一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，包括：工控機(jī)(1)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、開(kāi)關(guān)電源(4)、I／V轉(zhuǎn)換電路(5)、法拉第杯(6)、雙向氣缸(7)、傳動(dòng)軸承(8)、氣路部分(9)、到位開(kāi)關(guān)(10)、固定支撐架(11)。其特征在于由法拉第杯(6)采集的束流值，經(jīng)I/V轉(zhuǎn)換電路(5)、信號(hào)輸入輸出板(3)，傳輸?shù)焦た貦C(jī)(1)；運(yùn)動(dòng)控制由氣路(9)控制，并能夠?qū)㈦p向氣缸(7)位置狀態(tài)反饋到上位機(jī)(1)。本發(fā)明的束流檢測(cè)系統(tǒng)，性能可靠穩(wěn)定，具有選檔功能，采集精度高，整個(gè)系統(tǒng)可由工控機(jī)靈活控制。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，即離子注入機(jī)，特別地，涉及一種用于檢測(cè)離子注入機(jī)引出束流的系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]集成電路制造技術(shù)及工藝是關(guān)乎國(guó)計(jì)民生的戰(zhàn)略性工程，對(duì)保障國(guó)家安全和增強(qiáng)綜合國(guó)力具有重大戰(zhàn)略意義，是一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。目前離子注入的工藝種類(lèi)呈不斷增加趨勢(shì)，且隨著特質(zhì)線寬的縮小，工藝復(fù)雜程度的提高，傳統(tǒng)的中束流注入機(jī)已不能滿(mǎn)足這種工藝要求，因此離子注入工藝所面臨的挑戰(zhàn)體現(xiàn)在注入能量向超低端發(fā)展，而注入劑量則向高濃度發(fā)展，要解決這一制造工藝，必須開(kāi)發(fā)新的離子注入機(jī)設(shè)備——低能大束流離子注入機(jī)來(lái)滿(mǎn)足淺結(jié)和大劑量的要求。
[0003]在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機(jī)中，束流檢測(cè)裝置不僅采集離子源系統(tǒng)的引出束流大小，并且可以檢測(cè)束流品質(zhì)及束穩(wěn)定性等，為注入機(jī)的劑量控制與束帶均勻性等調(diào)節(jié)提供重要依據(jù)。本發(fā)明提供一種檢測(cè)離子注入機(jī)引出束流的系統(tǒng)，此方法體系結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量與控制精確、可靠。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明涉及一種束流檢測(cè)的結(jié)構(gòu)及其方法。該發(fā)明應(yīng)用于離子注入機(jī)，能夠精確可靠地采集束流大小，并且運(yùn)動(dòng)控制方面簡(jiǎn)單，安全可靠。
[0005]本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]1.一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，包括:工控機(jī)(1)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板
(3)、開(kāi)關(guān)電源(4)、I/V轉(zhuǎn)換電路(5)、法拉第杯(6)、雙向氣缸(7)、傳動(dòng)軸承(8)、氣路部分(9)、到位開(kāi)關(guān)(10)、固定支撐架(11)，其中I/V轉(zhuǎn)換電路由檔位選擇器(13)、I/V轉(zhuǎn)換器
(14)、運(yùn)放模塊(15)構(gòu)成，所述法拉第杯(6)固定安裝在傳動(dòng)軸承⑶上，傳動(dòng)軸承⑶通過(guò)固定支撐架固定在雙向氣缸(7)的運(yùn)動(dòng)軸上，法拉第杯(6)采集的信號(hào)接到I/V轉(zhuǎn)換電路(5)輸入端，開(kāi)關(guān)電源⑷為I/V轉(zhuǎn)換電路供電，信號(hào)輸入輸出板⑵接收I/V轉(zhuǎn)換電路輸出電壓量并傳送給工控機(jī)(1)。其特征在于由法拉第杯采集的束流值，經(jīng)I/V轉(zhuǎn)換電路、信號(hào)輸入輸出板，傳輸?shù)缴衔粰C(jī)。
[0007]2.如權(quán)利要求1所述一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，法拉第杯(6)固定在傳動(dòng)軸承⑶上，由雙向氣缸(7)控制其往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)法拉第杯(6)在束線腔體內(nèi)的伸縮運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到測(cè)量束流的目的。
[0008]3.如權(quán)利要求1、2所述的一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，由氣路部分(9)、雙向氣缸(7)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸承(8)、到位開(kāi)關(guān)(10)構(gòu)成運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，控制過(guò)程簡(jiǎn)單、可靠。
[0009]4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，I/V轉(zhuǎn)換電路具有換擋功能，能夠?qū)⒉煌秶氖髦禍?zhǔn)確地檢測(cè)并上傳到工控機(jī)。
[0010]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0011]1、采集轉(zhuǎn)換電路具有換擋功能，可以根據(jù)束流的大小來(lái)選擇合適的檔位，采集精度高
[0012]2、運(yùn)動(dòng)控制由氣路控制，電氣隔離且安全可靠
[0013]3、系統(tǒng)簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)模塊化，便于組裝生產(chǎn)

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1束流檢測(cè)系統(tǒng)不意圖
[0015]圖2I/V轉(zhuǎn)換電路示意圖

【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖的具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，這些描述都是說(shuō)明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
[0017]參見(jiàn)圖1 一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，包括:工控機(jī)(I)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、開(kāi)關(guān)電源(4)、I/V轉(zhuǎn)換電路(5)、法拉第杯(6)、雙向氣缸(7)、傳動(dòng)軸承(8)、氣路部分(9)、到位開(kāi)關(guān)(10)、固定支撐架(11)，其中I/V轉(zhuǎn)換電路由檔位選擇器(13)、I/V轉(zhuǎn)換器(14)、運(yùn)放模塊(15)構(gòu)成。
[0018]工控機(jī)(I)通過(guò)光纖(2)與信號(hào)輸入輸出板(3)相連實(shí)時(shí)發(fā)送與接收數(shù)據(jù)，信號(hào)輸入輸出板⑶與I/V轉(zhuǎn)換電路(5)相連，開(kāi)關(guān)電源⑷為I/V轉(zhuǎn)換電路(5)提供工作電壓，I/V轉(zhuǎn)換電路(5)與法拉第杯(6)相連。法拉第杯(6)將接收到的帶電粒子以電流的形式通過(guò)同軸電纜傳輸?shù)絀/V轉(zhuǎn)換電路(5)中，束流信號(hào)在I/V轉(zhuǎn)換電路(5)內(nèi)部的檔位選擇器以及運(yùn)放的作用下轉(zhuǎn)換為合適的電壓信號(hào)(O-1Ov)，最后由信號(hào)輸入輸出板(3)傳輸?shù)焦た貦C(jī)上(I)，完成束流的采集。運(yùn)動(dòng)控制方面，信號(hào)輸入輸出板(3)通過(guò)接收工控機(jī)(I)的控制信號(hào)，控制氣路模塊(9)，進(jìn)而控制雙向氣缸(7)帶動(dòng)傳動(dòng)軸承(8)、法拉第杯(6)在束線腔體內(nèi)進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，到位開(kāi)關(guān)(10)將法拉第杯(6)的位置信號(hào)通過(guò)信號(hào)輸入輸出板
(3)反饋給工控機(jī)(I)。
[0019]以上所述已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專(zhuān)利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，包括:工控機(jī)(1)、光纖(2)、信號(hào)輸入輸出板(3)、開(kāi)關(guān)電源⑷、1八轉(zhuǎn)換電路(5)、法拉第杯(6)、雙向氣缸⑵、傳動(dòng)軸承⑶、氣路部分(9)、到位開(kāi)關(guān)(10)、固定支撐架(11),其中1八轉(zhuǎn)換電路由檔位選擇器(13)3/7轉(zhuǎn)換器(14)、運(yùn)放模塊(15)構(gòu)成，所述法拉第杯(6)通過(guò)固定支撐架(11)固定在雙向氣缸(7)上，其輸出信號(hào)接到1八轉(zhuǎn)換電路(5)輸入端，開(kāi)關(guān)電源⑷為1八轉(zhuǎn)換電路供電，信號(hào)輸入輸出板(3)接收1八轉(zhuǎn)換電路輸出量并由光纖(2)傳送給工控機(jī)(1),其特征在于由法拉第杯采集的束流值，經(jīng)1八轉(zhuǎn)換電路、信號(hào)輸入輸出板，傳輸?shù)缴衔粰C(jī)；運(yùn)動(dòng)控制由氣路控制，并能夠?qū)⑦\(yùn)動(dòng)狀態(tài)反饋到上位機(jī)。
2.如權(quán)利要求1所述一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，法拉第杯(6)固定在傳動(dòng)軸承(8)上，由雙向氣缸(7)控制其往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)法拉第杯(6)在束線腔體內(nèi)的伸縮運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到測(cè)量束流的目的。
3.如權(quán)利要求1、2所述的一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，由氣路部分(9)、雙向氣缸(7)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸承(8)、到位開(kāi)關(guān)(10)構(gòu)成運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，控制過(guò)程簡(jiǎn)單、可靠。
4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)內(nèi)束流檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，1八轉(zhuǎn)換電路具有換擋功能，能夠?qū)⒉煌秶氖髦禍?zhǔn)確地檢測(cè)并上傳到上位機(jī)。
【文檔編號(hào)】H01J37/244GK104465286SQ201310415402
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月12日
【發(fā)明者】田龍 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司