新型離子束流形狀探測器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型離子束流形狀探測器，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板。其中檢測電極為所述的石墨電極，所述石墨電極和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布。本實用新型的新型離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。
【專利說明】新型離子束流形狀探測器

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種新型離子束流形狀探測器。

【背景技術】
[0002]離子注入過程中束流的形狀和穩(wěn)定性是一個非常重要的參數(shù)，束流形狀的劇烈變化可能會嚴重影響到產品制程的穩(wěn)定性，特別是影響被植入晶圓的均勻度。
[0003]常見的離子束流是有兩個不同的形狀組成的。一種是細長型的，另外一種是邊緣比較光滑的，類似長方形的。前者針對的單片制程機臺，后者針對的是批量制程機臺。根據(jù)機臺的設計，針對不同的束流形狀有著不同的束流檢測器和檢測方法。
[0004]針對細長形的離子束流，目前的檢測方法如圖1所示，通過檢測器的橫向移動，來監(jiān)測細長的離子束流在每一個位置的大小，把數(shù)據(jù)匯聚到一起得出束流的形狀。石墨電極整個是同一個電位，也就是說無法檢測束流的上下漂移狀態(tài)。
[0005]針對長方形的離子束流，目前的檢測方法如圖2所示，通過小孔的勻速上下移動，石墨片感應到束流的時間起點和時間長短，機臺可以檢測到束流的高度和寬度以及相對于中心點的偏移程度。缺點是小孔勻速行動的過程中，束流的變化是無法被檢測的。而且當束流的穩(wěn)定性變差，束流的中心線發(fā)生位移的，監(jiān)測出來的數(shù)值往往失真。
實用新型內容
[0006]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種新型離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。
[0007]為了解決以上技術問題，本實用新型提供了一種新型離子束流形狀探測器，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板。
[0008]優(yōu)選地，本實用新型的新型離子束流形狀探測器，檢測電極為所述的石墨電極。
[0009]進一步地，本實用新型的新型離子束流形狀探測器，所述石墨電極和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔。
[0010]進一步地，本實用新型的新型離子束流形狀探測器，所述石墨電極和所述陶瓷板的大小一樣，交錯排布。
[0011]更近一步地，本實用新型的新型離子束流形狀探測器，所述石墨電極和所述陶瓷板均為邊長5mm的正方形。
[0012]更近一步地，本實用新型的新型離子束流形狀探測器，所述石墨電極和所述陶瓷板的厚度均為3mm。
[0013]進一步地，本實用新型的新型離子束流形狀探測器，所述新型離子束流形狀探測器的尺寸為225*155mm。
[0014]本實用新型的新型離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0016]圖1是現(xiàn)有檢測細長形的離子束流的探測器；
[0017]圖2是現(xiàn)有檢測長方形的離子束流的探測器；
[0018]圖3是本實用新型的新型離子束流形狀探測器；
[0019]圖4是圖3的探測器局部I的石墨電極和陶瓷板正面放大示意圖；
[0020]圖5是圖3的探測器局部I的石墨電極和陶瓷板背部放大示意圖；
[0021 ]圖6是石墨電極的電路不意圖；
[0022]圖7是單個石墨電極或陶瓷板的側視圖；
[0023]圖8是圖7的AA向示意圖(單個石墨電極或陶瓷板的背部示意圖)。
[0024]圖中的附圖標記為:1、探測器局部；2、陶瓷邊框。

【具體實施方式】
[0025]本發(fā)明致力于開發(fā)出一種可以適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。根據(jù)實際生產的需求，對檢測器的設計要求是穩(wěn)定可靠。本實用新型的新型離子束流形狀探測器，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板，其中檢測電極為所述的石墨電極。
[0026]如圖3所示，本束流形狀檢測器的外觀形狀為長方形。考慮到可以適用于兩種不同的束流形狀，尺寸針對晶圓的大小設定為225*155mm(針對8英寸晶圓)，以上尺寸是按照實際的生產經驗設定的。細長型的束流尺寸通常為200_*2_，平滑長方形的束流尺寸通常不超過70*110_，該尺寸視束流的能量和劑量大小而定。探測器外圈具有陶瓷邊框2。
[0027]如圖4所示為探測器局部I的放大示意圖，整個檢測器表面由5*5mm的石墨電極覆蓋而成，石墨電極與石墨電極之間使用5*5_陶瓷板作為信號隔斷。石墨電極與陶瓷板的厚度均為3mm。該厚度的石墨電極不容易折斷，實用性強。
[0028]如圖5所示為探測器局部I的背部放大示意圖，石墨電極和陶瓷板的背部具有螺孔，用于固定。
[0029]如圖6所示，離子束流擊中某個石墨電極后，電極后面所聯(lián)結的電流表會根據(jù)擊中的離子個數(shù)進行計數(shù)。
[0030]1.相同時間內，不同的石墨電極檢測到的離子個數(shù)是不一致的。對所有的石墨電極進行地址編號，把各自的電流表讀數(shù)按照拼圖拼接在一起就是一個完整的束流形狀。
[0031]2.通過比較石墨電極做出的圖形，可以觀察束流形狀相對于設計束流路徑的偏差。
[0032]3.穩(wěn)定的束流轟擊下，每個石墨電極的單位時間內讀取的數(shù)值都是一個穩(wěn)定值。通過檢測每個石墨電極單位時間內讀取到的數(shù)值可以觀察束流的穩(wěn)定性。
[0033]石墨電極與陶瓷板采用相同尺寸和形狀，方便拼裝，背后開有螺孔加以固定，具體尺寸如圖7和圖8所示。
[0034]本實用新型的新型離子束流形狀探測器，適用于檢測兩種不同束流形狀的檢測器，同時兼具檢測束流穩(wěn)定性的功能。
【權利要求】
1.一種新型離子束流形狀探測器，其特征在于，在陶瓷背板上具有逐一間隔擺放的石墨電極和陶瓷板，所述石墨電極和所述陶瓷板均為邊長5_的正方形。
2.權利要求1所述的新型離子束流形狀探測器，其特征在于，所述石墨電極和所述陶瓷板的厚度均為3mm。
3.如權利要求2所述的新型離子束流形狀探測器，其特征在于，所述新型離子束流形狀探測器的尺寸為225*155mm。
【文檔編號】H01J37/244GK203859096SQ201420072428
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權日:2014年2月20日
【發(fā)明者】鄭靜靜 申請人:鄭靜靜