陰極、陽極和放電通道限制部，通過放電產生光， 所述第2筐體的一個端側以與所述第I筐體連通的方式連接， 所述筒狀構件的一個端側與所述第I筐體內的所述發(fā)光部相接，另一個端側被插入到所述第2筐體內， 所述筒狀構件的所述反射面的至少一部分形成為錐狀。
8.如權利要求7所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件由金屬材料構成。
9.如權利要求7或8所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的所述反射面的所述一個端側和所述另一個端側形成為錐狀。
10.如權利要求7 9中的任一項所述的光源,其特征在于， 還具備: 從所述第2筐體的所述另一個端側向所述一個端側對所述筒狀構件施力的由金屬材料構成的彈簧構件；以及 嵌入有被所述彈簧構件施力的所述筒狀構件且以包圍所述發(fā)光部的開口部的方式設置的固定構件。
11.如權利要求7 10中的任一項所述的光源,其特征在于， 在所述發(fā)光部，形成有插入有所述筒狀構件的端部的孔部。
12.如權利要求7 11中的任一項所述的光源,其特征在于， 在所述筒狀構件的所述一個端側的側面，形成有朝向所述反射面貫通的開口部。
13.如權利要求7 12中的任一項所述的光源,其特征在于， 所述筒狀構件的外壁面由與所述筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成。
14.如權利要求13所述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的外壁面的大致整個面，形成有包含與所述筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜。
15.如權利要求7 12中的任一項所述的光源,其特征在于， 所述筒狀構件的所述一個端側的熱輻射率比所述筒狀構件的另一個端側的熱輻射率大。
16.如權利要求15所 述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的所述一個端側的外壁面，形成有包含與所述筒狀構件的所述另一個端側的外壁面的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜。
17.如權利要求1所述的光源，其特征在于， 所述發(fā)光部具有分別具有開口的陰極和陽極、以及配置在所述陰極與所述陽極之間的毛細管部，通過放電產生光， 所述第I筐體以所述陰極和所述陽極的所述開口與所述毛細管部配置在同軸上的方式，將所述發(fā)光部保持在內部， 所述第2筐體的一個端側以與所述第I筐體連通的方式連接， 所述筒狀構件的一個端側與所述第I筐體內的所述陰極相接，另一個端側被插入到所述第2筐體內， 所述筒狀構件的所述反射面的至少一部分形成為錐狀。
18.如權利要求17所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件由金屬材料構成。
19.如權利要求17或18所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的所述反射面的所述一個端側和所述另一個端側形成為錐狀。
20.如權利要求17 19中的任一項所述的光源，其特征在于， 還具備從所述第2筐體的所述另一個端側向所述一個端側對所述筒狀構件施力的彈簧構件。
21.如權利要求17 20中的任一項所述的光源，其特征在于， 在所述發(fā)光部，形成有插入有所述筒狀構件的端部的孔部。
22.如權利要求17 21中的任一項所述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的所述一個端側的側面，形成有朝向所述反射面貫通的開口部。
23.如權利要求17 22中的任一項所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的外壁面由與所述筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成。
24.如權利要求23所述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的外壁面的大致整個面，形成有包含與所述筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜。
25.如權利要求17 22中的任一項所述的光源，其特征在于，所述筒狀構件的所述一個端側的熱輻射率比所述筒狀構件的另一個端側的熱輻射率大。
26.如權利要求25所述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的所述一個端側的外壁面，形成有包含與所述筒狀構件的所述另一個端側的外壁面的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜。
27.如權利要求1所述的光源，其特征在于， 所述發(fā)光部通過放電產生光， 所述第2筐體的一個端側以與所述第I筐體連通的方式連接， 所述筒狀構件的一個端側與所述第I筐體內的所述發(fā)光部相接，另一個端側被插入到所述第2筐體內， 在所述筒狀構件的所述一個端側的側面，形成有朝向所述反射面貫通的開口部。
28.如權利要求27所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的所述開口部配置在所述第I筐體內。
29.如權利要求27或28所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的所述開口部通過對所述筒狀構件的所述一個端側的緣部切口而形成。
30.如權利要求27 29中的任一項所述的光源，其特征在于，` 沿著所述筒狀構件的所述一個端側的周緣，等間隔地形成有多個所述開口部。
31.如權利要求27 30中的任一項所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的外壁面由與所述筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料構成。
32.如權利要求31所述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的外壁面的大致整個面，形成有包含與所述筒狀構件的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜。
33.如權利要求27 30中的任一項所述的光源，其特征在于， 所述筒狀構件的所述一個端側的熱輻射率比所述筒狀構件的另一個端側的熱輻射率大。
34.如權利要求33所述的光源，其特征在于， 在所述筒狀構件的所述一個端側的外壁面，形成有包含與所述筒狀構件的所述另一個端側的外壁面的材料相比熱輻射率更大的材料的熱輻射膜。
全文摘要
該光源(1)具備收納產生光的發(fā)光部(2)的發(fā)光筒部(3A)；一個端側連接于發(fā)光筒部(3A)，并將從發(fā)光部(2)產生的光引導至設置在另一個端側的出射窗部(4)；以及插入固定在導光筒部(3B)的出射窗部(4)與連接發(fā)光筒部(3A)和出射窗部(4)的部位之間且內壁面是反射光的反射面(9a)的筒狀的反射筒部(9)。
文檔編號H01J61/30GK103155093SQ20118004855
公開日2013年6月12日 申請日期2011年8月17日 優(yōu)先權日2010年10月4日
發(fā)明者松浦惠樹 申請人:浜松光子學株式會社