載物臺(tái)裝置以及試樣觀察裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的目的為提供一種除了能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的定位，還具有高速度穩(wěn)定性的載物臺(tái)裝置以及具備了該載物臺(tái)裝置的光學(xué)式顯微鏡或掃描電子顯微鏡等試樣觀察裝置。本發(fā)明的載物臺(tái)裝置以及試樣觀察裝置為了將使用表示按照每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)機(jī)構(gòu)時(shí)的變位或速度的第一時(shí)刻變化響應(yīng)和載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的變位或速度的第二時(shí)刻變化響應(yīng)之間的差設(shè)為零，而修正標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的指令電壓值或指令電壓值的輸出定時(shí)，作為對(duì)載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部輸出的驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)。
【專利說明】載物臺(tái)裝置以及試樣觀察裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種載物臺(tái)裝置以及使用了該載物臺(tái)裝置的試樣觀察裝置，其中該載物臺(tái)裝置在光學(xué)顯微鏡或掃描電子顯微鏡等的試樣觀察裝置中，搭載觀察試樣并使其移動(dòng)而使觀察視野移動(dòng)。

【背景技術(shù)】
[0002]作為代表性的帶電粒子線裝置的掃描電子顯微鏡(Scanning ElectronMicroscope，以下稱為SEM)的用途，可以列舉半導(dǎo)體模式的缺陷或不良的觀察。近年來，隨著半導(dǎo)體工藝的細(xì)化，要求SEM能夠進(jìn)行更高倍率的觀察。SEM使電子束以二維狀對(duì)觀察試樣的表面(一次電子線)掃描并照射，這樣使從試樣二次產(chǎn)生的二次電子、反射電子(以下稱為二次粒子)的強(qiáng)度與一次電子線的掃描同步而進(jìn)行被掃描生成的圖像的亮度調(diào)制輸入，從而取得試樣表面的觀察圖像(SEM圖像)。這時(shí)，通過移動(dòng)SEM所具備的搭載有試樣的載物臺(tái)來進(jìn)行成為觀察對(duì)象的試樣表面的選擇。通常，操作者邊觀察SEM圖像，邊操作軌跡球等操作輸入單元，移動(dòng)載物臺(tái)直到得到作為SEM圖像的成為目標(biāo)的試樣表面部分。這時(shí)候，由于操作者容易把握當(dāng)前的觀察位置，因此最好以恒定的速度來移動(dòng)載物臺(tái)使得SEM圖像以恒定的速度進(jìn)行移動(dòng)。另外，如半導(dǎo)體晶圓那樣，在觀察相同的細(xì)微模式(單體(cell))連續(xù)的試樣時(shí)，進(jìn)行通過目視或圖像處理測(cè)量通過SEM畫面上的單體的數(shù)量(單體計(jì)數(shù))，由此判定是否達(dá)到了成為目標(biāo)的部分。這時(shí)候，要求載物臺(tái)以恒定速度移動(dòng)使得SEM圖像以恒定的速度移動(dòng)，從而使得不會(huì)漏看單體。為了進(jìn)行上述那樣的高倍率觀察，不僅要求高定位精度，也要求速度穩(wěn)定性。
[0003]作為現(xiàn)有的載物臺(tái)機(jī)構(gòu)，廣泛使用一種定位裝置，該定位裝置通過步進(jìn)電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠，經(jīng)由安裝在滾珠絲杠上的螺母來移動(dòng)載物臺(tái)。但是，這種方式在由于滾珠絲杠和螺母之間的嚙合誤差、滾珠絲杠的彈性變形以及步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)誤差等使載物臺(tái)的移動(dòng)方向反轉(zhuǎn)時(shí)，緊隨其后雖然對(duì)于移動(dòng)指令載物臺(tái)不動(dòng)或者移動(dòng)，但會(huì)發(fā)生該移動(dòng)量比指令值小的所謂的齒隙，不能夠高精度定位，這成為操作性的阻礙要素之一。
[0004]為了解決這種定位誤差，例如在日本特開2004-288918號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)中公開一種方法，即從現(xiàn)有的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)將通過壓電元件(電致伸縮元件)構(gòu)成的超生波電動(dòng)機(jī)直接安裝到可動(dòng)工作臺(tái)的下面，直接驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)。在專利文獻(xiàn)I中公開了以下方式，即在載物臺(tái)的下面設(shè)置驅(qū)動(dòng)傳輸面，將壓電元件壓在該驅(qū)動(dòng)傳輸面上，利用在施加電壓時(shí)壓電元件的剪切形變，使上述驅(qū)動(dòng)傳輸面在載物臺(tái)移動(dòng)方向直線移動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-288918號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]在專利文獻(xiàn)I中，記載了一種校直裝置的控制方法，即使用2個(gè)由多個(gè)壓電元件構(gòu)成的壓電驅(qū)動(dòng)體，構(gòu)成能夠使各個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)體交互地與定位對(duì)象可動(dòng)物體接觸/背離而進(jìn)行步行動(dòng)作的步行動(dòng)作驅(qū)動(dòng)單元，能夠利用步行動(dòng)作更準(zhǔn)確地修正移動(dòng)控制上的誤差，最終能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的極其高精度的定位。
[0010]但是，這種控制方法為了進(jìn)行高精度的定位，只修正停止時(shí)的定位誤差，而未保證速度穩(wěn)定性。如果速度穩(wěn)定性低，則會(huì)產(chǎn)生觀察畫面的移動(dòng)速度進(jìn)行變動(dòng)而難以觀察，導(dǎo)致漏看觀察對(duì)象的情況等問題，并且，觀察者進(jìn)行定位的方法(approach)時(shí)操作性會(huì)惡化，難以進(jìn)行高精度的定位。
[0011]因此，本發(fā)明的目的是提供一種除了能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的定位，還具有高的速度穩(wěn)定性的載物臺(tái)裝置。
[0012]用于解決課題的手段
[0013]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的載物臺(tái)裝置具有例如搭載試樣并使其移動(dòng)的載物臺(tái)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部、用于輸入針對(duì)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作的指示的載物臺(tái)操作輸入部以及根據(jù)從上述載物臺(tái)操作輸入部的輸入來控制上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的載物臺(tái)控制部，該載物臺(tái)裝置的特征在于，具有:波形生成部，其根據(jù)通過上述載物臺(tái)操作輸入部輸入的指令值和表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)生成輸出到上述驅(qū)動(dòng)部的電壓信號(hào)；放大部，其將上述生成的電壓信號(hào)進(jìn)行放大后輸出到上述驅(qū)動(dòng)部；存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)和為了使上述驅(qū)動(dòng)部以恒定速度進(jìn)行移動(dòng)而修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的修正數(shù)據(jù)，其中，上述修正數(shù)據(jù)是為了將使用上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)時(shí)的變位或速度的第一時(shí)刻變化響應(yīng)和上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的變位或速度的第二時(shí)刻變化響應(yīng)之間的差設(shè)為零，而修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的指令電壓值或指令電壓值的輸出定時(shí)的數(shù)據(jù)，通過上述修正數(shù)據(jù)修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)后設(shè)為上述驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據(jù)本發(fā)明能夠提供一種載物臺(tái)裝置，除了能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的定位，還具有高的速度穩(wěn)定性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0017]圖2是使用載物臺(tái)裝置的掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)圖。
[0018]圖3是載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0019]圖4是用于本發(fā)明的步行型壓電電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0020]圖5是說明用于本發(fā)明的壓電元件的動(dòng)作的圖。
[0021]圖6是說明用于本發(fā)明的步行型壓電電動(dòng)機(jī)的動(dòng)作的圖。
[0022]圖7是表示使用了標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)時(shí)的步行型壓電電動(dòng)機(jī)的速度響應(yīng)的圖。
[0023]圖8是表示使用了標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)時(shí)的步行型壓電電動(dòng)機(jī)的變位響應(yīng)的圖，是說明步行型壓電電動(dòng)機(jī)的速度變動(dòng)的周期性的圖。
[0024]圖9是表示使用了標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)時(shí)的步行型壓電電動(dòng)機(jī)的速度響應(yīng)的圖，是說明步行型壓電電動(dòng)機(jī)的速度變動(dòng)的周期性的圖。
[0025]圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的變位響應(yīng)的圖。
[0026]圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0027]圖12是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的修正波形數(shù)據(jù)的生成方法的示意圖。
[0028]圖13a是表示本發(fā)明的實(shí)施例3的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0029]圖13b是表示本發(fā)明的實(shí)施例3的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0030]圖14是表示本發(fā)明的實(shí)施例4的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0031]圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施例5的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0032]圖16是表示本發(fā)明的實(shí)施例6的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0033]圖17是表示本發(fā)明的實(shí)施例7的載物臺(tái)裝置的結(jié)構(gòu)圖的例子。
[0034]圖18是用于說明速度指令值的一例的圖。
[0035]圖19是表示修正數(shù)據(jù)生成時(shí)的開關(guān)的狀態(tài)的結(jié)構(gòu)圖的例子。

【具體實(shí)施方式】
[0036]以下參照【專利附圖】

【附圖說明】實(shí)施例。以下表示掃描電子顯微鏡的例子，但本發(fā)明不限定于這些，而可以適用于光學(xué)顯微鏡和離子顯微鏡、掃描透射電子顯微鏡(STEM)等試樣觀察裝置。特別當(dāng)觀察對(duì)象為細(xì)微的情況下，需要高精度的定位以及載物臺(tái)速度的高穩(wěn)定性，因此對(duì)這些裝置有效。
[0037]實(shí)施例1
[0038]說明表示本發(fā)明的實(shí)施例1的載物臺(tái)裝置。在圖1中，載物臺(tái)11通過電動(dòng)機(jī)104等的驅(qū)動(dòng)部107來驅(qū)動(dòng)具有載置了成為觀察對(duì)象的試樣12的可動(dòng)工作臺(tái)101等的載物臺(tái)機(jī)構(gòu)108，具備測(cè)量該載物臺(tái)移動(dòng)量的位置檢測(cè)部106。載物臺(tái)11由載物臺(tái)控制部15進(jìn)行控制。載物臺(tái)控制部15輸出賦予電動(dòng)機(jī)104的指令值。載物臺(tái)控制部15具備開關(guān)215、開關(guān)216、波形輸出部205、標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)209std、修正定時(shí)數(shù)據(jù)209以及修正定時(shí)生成部213。標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)209std和修正定時(shí)數(shù)據(jù)209std例如被保存在存儲(chǔ)器等中。載物臺(tái)裝置根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)209std和修正定時(shí)數(shù)據(jù)209由波形輸出部205控制波形數(shù)據(jù)和定時(shí)，由此實(shí)現(xiàn)具有高定位精度和速度穩(wěn)定性的驅(qū)動(dòng)。從波形輸出部205輸出的波形在放大器206被放大并傳送到驅(qū)動(dòng)部107。
[0039]利用圖2說明使用本實(shí)施例的載物臺(tái)裝置的SM的結(jié)構(gòu)。SEMl由具備了電子光學(xué)系統(tǒng)的鏡筒2、試樣室3、載物臺(tái)11、其他的控制部和計(jì)算機(jī)等構(gòu)成。從電子槍4產(chǎn)生的一次電子線5通過會(huì)聚透鏡6和物鏡7照射到試樣12，由此從試樣12產(chǎn)生的二次電子、反射電子等二次粒子9通過二次粒子檢測(cè)器10來檢測(cè)。一次電子線5通過掃描偏轉(zhuǎn)器8對(duì)要觀察的試樣12的表面以二維形狀進(jìn)行掃描。電子光學(xué)系統(tǒng)控制部13控制掃描偏轉(zhuǎn)器8進(jìn)行的一次電子線5的掃描，并且將通過二次粒子檢測(cè)器10檢測(cè)出的二次粒子9的強(qiáng)度設(shè)為與一次電子線的掃描同步地掃描生成的圖像的亮度調(diào)制輸入，由此生成試樣表面的觀察圖像(SEM圖像)。所生成的SEM圖像顯示在顯示裝置14上。另外可以將SEM圖像保存在未圖示的存儲(chǔ)裝置中。
[0040]成為觀察對(duì)象的試樣12搭載在放置在試樣室3內(nèi)的載物臺(tái)11上。載物臺(tái)11移動(dòng)/旋轉(zhuǎn)試樣12，具有水平方向(XY方向)、上下方向(Z方向)、旋轉(zhuǎn)(繞Z軸的旋轉(zhuǎn))、傾斜等的自由度(在圖中只表示I個(gè)自由度)。載物臺(tái)控制部15例如根據(jù)來自軌跡球或操縱桿等輸入設(shè)備即載物臺(tái)操作輸入部16的輸入來控制載物臺(tái)11。另外，也可以使用通過網(wǎng)絡(luò)或串行口等進(jìn)行連接的PC作為載物臺(tái)操作輸入部16。另外，可以通過專用電路基板以硬件構(gòu)成電子光學(xué)系統(tǒng)控制部13和載物臺(tái)控制部15，也可以作為軟件通過由控制SEM的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的程序來實(shí)現(xiàn)。
[0041]通過定位載物臺(tái)11來進(jìn)行成為觀察對(duì)象的試樣表面的選擇。操縱者一邊觀察SEM圖像一邊操作載物臺(tái)操作輸入部16，使載物臺(tái)11移動(dòng)到作為SEM圖像而得到成為目標(biāo)的觀察部位為止。這時(shí)候，如果速度穩(wěn)定性低，則對(duì)于操作輸入的響應(yīng)性變差而操作性惡化，而且在速度急劇變動(dòng)的情況下會(huì)漏看觀察對(duì)象。另外，在觀察半導(dǎo)體晶圓等相同的細(xì)微模式(單體)連續(xù)的試樣時(shí)，進(jìn)行如下方法，即從載物臺(tái)操作輸入部16將移動(dòng)方向和速度輸入到載物臺(tái)控制部15，使載物臺(tái)11以恒定速度進(jìn)行移動(dòng)，通過操作者的目視或圖像處理來測(cè)量通過SEM畫面上的單體的數(shù)量，由此判定是否到達(dá)了作為目標(biāo)的部位。這時(shí)候如果發(fā)生急劇的速度變動(dòng)則會(huì)發(fā)生漏看作為對(duì)象的單體的情況，有不能正確檢測(cè)位置的問題。
[0042]使用圖3說明本實(shí)施例的載物臺(tái)裝置的機(jī)構(gòu)部。載物臺(tái)11在可動(dòng)工作臺(tái)101上安裝試樣，使可動(dòng)工作臺(tái)101沿著安裝在基座100上的導(dǎo)軌102移動(dòng)，從而移動(dòng)試樣。作為用于移動(dòng)可動(dòng)工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)部而使用直線運(yùn)動(dòng)致動(dòng)器。這是由軸103和電動(dòng)機(jī)104構(gòu)成，如果對(duì)電動(dòng)機(jī)104輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)則電動(dòng)機(jī)104沿著軸103移動(dòng)。將該電動(dòng)機(jī)104安裝在可動(dòng)工作臺(tái)101上，將軸103安裝在基座上。另外，也可以為將軸103安裝在可動(dòng)工作臺(tái)101上，將電動(dòng)機(jī)104安裝在基座上的結(jié)構(gòu)。
[0043]作為用于檢測(cè)可動(dòng)工作臺(tái)101的位置的位置檢測(cè)部，例如使用由標(biāo)尺105、傳感器頭構(gòu)成的線性標(biāo)尺。該標(biāo)尺105按照一定間隔附有狹縫，傳感器頭每次通過其上面時(shí)產(chǎn)生脈沖。通過測(cè)量該脈沖的數(shù)量能夠取得位置。將該標(biāo)尺105安裝在基座100上，將傳感器頭安裝在可動(dòng)工作臺(tái)101上。另外，作為位置檢測(cè)單元，也可以使用激光干涉儀、激光變位儀等。
[0044]載物臺(tái)控制部15根據(jù)從載物臺(tái)操作輸入部16輸入的指令值和通過位置檢測(cè)部檢測(cè)出的位置信息來進(jìn)行控制運(yùn)算，通過對(duì)電動(dòng)機(jī)104輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)而使載物臺(tái)動(dòng)作。這里，表示使用位置信息進(jìn)行反饋控制的結(jié)構(gòu)，但是也可以不使用位置信息進(jìn)行開環(huán)控制。
[0045]另外，圖3表示了 I個(gè)自由度的載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)，但是能夠通過組合與此相同的載物臺(tái)來構(gòu)成多自由度的載物臺(tái)。
[0046]使用圖4?圖6來說明用于本實(shí)施例的載物臺(tái)的驅(qū)動(dòng)部的一例。這里將步行型壓電電動(dòng)機(jī)(walking piezo motor)作為例子進(jìn)行說明。圖4表示壓電電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)例。在電動(dòng)機(jī)104的內(nèi)部具有將層積壓電板300a、300b進(jìn)行了貼合的壓電元件300、301、302、303，通過未圖示的彈性裝置將壓電元件的前端壓在軸103上。圖5表示與輸入到壓電元件中的指令電壓對(duì)應(yīng)的壓電元件的動(dòng)作。例如如果將圖5所示的指令電壓進(jìn)行貼合后賦予層積壓電板300a(右)、300b (左)，則壓電元件根據(jù)指令電壓的和與差進(jìn)行伸縮/彎曲，進(jìn)行由壓電元件前端描繪橢圓軌道那樣的動(dòng)作。圖6表示取出2個(gè)壓電元件的步行型壓電電動(dòng)機(jī)的動(dòng)作原理。如果對(duì)壓電元件A、B賦予圖6那樣的指令電壓，則壓電元件如在地面行走那樣地進(jìn)行動(dòng)作。例如在壓電元件A接觸軸103進(jìn)行動(dòng)作期間，電動(dòng)機(jī)104進(jìn)行移動(dòng)，在該期間壓電元件B進(jìn)行回?cái)[動(dòng)作。該一周期的動(dòng)作不限定于具體的周期的長短。因此，準(zhǔn)備將一周期的波形進(jìn)行等分割(正規(guī)化)后的電壓數(shù)據(jù)，改變(伸縮)電壓數(shù)據(jù)的輸出時(shí)間間隔(以下為進(jìn)行了正規(guī)化的單位時(shí)間)，從而使該指令電壓波形的周期變化，控制速度。圖5、圖6表示I個(gè)周期的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形，但是在使電動(dòng)機(jī)連續(xù)移動(dòng)時(shí)可以重復(fù)賦予該波形。另夕卜，這是驅(qū)動(dòng)部的一構(gòu)成例，這樣不限定本發(fā)明。
[0047]圖7表示從波形生成部以一定的輸出定時(shí)輸入4個(gè)周期的指令電壓波形時(shí)的速度響應(yīng)波形。從圖7可知速度相對(duì)于指令速度變動(dòng)較大。其理由是因?yàn)閴弘娫慕嵌然蜷L度，特別是彎曲量發(fā)生波動(dòng)，從而速度穩(wěn)定性惡化。
[0048]接著，取出將圖7的移動(dòng)開始和移動(dòng)結(jié)束的指令電壓波形分別排除半個(gè)周期后的3個(gè)周期，分別在圖8、圖9表示I個(gè)周期的變位響應(yīng)和速度響應(yīng)。從這些圖得知從第一周期到三周期的變位響應(yīng)和速度響應(yīng)的波形形狀分別大致一致。即，對(duì)于指令值的實(shí)際的變位響應(yīng)和速度響應(yīng)有周期性，該周期和指令電壓波形的周期一致。另外，這樣的周期性能夠不通過載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)位置、速度來確認(rèn)。因此，在本實(shí)施例中，利用該周期性，根據(jù)事先測(cè)量到的變位或速度來求出指令電壓波形輸出定時(shí)修正數(shù)據(jù)，通過將指令電壓輸出定時(shí)設(shè)為可變，能夠進(jìn)行速度穩(wěn)定性高的驅(qū)動(dòng)。
[0049]這里，使用圖19和圖10說明具體的修正數(shù)據(jù)的生成方法。圖19表示修正數(shù)據(jù)生成時(shí)的開關(guān)的狀態(tài)。將開關(guān)215設(shè)為斷開，將開關(guān)216設(shè)為接通，通過波形輸出生成部以一定時(shí)間間隔來輸出標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)，根據(jù)從位置檢測(cè)部106得到的位置或速度數(shù)據(jù)在修正定時(shí)生成部213生成修正定時(shí)數(shù)據(jù)209，使得可動(dòng)工作臺(tái)以恒定速度進(jìn)行移動(dòng)。這里，在時(shí)刻i時(shí)通過x(i)賦予標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)。標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值，在沒有進(jìn)行本實(shí)施例的修正時(shí)只根據(jù)該數(shù)據(jù)決定對(duì)驅(qū)動(dòng)部的指令電壓波形。另外，本說明書中的“預(yù)定時(shí)間”表示預(yù)先決定的時(shí)間間隔，雖然通常每個(gè)“ 一定時(shí)間間隔”的情況比較多，但本發(fā)明不限于此。
[0050]x(i)可以作為與i相關(guān)的表而被賦予，也可以作為與i相關(guān)的函數(shù)而被賦予。這里舉例說明前者的情況。將通過波形生成部以一定時(shí)間間隔Atstd輸出x(i)使載物臺(tái)動(dòng)作時(shí)所得到的變位設(shè)為y(i)。當(dāng)以恒定速度V移動(dòng)時(shí)達(dá)到變位y(i)時(shí)的理想時(shí)刻成為y(i)/v0但是，實(shí)際上因?yàn)楫a(chǎn)生速度變動(dòng)而達(dá)到變位y(i)的時(shí)刻與該時(shí)刻不同，其差為Ata)=i.Δ tstd-y (i)/v。因此,通過將指令電壓x (i)的時(shí)刻i時(shí)的值只錯(cuò)開Δ t (i)后輸出，能夠以恒定速度V移動(dòng)載物臺(tái)。即，修正數(shù)據(jù)是為了將使用標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)機(jī)構(gòu)時(shí)的變位(圖8)或速度(圖9)的第一時(shí)刻變化響應(yīng)和載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的變位或速度的第二時(shí)刻變化響應(yīng)之間的差設(shè)為零，而規(guī)定錯(cuò)開上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的指令電壓值的輸出定時(shí)的時(shí)間間隔Ata)的數(shù)據(jù)。通過將指令電壓值的輸出定時(shí)錯(cuò)開At⑴，實(shí)際達(dá)到變位y(i)時(shí)的時(shí)刻成為y(i)/V，與載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的理想的變位一致。
[0051]另外，在與載物臺(tái)控制單元15連接的存儲(chǔ)器或硬盤等的存儲(chǔ)部(未圖示)中存儲(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)以及修正數(shù)據(jù)。
[0052]另外，可以對(duì)上述正規(guī)化后的單位時(shí)間保持修正數(shù)據(jù)。這樣即使在改變載物臺(tái)速度的情況下也能夠使用相同的修正數(shù)據(jù)來進(jìn)行修正。
[0053]圖10表示通過以上所得到的修正數(shù)據(jù)At(i)修正標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)x(i)的輸出定時(shí)而進(jìn)行動(dòng)作時(shí)的指令電壓和實(shí)測(cè)變位。從該圖可知能夠確認(rèn)載物臺(tái)以恒定速度進(jìn)行動(dòng)作。
[0054]如上所述，通過使用本實(shí)施例的載物臺(tái)裝置來抑制速度變動(dòng)，能夠得到高的速度穩(wěn)定性。
[0055]實(shí)施例2
[0056]圖11表示本發(fā)明的另外的結(jié)構(gòu)例。以下省略和實(shí)施例相同的部分的說明。在本實(shí)施例中，將在實(shí)施例1中求出的輸出定時(shí)的偏差變換為按一定時(shí)間輸出的電壓值的變動(dòng)，將修正數(shù)據(jù)規(guī)定為指令電壓值的例子。另外，以下，“修正數(shù)據(jù)”是指包括在實(shí)施例1說明的“修正定時(shí)數(shù)據(jù)”和在本實(shí)施例說明的“修正波形數(shù)據(jù)”的數(shù)據(jù)，沒有特別的情況，可以代替這些。
[0057]在圖11中，在圖1的基礎(chǔ)上還附加了生成修正波形數(shù)據(jù)219的修正波形生成部217和開關(guān)218。修正波形生成部217如實(shí)施例1所示那樣通過修正定時(shí)生成部213求出標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)x(i)的輸出定時(shí)的修正值A(chǔ)ta)后，變換為一定時(shí)間間隔Atstd的電壓數(shù)據(jù)，將它作為修正波形數(shù)據(jù)219。因此修正波形數(shù)據(jù)219是表示一定時(shí)間間隔的電壓指令值的時(shí)間推移的波形數(shù)據(jù)。
[0058]使用圖12表示修正波形數(shù)據(jù)的生成方法。首先，生成只將x(i)的輸出定時(shí)錯(cuò)開At (i)后得到的波形數(shù)據(jù)(圖12的帶箭頭的曲線)。根據(jù)該時(shí)間前后的繪制點(diǎn)進(jìn)行線形插值而求出這時(shí)的每個(gè)一定時(shí)刻間隔Atstd的點(diǎn)的指令電壓(圖12的帶〇標(biāo)記的點(diǎn))。這樣，能夠作為一定時(shí)刻間隔Atstd的指令電壓值的表X’(i)得到相同波形數(shù)據(jù)，可以將其作為修正波形數(shù)據(jù)。實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)如果將X’α)以一定時(shí)間間隔Atstd輸出，則結(jié)果能夠得到與錯(cuò)開X(i)的輸出定時(shí)相同的效果，能夠以恒定速度使載物臺(tái)動(dòng)作。
[0059]如上所述，通過使用本實(shí)施例的載物臺(tái)裝置也能夠抑制速度變動(dòng)，得到高的速度穩(wěn)定性。
[0060]實(shí)施例3
[0061]圖13a和圖13b表示本發(fā)明的其他的結(jié)構(gòu)例。以下省略與實(shí)施例1_2相同部分的說明。該實(shí)施例是針對(duì)圖1或圖11的將開關(guān)216設(shè)為斷開的狀態(tài)的結(jié)構(gòu)附加了補(bǔ)償部203的實(shí)施例，補(bǔ)償部203根據(jù)從位置檢測(cè)部檢測(cè)出的當(dāng)前載物臺(tái)的位置信息和速度指令值求出輸入到波形生成部的指令值。如果使用如圖1以及圖11那樣求出的修正數(shù)據(jù)，則能夠?qū)τ趬弘娫慕嵌群烷L度、特別是彎曲量的波動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償。但是，由于干擾、載物臺(tái)的傾斜、試樣負(fù)荷的變動(dòng)，也會(huì)發(fā)生速度變動(dòng)。因此，通過如圖13a或圖13b那樣反饋位置信息，能夠抑制這些負(fù)荷變動(dòng)的影響。
[0062]實(shí)施例4
[0063]圖14表示本發(fā)明的其他結(jié)構(gòu)例。以下省略與實(shí)施例1?3相同部分的說明。本實(shí)施例著眼于修正波形數(shù)據(jù)相對(duì)于載物臺(tái)的負(fù)荷而進(jìn)行變動(dòng)的情況，根據(jù)載物臺(tái)的負(fù)荷設(shè)置多個(gè)修正數(shù)據(jù)。這里，載物臺(tái)的負(fù)荷是指根據(jù)載物臺(tái)的傾斜和試樣的質(zhì)量的可動(dòng)質(zhì)量、導(dǎo)軌102的滑動(dòng)阻力等，為了使載物臺(tái)可動(dòng)所需要的力量的大小，在通過各種方法觀察多種試樣的通用的電子顯微鏡中，本實(shí)施例的方法尤其有效。
[0064]圖14的結(jié)構(gòu)是針對(duì)圖13b的結(jié)構(gòu)而附加了負(fù)荷推定部207、至少兩個(gè)修正波形數(shù)據(jù)219a、219b、…、修正數(shù)據(jù)插值部208、開關(guān)220、開關(guān)221。至少兩個(gè)修正數(shù)據(jù)是在任意的負(fù)荷狀態(tài)下(例如最低負(fù)荷狀態(tài)、最大負(fù)荷狀態(tài))求出修正波形數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，該方法能夠在使負(fù)荷發(fā)生變化(載物臺(tái)的傾斜、試樣負(fù)荷的變更)的狀態(tài)下通過實(shí)施例1或?qū)嵤├?說明的方法來取得。在傾斜角度為已知的情況下，負(fù)荷推定部207根據(jù)從補(bǔ)償部203得到的傾斜角度信息來推定加在載物臺(tái)上的負(fù)荷F。即使在傾斜角度未知的情況下，將開關(guān)220設(shè)為接通，負(fù)荷推定部207可以根據(jù)從位置檢測(cè)部106得到的位置信息和對(duì)波形輸出部205的指令值來推定加在載物臺(tái)上的負(fù)荷F。修正數(shù)據(jù)插值部208根據(jù)多個(gè)修正數(shù)據(jù)209a、209b、…和通過負(fù)荷推定部207推定出的負(fù)荷F生成波形生成部所使用的驅(qū)動(dòng)波形。如果將負(fù)荷Fl的修正數(shù)據(jù)設(shè)為X’ l(i)，將負(fù)荷F2的修正數(shù)據(jù)設(shè)為X’ 2(i)，則通過將X’ l(i)和X’ 2 (i)進(jìn)行線形插值而求出與所推定的負(fù)荷F對(duì)應(yīng)的修正波形X’(i)。已知在實(shí)施例
1、2求出的修正數(shù)據(jù)由于載物臺(tái)負(fù)荷不同其形狀不相同，如本實(shí)施例那樣能夠通過載物臺(tái)負(fù)荷狀態(tài)生成修正數(shù)據(jù)，從而能夠成為高精度的修正，能夠進(jìn)一步抑制速度變動(dòng)，得到更高的速度穩(wěn)定性。
[0065]另外，將開關(guān)221設(shè)為接通，使進(jìn)行反饋控制的補(bǔ)償部203的參數(shù)、例如反饋增益根據(jù)載物臺(tái)負(fù)荷為可變，能夠?qū)崿F(xiàn)更高精度的補(bǔ)償。
[0066]實(shí)施例5
[0067]圖15表示本發(fā)明的其他結(jié)構(gòu)例。以下省略與實(shí)施例1?4相同部分的說明。本實(shí)施例更詳細(xì)地說明將開關(guān)220、開關(guān)221都設(shè)為接通的實(shí)施例4的補(bǔ)償部203進(jìn)行2個(gè)自由度控制時(shí)的情況。根據(jù)通過了用于從由位置檢測(cè)部106取得的位置信息除去噪音成分的第一低通濾波器201的信號(hào)、將從載物臺(tái)操作輸入部16輸入的速度指令值通過了積分器200和第二低通濾波器202而得的信號(hào)之間的偏差，在反饋補(bǔ)償部222進(jìn)行補(bǔ)償運(yùn)算。這時(shí)，第二低通濾波器202具有與第一低通濾波器201相同的頻率特性。這樣能夠消除通過兩個(gè)低通濾波器而得到的信號(hào)的相位差。另外，速度指令值通過前饋補(bǔ)償部204進(jìn)行前饋補(bǔ)償運(yùn)算，將其結(jié)果和反饋補(bǔ)償部的輸出相加成為對(duì)波形輸出部205的輸入。已知如果壓電電動(dòng)機(jī)負(fù)荷變大，即使賦予相同的指令值實(shí)際速度也會(huì)變慢，前饋補(bǔ)償是對(duì)其進(jìn)行前饋補(bǔ)償。這時(shí)，前饋補(bǔ)償量根據(jù)由負(fù)荷推定部207推定出的負(fù)荷而發(fā)生變化。
[0068]如果如上述那樣，則能夠進(jìn)行更高精度的補(bǔ)償，能夠得到高的速度穩(wěn)定性。
[0069]實(shí)施例6
[0070]圖16表示本發(fā)明的其他的結(jié)構(gòu)例。以下，省略和實(shí)施例1?5相同的部分的說明。該實(shí)施例以圖15所示的結(jié)構(gòu)更詳細(xì)地表示負(fù)荷推定部207。
[0071]負(fù)荷推定部207具有速度運(yùn)算部210、速度比運(yùn)算部211、負(fù)荷特性表212。速度運(yùn)算部210根據(jù)第一低通濾波器201的輸出來運(yùn)算載物臺(tái)的速度，例如能夠通過差分運(yùn)算、觀測(cè)器來求出速度。已知在通過速度運(yùn)算部210得到的載物臺(tái)速度V和對(duì)波形生成部的指令值Vc之間成比例關(guān)系。如果將該比例系數(shù)設(shè)為K，則可知比例系數(shù)K隨負(fù)荷F變大而變小，根據(jù)所使用的電動(dòng)機(jī)來決定比例系數(shù)K和負(fù)荷F之間的關(guān)系。因此，按照每個(gè)電動(dòng)機(jī)將比例系數(shù)K和負(fù)荷F之間的關(guān)系預(yù)先存儲(chǔ)為數(shù)據(jù)庫(負(fù)荷特性表212)，速度比運(yùn)算部211根據(jù)從速度運(yùn)算部210得到的載物臺(tái)速度V和對(duì)波形生成部的指令值Vc來計(jì)算比例K，通過將比例K和數(shù)據(jù)庫的值進(jìn)行比較來推定負(fù)荷F。這樣，能夠進(jìn)行更高精度的補(bǔ)償。
[0072]實(shí)施例7
[0073]圖17表示本發(fā)明的其他的結(jié)構(gòu)例。以下省略與實(shí)施例1?6相同部分的說明。該實(shí)施例表示從載物臺(tái)操作輸入部賦予位置指令值時(shí)的結(jié)構(gòu)。
[0074]圖17將速度指令值生成部214附加到之前所敘述的實(shí)施例上。如果向速度指令值生成部214輸入位置指令值，則在速度指令值生成部214中例如生成如圖18所示的速度模式并輸出。該速度模式由以下四個(gè)階段構(gòu)成。
[0075](I)使速度指令值以預(yù)先設(shè)定的加速度增加。
[0076](2)如果速度指令值達(dá)到了所設(shè)定的速度Vmax，則保持速度指令值。
[0077](3)如果當(dāng)前位置達(dá)到了減速開始位置，則以預(yù)先設(shè)定的減速度來減少
[0078]指令速度。
[0079](4)如果當(dāng)前位置達(dá)到了位置指令值附近，則以極低速移動(dòng)而向目標(biāo)位
[0080]置進(jìn)行定位。
[0081]另外，這是速度指令值生成的一例，只要能夠生成速度平滑地變化的速度模式即可，不是由此來限定本發(fā)明。
[0082]如果如以上那樣，即使在賦予了位置指令值的情況下也可以抑制度變動(dòng)，得到高的速度穩(wěn)定性。
[0083]在以上所述的實(shí)施例中以步行型壓電電動(dòng)機(jī)為例進(jìn)行了說明，但是如果是具有周期性的速度變動(dòng)的致動(dòng)器，也可以適用于步行型壓電電動(dòng)機(jī)以外。
[0084]另外，本發(fā)明不限定于上述實(shí)施例，包括各種變形例。例如，上述實(shí)施例是為了簡(jiǎn)單明了地說明本發(fā)明而詳細(xì)進(jìn)行了說明，并不是限定于必須具備所說明的所有結(jié)構(gòu)。另外，也可以將某個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分置換為其他實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，另外，也可以在某個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分加上其他實(shí)施例的結(jié)構(gòu)。另外，關(guān)于各實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的一部分，可以進(jìn)行其他結(jié)構(gòu)的追加/刪除/置換。
[0085]另外，可以通過例如在集成電路進(jìn)行設(shè)計(jì)等由硬件來實(shí)現(xiàn)上述各結(jié)構(gòu)、功能、處理部、處理單元等其中的一部分或全部。另外，可以通過處理器解釋并執(zhí)行用于實(shí)現(xiàn)各功能的程序而由軟件來實(shí)現(xiàn)上述各個(gè)結(jié)構(gòu)、功能等。實(shí)現(xiàn)各個(gè)功能的程序、表格、文件等的信息能夠放在存儲(chǔ)器、硬盤、SSD (Solid State Drive)等記錄裝置或IC卡、SD卡、DVD等記錄介質(zhì)上。
[0086]另外，控制線和信息線表示說明上需要考慮的情況，產(chǎn)品上不一定限于表示所有的控制線和信息線。實(shí)際上可以考慮幾乎相互連接所有的結(jié)構(gòu)。
[0087]附圖標(biāo)記說明
[0088]1:SEM、2:鏡筒、3:試樣室、4:電子槍、5:—次電子線、6:會(huì)聚透鏡、7:物鏡、8:掃描偏轉(zhuǎn)器、9:二次粒子、10:二次粒子檢測(cè)器、11:載物臺(tái)、12:試樣、13:電子光學(xué)系統(tǒng)控制部、14:顯示裝置、15:載物臺(tái)控制部、16:載物臺(tái)操作輸入部、100:基座、101:可動(dòng)工作臺(tái)、102:導(dǎo)軌、103:軸、104:電動(dòng)機(jī)、105:標(biāo)尺、106:位置檢測(cè)部、107:驅(qū)動(dòng)部、108:載物臺(tái)機(jī)構(gòu)、200:積分器、201202:低通濾波器、203:補(bǔ)償部、204:前饋補(bǔ)償部、205:波形輸出部、206:放大器、207:負(fù)荷推定部208:修正數(shù)據(jù)插值部、209:修正定時(shí)數(shù)據(jù)、209std:標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)、210:速度運(yùn)算部、211:速度比運(yùn)算部、212:負(fù)荷特性表、213:修正定時(shí)生成部、214:速度指令值生成部、215216218220221:開關(guān)、217:修正波形生成部、219:修正波形數(shù)據(jù)、219a:負(fù)荷a時(shí)的修正波形數(shù)據(jù)、219b:負(fù)荷b時(shí)的修正波形數(shù)據(jù)、222:反饋補(bǔ)償部、300?303:壓電元件
【權(quán)利要求】
1.一種載物臺(tái)裝置，具有搭載試樣并使其移動(dòng)的載物臺(tái)機(jī)構(gòu)、驅(qū)動(dòng)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部、用于輸入針對(duì)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作的指示的載物臺(tái)操作輸入部以及根據(jù)上述載物臺(tái)操作輸入部的輸入來控制上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的載物臺(tái)控制部，該載物臺(tái)裝置的特征在于，具有: 波形生成部，其根據(jù)通過上述載物臺(tái)操作輸入部輸入的指令值和表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)生成輸出到上述驅(qū)動(dòng)部的電壓信號(hào)； 放大部，其將上述生成的電壓信號(hào)進(jìn)行放大后輸出到上述驅(qū)動(dòng)部；以及存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)、為了使上述驅(qū)動(dòng)部以恒定速度進(jìn)行移動(dòng)而修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的修正數(shù)據(jù)，其中， 上述修正數(shù)據(jù)是為了將使用上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)時(shí)的變位或速度的第一時(shí)刻變化響應(yīng)和上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的變位或速度的第二時(shí)刻變化響應(yīng)之間的差設(shè)為零，而修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的指令電壓值或指令電壓值的輸出定時(shí)的數(shù)據(jù)， 通過上述修正數(shù)據(jù)修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)后作為上述驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于， 上述波形生成部的電壓信號(hào)的輸出定時(shí)為可變， 上述修正數(shù)據(jù)是將上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的各指令電壓值的輸出定時(shí)修正為輸出與上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的各上述指令電壓值相同的電壓值的定時(shí)的數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于， 上述修正數(shù)據(jù)是一定時(shí)間間隔的電壓值或針對(duì)正規(guī)化后的時(shí)間的電壓值的函數(shù)，是將上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的各指令電壓值修正為在上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的各個(gè)時(shí)刻應(yīng)該輸出的指令電壓值的數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于，具有: 位置測(cè)量部，其用于測(cè)量上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的位置；和 補(bǔ)償部，其根據(jù)從上述位置測(cè)量部取得的位置信息和從上述載物臺(tái)操作輸入部輸入的指令值求出輸入到上述波形生成部的指令值。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于，具有: 負(fù)荷推定部，其根據(jù)對(duì)上述波形生成部的指令值和通過上述位置檢測(cè)部檢測(cè)出的位置信息或者從上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的傾斜角來推定施加到上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的負(fù)荷； 存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)至少兩個(gè)負(fù)荷狀態(tài)的修正波形數(shù)據(jù)；以及 波形數(shù)據(jù)插值部，其根據(jù)至少上述兩個(gè)負(fù)荷狀態(tài)下的修正波形數(shù)據(jù)和通過上述負(fù)荷推定部推定出的負(fù)荷推定值來生成上述驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于， 上述補(bǔ)償部具有: 第一低通濾波器，其處理在上述位置檢測(cè)部檢測(cè)出的位置信息； 積分器，其將從上述載物臺(tái)操作輸入部輸入的速度指令值進(jìn)行積分； 第二低通濾波器，其處理上述積分器的輸出，具有與上述第一低通濾波器相同的頻率特性； 反饋補(bǔ)償部，其根據(jù)上述第一低通濾波器的輸出和上述第二低通濾波器的輸出之間的偏差來進(jìn)行反饋控制運(yùn)算； 前饋補(bǔ)償部，其根據(jù)上述速度指令值進(jìn)行前饋控制運(yùn)算；以及加法器，其將上述反饋補(bǔ)償部的輸出和上述前饋補(bǔ)償部的輸出的相加值設(shè)為向上述波形生成部的指令值，其中， 根據(jù)上述負(fù)荷推定部推定出的負(fù)荷來決定上述前饋補(bǔ)償部的參數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于， 上述負(fù)荷推定部具有:速度運(yùn)算部，其根據(jù)上述第一低通濾波器的輸出來運(yùn)算上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度；速度比運(yùn)算部，其求出上述速度運(yùn)算部的輸出和對(duì)上述波形生成部的指令值之間的比，其中，將通過上述速度運(yùn)算部求出的比、上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度和對(duì)上述波形生成部的指令值的比、以及與上述負(fù)荷的預(yù)先準(zhǔn)備好的相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，從而推定上述負(fù)荷。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于， 上述前饋補(bǔ)償部采取上述比的倒數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)部是步行型壓電致動(dòng)器。
10.一種試樣觀察裝置，檢測(cè)通過將光或帶電粒子線照射到試樣上而得到的光或二次粒子，取得上述試樣的圖像，上述試樣觀察裝置的特征在于， 具備: 光源，其產(chǎn)生上述光或上述帶電粒子線； 光學(xué)系統(tǒng)，其將上述光或上述帶電粒子線照射到上述試樣上； 檢測(cè)器，其檢測(cè)通過照射上述光或帶電粒子線而得到的光或二次粒子； 載物臺(tái)機(jī)構(gòu)，其搭載上述試樣并使其進(jìn)行移動(dòng)； 驅(qū)動(dòng)部，其驅(qū)動(dòng)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)； 載物臺(tái)操作輸入部，其用于輸入針對(duì)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作的指示；以及 載物臺(tái)控制部，其根據(jù)從上述載物臺(tái)操作輸入部的輸入來控制上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)，其中 上述載物臺(tái)控制部具有: 波形生成部，其根據(jù)通過上述載物臺(tái)操作輸入部輸入的指令值和表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)生成輸出到上述驅(qū)動(dòng)部的電壓信號(hào)； 放大部，其將上述生成的電壓信號(hào)進(jìn)行放大后輸出到上述驅(qū)動(dòng)部；以及存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)表示每個(gè)預(yù)定時(shí)間的指令電壓值的標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)、為了使上述驅(qū)動(dòng)部以恒定速度進(jìn)行移動(dòng)而修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的修正數(shù)據(jù)，其中， 上述修正數(shù)據(jù)是為了將使用上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)時(shí)的變位或速度的第一時(shí)刻變化響應(yīng)和上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的變位或速度的第二時(shí)刻變化響應(yīng)之間的差設(shè)為零，而修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的指令電壓值或指令電壓值的輸出定時(shí)的數(shù)據(jù)， 通過上述修正數(shù)據(jù)修正上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)后作為上述驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的試樣觀察裝置，其特征在于， 上述波形生成部的電壓信號(hào)的輸出定時(shí)為可變， 上述修正數(shù)據(jù)是將上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的各指令電壓值的輸出定時(shí)修正為輸出與上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的各上述指令電壓值相同的電壓值的定時(shí)的數(shù)據(jù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的試樣觀察裝置，其特征在于， 上述修正數(shù)據(jù)是一定時(shí)間間隔的電壓值或針對(duì)正規(guī)化后的時(shí)間的電壓值的函數(shù)，是將上述標(biāo)準(zhǔn)波形數(shù)據(jù)的各指令電壓值修正為在上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)的速度成為恒定時(shí)的各個(gè)時(shí)刻應(yīng)該輸出的指令電壓值的數(shù)據(jù)。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的試樣觀察裝置，其特征在于，具有: 負(fù)荷推定部，其根據(jù)向上述波形生成部的指令值和通過上述位置檢測(cè)部檢測(cè)出的位置信息來推定加在上述載物臺(tái)機(jī)構(gòu)上的負(fù)荷； 存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)至少兩個(gè)負(fù)荷狀態(tài)的修正波形數(shù)據(jù)；以及 波形數(shù)據(jù)插值部，其根據(jù)至少上述兩個(gè)負(fù)荷狀態(tài)的修正波形數(shù)據(jù)和通過上述負(fù)荷推定部推定的負(fù)荷推定值來生成上述驅(qū)動(dòng)波形數(shù)據(jù)。
【文檔編號(hào)】H01J37/20GK104412193SQ201380033768
【公開日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2013年4月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月26日
【發(fā)明者】桃井康行, 羽根田茂, 坂本直樹, 柴原匡, 田之口亮斗 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)