一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)控制的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法，包括：工控機(jī)(1)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。說明書對(duì)一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法作出了詳細(xì)說明，并給出了具體實(shí)施方案。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
【專利說明】—種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)控制的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種通過電機(jī)控制磁極垂直運(yùn)動(dòng)從而調(diào)節(jié)局部磁場(chǎng)強(qiáng)度的【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是應(yīng)用在離子注入機(jī)中改變束流通過調(diào)節(jié)區(qū)域后的偏轉(zhuǎn)角度。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著現(xiàn)代CMOS技術(shù)的不斷推進(jìn)，離子注入的工藝種類呈不斷增加趨勢(shì)，且隨著特質(zhì)線寬的縮小，工藝復(fù)雜程度的提高，傳統(tǒng)的中束流注入機(jī)已不能滿足這種工藝要求，因此離子注入工藝所面臨的挑戰(zhàn)體現(xiàn)在注入能量向超低端發(fā)展，而注入劑量則向高濃度發(fā)展，要解決這一制造工藝，必須開發(fā)新的離子注入機(jī)設(shè)備一低能大束流離子注入機(jī)來解決淺結(jié)注入工藝。與傳統(tǒng)的注入機(jī)不同，低能大束流離子注入對(duì)設(shè)備在束平行性、束能量純度、離子束減速技術(shù)、注入晶圓電荷消除技術(shù)、離子束擴(kuò)束技術(shù)、注入深度控制、注入重復(fù)性、均勻性與生產(chǎn)率等方面都提出了更高的要求。為了有效改善寬帶束的均勻性及平行度，可通過多磁極的調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)，調(diào)節(jié)每個(gè)磁極的垂直位置，改變對(duì)稱磁極之間的極距從而調(diào)節(jié)局部磁場(chǎng)的強(qiáng)度，進(jìn)而改變穿過該區(qū)域的離子束的偏轉(zhuǎn)角度，以調(diào)節(jié)寬帶束的平行度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明公開了離子注入機(jī)系統(tǒng)中一種用于控制多磁極運(yùn)動(dòng)的方法，針對(duì)上下12組磁極，提出了一種控制精度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的系統(tǒng)。
[0004]本發(fā)明專利通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0005]—種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法，包括工控機(jī)(I)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板
(3)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)板⑷、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。
[0006]所述的工控機(jī)⑴與信號(hào)輸入輸出板⑶通過光纖⑵相連；所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)與信號(hào)輸入輸出板⑶和開關(guān)電源(5)相連；所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)板⑷與多磁極(6)相連。
[0007]本發(fā)明型具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0008]1.僅用4個(gè)信號(hào)輸入輸出板(3)和6個(gè)4軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)板⑷即可控制12組磁極的運(yùn)動(dòng)；
[0009]2.每個(gè)電機(jī)配有一個(gè)直線位移傳感器，實(shí)現(xiàn)磁極運(yùn)動(dòng)的實(shí)時(shí)監(jiān)控；
[0010]3.電路簡(jiǎn)單，可以實(shí)現(xiàn)模塊化，利于生產(chǎn)和安裝；
[0011 ] 4.可以單獨(dú)精確控制每個(gè)磁極的運(yùn)動(dòng)，從而改變束流通過區(qū)域的磁場(chǎng)分布；

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明所述的原理功能框圖；
[0013]圖2是本發(fā)明所述控制12組磁極的實(shí)施電路示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0015]參見圖1 一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法，包括工控機(jī)(I)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。
[0016]工控機(jī)(I)通過光纖(2)與信號(hào)輸入輸出板(3)相連實(shí)時(shí)發(fā)送與接收數(shù)據(jù)，開關(guān)電源(5)為電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)提供工作電壓，其中包括電機(jī)驅(qū)動(dòng)電壓及位移傳感器工作電壓，信號(hào)輸入輸出板⑶與電機(jī)驅(qū)動(dòng)板⑷相連，信號(hào)輸入輸出板⑶將工控機(jī)⑴發(fā)出的使能信號(hào)送到電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)的使能端，此時(shí)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器進(jìn)入待命狀態(tài)，此時(shí)工控機(jī)(I)通過光纖(2)發(fā)送O?65535的數(shù)據(jù)信號(hào)至電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)板將接收到的位移傳感器反饋信號(hào)與運(yùn)動(dòng)命令作比較處理后控制電機(jī)運(yùn)動(dòng)，電機(jī)通過絲杠帶動(dòng)磁極做垂直方向的運(yùn)動(dòng)，從而改變束流區(qū)域的磁場(chǎng)強(qiáng)度分布。
[0017]圖2中，工控機(jī)⑴控制4個(gè)模擬量信號(hào)輸入輸出板(3)，每?jī)蓚€(gè)信號(hào)輸入輸出板
(3)都接有3個(gè)4軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)，從而獨(dú)立的控制24個(gè)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)，另外，每3個(gè)4軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)裝在一個(gè)2U的19英寸機(jī)箱里，有效減小了系統(tǒng)的體積。
[0018]本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法,其特征在于:工控機(jī)(I)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)、開關(guān)電源(5)、以及多磁極(6)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法，其特征在于:僅用4個(gè)模擬量信號(hào)輸入輸出板⑵就能控制6個(gè)4軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)板⑷，從而控制24個(gè)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種調(diào)節(jié)多磁極運(yùn)動(dòng)的控制方法，其特征在于每個(gè)電機(jī)都配有一個(gè)直線位移傳感器，位移反饋信號(hào)接在4軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)板(4)上，從而通過信號(hào)輸入輸出板(3)實(shí)時(shí)反映到工控機(jī)(I)中。
【文檔編號(hào)】H01J37/15GK104299873SQ201310303905
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】高婷婷 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司