一種透射電子顯微鏡用可切換ccd的相機(jī)結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種透射電子顯微鏡用可切換CCD的相機(jī)結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型包括熒光屏、反射棱鏡組件和CCD部件；熒光屏位于透射電子顯微鏡鏡筒內(nèi)；反射棱鏡組件位于鏡筒外；CCD部件位于鏡筒外；所述反射棱鏡組件接收來自熒光屏的光信號(hào)，通過自身的位置移動(dòng)將該光信號(hào)反射至不同的CCD部件。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，通過調(diào)整反射棱鏡的位置即可實(shí)現(xiàn)CCD相機(jī)內(nèi)多個(gè)CCD部件之間的切換。
【專利說明】—種透射電子顯微鏡用可切換CCD的相機(jī)結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電子顯微鏡用CXD相機(jī)附件，特別是涉及一種透射電子顯微鏡用可切換CCD的相機(jī)結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]電子顯微鏡是材料微觀研究的基本技術(shù)手段之一，也是納米材料最為主要的檢測(cè)設(shè)備。電子顯微鏡已不僅用于形態(tài)分析，而且還是結(jié)合了各種電子衍射分析，元素分析的多功能儀器。
[0003]透射電子顯微鏡采用電子束作為光源從而得到極高的細(xì)節(jié)分辨能力，使其成為可以直觀的檢測(cè)到晶體材料的原子結(jié)構(gòu)信息的重要工具。通過透射電子顯微鏡不僅可以獲得帶有晶體結(jié)構(gòu)信息的高分辨照片，也可以給出納米尺度選區(qū)的電子衍射。
[0004]透射電子顯微鏡主要由電子源、電磁透鏡系統(tǒng)、樣品臺(tái)以及成像系統(tǒng)等部分組成。透射電子顯微鏡中入射電子從電子源出發(fā)經(jīng)過電磁透鏡系統(tǒng)聚焦后穿過樣品臺(tái)上的試樣，與試樣內(nèi)部原子發(fā)生相互作用后在成像系統(tǒng)中的熒光屏或感光部件上成像，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集。感光部件可以是感光膠片也可以是CCD相機(jī)。目前應(yīng)用最為廣泛的是利用CCD相機(jī)采集數(shù)據(jù)。
[0005]透射電子顯微鏡用CXD相機(jī)主要由帶有接口的外殼、電源、CXD感光部件、冷卻部件以及數(shù)據(jù)傳輸部件等部分組成。其中最為核心的是CCD部件。CCD是一種大規(guī)模集成電路工藝制作的半導(dǎo)體光電元件，它在半導(dǎo)體硅片上制有光敏元矩陣，每個(gè)光敏元可以產(chǎn)生與照在它上面的光強(qiáng)成正比的電荷。再通過對(duì)電荷的收集、放大，把信號(hào)傳輸給電腦進(jìn)行處理。
[0006]透射電子顯微鏡用CXD相機(jī)現(xiàn)有產(chǎn)品按照感光特點(diǎn)分類主要有高感光度類型、高讀取速度類型以及大動(dòng)態(tài)范圍類型等。針對(duì)透射電子顯微鏡使用過程中拍攝高分辨電子顯微圖像，拍攝電子衍射以及對(duì)樣品進(jìn)行原位分析等不同應(yīng)用目的所使用的CCD相機(jī)類型不同。針對(duì)電子束敏感材料，如生物、有機(jī)等材料需要高感光度類型CCD相機(jī)；針對(duì)電子衍射等高電子束強(qiáng)度的應(yīng)用需要使用大動(dòng)態(tài)范圍類型相機(jī)；針對(duì)原位分析需要使用高讀取速度類型相機(jī)。
[0007]在上述情況下，在一臺(tái)透射電子顯微鏡上配備單一 C⑶相機(jī)配置難以滿足需要。為解決上述問題，現(xiàn)有的技術(shù)是在透射電子顯微鏡上安裝底插式和側(cè)插式兩種CCD產(chǎn)品(底插式CCD相機(jī)和側(cè)插式CCD相機(jī)分別安裝在透射電子顯微鏡的安裝在透射電子顯微鏡的底片室底部和鏡筒側(cè)部)。為達(dá)到針對(duì)多種材料的分析能力，需要在這兩個(gè)位置分別安裝不同類型的CCD相機(jī)。
[0008]在現(xiàn)有技術(shù)條件下，透射電子顯微鏡受到底部和側(cè)部接口數(shù)量的限制，在安裝兩個(gè)以上的CCD相機(jī)之后難以安裝其他輔助檢測(cè)器，如電子計(jì)數(shù)器以及用于實(shí)現(xiàn)掃描透射功能的明場(chǎng)和暗場(chǎng)探頭等。此外，由于多個(gè)CCD相機(jī)在安裝于不同位置時(shí)需要單獨(dú)制造和安裝對(duì)應(yīng)的接口部件，增加了造價(jià)。
[0009]如果能夠設(shè)計(jì)一種具有多CCD切換功能的相機(jī)，在安裝時(shí)僅占用一個(gè)安裝接口，則可以有效解決上述問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供了一種透射電子顯微鏡用可切換CXD的相機(jī)結(jié)構(gòu)。
[0011]本實(shí)用新型包括熒光屏、反射棱鏡組件和CXD部件；熒光屏位于透射電子顯微鏡鏡筒內(nèi)；反射棱鏡組件位于鏡筒外；CCD部件位于鏡筒外；所述反射棱鏡組件接收來自熒光屏的光信號(hào)，通過自身的位置移動(dòng)將該光信號(hào)反射至不同的CCD部件。
[0012]進(jìn)一步說，所述反射棱鏡組件依靠滑移機(jī)構(gòu)改變與熒光屏的距離；一個(gè)高速圖像采集CCD部件和另一個(gè)低速圖像掃描CCD部件并排安裝于鏡筒外的反射棱鏡組件上部，所述熒光屏與鏡筒的軸心線成45°夾角；反射棱鏡與熒光屏處于同一水平高度，且反射平面與熒光屏平面成90°夾角。
[0013]進(jìn)一步說，所述反射棱鏡組件依靠滑移機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)改變光路；一個(gè)高速圖像采集CCD部件和另一個(gè)低速圖像掃描CCD部件分別安裝于反射棱鏡組件背部和上部。
[0014]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，通過調(diào)整反射棱鏡的位置即可實(shí)現(xiàn)CXD相機(jī)內(nèi)多個(gè)CXD部件之間的切換。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型一種透射電子顯微鏡用可切換CCD的相機(jī)結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是本實(shí)用新型一種透射電子顯微鏡用可切換CCD的相機(jī)結(jié)構(gòu)第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]以下結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】，對(duì)本實(shí)用新型的組成、工作原理及過程進(jìn)行更具體的說明。
[0018]—種透射電子顯微鏡用可切換(XD的相機(jī)結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例
[0019]參見圖1，圖1是根據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思的一種透射電子顯微鏡用可切換CXD的相機(jī)結(jié)構(gòu)第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖。該CCD相機(jī)安裝于透射電子顯微鏡的側(cè)部安裝接口。突光屏I可以受控在待機(jī)或工作時(shí)置于鏡筒內(nèi)壁邊緣或鏡筒軸線上。反射棱鏡組件2位于鏡筒外并可依靠滑移機(jī)構(gòu)改變與熒光屏(鏡筒)的距離；一個(gè)高速圖像采集CCD部件3和另一個(gè)低速圖像掃描CCD部件4安裝于鏡筒外的反射棱鏡組件上部。為保證熒光屏圖像在經(jīng)過反射棱鏡反射后保持原始比例。熒光屏與鏡筒的軸心線成45°夾角；反射棱鏡與熒光屏處于同一水平高度，且反射平面與熒光品平面成90 °夾角。在此實(shí)施例中，調(diào)整反射棱鏡處于位置A或位置B可以使熒光屏上的圖像到達(dá)兩個(gè)CXD部件中的一個(gè)。
[0020]一種透射電子顯微鏡用可切換CXD的相機(jī)結(jié)構(gòu)第二實(shí)施例
[0021]參見圖2，圖2是根據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思的一種透射電子顯微鏡用可切換CXD的相機(jī)結(jié)構(gòu)第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。該CCD相機(jī)安裝于透射電子顯微鏡的側(cè)部安裝接口。熒光屏可以受控在待機(jī)或工作時(shí)置于鏡筒內(nèi)壁邊緣或鏡筒軸線上。反射棱鏡組件位于鏡筒外并可依靠滑移機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)改變光路；一個(gè)高速圖像采集CCD部件和另一個(gè)低速圖像掃描CXD部件分別安裝于鏡筒外的反射棱鏡組件側(cè)部和上部。為保證熒光屏圖像在經(jīng)過反射棱鏡反射后保持原始比例。熒光屏與鏡筒的軸心線成45°夾角。在此實(shí)施例中，調(diào)整反射棱鏡處于位置A或位置B與可以使熒光屏上的圖像到達(dá)兩個(gè)CXD部件中的一個(gè)。
[0022]本實(shí)用新型的構(gòu)思主要是一種帶有反射棱鏡的透射電子顯微鏡用可切換CXD的相機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。在這一設(shè)計(jì)中，一個(gè)CCD相機(jī)通過調(diào)整反射棱鏡的位置實(shí)現(xiàn)CCD相機(jī)內(nèi)多個(gè)CCD部件之間的切換。達(dá)到利用一個(gè)透射電子顯微鏡相機(jī)接口安裝一個(gè)CCD相機(jī)可以方便使用不同類型CCD的目的。解決在一臺(tái)透射電子顯微鏡上配備單一 CCD相機(jī)配置難以滿足需要，安裝多個(gè)CCD相機(jī)又受到接口數(shù)量限制的技術(shù)難題。在此構(gòu)思下，相比傳統(tǒng)透射電子顯微鏡用CXD相機(jī)，這種可切換CXD的相機(jī)結(jié)構(gòu)包含有反射棱鏡以及一個(gè)CXD相機(jī)具備多個(gè)CXD部件等顯而易見的變化。
【權(quán)利要求】
1.一種透射電子顯微鏡用可切換C⑶的相機(jī)結(jié)構(gòu)，包括熒光屏(I)、反射棱鏡組件(2)、(XD部件(3)，其特征在于:熒光屏(I)位于透射電子顯微鏡鏡筒內(nèi)(I);反射棱鏡組件(2)位于鏡筒外；(XD部件(3)位于鏡筒外；所述反射棱鏡組件(2)接收來自熒光屏(I)的光信號(hào)，通過自身的位置移動(dòng)將該光信號(hào)反射至不同的CCD部件(3 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相機(jī)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述反射棱鏡組件依靠滑移機(jī)構(gòu)改變與熒光屏的距離；一個(gè)高速圖像采集CCD部件和另一個(gè)低速圖像掃描CCD部件并排安裝于鏡筒外的反射棱鏡組件上部，所述熒光屏與鏡筒的軸心線成45°夾角；反射棱鏡與熒光屏處于同一水平高度，且反射平面與熒光屏平面成90°夾角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相機(jī)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述反射棱鏡組件依靠滑移機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)改變光路；一個(gè)高速圖像采集CCD部件和另一個(gè)低速圖像掃描CCD部件分別安裝于反射棱鏡組件背部和上部。
【文檔編號(hào)】H01J37/26GK203941875SQ201420362481
【公開日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2014年7月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月1日
【發(fā)明者】張大梁, 王義林, 周向志 申請(qǐng)人:張大梁, 王義林, 周向志