一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構，所述掃描電鏡機臺內部設有一載物臺支架，所述載物臺支架上設有一安裝孔，所述載物臺結構包括一底座，所述底座的下表面對應所述安裝孔形成有一連接部，所述連接部固定于所述安裝孔內，所述底座的上表面形成有一用于夾持樣品的夾持部。以本實用新型的載物臺結構取代原有裝置，可以透過載物臺結構的夾持部觀察樣品的截面表面結構，同時載物臺結構的高度在機臺允許的載物高度范圍內，提升了機臺觀察樣品的種類，豐富了機臺的實用性。
【專利說明】一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種掃描電鏡機臺，尤其是一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構?！颈尘凹夹g】
[0002]由于掃描電鏡機臺內部樣品放置的載物臺自身高度的影響，造成集成電路內部芯片在觀察時影像有一定的局限性，在放置樣品觀察前，已經產生一個高度，此高度差會造成芯片自身有一定高度的樣品在實驗過程中，無法正常觀察，或容易誤操作損壞機臺鏡頭裝置，造成集成電路失效或機臺的損壞?，F(xiàn)今的掃描電鏡，由于設計原因，無可避免的會產生內部設計高度問題，如果無法消除，會造成觀察結果有局限性或根本無法觀察。
實用新型內容
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種通過外接裝置，取代機臺自身的載物臺裝置，有效提高機臺的觀察能力范圍的掃描電鏡機臺內部載物臺結構。
[0004]為實現(xiàn)上述技術效果，本實用新型公開了一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構，所述掃描電鏡機臺內部設有一載物臺支架，所述載物臺支架上設有一安裝孔，所述載物臺結構包括一底座，所述底座的下表面對應所述安裝孔形成有一連接部，所述連接部固定于所述安裝孔內，所述底座的上表面形成有一用于夾持樣品的夾持部。
[0005]本實用新型進一步的改進在于，所述夾持部包括兩塊夾板，所述兩塊夾板對稱設置于所述底座的上表面兩側。
[0006]本實用新型進一步的改進在于，所述夾板上對應所述樣品設有復數(shù)定位孔。
[0007]本實用新型進一步的改進在于，所述載物臺結構采用無磁性導電性材料制作。
[0008]本實用新型進一步的改進在于，所述載物臺結構的高度符合所述掃描電鏡機臺內部載物臺的允許高度范圍。
[0009]本實用新型由于采用了以上技術方案，使其具有以下有益效果是:以本實用新型的載物臺結構取代原有裝置，可以透過載物臺結構的夾持部觀察樣品的截面表面結構，同時載物臺結構的高度在機臺允許的載物高度范圍內，提升了機臺觀察樣品的種類，豐富了機臺的實用性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構的立體示意圖。
[0011]圖2是本實用新型一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構的主視圖。
[0012]圖3是本實用新型一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構的俯視圖。
[0013]圖4是本實用新型一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構的側視圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖以及【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。[0015]參閱圖1?圖4所示，本實用新型的一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構1，掃描電鏡機臺內部設有一載物臺支架，載物臺支架上設有一安裝孔，載物臺結構I包括一底座11，底座11的下表面對應上述載物臺支架上的安裝孔形成有一連接部12，連接部12安插固定于安裝孔內，底座11的上表面形成有一用于夾持樣品的夾持部13,樣品安裝于底座11上，并且通過夾持部13進行固定。夾持部13進一步包括兩塊夾板14，兩塊夾板14對稱設置于底座11的上表面兩側，可以透過載物臺結構I的夾持部13觀察樣品的截面表面結構。作為本實用新型的較佳實施方式，在夾板14上對應樣品設置有復數(shù)定位孔15，便于固定放置于底座11上的樣品。以本實用新型的載物臺結構I取代原有裝置，載物臺結構I的高度確保在掃描電鏡機臺允許的載物高度范圍內，正確減少高度差值，解決了現(xiàn)有掃描電鏡機臺對于先進制程的集成電路芯片截面觀察時超過機臺允許操作樣品高度的問題，使現(xiàn)有掃描電鏡的觀察結果更精確，范圍更大，可觀測種類更廣，豐富了機臺的實用性。
[0016]以上結合附圖實施例對本實用新型進行了詳細說明，本領域中普通技術人員可根據(jù)上述說明對本實用新型做出種種變化例。因而，實施例中的某些細節(jié)不應構成對本實用新型的限定，本實用新型將以所附權利要求書界定的范圍作為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種掃描電鏡機臺內部載物臺結構，其特征在于:所述掃描電鏡機臺內部設有一載物臺支架，所述載物臺支架上設有一安裝孔，所述載物臺結構包括一底座，所述底座的下表面對應所述安裝孔形成有一連接部，所述連接部固定于所述安裝孔內，所述底座的上表面形成有一用于夾持樣品的夾持部。
2.如權利要求1所述的載物臺結構，其特征在于:所述夾持部包括兩塊夾板，所述兩塊夾板對稱設置于所述底座的上表面兩側。
3.如權利要求2所述的載物臺結構，其特征在于:所述夾板上對應所述樣品設有復數(shù)定位孔。
4.如權利要求3所述的載物臺結構，其特征在于:所述載物臺結構采用無磁性導電性材料制作。
5.如權利要求4所述的載物臺結構,其特征在于:所述載物臺結構的高度符合所述掃描電鏡機臺內部載物臺的允許高度范圍。
【文檔編號】H01J37/20GK203674157SQ201320746242
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年11月22日 優(yōu)先權日:2013年11月22日
【發(fā)明者】張帆 申請人:宜碩科技(上海)有限公司