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      熒光燈內(nèi)汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽用的器件及其制造方法

      文檔序號:2962784閱讀:187來源:國知局
      專利名稱:熒光燈內(nèi)汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽用的器件及其制造方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及熒光燈內(nèi)汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽用的器件的一種制造方法及這樣制造出來的器件。
      眾所周知,熒光燈是由玻璃管(直線的或環(huán)狀的視燈的型式而定)構(gòu)成的,其內(nèi)表面敷有被稱為磷的熒光材料粉,它是發(fā)出可見光的活性元素。管內(nèi)充有稀有氣體,一般為氬或氖,包括數(shù)量為數(shù)毫克的汞蒸汽。最后有兩電極,也被稱為陰極,由金屬絲制成,設(shè)在直線燈管的兩端或環(huán)狀燈管的給定區(qū)內(nèi)。有一電位差施加在這兩電極之間,這樣便產(chǎn)生電子發(fā)射,結(jié)果形成自由電子和稀有氣體離子的等離子體,該等離子體激勵汞原子使它發(fā)出UV(紫外)輻射。一般電極在側(cè)邊用金屬帶制成的零件放置在燈管的同一軸線上以資屏蔽,為的是避免在電極區(qū)內(nèi)由于電子或離子的直接撞擊而產(chǎn)生磷發(fā)黑現(xiàn)象。汞原子發(fā)出的UV輻射被磷吸收,通過熒光現(xiàn)象,磷發(fā)出可見光。因此汞是燈管工作必需的組成部分。這個元素在燈內(nèi)的用量必須以最精確和可重復(fù)的方式確定。事實(shí)上汞必須以最小量存在,小于此量燈就不能工作,而在配料中該元素的含量過分超過必需的最小值也是不希望有的,因?yàn)橛捎诠亩拘?,?dāng)燈管破裂時即使燈管使用壽命已經(jīng)到頭,也會給環(huán)境帶來問題。近年來汞的用量問題變得復(fù)雜起來,因?yàn)樵谑袌錾铣霈F(xiàn)了品種增多的燈,它們在形狀尺寸和組成材料上各不相同,這就需要確定一種方法以便能精確地和可重復(fù)地制定汞的用量,它們對各個燈可能極不相同。
      傳統(tǒng)的在液態(tài)下確定汞元素用量的方法是不可靠的,因?yàn)楹茈y在幾個微升的液汞體積的范圍內(nèi)精確地和可重復(fù)地確定用量,而且還涉及汞蒸汽在工作區(qū)域內(nèi)擴(kuò)散的問題。作為替代方案曾提出過各種方法已知有與其他元素加鋅制成汞齊而后使用的,但這方法在裝配燈的工步中顯示有缺點(diǎn),因?yàn)檫@些汞齊在溫度低到約100℃時仍會釋放汞,而在制造燈的各個工步中??捎氐皆摕粼谳^高溫度下還保持開放(沒有被封閉)。
      美國專利US-4,823,047和US-4,754,193建議采用含有液汞的膠囊,但在這種情況下確定汞元素的用量也是困難,而且制造小尺寸的膠囊也不好辦。美國專利US-4,808,136和歐洲專利申請EP-A-568317曾公開過采用多孔材料制成片或丸然后用液汞浸透的方法;但在這種情況下,如何將這些丸、片定位在燈管中將是一個麻煩的問題。
      以本申請人名義持有的美國專利US-3,657,589曾公開過一種方法是將汞和鈦及/或鋯制成金屬互化物以便用來引入并精確地確定汞在燈內(nèi)的用量這是因?yàn)檫@些材料在最高到約500℃的溫度下都是穩(wěn)定的,可被制造燈時所有的常用工步接受。在這些材料中,較好的化合物要算本申請人以st 505的商品名制造并銷售的Ti3Hg。按照所說專利,st 505化合物可用各種方式引入燈內(nèi),可以是自由形式如壓縮的粉末,也可以是被支承的形式如壓緊在開口容器內(nèi)的粉末或沉積在支承金屬帶上的粉末。最后一種方式特別受到燈的制造商的重視,因?yàn)檩d有汞釋放材料的帶能被封閉成為一環(huán),這樣便可形成電極屏蔽件。在燈管封閉(密封)后,可通過一個所謂活化處理使汞釋出,該處理是用在燈外的線圈所產(chǎn)生的RF(射頻)波在約900℃的溫度下將化合物加熱,持續(xù)約30秒。在活化時這些化合物產(chǎn)出的汞雖然小于50%,但其余的汞可在燈的使用壽命中緩慢地釋出。以本申請人名義申請的歐洲專利申請95830046.9(EP-A-0669639)和95830284.6(EP-A-0691670)曾建議用所謂促進(jìn)合金如銅錫和銅硅合金與上述汞金屬互化物混合,這些促進(jìn)合金具有在活化工步促進(jìn)汞從金屬互化物中釋出的功能,這樣便可用較短的加熱時間或在較低的溫度下加熱。由于在本發(fā)明的屏蔽元素中,銅基促進(jìn)合金總是與汞金屬互化物摻和在一起而存在,因此在說明書的其余部分和在權(quán)利要求書中,名稱“汞釋放材料”將被用來指材料的這種混合物。
      生產(chǎn)熒光燈時另一個要面對的問題是要提供吸附活性氣體的裝置。實(shí)際上大家都知道燈在操作時通過各種機(jī)制會受到某些氣體的損害氫(H2)和稀有氣體放電時發(fā)出的電子中的一部分相互作用,會使燈管起輝時所需的最低電壓增加;氧(O2)和水(H2O)產(chǎn)生氧化汞,這樣就帶走汞元素;最后碳的氧化物CO和CO2在與電極接觸時分解而產(chǎn)生O2,成為與上述相反的效應(yīng),而碳沉積在磷上會在燈管上造成暗區(qū)。
      這個問題也是EP-A-0669639和EP-A-0691670曾經(jīng)面對過的,這兩文件建議在汞釋放材料的粉末內(nèi)增添吸氣劑材料的粉末以資吸附上述氣體。最常用的吸氣劑材料為本申請人以商品名st 101制造并銷售的、其成分以重量百分比計為Zr 84%-Al 16%的合金。其他可用在燈管內(nèi)的吸氣劑例如其成分以重量百分比計為Zr 70%-V 24.6%-Fe 5.4%的合金和Zr 76.6%-Fe 23.4%的合金,這兩者都是本申請人制造并銷售的,商品名分別為st 707和st 198。
      從現(xiàn)有技術(shù)中已知吸氣劑材料和汞釋出材料都可直接提供到環(huán)繞電極的屏蔽件上,這樣在同一件內(nèi)便可包括所有的三種功能,即汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽。該件在本行業(yè)中可簡稱為“屏蔽”,這個術(shù)語將在下面的說明中使用。
      而在美國專利US 3,657,589中說,雖然可能使吸氣劑材料與汞釋放材料混合,但當(dāng)采用銅基促進(jìn)合金時,這就不再可能了因?yàn)閷?shí)際上,在使汞釋出的活化期間,銅基合金會熔化,這樣至少會部分覆蓋在吸氣劑的表面上,從而減少其吸附氣體的功能。為此理由當(dāng)采用促進(jìn)合金時最好使吸氣劑材料與汞釋放材料分開。這可用最方便的方式做到,只要將粉末的汞釋放材料和粉末的吸氣劑用分開的軌跡沉積在帶狀支承上就可以了。上述歐洲專利申請早就建議過符合這種條件的方法,但它們要求通過冷軋將兩種粉末沉積在帶的兩個反對面上,這樣一種技術(shù)須使冷支承帶和具有適當(dāng)形狀的粉末在兩個壓力輥之間通過以便得出粉末的軌跡,而將粉末沉積在帶的兩個反對面上在實(shí)際上是很難做到的。事實(shí)上要在一個工步內(nèi)滾軋兩個面需要使該帶垂直通過兩個對置輥之間,同時還要從該帶的兩個反對側(cè)注入不同的粉末,這種操作是相當(dāng)復(fù)雜的。在另一方面,當(dāng)用兩個不同的工步將粉末沉積在帶的兩個反對面上時會有這樣的危險,即在第二次軋制工步內(nèi)第一次沉積的軌跡會移走或隨便改變。軋制帶的兩面另一個可能發(fā)生的危險是當(dāng)該帶被彎曲以便制出屏蔽時,其上的粉末會跑掉,特別是在彎曲的向內(nèi)凹的部分上。最后還有一個缺點(diǎn)是在用不同粉末軋制時會遇到的。實(shí)際上,具有不同硬度的粉末會在支承金屬帶上誘導(dǎo)出具有不同強(qiáng)度的機(jī)械應(yīng)變,這些應(yīng)變?nèi)绻挥杵胶鈺鹱冃?,特別是該帶將沿兩邊中的一邊伸長,造成側(cè)向彎曲(猶如軍刀的彎曲形狀)。
      本發(fā)明的目的是要提供一種熒光燈用的改進(jìn)的屏蔽的生產(chǎn)方法,該屏蔽將汞釋放和氣體吸附的功能結(jié)合在一起而沒有上面提到的這些缺點(diǎn)。本發(fā)明另一個目的是提供這樣生產(chǎn)出來的屏蔽。
      按照本發(fā)明,上述這些目的是這樣達(dá)到的,即在其第一方案中涉及熒光燈內(nèi)汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽用的器件的生產(chǎn)方法,該方法包括下列工步將粉末的汞釋放材料和一種或多種粉末的吸氣劑材料構(gòu)成的數(shù)目可變的軌跡用冷軋操作沉積在金屬帶的一個單一表面上使施加在與帶軸對稱的兩個點(diǎn)上的機(jī)械應(yīng)變之差不高于15%;將該帶切割成塊,其節(jié)距就要生產(chǎn)的屏蔽言,或是略大于其周邊長,或是等于其高度;將切塊彎曲成環(huán)狀,使其兩個短邊連結(jié)在一起。
      下面本發(fā)明將結(jié)合附圖用非限定性的范例來說明,其中

      圖1為按照本發(fā)明可能用來生產(chǎn)屏蔽的帶;圖2為按照本發(fā)明另一個實(shí)施例可能用來生產(chǎn)屏蔽的帶;圖3為用來生產(chǎn)創(chuàng)造性屏蔽的較優(yōu)形狀而可能采用的金屬支承帶的橫斷面(未按比例示出);圖4為從圖1的帶制出的本發(fā)明的屏蔽;圖5a和5b為從圖2的帶制出的按照本發(fā)明的屏蔽的兩個較優(yōu)實(shí)施例;圖6為一燈管的切開視圖,可以看到有一個按照本發(fā)明的屏蔽裝在其環(huán)繞一個電極的工作位置上。
      如前所述,各種材料的軌跡是用冷軋沉積在支承金屬帶的一個單一表面上的。這是一種人們熟知的技術(shù),包括首先將松散的粉末投放在連續(xù)輸送到軋輥間的支承帶上形成軌跡,然后用冷壓使粉末粘結(jié)在支承帶上。
      支承帶可用各種金屬制成,但以鍍鎳鋼為較優(yōu),因?yàn)樗軐⒘己玫臋C(jī)械性能和良好的抗氧化能力結(jié)合起來,而氧化是在制燈的高溫工步常會發(fā)生的。帶厚最好在0.1和0.3mm之間,帶寬可與最終制成屏蔽的高度相當(dāng),一般在4和6.5mm之間,或略大于所設(shè)計的屏蔽的周邊長;這兩種方案分別在圖1和2中示出,并將在下面詳細(xì)論述。
      為了防止發(fā)生所謂帶子成軍刀形的問題,在軋制材料時,必須小心使作用在帶上的機(jī)械應(yīng)變對稱于同一帶的中心軸線。今后在涉及機(jī)械應(yīng)變時,對稱這個概念將被賦予較松的含義,即它并不意味著機(jī)械載荷數(shù)值的嚴(yán)格相等;而是意味著作用在對帶的中心軸線幾何上為對稱的點(diǎn)上的機(jī)械載荷為相似的,相互間在數(shù)值上的差別不大于15%。
      對稱應(yīng)變的條件可用各種不同的方法來得到當(dāng)支承帶中心軸線兩旁的粉末軌跡分布得不均勻時,可用窄輥組成陣列,使每一輥對其下的帶有粉末軌跡的或未帶的帶區(qū)域施加不同的載荷。達(dá)到上述對稱應(yīng)變條件的較容易的方法是將各種不同材料這樣沉積在支承帶上,使兩種相互間在硬度值上的差別不超過15%的材料的軌跡對稱地分布在支承帶中心軸線的兩側(cè)。就幾何方面看,這種條件要求有成對數(shù)目的軌跡,而支承帶的軸線上沒有被輾壓的材料,當(dāng)軌跡數(shù)為奇數(shù)時支承帶的軸線須與其中一條材料軌跡的軸線重合。為了滿足上述對稱條件;必須知道所用各種材料的硬度。作為一般規(guī)律,可以說吸氣劑合金比汞釋放金屬互化物硬。但在一個較優(yōu)的實(shí)施例中,所需的硬度對稱條件也可用簡單的方法來做到,即用成對相同材料的軌跡(除了可能有的中心軌跡之外)使它們對稱地分布在支承帶軸線的兩側(cè)。
      圖1和圖2示出具有對稱材料軌跡的可用支承帶的區(qū)段。在圖1中所示出的帶的寬度等于最終制成屏蔽的高度,其中在金屬支承帶11的表面12上沉積著數(shù)條汞釋放材料的軌跡13、13′(在圖中只畫出兩條)和一條吸氣劑材料的軌跡15,當(dāng)然這些軌跡的數(shù)目、位置和距離都可根據(jù)需要而變。在圖2中所示出的金屬帶20的寬度大于圖1中的帶寬并略大于要制成的屏蔽的圓周長度。在支承帶20表面21的中央?yún)^(qū)域內(nèi)滾壓有數(shù)條(在本例為三條)汞釋放材料的軌跡23、23′、23″和數(shù)條(在本例為二條)吸氣劑材料的軌跡24、24′;當(dāng)然如同已經(jīng)在圖1的帶中說過的那樣,這些數(shù)目即都是可以變化的。在支承帶的兩邊,表面21上留有兩個沒有材料軌跡的區(qū)域。不同材料的軌跡在滾壓后的厚度一般在20到120μm之間。
      為了協(xié)助將粉末軌跡粘結(jié)在帶上可使用本領(lǐng)域內(nèi)已知的技術(shù);例如可用機(jī)械處理的方法使帶表面變粗糙;或者可在支承帶的整個長度上制出若干凹部以便接納粉末軌跡。這種方案如圖3所示,圖中畫出本發(fā)明的支承帶可用的橫斷面(未按比例畫出而是擴(kuò)大了厚度/寬度比以便更好地示出所關(guān)心的細(xì)節(jié))帶30在其上表面31上設(shè)有凹座32、32′……以便用來滾壓活性材料,而在下表面33上設(shè)有縱長的缺口34、34′……(供彎折時定位用),這樣可有助于制出屏蔽的較優(yōu)型式,在下面還要細(xì)述。這種或其他種帶的合適的橫斷面很易制出,只要在粉末滾壓之前使扁平金屬帶預(yù)先通過適當(dāng)成型的軋輥就可以了。
      帶有材料軌跡的帶然后被切割成塊。具有寬度等于所需屏蔽高度的,如圖1所示的那種帶沿著圖中的虛線,按照一個略大于屏蔽周邊長的節(jié)距被切割;而在圖2所示出的另一種實(shí)施例中,帶寬可略大于所設(shè)計的屏蔽的周邊長,這時可按相當(dāng)于所需屏蔽高度的節(jié)距沿著圖中的虛線將帶切割成塊。在這兩種情況下,切成的塊都是長方形,長寬邊之比一般在約5∶1到15∶1之間。
      在生產(chǎn)本發(fā)明的屏蔽的最后一個工步內(nèi),從帶上切下的塊被彎曲并被圍成環(huán)狀,然后將兩個短邊連結(jié)在一起。連結(jié)可用機(jī)械方法實(shí)現(xiàn),例如用折曲或用焊接。雖然屏蔽的橫斷面可制成各種形狀如橢圓形或正方形,但較優(yōu)的實(shí)施例為那些在圖5a和5b中所分別示出的圓形橫斷面的屏蔽51和基本上為長方形橫斷面的屏蔽52。
      在第二方案中,本發(fā)明涉及用上述方法制出的熒光燈管用的屏蔽。
      要制出的實(shí)際屏蔽取決于裝設(shè)它的燈管;特別是因?yàn)椴牧蠑?shù)量,也就是要沉積的軌跡的數(shù)量和寬度取決于在不同的燈管內(nèi)所需的汞釋放材料和吸氣劑材料的數(shù)量。
      按照上面提到的美國專利US-3,657,589,汞釋放材料為汞和鈦及/和鋯的金屬互化物,摻和著促進(jìn)汞釋放的銅合金,如同以本申請人的名義申請的歐洲專利申請EP-A-0669639和EP-A-0691670中所說明的。對這些材料中汞釋放的準(zhǔn)備和條件可參閱上述這些文件。這些材料最好以粉末形式采用,微粒大小從100至250μm。
      所用的吸氣劑材料最好為上面所提到的st 101合金,也就是美國專利US-3,203,901所公開的,關(guān)于該合金的制備和使用條件可參閱該專利。也可能使用上面提到的st 707和st 198合金,這兩種合金的制備和使用條件分別在美國專利US-4,312,669和US-4,306,887中有說明。吸氣劑材料的微粒尺寸最好在100和225μm之間。
      圖4示出用圖1中的帶制出的屏蔽40,從其中可看到軌跡被沉積在圓周方向上。圖1中的帶沿著虛線按略大于屏蔽周邊長的節(jié)距被切割;這樣得到的塊被彎曲成為環(huán)并在點(diǎn)41被點(diǎn)焊,這樣就形成一個完整的屏蔽40,在其外表面42上承載著軌跡13、13′和15。
      按照本發(fā)明的屏蔽的較優(yōu)實(shí)施例是從圖2中的帶制出的并在圖5a和5b中示出。在帶的兩邊保留著兩個沒有被材料沉積的區(qū)域,可供生產(chǎn)屏蔽的最后焊接工步使用。在這種情況下,沿著圖2中的虛線按照與屏蔽所需高度相當(dāng)?shù)墓?jié)距將帶切斷。切成的塊被彎曲然后在區(qū)域25、25′內(nèi)被焊接,這樣得到的屏蔽,其中各種材料的軌跡是以平行于軸線的方向出現(xiàn)在屏蔽的外表面54上的。屏蔽可能有各種形狀的橫斷面,但最好是圖5a所示的圓形屏蔽51和圖5b所示的基本為長方形的屏蔽52。采用圖2中的寬帶是較好的,因?yàn)樵谶@種情況下有一較寬的自由區(qū)可供進(jìn)行焊接53之用,還有自由區(qū)可用來將屏蔽焊接到支承上從而將屏蔽保持在燈管內(nèi)應(yīng)占的位置上。
      采用具有圖3所示橫斷面的帶制出的屏蔽52的形狀將特別合適。由于屏蔽52具有基本上為長方形的橫斷面,因此有可能將切塊要彎曲的部分設(shè)在沒有材料軌跡的區(qū)域內(nèi),這樣就可從根本上防止在彎曲時容易出現(xiàn)的微粒散失的風(fēng)險。當(dāng)然,即使從具有圖3所示橫斷面的帶制出的長方形屏蔽被認(rèn)為是較好的,按照本發(fā)明,能夠?qū)ζ帘蔚男螤詈蛶У臋M斷面進(jìn)行各種可能的接合;例如可以從具有缺口34、34′……而沒有凹座32、32′……的帶生產(chǎn)出長方形的屏蔽,或從屏蔽的外表面上設(shè)有缺口34、34′……及設(shè)有或沒有凹座32、32′……的帶生產(chǎn)出具有圓形橫斷面的屏蔽。圖6為一個直線燈管端部切開的視圖,圖中示出本發(fā)明的屏蔽在其工作位置上的情況。圖中還示出燈管60、將電力輸送給電極62的電觸頭61,以及一個固定在支座64上的屏蔽63。
      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的屏蔽具有許多優(yōu)點(diǎn)。主要優(yōu)點(diǎn)為采用本發(fā)明的屏蔽時,汞釋放材料能保持與吸氣劑材料分離,這樣就能防止各種材料在功能上可能發(fā)生的干擾;另外,采用本發(fā)明的屏蔽時,各種材料都被滾壓在支承的單一表面上,這樣可避免現(xiàn)有技術(shù)中某些屏蔽需要在兩個反對面上進(jìn)行滾壓,這在實(shí)際制造時是有困難的。
      權(quán)利要求
      1.一種熒光燈內(nèi)汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽用的器件的生產(chǎn)方法,該方法包括下列工步將粉末的汞釋放材料和一種或多種粉末的吸氣劑材料構(gòu)成的數(shù)目可變的軌跡(tracks)用冷軋操作沉積在金屬帶的單一面上使施加在與帶中心軸對稱的兩個點(diǎn)上的機(jī)械應(yīng)變之差不高于15%;將該帶切割成塊,其節(jié)距就要生產(chǎn)的屏蔽言,或是略大于其周邊長,或是等于其高度;將切塊彎曲成環(huán)狀,使其兩個短邊連結(jié)在一起。
      2.按照權(quán)利要求1的方法,其特征為,當(dāng)支承帶中心軸線兩旁的粉末軌跡分布得不均勻時,可用窄輥組成陣列,使每一輥對帶的基層區(qū)域施加不同的載荷。
      3.按照權(quán)利要求1的方法,其特征為,各種不同材料的粉末這樣沉積在支承帶上,使兩種相互間在硬度值上的差別不超過15%的材料的軌跡對稱于支承帶中心軸線分布。
      4.按照權(quán)利要求1的方法,其特征為,支承帶(10)的寬度等于所要生產(chǎn)的屏蔽的高度,并且該帶被切割成塊,每一塊的長度略大于所要生產(chǎn)的屏蔽的周邊長度。
      5.按照權(quán)利要求1的方法,其特征為,支承帶(20)的寬度略大于所要生產(chǎn)的屏蔽的周邊長度,并且該帶被切割成塊,每一塊的長度等于所要生產(chǎn)的屏蔽的高度。
      6.按照權(quán)利要求1的方法,其特征為,支承帶的一個表面(31)上設(shè)有適宜接納粉末軌跡的縱長凹座(32、32′……)。
      7.按照權(quán)利要求1的方法,其特征為,支承帶的一個表面(33)設(shè)有適宜使彎曲定位的縱長變形(34、34′……)。
      8.一種裝在熒光燈內(nèi)用來進(jìn)行汞發(fā)放、活性氣體吸附和電極屏蔽的器件,該器件具有一個由金屬帶(10;20;30;)構(gòu)成的環(huán)狀件,在其一個單一的表面上沉積著汞釋放材料和銅基促進(jìn)合金的混合物的粉末軌跡(13、13';23、23'、23″)及由一種或多種吸氣劑材料構(gòu)成的軌跡(15;24、24′)。
      9.按照權(quán)利要求8的器件,其特征為,在支承帶軸線兩側(cè)對稱設(shè)置的材料,它們之間的硬度值相差不超過15%。
      10.按照權(quán)利要求8的器件,其特征為,軌跡(13、13′;15)沿圓周方向沉積在環(huán)狀件的外表面(54)上。
      11.按照權(quán)利要求8的器件,其特征為,軌跡(23、23′、23″;24、24′)以平行于軸線的方向沉積在環(huán)狀件的外表面(54)上。
      12.按照權(quán)利要求8的器件,其特征為,所說混合物包括金屬互化物Ti3Hg和一種在銅錫合金和銅硅合金中選用的汞釋放促進(jìn)合金。
      13.按照權(quán)利要求8的器件,其特征為,吸氣劑材料為一種重量組成百分比為Zr 84%-Al 16%的合金。
      14.按照權(quán)利要求11的器件有一基本上為長方形的橫斷面,其沉積汞釋放材料混合物和吸氣劑材料的區(qū)域基本上為平面并且彎曲部被定位在沒有所說材料的區(qū)域內(nèi)。
      全文摘要
      一種裝在熒光燈內(nèi)用來進(jìn)行汞釋放、活性氣體吸附和電極屏蔽的器件(常被稱為屏蔽)的生產(chǎn)方法。屏蔽是由在同一表面上沉積著一條或多條粉末的汞釋放材料和吸氣劑材料的軌跡的金屬帶彎曲成環(huán)狀而成。在將這些材料沉積到金屬帶上時不使金屬帶發(fā)生變形。
      文檔編號H01J61/28GK1169207SQ96191550
      公開日1997年12月31日 申請日期1996年11月21日 優(yōu)先權(quán)日1995年11月23日
      發(fā)明者馬西募·德拉·波爾塔 申請人:工程吸氣公司
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