專利名稱：等離子體顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于顯示裝置等的等離子體顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，對(duì)以大視野等為代表的高品位、大畫(huà)面的顯示裝置的期待日益增大，正在研究開(kāi)發(fā)稱為CRT、液晶顯示器(以下稱為L(zhǎng)CD)、等離子體顯示面板(Plasma Display Panel，以下稱為PDP)的各種顯示裝置。這樣的顯示裝置分別具有以下特征。
CRT在分辨率、圖像質(zhì)量方面優(yōu)異，迄今被廣泛地用于電視等中?？墒牵嬖谌绻龃螽?huà)面，則其縱深尺寸和重量隨之增大的課題，如何解決該問(wèn)題成為焦點(diǎn)。因此，被認(rèn)為難以制作超過(guò)40英寸的大畫(huà)面的CRT。
另一方面，與CRT相比，LCD具有消耗功率小、尺寸小、重量輕的優(yōu)異性能，現(xiàn)在作為計(jì)算機(jī)的監(jiān)視器正得以普及?？墒?，采用具有代表性的TFT(Thin Film Transistor薄膜晶體管)方式等的LCD，由于其結(jié)構(gòu)非常精細(xì)，所以制造時(shí)必須經(jīng)過(guò)復(fù)雜的多道工序。因此，制造的成品率與畫(huà)面尺寸的增大成比例地下降。因此現(xiàn)在難以制作超過(guò)20英寸大小的LCD。
與此相反，PDP與上述的CRT和LCD不同，有利于實(shí)現(xiàn)較輕的重量、較大的面積，而且采用自行發(fā)光進(jìn)行畫(huà)面顯示的驅(qū)動(dòng)方式。因此在謀求下一代顯示裝置的現(xiàn)在，正在特別積極地進(jìn)行著使PDP大面積化用的開(kāi)發(fā)研究，已經(jīng)達(dá)到了能開(kāi)發(fā)超過(guò)50英寸的產(chǎn)品。
PDP是這樣構(gòu)成的，即，使呈帶狀并列設(shè)置了多對(duì)顯示電極和多個(gè)隔壁的玻璃板與另一個(gè)玻璃板相對(duì)，在隔壁之間涂敷RGB各色熒光體，并氣密性地粘接起來(lái)，利用被封閉在隔壁和兩個(gè)玻璃板之間的放電空間的放電氣體發(fā)生的紫外線(UV)而放電，發(fā)出熒光。這樣的PDP由于驅(qū)動(dòng)方式的不同而分為DC(直流)型和AC(交流)型。其中AC型被認(rèn)為適合于大畫(huà)面，它作為一般的PDP已普及開(kāi)來(lái)。
可是，近年來(lái)的全規(guī)格的大視野電視的像素變得很細(xì)小，像素?cái)?shù)為1920(橫)×1080(縱)，42英寸級(jí)的像素間距為0.16mm×0.48mm，每一單元的面積為0.077mm2。它相對(duì)于同樣為42英寸級(jí)的NTSC規(guī)格的電視機(jī)，精細(xì)到7～8倍，掃描線數(shù)多達(dá)近3倍。由于以上的理由，制作大視野電視機(jī)用的PDP時(shí)，比制作NTSC規(guī)格的電視機(jī)更要求高精度的加工技術(shù)。
基于這樣的背景，例如有必要將多對(duì)顯示電極的間隙設(shè)定為比NTSC規(guī)格的電視機(jī)等更小的值。
可是，這里存在以下所示的PDP制造上的的問(wèn)題。即一般采用特開(kāi)平9-35628號(hào)公報(bào)中公開(kāi)的方法制作多對(duì)顯示電極。具體地說(shuō)，它是這樣一種方法利用濺射法等在成為前面板的玻璃板上依次形成由ITO或SnO2等構(gòu)成的透明電極膜、以及由Cr-Cu-Cr構(gòu)成的金屬導(dǎo)電膜，此后利用光刻法，將上述各導(dǎo)電膜加工成一定的電極形狀。該光刻法由于反復(fù)進(jìn)行光致抗蝕劑的涂敷、圖形的形成、刻蝕這樣的工序，所以工序多，有花費(fèi)較多的操作時(shí)間的傾向。另外，在工序重復(fù)的過(guò)程中，容易發(fā)生由刻蝕液引起的所不希望的侵蝕作用、以及圖形刻蝕時(shí)掩模的偏移等，在全部工序中難以確保一定以上的精度。特別是在制作上述的大視野電視機(jī)的細(xì)小的多對(duì)顯示電極時(shí)，這樣的問(wèn)題有成為障礙的傾向。
在等離子體顯示面板的制造方法中，迅速且高精度地制作多對(duì)顯示電極的技術(shù)問(wèn)題與以往相比，現(xiàn)在改善的余地多起來(lái)了。
發(fā)明的公開(kāi)本發(fā)明就是鑒于上述的問(wèn)題而完成的，其目的在于提供一種將激光加工方法應(yīng)用于多對(duì)顯示電極等的制作工序等中，合理地縮短花費(fèi)在該制作工序中的時(shí)間，能制作成品率高的PDP的PDP制作方法、以及利用該制作方法制作的PDP。
采用下述方法能實(shí)現(xiàn)上述目的，即作為等離子體顯示面板的制作方法，備有在第一板的主面上形成平行于縱向并列設(shè)置的多對(duì)顯示電極的顯示電極形成步驟；以及使形成了多對(duì)顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)齊并粘接起來(lái)的板粘接步驟，在顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，用激光部分地加工該顯示電極材料，形成上述多對(duì)顯示電極。
具體地說(shuō)，在上述顯示電極形成步驟中，能這樣實(shí)現(xiàn)將透明電極部材料覆蓋在第一板的主面上，用激光加工該覆蓋的透明電極部材料，作成透明電極部后，與該透明電極部導(dǎo)電性接觸地將金屬電極部材料覆蓋在第一板的主面上，形成金屬電極部，形成上述多對(duì)顯示電極。
另外，在上述顯示電極形成步驟中，也可以將透明電極部材料覆蓋在第一板的主面上，用激光加工該透明電極部材料，形成透明電極部和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記后，利用該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記使透明電極部對(duì)準(zhǔn)，將金屬電極部材料覆蓋在第一板的主面上規(guī)定的位置上，形成金屬電極部，形成上述多對(duì)顯示電極。
如果這樣用激光制作多對(duì)顯示電極，則由于只在激光切割工序及清洗·干燥等工序中采用激光加工方法，所以與以往采用的光刻蝕法等方法相比，能用幾分之一的工序迅速地形成多對(duì)顯示電極。因此，不會(huì)產(chǎn)生有害于環(huán)境的廢液等，采用激光加工方法能期待能改善環(huán)境問(wèn)題的效果。另外，這樣的激光加工方法除了制作多對(duì)顯示電極以外，還能應(yīng)用于對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的制作等。
另外，作為等離子體顯示面板的制造方法，備有在第一板的主面上形成平行于縱向并列設(shè)置的多對(duì)顯示電極的顯示電極形成步驟；以及將形成了多對(duì)顯示電極的第一板的主面重合在平行地并列設(shè)置了多個(gè)地址電極的第二板的主面上，且使多對(duì)顯示電極和多個(gè)地址電極交叉地將第一板的主面和第二板的主面粘接起來(lái)的板粘接步驟，在顯示電極形成步驟中，也可以將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，使第一光點(diǎn)形狀的激光和與該第一光點(diǎn)形狀不同的第二光點(diǎn)形狀的激光照射顯示電極材料，對(duì)顯示電極材料部分地進(jìn)行蒸發(fā)加工，形成多對(duì)顯示電極。
在上述顯示電極形成步驟中，還可以通過(guò)照射第一強(qiáng)度的激光和不同于第一強(qiáng)度的第二強(qiáng)度的激光，對(duì)覆蓋在第一板的主面上的顯示電極材料部分地進(jìn)行蒸發(fā)加工，形成多對(duì)顯示電極。
這樣，通過(guò)使用第一強(qiáng)度(或第一光點(diǎn)形狀)的激光和第二強(qiáng)度(或第二光點(diǎn)形狀)的激光，形成多對(duì)顯示電極，能形成部分地間隙不同的多對(duì)顯示電極，或進(jìn)行多對(duì)顯示電極的電阻值的補(bǔ)正和細(xì)部形狀的修補(bǔ)(修改)，除了具有上述效果以外，還能合理地實(shí)施激光加工方法。
另外，本發(fā)明作為使平行于縱向并列地設(shè)置了多對(duì)顯示電極的第一板的主面與第二板的主面重合并粘接起來(lái)構(gòu)成的等離子體顯示面板，還備有在第一板的主面和第二板的主面兩者中的至少一者上通過(guò)激光加工形成的使面板位置重合用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
另外，作為使平行于縱向并列地設(shè)置了多對(duì)使透明電極部和金屬電極部導(dǎo)電性地接觸構(gòu)成的顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)準(zhǔn)并粘接起來(lái)構(gòu)成的等離子體顯示面板，還備有在第一板的主面上通過(guò)激光加工形成的使透明電極部和金屬電極部位置重合用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
這樣，由于在第一板的主面上設(shè)置面板位置重合用、或透明電極部和金屬電極部的位置重合用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，所以能使第一板主面和第二板主面、或透明電極部和金屬電極部精度良好地組合起來(lái)，能制作能充分地發(fā)揮所設(shè)計(jì)的本來(lái)的性能的等離子體顯示面板。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明

圖1是實(shí)施形態(tài)1的交流面放電型PDP的部分剖面斜視圖。
圖2是表示實(shí)施形態(tài)1的多對(duì)顯示電極的形狀圖形的平面圖。
圖3是表示實(shí)施形態(tài)1的一對(duì)顯示電極的制造工序的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖3(a)是表示將透明導(dǎo)電膜50覆蓋在前面板玻璃21上的形態(tài)的圖。
圖3(b)是表示為了設(shè)置引出電極部形成區(qū)域210而將前面板玻璃21沿x方向兩端部的透明導(dǎo)電膜50除去后的形態(tài)的圖。
圖3(c)是表示用激光加工方法形成了透明電極部221、231的形態(tài)的圖。
圖3(d)是表示覆蓋了金屬導(dǎo)電膜60的形態(tài)的圖。
圖3(e)是表示通過(guò)刻蝕(濕法加工的光刻法)形成了金屬電極部222、232的形態(tài)的圖。
圖4是表示龍門式激光加工機(jī)100的各部分的外觀圖。
圖4(a)是龍門式激光加工機(jī)100的整體外觀斜視圖。
圖4(b)是激光發(fā)射器102的放大正視圖。
圖4(c)是表示各開(kāi)口1031、1041的形狀的正視圖。
圖5是表示有關(guān)實(shí)施形態(tài)1的透明電極部221、231等的制作的激光加工萬(wàn)法的圖。
圖5(a)是表示用第一激光和第二激光進(jìn)行的透明電極部221、231的形成過(guò)程的前面板玻璃21的部分斜視圖。
圖5(b)是表示一對(duì)透明電極部221、231的間隙的形成過(guò)程的前面板玻璃21的部分斜視圖。
圖6是表示有關(guān)實(shí)施形態(tài)1的激光加工機(jī)100激光加工方法的激光器機(jī)件的設(shè)定內(nèi)容的圖。
圖6(a)是用激光加工方法完成的透明電極部221、231等的完成圖。
圖6(b)是表示有關(guān)激光加工方法的一系列激光器機(jī)件的工作的圖。
圖7是表示實(shí)施形態(tài)2的多對(duì)顯示電極的制造工序前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖7(a)是表示將金屬導(dǎo)電膜60覆蓋在前面板玻璃21上的形態(tài)的圖。
圖7(b)是表示利用激光加工方法將不要的金屬導(dǎo)電膜60除去后的形態(tài)的圖。
圖7(c)是表示利用激光加工方法對(duì)金屬電極部222、232進(jìn)行了退火處理的形態(tài)的圖。
圖8是表示實(shí)施形態(tài)2的金屬電極部232的激光加工方法的形態(tài)的圖。
圖8(a)是表示退火處理前的金屬電極部232的形態(tài)的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖8(b)是表示退火處理后的金屬電極部232的形態(tài)的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖9是表示實(shí)施形態(tài)的變形例1的激光加工方法(透明電極部221、231的制作及其電阻值的調(diào)整處理)的形態(tài)的前面板玻璃21的正視圖。
圖10是表示實(shí)施形態(tài)的變形例2的激光加工方法(透明電極部221、231的制作及其細(xì)部的修補(bǔ)處理)的形態(tài)的前面板玻璃21的正視圖。
圖11是表示實(shí)施形態(tài)的變形例3的激光加工方法(在將掩模300裝在前面板玻璃21上的狀態(tài)下透明電極部221、231的制作及其電阻值的調(diào)整處理)的形態(tài)的前面板玻璃21的正視圖。
圖12是表示實(shí)施形態(tài)的變形例1的透明電極部221、231的端部80a～82a、80b～82b的形狀的前面板玻璃21的剖面圖。
圖12(a)是表示端部80a、80b的剖面形狀的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖12(b)是表示端部81a、81b的剖面形狀的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖12(c)是表示端部82a、82b的剖面形狀的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖13是表示端部82a、82b的制造工序的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖13(a)是表示覆蓋了光致抗蝕劑70的形態(tài)的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖13(b)是表示使光致抗蝕劑70曝光，進(jìn)行了堿性溶液處理的形態(tài)的前面板玻璃21的部分剖面圖。
圖13(c)是表示所形成的端部82a、82b的剖面形狀的前面板玻璃21的部分剖面圖。
實(shí)施發(fā)明用的最佳形態(tài)<實(shí)施形態(tài)1>
圖1是實(shí)施形態(tài)1的交流面放電型PDP的部分剖面斜視圖。圖中，z方向相當(dāng)于PDP的厚度方向，xy平面相當(dāng)于平行于PDP面的平面。如該圖所示，該P(yáng)DP的結(jié)構(gòu)大致分為前面板20和后面板26兩個(gè)單元。另外，首先使該圖與以后說(shuō)明的全部附圖(圖1至圖10)中的xyz各方向一致。
成為前面板20的基板的前面板玻璃21由堿石灰玻璃材料構(gòu)成。而且，在與前面板玻璃21的與后面板26相對(duì)的面上配置多對(duì)顯示電極22、23(由X電極22和Y電極23構(gòu)成一對(duì)顯示電極)，它們沿x方向延伸，在y方向上以一定的間隔交替地配置。這里，在各實(shí)施形態(tài)中都一樣，在地址放電時(shí)X電極22作為掃描電極工作。后面將給出多對(duì)顯示電極22、23的全體圖。
在配置了這樣的多對(duì)顯示電極22、23的前面板玻璃21的面上，覆蓋由氧化鉛系列玻璃構(gòu)成的電介質(zhì)層24。因此，多對(duì)顯示電極22、23呈被設(shè)置在電介質(zhì)層24中的狀態(tài)。再在電介質(zhì)層24的表面上覆蓋由氧化鎂(MgO)構(gòu)成的保護(hù)層25。
成為后面板26的基板的后面板玻璃27的制作方法也與前面板玻璃21相同，在與前面板20相對(duì)的一側(cè)的面上并列地設(shè)置多條地址電極28，它們沿y方向延伸，在z方向上夾著一定的間隔、與上述前面板20上的多對(duì)顯示電極22、23形成柵格狀的配置圖形。在配置了地址電極28的后面板玻璃27的面上，包裹著地址電極28形成由與電介質(zhì)層24同樣的材料構(gòu)成的電介質(zhì)膜29，再在電介質(zhì)膜29的面上與相鄰的兩個(gè)地址電極28的間隔一致地沿著y方向形成具有一定高度和厚度的多個(gè)隔壁30。在隔壁30的側(cè)面和電介質(zhì)膜29的表面上涂敷符合于RGB各色的熒光體層31、32、33中的某一種。
前面板20和后面板26用封裝玻璃互相粘貼。然后，將包含稀有氣體的放電氣體密封在由多個(gè)隔壁30隔開(kāi)的各個(gè)空間中，各個(gè)空間成為沿y方向長(zhǎng)的帶狀放電空間38。在該放電空間38中，每一處包含一對(duì)顯示電極22、23和一條地址電極28交叉的位置的區(qū)域成為畫(huà)面顯示用的單元(將在后面說(shuō)明)。以x方向?yàn)樾蟹较颉⒁詙方向?yàn)榱蟹较虺示仃嚑钆帕械匦纬稍摳鲉卧?，所以在本PDP中，通過(guò)使各單元適時(shí)地閃爍，能進(jìn)行矩陣顯示。
圖2是從z方向向下看本PDP的顯示電極圖形時(shí)的平面圖。這里為了避免圖的復(fù)雜化，圖中省略了隔壁30。在該圖中，用虛線區(qū)分的區(qū)域分別相當(dāng)于單元11、12、13、14。
如該圖所示，本PDP的多對(duì)顯示電極22、23分別由透明電極部221、231、以及金屬電極部222、232構(gòu)成，上述金屬電極部222、232配置在一對(duì)顯示電極22、23中最遠(yuǎn)的透明電極部221、231的部分上，以便與該透明電極部221、231導(dǎo)電性地接觸。透明電極部221、231具有在一對(duì)顯示電極22、23的間隙36中每個(gè)單元間距(相鄰的多個(gè)地址電極28的間距)凸部220、230相對(duì)地一個(gè)一個(gè)配置的形狀。
該多對(duì)顯示電極22、23的各部分尺寸如下。即，相對(duì)的凸部220、230的間隙35為80微米，一對(duì)顯示電極22、23的最大間隙36為520微米，凸部220、230呈x方向長(zhǎng)度150微米×y方向長(zhǎng)度220微米的長(zhǎng)方形。另外，除了凸部220、230以外，透明電極部221、231的寬度為150微米，相鄰的兩對(duì)顯示電極22、23的間隙37為260微米。這里作為本實(shí)施形態(tài)1的特征，上述透明電極部221、231是采用后面所述的激光加工方法制作的。
另外，金屬電極部222、232的寬度為50微米。
另外，上述單元間距為360微米。
另外在圖中，為了容易把握具有凸部220、230的各顯示電極22、23的形狀特征，使凸部220、230比實(shí)際大，而使一對(duì)顯示電極22、23的最大間隙36窄。
之所以將透明電極部221、231設(shè)定成這樣的圖形形狀，如以下所述，是為了一邊抑制面放電開(kāi)始時(shí)的電壓，一邊進(jìn)行放電規(guī)模好的面放電。
即，如果采用具有以上結(jié)構(gòu)的本PDP，則驅(qū)動(dòng)時(shí)通過(guò)適當(dāng)?shù)叵蚋麟姌O22、23、28供電，能進(jìn)行兩種放電。
一種是控制單元11、……的點(diǎn)亮的通/斷的地址放電，通過(guò)向作為掃描電極的X電極22和地址電極28供電，進(jìn)行放電。
另一種是直接供給PDP的畫(huà)面顯示的維持放電(面放電)，通過(guò)將脈沖電壓加在一對(duì)顯示電極22、23上，進(jìn)行放電。
具體地說(shuō)，如果向多對(duì)顯示電極22、23供電，施加脈沖，便開(kāi)始面放電。這時(shí)在凸部220、230的間隙35中開(kāi)始面放電，但由于該凸部220、230的間隙35約為80微米，與一對(duì)顯示電極22、23的最大間隙36(約520微米)相比，前者取得較窄，所以能將開(kāi)始放電的電壓抑制得較低。
因此，如果開(kāi)始面放電，則放電的規(guī)模逐漸擴(kuò)大，亮度提高，而且由于能抑制放電電壓，所以作為PDP能獲得良好的發(fā)光效率。
具體地說(shuō)，在面放電時(shí)加在多對(duì)顯示電極22、23上的電壓為185V的情況下，實(shí)際加在多對(duì)顯示電極22、23上的電壓的離散在現(xiàn)有型的PDP的情況下為±5V，與此不同，由本實(shí)施形態(tài)1制作的PDP由于透明電極部221、231采用激光加工方法，所以與以往相比，能精密地制作，所以能將上述電壓離散抑制在2V左右。這樣，本PDP能呈現(xiàn)比現(xiàn)有的PDP離散小的優(yōu)異的顯示性能。
這里，本發(fā)明的主要特征在于PDP的制造方法。以下說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)1的PDP的制造方法。
(PDP的制作方法)i.前面板20的制作在由厚度約為2.6mm的堿石灰玻璃構(gòu)成的前面板玻璃21的表面上形成顯示電極22、23。這里，利用激光加工方法形成多對(duì)顯示電極22、23是本發(fā)明的主要特征。參照?qǐng)D3(a)～(e)所示的前面板玻璃21的部分剖面圖、圖4(a)～(c)所示的激光加工機(jī)100的結(jié)構(gòu)圖、圖5(a)、(b)所示的激光加工方法圖、圖6(a)、(b)所示的透明電極部221、231的完成圖、以及表示關(guān)于激光加工方法的激光器機(jī)件的工作的圖等，說(shuō)明該多對(duì)顯示電極22、23的形成過(guò)程。
實(shí)施形態(tài)1的多對(duì)顯示電極22、23由上述的透明電極部221、231和金屬電極部222、232構(gòu)成。因此，首先用CVD(Chemical VaporDeposition化學(xué)汽相淀積法)法，將作為透明電極部221、231的材料的SnO2-Sb2O3系列透明導(dǎo)電膜材料(按照Sn和Sb的原子比為98∶2的比例，將氧化鋅SnO2和氧化銻Sb2O3混合而成的材料)覆蓋在前面板玻璃21的全部表面上，形成厚度約為0.2微米的透明導(dǎo)電膜50。這里，CVD法如下進(jìn)行使上述透明導(dǎo)電膜材料呈氣體狀，使其流過(guò)被加熱到約550℃高溫的前面板玻璃21的表面，制成透明導(dǎo)電膜50。圖3(a)是表示形成了該透明導(dǎo)電膜50的形態(tài)的圖。
其次，在所形成的透明導(dǎo)電膜50中，在相當(dāng)于前面板玻璃21的縱向(x方向)兩端部的部分上確保形成引出電極部(圖中未示出，為了連接各顯示電極22、23和驅(qū)動(dòng)電路(圖中未示出)，將金屬電極部222、232延長(zhǎng)構(gòu)成的直線狀的電極部)的形成區(qū)域210(參照?qǐng)D3(b)及圖6)，接著對(duì)透明電極膜進(jìn)行圖形刻蝕，形成透明電極部221、231等(參照?qǐng)D(c))。另外，引出電極部形成區(qū)域210示于圖6。
使用圖4(a)的斜視圖所示的激光加工機(jī)100實(shí)施這些工序。該激光加工機(jī)100是通稱為龍門式的形式，是備有單軸工作臺(tái)103(沿x方向往復(fù)自由移動(dòng))、單軸激光發(fā)射器102(沿y方向往復(fù)自由移動(dòng))的眾所周知的激光加工機(jī)100。激光發(fā)射器102與沿y方向橫跨工作臺(tái)103架設(shè)的激光發(fā)射器導(dǎo)軌101連接，能在該激光發(fā)射器導(dǎo)軌101上沿y方向被制導(dǎo)地往復(fù)移動(dòng)。激光發(fā)射器102及工作臺(tái)103由圖中未示出的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)進(jìn)行精確地驅(qū)動(dòng)，使激光發(fā)射器102及工作臺(tái)103相對(duì)于放置在工作臺(tái)103上的被加工物沿xy方向移動(dòng)，能進(jìn)行精密級(jí)的二維激光加工。
具體地說(shuō)，如圖4(b)所示，激光發(fā)射器102是用緊固夾具1021及緊固螺栓1022，將第一激光頭1030、第二激光頭1040固定在激光發(fā)射器本體1020上構(gòu)成的。第一激光頭1030(第二激光頭1040)發(fā)射波長(zhǎng)為1.06微米的YAG激光，內(nèi)部裝有使激光匯聚的光學(xué)系統(tǒng)單元，該光學(xué)系統(tǒng)單元連接在從激光振蕩器(圖中未示出)延長(zhǎng)的石英玻璃制的光纜1032(1042)的終端。而且圖4(c)所示的開(kāi)口1031(1041)和物鏡單元1050(1060)安裝在第一及第二激光頭1030(1040)的前端，第一及第二激光頭1030(1040)連接成使多個(gè)激光點(diǎn)重合，斷續(xù)地發(fā)射脈沖激光，能進(jìn)行一定形狀的激光加工。
這里，開(kāi)口1031(通過(guò)與物鏡單元1050(1060)的組合，在放置在工作臺(tái)103上的前面板玻璃21的表面上形成組合形狀的激光點(diǎn)，該組合形狀呈y方向520微米×x方向210微米的長(zhǎng)方形與y方向80微米×x方向150微米的長(zhǎng)方形組合的形狀)制作成與相對(duì)的凸部220、230的間隙35和一對(duì)顯示電極22、23的最大間隙36的和的尺寸一致，開(kāi)口1041(通過(guò)與物鏡單元1050(1060)的組合，有在放置在工作臺(tái)103上的前面板玻璃21的表面上形成y方向260微米×x方向360微米的長(zhǎng)方形的激光點(diǎn)的狹縫)制作成與相鄰的兩對(duì)顯示電極的間隙37的尺寸一致。其中設(shè)置開(kāi)口1031的凸部1031a，是為了形成透明電極部221、231的凸部220、230。如果從第一激光頭1030(第二激光頭1040)輸出第一激光(第二激光)，則通過(guò)這些開(kāi)口1031(1041)和物鏡單元1050(1060)，各種形狀的激光點(diǎn)照射在放置于工作臺(tái)103上的前面板玻璃21上。另外，通過(guò)調(diào)整第一激光頭1030(第二激光頭1040)相對(duì)于激光發(fā)射器102的位置，也能適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)放置在工作臺(tái)103上的前面板玻璃21的表面上的激光點(diǎn)的尺寸。
一邊注意方向(使前面板玻璃21的xy方向與激光加工機(jī)100的xy方向一致)將前面板玻璃21置于具有這樣的結(jié)構(gòu)的龍門式激光加工機(jī)100的工作臺(tái)103上，一邊利用眾所周知的真空夾盤(pán)法等，將前面板玻璃21水平地固定在工作臺(tái)103上。
其次，進(jìn)行激光的輸出功率設(shè)定。激光設(shè)定為第一激光頭1030及第二激光頭1040都具有100nsec/pulse的脈沖激光輸出功率，強(qiáng)度為1.5mJ/pulse。
繼激光的輸出功率設(shè)定之后，根據(jù)激光加工機(jī)100的規(guī)定的設(shè)定輸入菜單，按照?qǐng)D6(a)所示的形狀圖形規(guī)格，設(shè)定激光加工程序。這里，對(duì)覆蓋在前面板玻璃21的全部表面上的透明導(dǎo)電膜50進(jìn)行激光加工，形成透明電極部221、231、透明導(dǎo)電膜50的殘留部、以及十字型對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記成為一系列激光加工程序的內(nèi)容。激光加工程序設(shè)定后，如果輸入工作開(kāi)始指示，激光加工程序便自動(dòng)地開(kāi)始。
如圖3(b)所示，激光加工程序首先從在前面板玻璃21的左右(x方向兩端部)確保引出電極部形成區(qū)域開(kāi)始。這時(shí)單獨(dú)使用來(lái)自第二激光頭1040的第二激光進(jìn)行。
即，調(diào)節(jié)工作臺(tái)103和激光發(fā)射器102的相對(duì)位置，使前面板玻璃21的四個(gè)角中的一個(gè)角(在圖6(a)中前面板玻璃21的左下角)位于第二激光發(fā)射器1040的正下方。然后將工作臺(tái)103固定后，使激光發(fā)射器102沿y方向一邊移動(dòng)，一邊輸出激光，對(duì)前面板玻璃21的透明導(dǎo)電膜50部分地進(jìn)行激光加工。因此，在前面板玻璃21上形成沿y方向透明導(dǎo)電膜50蒸發(fā)汽化而成的寬360微米的槽。
如果該激光加工完成了一個(gè)行程(沿前面板玻璃21的y方向的一個(gè)行程)，使工作臺(tái)103沿x方向進(jìn)行微小移動(dòng)，使第二激光的激光點(diǎn)的y方向?qū)挾葹?60微米，從這里使激光發(fā)射器102沿y方向移動(dòng)，再開(kāi)始與上述相同的激光加工。使這樣的往復(fù)運(yùn)動(dòng)的激光加工程序大約進(jìn)行56個(gè)行程×2次(前面板玻璃21的x方向兩端部分)。在前面板玻璃21縱向(x方向)兩端部形成引出電極形成區(qū)域210。以上相當(dāng)于圖3(b)中的激光加工程序。
其次，通過(guò)激光加工，在前面板玻璃21的表面上形成透明導(dǎo)電膜殘留部211、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212等。圖6(b)是模式地表示這時(shí)的激光加工程序的圖。如該圖所示，調(diào)節(jié)工作臺(tái)103和激光發(fā)射器102的相對(duì)位置，使前面板玻璃21的四個(gè)角中的一個(gè)角(在圖6(b)中前面板玻璃21的左下角)位于第二激光發(fā)射器1040的正下方。然后使工作臺(tái)103沿xy方向微微移動(dòng)，用激光將透明導(dǎo)電膜50的一定位置加工成十字型，形成反轉(zhuǎn)標(biāo)記狀的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212(例如將開(kāi)口1041的激光點(diǎn)組合起來(lái)的y方向長(zhǎng)980微米(4個(gè)激光點(diǎn)的y方向長(zhǎng)度)×x方向長(zhǎng)1080微米(3個(gè)激光點(diǎn)的x方向長(zhǎng)度)的形狀標(biāo)記)。在下述情況下使用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212在透明電極部221、231上位置一致地形成金屬電極部222、232時(shí)，以及將前面板玻璃21和后面板玻璃27位置一致地粘貼起來(lái)時(shí)。另外，所謂形成前面板玻璃21的“一定位置”是指下述位置而言如圖6(a)所示，距離前面板玻璃21的y方向兩端部5mm、在沿前面板玻璃21的縱向的直線上等距離的3個(gè)位置。
形成了各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212后，移動(dòng)工作臺(tái)103，使前面板玻璃21的x方向端部(在圖6(b)中為x方向右側(cè)端部)位于第二激光頭1040的正下方。然后使激光發(fā)射器102沿y方向移動(dòng)5mm，使第二激光一邊照射透明導(dǎo)電膜50，一邊折回x方向。在該激光加工的一個(gè)行程(沿前面板玻璃21的x方向的一個(gè)行程，參照?qǐng)D6(b))中，使寬約260微米的帶狀透明導(dǎo)電膜50蒸發(fā)汽化，形成x方向?qū)捈s10mm的透明導(dǎo)電膜殘留部211。
形成了透明導(dǎo)電膜殘留部211后，使前面板玻璃21移動(dòng)到x方向端部(在圖6(b)中為x方向左側(cè)端部)。然后只使激光發(fā)射器102沿x方向相對(duì)于工作臺(tái)103移動(dòng)1080微米(將一對(duì)顯示電極22、23的最大間隙520微米+相鄰的兩對(duì)顯示電極22、23的間隙260微米+凸部220、230除去后的各顯示電極22、23的兩條寬度150微米×2＝1080微米，詳細(xì)情況參照?qǐng)D2)，使第一激光頭1030(第二激光頭1040)處于工作準(zhǔn)備狀態(tài)。然后使第一激光和第二激光沿y方向并行地照射透明導(dǎo)電膜50，一邊照射一邊使工作臺(tái)103沿x方向移動(dòng)，在前面板玻璃21上并行地形成一對(duì)顯示電極22、23的間隙36、以及相鄰的兩對(duì)顯示電極22、23的間隙37。通過(guò)激光加工，形成一對(duì)顯示電極22、23的透明電極部221、231。
這里，圖5(a)是表示通過(guò)激光加工形成的一對(duì)顯示電極22、23的形態(tài)的前面板玻璃21的部分斜視圖。這樣的激光加工例如用圖5(b)中的第一激光進(jìn)行的加工工序所示，發(fā)出斷續(xù)的脈沖激光。一邊連接該脈沖激光的激光點(diǎn)，一邊形成透明電極部221、231。
另外，這時(shí)如果使相鄰的激光點(diǎn)沿x方向多少重疊地進(jìn)行激光掃描，則能可靠地形成各電極間隙35～37。但是在此情況下，將上述激光點(diǎn)的重疊部分考慮進(jìn)去，需要在將開(kāi)口1031、1041的形狀沿x方向設(shè)定得長(zhǎng)一些等方面下功夫。
另外，使激光發(fā)射器102沿y方向移動(dòng)時(shí)，不一定必須使前面板玻璃21的x方向端部位于第一激光頭1030(第二激光頭1040)的正下方，也可以使激光發(fā)射器102在所形成的各透明電極部221、231的x方向端部正上方附近移動(dòng)。
另外，激光發(fā)射器不限于一個(gè)，例如也可以使用多個(gè)激光發(fā)射器，將各激光頭設(shè)置在各個(gè)激光發(fā)射器上。
在形成這樣的透明電極部221、231的激光加工程序中，按照?qǐng)D6(b)中的激光加工程序的流程，通過(guò)沿x方向的一個(gè)行程的激光加工，形成一對(duì)顯示電極22、23的透明電極部221、231，反復(fù)進(jìn)行使激光發(fā)射器102沿y方向微小地移動(dòng)約1080微米的程序。利用由沿著該x方向的激光加工和激光發(fā)射器102沿著y方向的移動(dòng)的組合構(gòu)成的一系列曲折移動(dòng)的激光加工程序，在前面板玻璃21上形成多對(duì)(例如在42英寸XGA面板上合計(jì)768對(duì))顯示電極22、23的透明電極部221、231。
如果形成了全部成對(duì)的顯示電極22、23的透明電極部221、231(圖3(c))，暫時(shí)停止驅(qū)動(dòng)第一激光頭1030。然后與上述的動(dòng)作一樣，只驅(qū)動(dòng)第二激光頭1040，形成透明導(dǎo)電膜殘留部211。如果形成了透明導(dǎo)電膜殘留部211，其次進(jìn)行與上述同樣的動(dòng)作，形成多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212。于是，每一個(gè)前面板玻璃21的激光加工程序全部結(jié)束。
這樣，迄今作為多對(duì)顯示電極22、23的制作方法進(jìn)行的濕法加工的光刻法的工序約為11道工序，與此不同，本實(shí)施形態(tài)1的激光加工程序只用激光加工和被激光加工物的清洗、干燥約3道工序即可，而且工程進(jìn)行的時(shí)間只需要大約短短的10分鐘左右即可。因此PDP的制造工序的成品率得到改善，還有利于降低成本。
另外如果采用激光加工程序，則與其他制作方法相比，能制作精度良好的透明電極部221、231。例如在使透明電極部221、231的形狀沿x方向延伸寬度約50微米的帶狀的情況下，采用光刻法時(shí)產(chǎn)生±5.0微米左右的尺寸誤差，與此不同，在本實(shí)施形態(tài)1中，能抑制在±3.0微米左右的尺寸誤差。
進(jìn)行了以上的激光加工程序后，將前面板玻璃21從工作臺(tái)103上卸下來(lái)，接著采用濺射法，在形成了透明電極部221、231等的前面板玻璃21的全部表面上形成由Cr-Cu-Cr層疊膜構(gòu)成的厚度約0.1微米的金屬導(dǎo)電膜60(圖3(d))。
其次，采用濕法加工的光刻法，在所形成的金屬導(dǎo)電膜60上形成金屬電極部222、232及引出電極部(圖中未示出)(圖3e)。一般經(jīng)過(guò)以下的(a)～(k)工序進(jìn)行濕法加工。
金屬導(dǎo)電膜60的清洗(a)→在金屬導(dǎo)電膜60上涂敷光致抗蝕劑(b)→干燥(c)→按照金屬電極部222、232的形狀進(jìn)行掩模曝光(d)→顯像(e)→沖洗(f)→清洗及干燥(g)→使金屬電極膜上殘留的抗蝕劑硬化(h)→刻蝕(i)→剝離光致抗蝕劑(j)→清洗·干燥(k)。
另外，在工序(d)中，進(jìn)行掩模處理時(shí)利用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212，將掩模重合在金屬導(dǎo)電膜60上。因此，能進(jìn)行準(zhǔn)確的曝光。
另外這里在構(gòu)成一對(duì)顯示電極22、23的透明電極部221、231的外側(cè)端部上，形成寬約50微米帶狀的金屬電極部222、232。
其次，從多對(duì)顯示電極22、23上，在前面板玻璃21的全部表面上覆蓋厚度約20～30微米的鉛系列玻璃膏劑，燒成后形成電介質(zhì)層24。
其次，采用蒸鍍法或CVD(化學(xué)蒸鍍法)等，在電介質(zhì)層24的表面上形成厚度約為1微米的由氧化鎂(MgO)構(gòu)成的保護(hù)層25。
至此，制成了前面板20。
ii.后面板26的制作采用印刷法，將以銀為主要成分的導(dǎo)電體材料，以一定的間隔呈帶狀地涂敷在厚度約為2mm的由堿石灰玻璃構(gòu)成的后面板玻璃27的表面上，形成厚度約為5微米多個(gè)地址電極28。這里，將相鄰的兩個(gè)地址電極28的間隔設(shè)定為360微米。
接著在形成了地址電極28的后面板玻璃27的全部表面上涂敷厚度約為20～30微米的鉛系列玻璃膏劑，燒成后形成電介質(zhì)膜29。
其次，用與電介質(zhì)膜29相同的鉛系列玻璃材料，在電介質(zhì)膜29上且在每相鄰的兩個(gè)地址電極28之間形成高度約為100微米的隔壁30。例如采用篩網(wǎng)印刷法，反復(fù)印刷含有上述玻璃材料的膏劑，然后進(jìn)行燒成，能形成該隔壁30。
如果形成了隔壁30，則將含有紅色(R)熒光體、綠色(G)熒光體、藍(lán)色(B)熒光體中的某一種的熒光墨涂敷在隔壁30的壁面、以及在隔壁之間露出的電介質(zhì)膜29的表面上，將其干燥·燒成后，分別形成熒光體層31、32、33。
這里，舉出一般在PDP中使用的熒光體材料的例如下。
紅色熒光體(YxGd1-x)BO3；Eu3+綠色熒光體Zn2SiO4；Mn藍(lán)色熒光體BaMgAl10O17；Eu3+(或BaMgAl4O23；Eu3+)以上，完成了后面板26。
另外，雖然采用了由堿石灰玻璃構(gòu)成的前面板玻璃21及后面板玻璃27，但這只是作為材料舉出的一例，也可以采用其他材料(例如高應(yīng)變點(diǎn)玻璃)。另外電介質(zhì)層24及保護(hù)層25也不限定于上述材料，也可以改用適宜的材料。多對(duì)顯示電極22、23一樣，例如為了制成具有良好的透明性的透明電極部221、231，可以選擇材料。在可能的范圍內(nèi)，在各實(shí)施形態(tài)中可以同樣地進(jìn)行這樣的各種材料的選擇。
iii.PDP的制成用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212將制作的前面板20和后面板26對(duì)準(zhǔn)，用封裝用玻璃粘接起來(lái)。然后，在高真空(8×10-7Torr)中使放電空間38的內(nèi)部脫氣，以規(guī)定的壓力(這里為2000Torr)，將由Ne-Xe(5％)的組成構(gòu)成的放電氣體封入其中，制成PDP。關(guān)于放電氣體，除了上述的以外，也可以使用He-Xe系列或He-Ne-Xe系列等。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)1的PDP的制造方法中，制作透明電極部221、231時(shí)，使兩個(gè)不同的激光點(diǎn)的激光并行地一邊發(fā)光，一邊進(jìn)行激光加工，所以其特征在于具有能迅速地制作透明電極部221、231的效果。因此，如果采用實(shí)施形態(tài)1，則能期待能非常有效地制造PDP的效果。
另外，在本實(shí)施形態(tài)1中，與以往相比采用光刻法的工序少，所以能減少與排氣或廢液等的發(fā)生所伴隨的問(wèn)題，對(duì)環(huán)境保護(hù)問(wèn)題也非常有效。
另外，在本實(shí)施形態(tài)1中，給出了利用激光加工方法，在透明電極部221、231以外，在部分不使透明導(dǎo)電膜50蒸發(fā)汽化的例(即設(shè)置透明導(dǎo)電膜殘留部211)。這樣，由于在制作的多對(duì)顯示電極22、23等(在本實(shí)施形態(tài)中為透明導(dǎo)電膜50)上直接殘留了不需要積極地進(jìn)行蒸發(fā)汽化的透明導(dǎo)電膜50的區(qū)域，所以能節(jié)省過(guò)多的激光加工程序，一系列激光加工程序能被簡(jiǎn)化及高速化，具有能改善成品率的效果。
另外，在上述“iii.PDP的制成”工序中，也可以在后面板26一側(cè)形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，如果與對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)地對(duì)準(zhǔn)，則能期待實(shí)施更精密的對(duì)準(zhǔn)。
另外，本發(fā)明的PDP的制作方法的主要特征在于在各實(shí)施形態(tài)中形成的多對(duì)顯示電極22、23的制作方法，除此以外的地方大體相同。因此關(guān)于以后的各實(shí)施形態(tài)中的PDP的制作方法主要說(shuō)明多對(duì)顯示電極22、23的制造方法，另外省略與上述實(shí)施形態(tài)重復(fù)的說(shuō)明。
<實(shí)施形態(tài)2>
在本實(shí)施形態(tài)2中，給出在將銀材料用于多對(duì)顯示電極22、23的金屬電極部222、232中的情況下，將激光加工方法應(yīng)用于金屬電極部222、232的形成及金屬電極部222、232的退火處理的例。
除了Cr-Cu-Cr材料以外，銀材料(具體地說(shuō)，銀和玻璃粉末的混合材料)被廣泛地用于金屬電極部222、232中，但由于銀材料所具有的性質(zhì)的原因，如果將銀材料覆蓋在透明導(dǎo)電膜50(透明電極部221、231)上，則變成有凹凸的變形形狀。此后，在前面板玻璃21的全部表面上形成電介質(zhì)層24時(shí)，氣泡進(jìn)入金屬電極部222、232和電介質(zhì)層24之間，引起絕緣破壞、PDP不正常驅(qū)動(dòng)的原因。
因此，用上述銀材料制作金屬電極部222、232時(shí)，最好對(duì)透明導(dǎo)電膜50(或透明電極部221、231)上暫時(shí)覆蓋的金屬導(dǎo)電膜60(或金屬電極部222、232)加熱，使金屬導(dǎo)電膜60(或金屬電極部222、232)中含有的玻璃成分熔融，使金屬導(dǎo)電膜60(或金屬電極部222、232)的形狀圓滑整齊(即進(jìn)行退火處理)。
本實(shí)施形態(tài)2針對(duì)該問(wèn)題，在用第一激光頭1030的第一激光形成了金屬電極部222、232之后，用第二激光頭1040的第二激光對(duì)金屬電極部222、232進(jìn)行退火處理。其具體的工序如下。
圖7(a)～(e)是表示本實(shí)施形態(tài)2中的多對(duì)顯示電極22、23的制造工序的前面板玻璃21的部分剖面圖。另外，所形成的多對(duì)顯示電極22、23的形狀與實(shí)施形態(tài)1相同。
首先，采用印刷法等在前面板玻璃21的表面上形成一定形狀的透明電極部221、231。這里，在形成透明電極部221、231的材料中，需要選擇其蒸發(fā)汽化溫度比銀材料的高的材料，即選擇對(duì)由上述銀材料構(gòu)成的金屬導(dǎo)電膜60進(jìn)行激光加工時(shí)，透明電極部221、231不蒸發(fā)汽化的材料。作為這樣的透明電極部221、231的材料，具體地可以舉出SnO2等。
其次，采用印刷法等在形成了透明電極部221、231的前面板玻璃21上涂敷銀材料，將其燒成后形成金屬導(dǎo)電膜60(厚度約為0.1微米)。圖7(a)表示這時(shí)在前面板玻璃21的全部表面上形成金屬導(dǎo)電膜60的例，但也可以由此限定區(qū)域(例如只在透明電極部221、231上覆蓋銀材料)，形成金屬導(dǎo)電膜60。
接著使用激光加工機(jī)100，設(shè)定激光加工程序。這里，將來(lái)自第一激光頭1030的第一激光用于金屬電極部222、232的形成。安裝在第一激光頭1030上的開(kāi)口(圖中未示出)通過(guò)與物鏡單元1050組合，例如可以這樣設(shè)定在置于工作臺(tái)103上的前面板玻璃21上形成這樣的激光點(diǎn)，即該激光點(diǎn)沿y方向的寬度為與一對(duì)顯示電極22、23的間隙36大致相同的520微米，沿x方向的寬度為360微米左右。另外，調(diào)節(jié)第一激光的強(qiáng)度，將其強(qiáng)度設(shè)定為不會(huì)對(duì)位于金屬導(dǎo)電膜60下面的透明電極部221、231產(chǎn)生不良影響的程度(即不會(huì)使透明電極部221、231蒸發(fā)汽化的程度)的強(qiáng)度，而且能充分地進(jìn)行金屬導(dǎo)電膜60的激光加工的強(qiáng)度。
其次進(jìn)行第二激光強(qiáng)度的設(shè)定。這里，由于第二激光用于金屬電極部222、232的退火處理，所以將其設(shè)定為能熔融金屬電極部222、232中包含的玻璃成分、而且不會(huì)被透明電極部221、231吸收的強(qiáng)度(具體地說(shuō)為紫外線附近的可見(jiàn)光波長(zhǎng))。
另外，調(diào)節(jié)激光發(fā)射器102的第一激光頭1030(第二激光頭1040)的固定位置，設(shè)定激光點(diǎn)相對(duì)于前面板玻璃21上的金屬導(dǎo)電膜60的位置及尺寸。
另外，這里雖然設(shè)定激光加工機(jī)100，以便并行地驅(qū)動(dòng)第一激光頭1030(第二激光頭1040)，但不限定于該激光加工程序，例如也可以在第一激光頭1030的激光加工程序全部結(jié)束后，再逐漸開(kāi)始第二激光頭1040的激光加工程序。
如果第一激光頭1030(第二激光頭1040)的位置調(diào)整和各激光強(qiáng)度的設(shè)定結(jié)束，便開(kāi)始激光加工程序，以便使金屬電極部222、232和圖中未示出的引出電極部以外的金屬導(dǎo)電膜60蒸發(fā)汽化。因此，如圖7(b)所示，形成寬度約為50微米的金屬電極部222、232。
可是這里，在該時(shí)刻，如圖8(a)中的前面板玻璃21的剖面圖所示，金屬電極部222、232的形狀呈凹凸多的變形形狀。這是由于銀材料的性質(zhì)所致，如上所述，照這樣下去，在形成電介質(zhì)層24時(shí)，會(huì)進(jìn)入許多氣泡，成為PDP的性能下降的原因。
因此作為本實(shí)施形態(tài)2的特征在于用來(lái)自第二激光頭1040的第二激光對(duì)用第一激光暫時(shí)形成的圖8(a)所示狀態(tài)的金屬電極部222、232進(jìn)行退火處理(圖7(c))。因此，金屬電極部222、232中的玻璃成分熔融，如圖8(a)所示，金屬電極部222、232的表面得以改善而變得圓滑。
如果采用這樣的本實(shí)施形態(tài)，則能利用激光加工方法，迅速地制作金屬電極部222、232。另外由于并行地進(jìn)行金屬電極部222、232的形成和退火處理，所以即使在將銀材料這樣的容易產(chǎn)生凹凸的材料用于金屬導(dǎo)電膜60的情況下，也具有能使成品率高地制造優(yōu)良品質(zhì)的PDP的效果。
具體地說(shuō)，在42英寸的XGA面板的PDP中，以往在電介質(zhì)層24中能確認(rèn)出24個(gè)左右、直徑為10微米左右的氣泡，但在本實(shí)施形態(tài)的PDP中，能減少到1個(gè)左右。因此，PDP的絕緣破壞的耐壓程度也能從以往的800V左右提高到2kV左右。
另外，作為通過(guò)第一激光頭1030產(chǎn)生的第一激光的照射、只使金屬導(dǎo)電膜60蒸發(fā)汽化的目的，例如也可以使激光強(qiáng)度與可見(jiàn)光的波長(zhǎng)一致。
另外，作為本實(shí)施形態(tài)2的變形例，在用激光加工方法形成金屬電極部222、232之前，也可以預(yù)先用與上述金屬電極部222、232有關(guān)的激光加工方法不同的激光加工方法形成透明電極部221、231。在此情況下，與實(shí)施形態(tài)1一樣，形成成為加工透明導(dǎo)電膜50的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212，如果利用該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，則能在準(zhǔn)確的位置形成金屬電極部222、232，能進(jìn)行退火處理。這時(shí)有必要進(jìn)行適當(dāng)?shù)难诒?，以便金屬?dǎo)電膜60不致覆蓋在上述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212上。
另外在本實(shí)施形態(tài)2中，采用激光加工方法形成金屬電極部222、232時(shí)，也可以并行地進(jìn)行該透明電極部221、231的退火處理。即，也可以一邊用第一激光對(duì)透明電極部221、231進(jìn)行圖形刻蝕，一邊在透明電極部221、231(或透明導(dǎo)電膜50)的退火處理時(shí)使用第二激光。在此情況下，由于例如透明電極部221、231(或透明導(dǎo)電膜50)中的SnO2晶粒直徑生長(zhǎng)約4倍，所以能獲得提高與金屬電極部222、232(或金屬導(dǎo)電膜60)的附著性的效果。
具體地說(shuō)，通過(guò)該退火處理，透明電極部221、231的制作中與耐壓不良有關(guān)的成品率從以往的約80％提高到約96％左右。
另外，這時(shí)由于透明電極部221、231所具有的透明性等原因，第二激光的強(qiáng)度最好比金屬電極部222、232的退火處理高大約30％的強(qiáng)度。
<其他實(shí)施形態(tài)的變形例>
其次，說(shuō)明幾個(gè)除了上述的兩個(gè)實(shí)施形態(tài)以外的本發(fā)明的應(yīng)用例。
(變形例1)圖9是表示根據(jù)本變形例的PDP的制造方法制作的透明電極部221、231等的形態(tài)的前面板玻璃21的正視圖。如該圖所示，在本變形例1中，其特征在于用激光加工方法形成了透明電極部221、231后，調(diào)節(jié)其線路電阻值，根據(jù)該線路電阻值，對(duì)任意的透明電極部221、231進(jìn)行變化處理，補(bǔ)正其線路電阻值。
具體地說(shuō)，用第一激光加工覆蓋在前面板玻璃21的表面上的透明導(dǎo)電膜50，形成透明電極部221、231(另外使在圖9中形成的透明電極部221、231的形狀呈直線狀，以便容易理解)。這里，雖然只用第一激光形成一對(duì)顯示電極22、23的間隙36、以及相鄰的兩對(duì)顯示電極22、23的間隙37，但形成相鄰的兩對(duì)顯示電極22、23的間隙37時(shí)，使第一激光沿x方向連續(xù)掃描數(shù)個(gè)行程來(lái)形成。
然后，使探測(cè)器301a、301b接觸以形成的透明電極部221、231沿x方向的兩端部，利用連接在該探測(cè)器301a、301b上的眾所周知的線路電阻測(cè)定器(圖中未示出)，測(cè)定透明電極部221、231的線路電阻值。探測(cè)器301a、301b固定在激光發(fā)射器導(dǎo)軌101一側(cè)，線路電阻測(cè)定器預(yù)先與激光加工機(jī)100的控制部(例如PC(個(gè)人計(jì)算機(jī))型輸入終端機(jī))連接。另外將比較用的標(biāo)準(zhǔn)值預(yù)先存儲(chǔ)在輸入終端機(jī)(圖中未示出)的存儲(chǔ)部中，在該輸入終端機(jī)中，將由線路電阻測(cè)定器獲得的透明電極部221、231的線路電阻值逐次與上述標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較。然后，補(bǔ)正通過(guò)該比較算出的任意的透明電極部221、231的線路電阻值的偏差，所以根據(jù)上述偏差的程度，對(duì)輸入終端機(jī)設(shè)定適當(dāng)?shù)牡诙す獾膹?qiáng)度，使第二激光照射作為對(duì)象的透明電極部221、231。因此能改變處理透明電極部221、231，能補(bǔ)正線路電阻值，能制造驅(qū)動(dòng)時(shí)呈均勻顯示特性的PDP。
即在本變形例1中，并行地進(jìn)行用第一激光進(jìn)行的各透明電極部221、231的形成；對(duì)該形成的各透明電極部221、231的線路電阻的測(cè)定；以及根據(jù)由該電阻測(cè)定獲得的測(cè)定值，用第二激光進(jìn)行各透明電極部221、231的電阻值的補(bǔ)正。
如果采用該變形例1，具體地說(shuō)，例如以往形成后的各透明電極部221、231的線路電阻值的平均值約為1.0kΩ，其離散度σ約為17％，但通過(guò)該線路電阻值的補(bǔ)正，線路電阻值的平均值能改善為約0.5kΩ，其離散度σ改善為約7％。
(變形例2)圖10是表示根據(jù)本變形例2的PDP的制造方法制作的透明電極部221、231等的形態(tài)的前面板玻璃21的正視圖。在上述的變形例1中給出了一邊形成透明電極部221、231，一邊調(diào)整所形成的透明電極部221、231的線路電阻值的例，但在本變形例2中，其特征在于用CCD攝像機(jī)調(diào)整所形成的透明電極部221、231的細(xì)部形狀，修補(bǔ)(修改)有問(wèn)題的地方。
具體地說(shuō)，如圖10中的前面板玻璃21的正視圖所示，形成了透明電極部221、231后，用固定在激光發(fā)射器導(dǎo)軌101一側(cè)的CCD攝像機(jī)70，對(duì)透明電極部221、231進(jìn)行攝像，將獲得的透明電極部221、231的圖像取入連接在激光加工機(jī)100的控制部上的PC型輸入終端機(jī)中，進(jìn)行眾所周知的PM(模式匹配)處理。然后，用第二激光照射通過(guò)PM處理檢測(cè)到的透明電極部221、231的形狀有問(wèn)題的地方(例如不好的微細(xì)的凹凸部分等)進(jìn)行補(bǔ)正。
如果采用這樣的變形例2，則能減少花費(fèi)在PDP的制造工序上的時(shí)間及工序數(shù)，而且能制作抑制了形狀上的離散的具有品質(zhì)均勻的透明電極部221、231的PDP。
(變形例3)圖11是表示根據(jù)本變形例3的PDP的制造方法制作的透明電極部221、231等的形態(tài)的前面板玻璃21的正視圖。本變形例3基本上與變形例1相同，用激光加工方法形成了透明電極部221、231后，調(diào)節(jié)其線路電阻值，根據(jù)該線路電阻值，對(duì)任意的透明電極部221、231進(jìn)行變化處理，補(bǔ)正線路電阻值，但其特征在于在該一系列工序中，將掩模300部分地覆蓋在前面板玻璃21的表面上。
即，本變形例3是在利用濺射法等將透明導(dǎo)電膜60覆蓋在前面板玻璃21上的情況下，在知道即使將該透明導(dǎo)電膜60覆蓋在前面板玻璃21上后也要除去的前面板玻璃21上的區(qū)域上，在實(shí)施上述濺射法之前預(yù)先設(shè)置掩模300，合理地減少透明導(dǎo)電膜50的覆蓋面積。因此，能期待簡(jiǎn)化激光加工程序、縮短花費(fèi)在上述加工上的時(shí)間、改善成品率的效果。
另外透明導(dǎo)電膜殘留部250是為了形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212而形成透明導(dǎo)電膜50的部分，在不需要形成該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212的情況下，在透明導(dǎo)電膜殘留部250的部分也設(shè)置掩模300。
這樣的掩模300的規(guī)格也可以用于實(shí)施形態(tài)1及2、變形例1及2等中。
另外，作為其他的變形例，也可以通過(guò)照射第一激光，形成透明電極部221、231或金屬電極部222、232，使第二激光照射上述形成的透明電極部221、231或金屬電極部222、232，用眾所周知的激光顯微鏡捕捉反射的第二激光，檢查透明電極部221、231或金屬電極部222、232。
<關(guān)于用激光加工方法形成的透明電極部的剖面形狀>
作為一例，圖12(a)是表示根據(jù)上述變形例1的PDP的制造方法制作的各透明電極部221、231等的形態(tài)的前面板玻璃21的面板剖面方向(z方向)剖面圖。
即在圖12(a)中，透明電極部221、231在其寬度方向的端部80a、80b處呈向上鼓起的形狀。更詳細(xì)地說(shuō)，上述端部80a、80b被加工成銳的角度的角部，呈圓滑的形狀。已知如果在透明電極材料中使用ITO，則能形成這樣的形狀。
另外，這里所謂“圓滑的形狀”，并非指真正的球形，而是指與銳角(90°以下的角度)不同、包括具有鈍角(超過(guò)90°的角度)形狀的概念的形狀。
其次，圖12(b)所示的形狀在端部81a、81b處，在圖中z方向上部(作為PDP，后面板26一側(cè))呈向上鼓起的非銳的角度的角部的圓滑的形狀。已知如果在透明電極材料中使用SnO2，則能形成這樣的形狀。
另外，圖12(c)所示的形狀是端部82a、82b從前面板玻璃21的xy平面開(kāi)始朝向圖中z方向上部(作為PDP，后面板26一側(cè))垂直豎起，在其上部呈向上鼓起的非銳的角度的角部的圓滑的形狀。這樣的圖12(c)中的端部82a、82b的形狀是對(duì)上述圖12(a)(b)中的形狀再加工獲得的。將在后面說(shuō)明加工成這些形狀的方法。
這樣，由于在透明電極部221、231上形成12(a)～(c)中的任意一種端部80a～82a、80b～82b，所以能獲得下述效果。
即，一般說(shuō)來(lái)，面放電用的電場(chǎng)在面向多對(duì)顯示電極22、23的形狀中容易集中在呈角狀的部分，面放電時(shí)在該多對(duì)顯示電極22、23的角狀部分附近電場(chǎng)部分地增大，容易發(fā)生異常放電。
與此相反，如上所述，在透明電極部221、231上設(shè)置端部80a～82a、80b～82b等，面向放電空間38的各顯示電極22、23的形狀不呈角狀，所以在角狀部分能抑制在放電空間38中發(fā)生的電場(chǎng)在中心部分過(guò)剩。因此，能防止異常放電的發(fā)生，以及防止在電介質(zhì)層24中發(fā)生絕緣破壞。
另外，由于端部80a～82a、80b～82b比透明電極部221、231的寬度方向中央部分高而向上鼓起(即，覆蓋端部80a～82a、80b～82b的電介質(zhì)層24的厚度變薄)，所以能降低面放電開(kāi)始時(shí)或維持放電時(shí)的電壓。
具體地說(shuō)，在透明電極部221、231的平均厚度為0.1～0.13微米左右的情況下，假設(shè)端部80a～82a、80b～82b的上述圓形部分的半徑為0.05～0.1微米，可知端部80a～82a、80b～82b的效果是明顯的。
如上所述，例如采用激光加工方法加工覆蓋在前面板玻璃21上的透明導(dǎo)電膜50，能形成具有端部80a、81a、80b、81b等的透明電極部221、231。就是說(shuō)被激光照射的區(qū)域的透明導(dǎo)電膜50被高溫加熱而蒸發(fā)汽化，但進(jìn)行蒸發(fā)汽化的周邊的透明導(dǎo)電膜50利用上述高溫而熔融，由于表面張力的作用而呈圓形向上鼓起。因此通過(guò)適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)激光的強(qiáng)度(具體地說(shuō)，設(shè)定為比使透明導(dǎo)電膜50蒸發(fā)汽化的強(qiáng)度大一些的強(qiáng)度)，該激光加工程序的實(shí)施成為可能。
這里，圖12(c)中的端部82a、82b可以用圖13所示的方法形成。在圖13中，作為一例示出了以圖12(a)中形成的端部80a、80b為基礎(chǔ)，形成端部82a、82b的方法。
具體地說(shuō)，將光致抗蝕劑70覆蓋在利用激光加工方法形成了具有端部80a、80b的透明電極部221、231的前面板玻璃21上(圖13(a))。
接著將具有一定圖形(這里是將一對(duì)顯示電極的間隙和相鄰的兩對(duì)顯示電極的間隙以外的部分掩蔽起來(lái)的圖形)的掩模80放置在上述前面板玻璃21上，曝光后，用堿性溶液處理未掩蔽的部分的光致抗蝕劑70(圖13(b))。
其次，將用堿性溶液處理過(guò)的光致抗蝕劑70以外的部分洗掉，將全部光致抗蝕劑70從前面板玻璃21上除去(圖13(c))。
因此，能形成圖12(c)所示的有端部82a、82b的透明電極部221、231。圖12(c)中的端部82a、82b由于其邊緣部分加工成陡峭狀，所以在形成特別精密形狀的透明電極部221、231等情況下(單元尺寸小的情況下)有效。
另外，利用將強(qiáng)度不同的第一激光和第二激光(例如使第二激光的強(qiáng)度比第一激光弱一些)組合起來(lái)的激光加工方法，也可以制作上述各端部80a～82a、80b～82b以外的端部。其中也可以例如基本上用第一激光制作各透明電極部221、231，然后使第二激光部分地照射各透明電極部221、231。
另外，不需要在全部透明電極部221、231的兩端設(shè)置端部80a～82a、80b～82b等，至少在一對(duì)顯示電極22、23的間隙中只設(shè)置端部80a～82a即可。
<其他事項(xiàng)>
在實(shí)施形態(tài)中雖然給出了使用YAG激光(波長(zhǎng)1.06微米)的例，但除此以外也可以使用受激準(zhǔn)分子激光、氣體激光等各種激光。另外激光的波長(zhǎng)也不限定于1.06微米，也可以適當(dāng)?shù)貫?.53微米、0.25微米等其他波長(zhǎng)。
另外，在實(shí)施形態(tài)1中，在說(shuō)明利用激光加工方法形成透明電極部221、231時(shí)，作為透明導(dǎo)電膜50的制作方法，雖然給出了使用CVD法等的例，但除此以外也可以適當(dāng)?shù)厥褂脼R射法或印刷法等。這些方法在形成金屬電極部222、232時(shí)也一樣。
另外，作為透明導(dǎo)電膜50的材料，除了SnO2-SbO3系列透明導(dǎo)電材料以外，也可以使用SnO2-F系列、InGaZnO4系列、Cd2SnO4系列、In2O3-SnO3系列、GaInO3系列、ZnO-GeO系列、以及其他一般已知的透明導(dǎo)電材料中的任意一種。
另外，作為金屬導(dǎo)電膜60的材料，雖然給出了使用銀材料或Cr-Cu-Cr材料等的例，但也可以使用除此以外的金屬導(dǎo)電材料。但可以認(rèn)為實(shí)施形態(tài)2主要是在將銀材料用于金屬電極部222、232中的情況下效果好。
另外，在各實(shí)施形態(tài)及變形例中，雖然一對(duì)顯示電極22、23是由透明電極部221、231和金屬電極部222、232構(gòu)成的，但也可以利用濺射法等將金屬導(dǎo)電膜60直接覆蓋在前面板玻璃21的全部表面上，對(duì)其施以激光加工方法，形成金屬電極部222、232，用該金屬電極部222、232構(gòu)成一對(duì)顯示電極(即沒(méi)有透明電極部221、231的一對(duì)顯示電極)。
另外在實(shí)施形態(tài)1中，雖然給出了在前面板玻璃21上覆蓋了透明導(dǎo)電膜50后，形成透明電極部221、231，接著形成金屬電極部222、232的例，但也可以將透明導(dǎo)電膜50和金屬導(dǎo)電膜60依次覆蓋在前面板玻璃21上，利用光刻法等形成金屬電極部222、232后，用激光加工方法形成透明電極部221、231。
另外，雖然在各實(shí)施形態(tài)中給出了形成具有凸部的多對(duì)顯示電極22、23的例，在實(shí)施形態(tài)的變形例中給出了形成線狀多對(duì)顯示電極22、23的例，但也可以這樣形成上述凸部，例如使多個(gè)橢圓狀的激光點(diǎn)的長(zhǎng)軸方向的光點(diǎn)部分一邊發(fā)生若干重疊，一邊進(jìn)行脈沖激光掃描，對(duì)透明電極部221、231進(jìn)行激光加工，也能形成上述凸部。另外，顯示電極的形狀不限定于備有凸部的形狀，也可以適當(dāng)?shù)馗淖兂蛇m合于單元尺寸等的性質(zhì)。這樣在改變多對(duì)顯示電極22、23的形狀的情況下，具體地說(shuō)也可以改變激光頭的開(kāi)口的形狀。
這里，在通過(guò)變更實(shí)施形態(tài)中使用的開(kāi)口1031、1041的形狀，來(lái)改變激光點(diǎn)的形狀的情況下，如果設(shè)定開(kāi)口來(lái)獲得長(zhǎng)方形的激光點(diǎn)，則可以考慮沿xy方向連接多個(gè)激光點(diǎn)，能進(jìn)行幅度較寬的激光加工。
另外，雖然給出了在透明導(dǎo)電膜50的激光加工程序中，在前面板玻璃21的縱向上下形成十字型的反轉(zhuǎn)型對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記212的例，但對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的形狀和形成位置當(dāng)然不限定于實(shí)施形態(tài)中說(shuō)明的內(nèi)容，可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?。另外?duì)準(zhǔn)標(biāo)記也可以用于前面板玻璃21和后面板玻璃的對(duì)準(zhǔn)，透明電極部221、231和金屬電極部222、232的對(duì)準(zhǔn)。
另外，雖然給出了將透明導(dǎo)電膜50覆蓋在前面板玻璃21的全部表面上，利用激光加工方法在它上面形成多對(duì)透明電極部221、231等的例，但也可以對(duì)例如引出電極部形成區(qū)域等不需要覆蓋透明導(dǎo)電膜50的區(qū)域預(yù)先施以掩蔽，然后采用CVD法或?yàn)R射法等各種方法形成透明導(dǎo)電膜50。
另外，雖然主要說(shuō)明了利用激光加工方法形成透明電極部221、231、利用光刻法形成金屬電極部222、232的例、以及利用印刷法形成透明電極部221、231、利用激光加工方法形成金屬電極部222、232的例，但本發(fā)明不限定于這些制作方法，也可以利用激光加工方法形成透明電極部221、231和金屬電極部222、232兩者中的至少一者。但在只用金屬材料形成多對(duì)顯示電極22、23的情況下，需要實(shí)施激光加工程序。
另外在實(shí)施形態(tài)中，雖然給出了激光發(fā)射器102中備有第一激光頭1030、第二激光頭1040，利用各激光頭1030、1040同時(shí)或逐次地實(shí)施激光加工程序的例，但也可以在可能的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)馗淖兗す饧庸こ绦虻捻樞?一對(duì)顯示電極的間隙的制作、以及相鄰的兩對(duì)顯示電極的間隙的制作等)。
另外在實(shí)施形態(tài)中，雖然給出了關(guān)于激光加工程序的各種數(shù)值(激光點(diǎn)的尺寸和沿xy方向的移動(dòng)距離)等的具體例，但本發(fā)明當(dāng)然不受這些限制，也可以適應(yīng)于所制造的PDP的尺寸等進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?br> 另外，在激光加工程序中，相鄰的激光點(diǎn)也可以多少有些重疊。因此，一個(gè)行程的激光加工能不間斷地進(jìn)行。但是在此情況下，需要考慮激光點(diǎn)重疊部分的尺寸，設(shè)定開(kāi)口或激光點(diǎn)的形狀。
另外，在各實(shí)施形態(tài)中雖然給出了使來(lái)自兩個(gè)激光頭1030、1040的兩束激光并行地進(jìn)行激光加工程序的例，但發(fā)出各激光的激光頭既可以是一個(gè)，也可以是三個(gè)以上。在只使用一個(gè)激光頭的情況下，適時(shí)地使用多個(gè)開(kāi)口即可。另外在使用多個(gè)激光頭的情況下，如實(shí)施形態(tài)所示，最好設(shè)定能發(fā)出激光點(diǎn)的形狀、激光點(diǎn)的尺寸、激光強(qiáng)度等各種條件下性質(zhì)不同的多種激光，能更迅速地進(jìn)行多對(duì)顯示電極22、23的形成、線路電阻值的補(bǔ)正和細(xì)部形狀的修補(bǔ)等各種多對(duì)顯示電極22、23的修改。
工業(yè)上利用的可能性如果采用本發(fā)明的等離子體顯示面板的制造方法，則能將以往制作多對(duì)顯示電極22、23時(shí)采用的光刻法等的制造工序中的幾個(gè)工序換成激光加工程序。激光加工程序例如與光刻法等相比，能用特別少的工序和短的時(shí)間進(jìn)行。因此在等離子體顯示面板的制造工序中，能提高產(chǎn)品的成品率，對(duì)降低產(chǎn)品的成本能做出良好的貢獻(xiàn)。
另外激光加工程序與光刻法等的程序相比，廢氣和廢液等的發(fā)生非常少。因此，比以往能抑制使用過(guò)的光致抗蝕劑和刻蝕等的廢液的發(fā)生，能有效地減少環(huán)境污染。
另外本發(fā)明的PDP由于在前面板玻璃面上備有面板位置對(duì)齊用或透明電極部和金屬電極部的位置對(duì)齊用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，所以能使前面板玻璃一側(cè)和后面板玻璃一側(cè)、或透明電極部和金屬電極部精確地組合起來(lái)，能充分地發(fā)揮所設(shè)計(jì)的本來(lái)的性能。
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示面板的制作方法，該方法備有在第一板的主面上形成平行于縱向并列設(shè)置的多對(duì)顯示電極的顯示電極形成步驟；以及使形成了多對(duì)顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)齊并粘接起來(lái)的板粘接步驟，其特征在于在顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，用激光部分地加工該顯示電極材料，形成上述多對(duì)顯示電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將透明電極部材料覆蓋在第一板的主面上，用激光加工該覆蓋的透明電極部材料并作成透明電極部后，通過(guò)將金屬電極部材料覆蓋在第一板的主面上形成金屬電極部以便與該透明電極部導(dǎo)電性接觸，形成上述多對(duì)顯示電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將透明電極部材料覆蓋在第一板的主面上，用激光加工該透明電極部材料并形成透明電極部和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記后，通過(guò)利用該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與透明電極部對(duì)準(zhǔn)地將金屬電極部材料覆蓋在第一板的主面上，形成金屬電極部，形成上述多對(duì)顯示電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將透明電極部材料覆蓋在第一板的主面上，將金屬電極部材料覆蓋在該已覆蓋的透明電極部材料上形成了金屬電極部后，通過(guò)用激光加工該透明電極部材料形成透明電極部，形成上述多對(duì)顯示電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將透明電極部材料和金屬電極部材料依次覆蓋在第一板的主面上，用激光依次加工已覆蓋的金屬電極部材料和透明電極部材料，形成上述多對(duì)顯示電極。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將金屬材料用作顯示電極材料，將該金屬材料覆蓋在第一板的主面上，通過(guò)用激光部分地加工已覆蓋的金屬材料，形成上述多對(duì)顯示電極。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，通過(guò)對(duì)上述顯示電極材料的激光加工，在第一板的主面上與上述多對(duì)顯示電極一起形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在上述板粘接步驟中，利用上述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，將第一板的主面和第二板的主面對(duì)準(zhǔn)后粘接起來(lái)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是用激光加工已覆蓋在第一板的主面上的顯示電極材料形成的反轉(zhuǎn)標(biāo)記。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記是十字型的反轉(zhuǎn)標(biāo)記。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，用激光加工該顯示電極材料，形成上述多對(duì)顯示電極、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記、以及在第一板的主面上的顯示電極的縱向兩端部分附近形成多個(gè)引出電極部形成區(qū)域，在上述板粘接步驟中，利用上述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，將第一板的主面和第二板的主面對(duì)準(zhǔn)后粘接起來(lái)。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將透明電極材料覆蓋在第一板的主面上，不用激光加工而留下覆蓋在除多對(duì)透明電極部的形成部分外的上述主面的外周部上的透明電極材料。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，只將顯示電極材料覆蓋在比第一板的主面的面積窄、而且具有顯示電極的縱向以上的長(zhǎng)度的第一板的主面的區(qū)域上，用激光部分地加工該覆蓋的顯示電極材料，形成上述多對(duì)顯示電極。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將形成多對(duì)顯示電極的區(qū)域以外的第一板的主面掩蔽起來(lái)，將顯示電極材料只限于覆蓋在形成多對(duì)顯示電極的第一板的主面的區(qū)域上，用激光部分地加工該顯示電極材料，形成上述多對(duì)顯示電極。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將形成多對(duì)顯示電極和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的區(qū)域以外的第一板的主面掩蔽起來(lái)，將顯示電極材料只覆蓋在形成多對(duì)顯示電極和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第一板的主面的區(qū)域，用激光部分地加工該顯示電極材料，形成上述多對(duì)顯示電極和上述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
15.一種等離子體顯示面板的制造方法，該方法備有在第一板的主面上形成平行于縱向并列設(shè)置的多對(duì)顯示電極的顯示電極形成步驟；以及使形成了多對(duì)顯示電極的第一板的主面與平行地并列設(shè)置了多個(gè)地址電極的第二板的主面對(duì)齊，且使多對(duì)顯示電極和多個(gè)地址電極交叉地將第一板的主面和第二板的主面粘接起來(lái)的板粘接步驟，其特征在于在顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，通過(guò)使第一激光和第二激光并行地照射在顯示電極材料上，部分地加工顯示電極材料，形成多對(duì)顯示電極。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，通過(guò)使第一光點(diǎn)形狀的激光和與該第一光點(diǎn)形狀不同的第二光點(diǎn)形狀的激光照射顯示電極材料，形成多對(duì)顯示電極。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，在一對(duì)顯示電極和一條地址電極交叉的各個(gè)區(qū)域上，使一對(duì)顯示電極的形狀圖形單位的區(qū)域尺寸一致地形成多對(duì)顯示電極。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，照射顯示電極材料的第一光點(diǎn)形狀的激光和第二光點(diǎn)形狀的激光呈尺寸互不相同的長(zhǎng)方形。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，用照射顯示電極材料的第一光點(diǎn)形狀的激光形成一對(duì)顯示電極的間隙，用照射顯示電極材料的第二光點(diǎn)形狀的激光形成相鄰的兩對(duì)顯示電極的間隙。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，通過(guò)照射第一強(qiáng)度的激光和與第一強(qiáng)度不同的第二強(qiáng)度的激光，對(duì)覆蓋在第一板的主面上的顯示電極材料部分地進(jìn)行加工，形成多對(duì)顯示電極。
21.一種等離子體顯示面板的制造方法，該方法備有在第一板的主面上形成平行于縱向并列設(shè)置多對(duì)成對(duì)的顯示電極的顯示電極形成步驟；以及將形成了顯示電極的第一板的主面與使多個(gè)地址電極和多個(gè)隔壁互相平行地并列設(shè)置的第二板的主面對(duì)齊并粘接起來(lái)的板粘接步驟，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，將顯示電極材料覆蓋在第一板的主面上，使第一激光和第二激光并行地照射在該覆蓋的顯示電極材料上，一邊用第一激光部分地加工顯示電極材料，形成多對(duì)顯示電極，一邊用第二激光修補(bǔ)所形成的多對(duì)顯示電極。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，用第一強(qiáng)度的激光形成多對(duì)顯示電極，用激光顯微鏡捕捉第二強(qiáng)度的激光從包括上述多對(duì)顯示電極的第一板的主面的區(qū)域反射的激光，檢查各顯示電極的形狀。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，用第一激光形成多對(duì)顯示電極，用第二激光修補(bǔ)上述形成的多對(duì)顯示電極的形狀。
24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的等離子體顯示面板的制造方法，其特征在于在上述顯示電極形成步驟中，在第一板的主面上形成透明電極部，將金屬電極部材料覆蓋在包括該形成的透明電極部的第一板的全部表面上后，使第一激光照射在該金屬電極部材料上，形成金屬電極部，照射上述第二激光，調(diào)整金屬電極部的電阻值。
25.一種等離子體顯示面板，它是使平行于縱向并列地設(shè)置了多對(duì)成對(duì)的顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)齊并粘接起來(lái)構(gòu)成的等離子體顯示面板，其特征在于備有在第一板的主面和第二板的主面兩者中的至少一者上通過(guò)激光加工形成的面板位置重合用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
26.一種等離子體顯示面板，它是使平行于縱向并列地設(shè)置了多對(duì)使透明電極部和金屬電極部導(dǎo)電性地接觸的成對(duì)的顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)齊并粘接起來(lái)構(gòu)成的等離子體顯示面板，其特征在于備有在第一板的主面上通過(guò)激光加工形成的透明電極部和金屬電極部位置重合用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
27.一種等離子體顯示面板，它是使平行于縱向并列地設(shè)置了多對(duì)備有透明電極部的顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)齊構(gòu)成的等離子體顯示面板，其特征在于以一對(duì)顯示電極的間隙相對(duì)的各透明電極部的寬度方向端部朝向第二板的剖面形狀呈圓形。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的等離子體顯示面板，其特征在于上述各透明電極部的寬度方向端部朝向第二板的剖面形狀與該各透明電極部的寬度方向中央部分附近相比，沿透明電極部的厚度方向向上鼓起，且呈圓形。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的等離子體顯示面板，其特征在于利用激光加工方法，使上述各透明電極部的寬度方向端部朝向第二板的剖面形狀呈圓形。
30.一種等離子體顯示面板，它是使平行于縱向并列地設(shè)置了多對(duì)備有透明電極部的顯示電極的第一板的主面與第二板的主面對(duì)齊的等離子體顯示面板，其特征在于各透明電極部的寬度方向兩端部朝向第二板的剖面形狀呈圓形。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的等離子體顯示面板，其特征在于上述各透明電極部的寬度方向端部朝向第二板的剖面形狀與該各透明電極部的寬度方向中央部分附近相比，沿透明電極部的厚度方向向上鼓起，且呈圓形。
32.根據(jù)權(quán)利要求30所述的等離子體顯示面板，其特征在于利用激光加工方法，使各透明電極部的寬度方向兩端部朝向第二板的剖面形狀呈圓形。
全文摘要
本發(fā)明作為PDP的制造方法,備有在前面板玻璃面上形成平行于縱向并列設(shè)置的多對(duì)顯示電極的顯示電極形成步驟;以及使形成了多對(duì)顯示電極的前面板玻璃面與后面板玻璃面對(duì)齊,并粘接起來(lái)的板粘接步驟,在顯示電極形成步驟中,將顯示電極材料覆蓋在前面板玻璃面上,用激光部分地加工該顯示電極材料,形成上述多對(duì)顯示電極,由于將激光加工方法引入多對(duì)顯示電極的制作工序中,所以與以往相比,能使花費(fèi)在制作工序上的手續(xù)和時(shí)間特別合理。另外,如果在激光加工程序中使用備有多個(gè)激光頭的激光加工機(jī)100,則一邊形成多對(duì)顯示電極22、23(或透明電極部221、231或金屬電極部222、232中的至少一者),一邊同時(shí)或逐次地進(jìn)行退火處理、電阻值補(bǔ)正處理、形狀修補(bǔ)處理等修改,能實(shí)施更迅速且合理的等離子體顯示面板的制造方法。另外本發(fā)明作為一種PDP是這樣構(gòu)成的,即,使透明電極部和金屬電極部導(dǎo)電性地接觸構(gòu)成一對(duì)顯示電極,使沿縱向平行并列地設(shè)置了多對(duì)上述一對(duì)顯示電極的前面板玻璃面與后面板玻璃面對(duì)齊并粘接起來(lái)構(gòu)成PDP,在該P(yáng)DP中在前面板玻璃面上設(shè)有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,用來(lái)使利用激光加工形成的透明電極部和金屬電極部的位置對(duì)齊。因此能制造一種使前面板玻璃一側(cè)和后面板玻璃一側(cè)、或者使透明電極部和金屬電極部精確地組合起來(lái),能充分地發(fā)揮所設(shè)計(jì)的本來(lái)的性能的PDP。
文檔編號(hào)H01J9/02GK1307728SQ9980798
公開(kāi)日2001年8月8日 申請(qǐng)日期1999年4月28日 優(yōu)先權(quán)日1998年4月28日
發(fā)明者田中博由, 青木正樹(shù), 日比野純一, 高田祐助, 長(zhǎng)尾宣明, 井上勇, 藤原伸也, 船見(jiàn)浩司, 岡田敏幸 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社