一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，所述晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)至少包括：光線擴散燈頭、光纖軟管以及光源裝置；所述光線擴散燈頭設(shè)置在所述光纖軟管的出射端；所述光纖軟管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、鎖緊套以及緊固件，所述光纖軟管穿套于所述鎖緊套內(nèi)并由所述緊固件夾緊固定；所述光源裝置設(shè)置在所述光纖軟管入射端，所述光源裝置包括底座、多種發(fā)光源以及開光裝置，通過所述開光裝置控制所述光源裝置中所需發(fā)光源發(fā)出光線，并使光線沿著所述光纖軟管，照射到待檢晶圓上。本實用新型通過固定支架，實現(xiàn)燈頭的固定和角度調(diào)節(jié)；通過光源裝置提供不同的發(fā)光源，便于檢測出不同缺陷；再通過燈頭的光線發(fā)散特性，增大光源的照射區(qū)域。
【專利說明】
一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種顯微鏡，特別是涉及一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體業(yè)界內(nèi)晶圓出貨宏觀目檢都是依靠光學(xué)顯微鏡聚光燈進行，以檢測出缺陷，但是目前業(yè)界所使用的顯微鏡聚光燈均存在以下問題:
[0003]1、聚光燈的光纖被安裝在由鋁合金制成的軟管里，當操作人員對晶圓進行宏觀目檢時，為了能清楚的檢測到缺陷，需手動調(diào)節(jié)光纖軟管的角度和長度以達到最佳效果。這樣，在操作過程中容易發(fā)生燈頭下墜碰到晶圓，從而導(dǎo)致晶圓刮傷甚至破片。
[0004]2、聚光燈的燈光是通過鹵素光纖進行發(fā)光的，但是鹵素光纖發(fā)出來的光線比較集中，只能覆蓋到晶圓晶面或晶背的一小部分區(qū)域，易造成缺陷漏檢的情況。
[0005]3、目前聚光燈只能提供單一的光源，但是對于晶圓而言，不同的產(chǎn)品有不同的感光度，如果只是通過單一光源進行宏觀目檢，很可能造成某些缺陷不易被發(fā)現(xiàn)。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中燈頭易掉落刮傷晶圓、燈光過于集中導(dǎo)致照射面積小以及光源單一導(dǎo)致某些缺陷不易檢出等問題。
[0007]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，所述晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)至少包括:光線擴散燈頭、光纖軟管以及光源裝置；
[0008]所述光線擴散燈頭設(shè)置在所述光纖軟管的出射端；
[0009]所述光纖軟管由一固定支架所固定，所述固定支架包括:固定柱、套緊在所述固定柱上的至少一個鎖緊套以及設(shè)置在每個鎖緊套上的緊固件，所述光纖軟管穿套于所述鎖緊套內(nèi)并由所述緊固件夾緊固定；
[0010]所述光源裝置設(shè)置在所述光纖軟管入射端，所述光源裝置包括底座、設(shè)置在所述底座上的多種發(fā)光源以及與所述底座相連的開光裝置，通過所述開光裝置控制所述光源裝置中所需發(fā)光源發(fā)出光線，并使光線沿著所述光纖軟管，照射到待檢晶圓上。
[0011]作為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述光線擴散燈頭為上下底面開口且內(nèi)部空心的棱臺體或棱錐體。
[0012]作為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述固定柱上固定有兩個鎖緊套，用于夾緊固定所述光纖軟管。
[0013]作為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，其中一個鎖緊套固定于所述光纖軟管上距離所述光線擴散燈頭20?28cm處，另一個鎖緊套固定于所述光纖軟管上距離所述光線擴散燈頭45?53cm處。
[0014]作為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述緊固件為螺栓組件。
[0015]作為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述光源裝置的底座為可旋轉(zhuǎn)式底座。
[0016]作為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述光纖軟管具有透光孔，所述開光裝置控制可旋轉(zhuǎn)式底座進行旋轉(zhuǎn)，使所需發(fā)光源對準所述透光孔，發(fā)光源發(fā)出的光線穿過所述透光孔再沿著所述光纖軟管，照射到待檢晶圓上。
[0017]如上所述，本實用新型的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，具有以下有益效果:
[0018]1、通過所述固定支架，可以將所述光纖軟管的下半部分固定，光線發(fā)散燈頭的則可以自由扭動，這種結(jié)構(gòu)既能確保光線發(fā)散不碰到待檢晶圓的表面，又可以達到最佳角度來做宏觀目檢；
[0019]2、本實用新型的光源裝置具有多種發(fā)光源，可以根據(jù)缺陷對顏色敏感度的差別來選擇不同的發(fā)光源，便于檢測人員查找較小色差的缺陷，提高晶圓缺陷檢測的準確率和效率；
[0020]3、通過設(shè)置光線發(fā)散燈頭，使發(fā)光源發(fā)出的光線發(fā)散，加大光源發(fā)射處的面積，增強光源發(fā)散能力，從而在待檢晶圓上的照射區(qū)域，提高缺陷檢測率。
【附圖說明】
[0021]圖1顯示為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)中光源裝置、光纖軟管以及光線發(fā)散燈頭的不意圖。
[0022]圖2顯示為本實用新型晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)中的固定支架、光纖軟管以及光線發(fā)散燈頭的示意圖。
[0023]元件標號說明
[0024]I光線擴散燈頭
[0025]2光纖軟管
[0026]21透光孔
[0027]3光源裝置
[0028]31底座
[0029]32發(fā)光源
[0030]33開光裝置
[0031]4固定支架
[0032]41固定柱
[0033]42鎖緊套
[0034]43緊固件
[0035]5待檢晶圓
[0036]6載物臺
【具體實施方式】
[0037]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0038]請參閱圖1至圖2。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0039]如圖1圖2所示，本實用新型提供一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，所述晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)至少包括光線擴散燈頭1、光纖軟管2以及光源裝置3。
[0040]所述光線擴散燈頭I設(shè)置在所述光纖軟管2的出射端，檢測過程中，所述光線擴散燈頭2被設(shè)置在用于放置待檢晶圓5的載物臺6上方。光源發(fā)出的光線最終通過所述光線擴散燈頭I照射在待檢晶圓5的表面上，以便檢測人員進行目檢。所述光線擴散燈頭I可以為上下地面開口且內(nèi)部空心的棱臺體或棱錐體，當然，所述光線擴散燈頭I可以是其他任何能夠?qū)饩€起到擴散作用的結(jié)構(gòu)，在此不做限制。通過所述光線擴散燈頭I，可以將光線發(fā)散，增大照射在晶圓5表面的面積，避免由于光線集中，晶圓晶面或晶背的沒有完全被光線照射而造成缺陷漏檢的情況，提高晶圓缺陷的檢測率。
[0041]所述光纖軟管2為鋁合金材質(zhì)，長度大概為225cm，光纖被安裝在該軟管里。所述光纖軟管2由一固定支架4所固定，所述固定支架4包括固定柱41、至少一個鎖緊套42以及緊固件43。所述固定柱41可以固定在地面上，所述鎖緊套42套緊在所述固定柱41上，所述緊固件43則設(shè)置在每個鎖緊套42上。所述光纖軟管2穿套于所述鎖緊套42內(nèi)并由所述緊固件41夾緊固定。通過所述固定支架4可以將光纖軟管2固定住，而燈頭I部分可以自由扭動，這樣既可以保證燈頭不會下墜碰到晶圓5，又能調(diào)整燈頭I的照射角度至最佳觀察角度來進行目檢。
[0042]本實施例中，如圖2所示，所述固定柱41上固定有兩個鎖緊套42，用于夾緊固定所述光纖軟管2。優(yōu)選地，將其中一個鎖緊套42固定于所述光纖軟管2上距離所述光線擴散燈頭20?28cm處，另一個鎖緊套42固定于所述光纖軟管2上距離所述光線擴散燈頭45?53cm處。本實施例中，一個鎖緊套42固定于24cm處，另一個在49cm處，這樣可以有效地固定所述光纖軟管2。
[0043]本實施例中，所述緊固件43為螺栓組件。將所述光纖軟管2穿套于所述鎖緊套42中之后，擰緊螺栓組件，從而將所述光纖軟管2固定住。
[0044]所述光源裝置3設(shè)置在所述光纖軟管2的入射端，所述光源裝置3包括底座31、多種發(fā)光源32以及開關(guān)裝置33。所有的發(fā)光源32設(shè)置在所述底座31上，所述開光裝置33與所述底座31相連。
[0045]優(yōu)選地，所述光源裝置3的底座31為可旋轉(zhuǎn)式底座。所述光纖軟管2具有透光孔21，所述開光裝置33控制可旋轉(zhuǎn)式底座31進行旋轉(zhuǎn)，使所需發(fā)光源32對準所述透光孔21，發(fā)光源32發(fā)出的光線穿過所述透光孔21再沿著所述光纖軟管2，照射到待檢晶圓5上。
[0046]晶圓上不同的缺陷對不同顏色的光源的敏感性不同。通過在底座31上設(shè)置多種發(fā)光源32，再通過開關(guān)裝置33對底座31進行旋轉(zhuǎn)選擇合適的發(fā)光源32，可以有效檢出較小色差的缺陷，提高晶圓缺陷檢測的準確率。
[0047]綜上所述，本實用新型提供一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，所述晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)至少包括:光線擴散燈頭、光纖軟管以及光源裝置;所述光線擴散燈頭設(shè)置在所述光纖軟管的出射端;所述光纖軟管由一固定支架所固定，所述固定支架包括:固定柱、鎖緊套以及緊固件，所述光纖軟管穿套于所述鎖緊套內(nèi)并由所述緊固件夾緊固定;所述光源裝置設(shè)置在所述光纖軟管入射端，所述光源裝置包括底座、多種發(fā)光源以及開光裝置，通過所述開光裝置控制所述光源裝置中所需發(fā)光源發(fā)出光線，并使光線沿著所述光纖軟管，照射到待檢晶圓上。本實用新型通過固定支架，實現(xiàn)燈頭的固定和角度調(diào)節(jié);通過光源裝置提供不同的發(fā)光源，便于檢測出不同缺陷;在通過燈頭的發(fā)散特性，增大光源的照射區(qū)域。
[0048]所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0049]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)至少包括:光線擴散燈頭、光纖軟管以及光源裝置； 所述光線擴散燈頭設(shè)置在所述光纖軟管的出射端； 所述光纖軟管由一固定支架所固定，所述固定支架包括:固定柱、套緊在所述固定柱上的至少一個鎖緊套以及設(shè)置在每個鎖緊套上的緊固件，所述光纖軟管穿套于所述鎖緊套內(nèi)并由所述緊固件夾緊固定； 所述光源裝置設(shè)置在所述光纖軟管入射端，所述光源裝置包括底座、設(shè)置在所述底座上的多種發(fā)光源以及與所述底座相連的開光裝置，通過所述開光裝置控制所述光源裝置中所需發(fā)光源發(fā)出光線，并使光線沿著所述光纖軟管，照射到待檢晶圓上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述光線擴散燈頭為上下底面開口且內(nèi)部空心的棱臺體或棱錐體。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述固定柱上固定有兩個鎖緊套，用于夾緊固定所述光纖軟管。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于:其中一個鎖緊套固定于所述光纖軟管上距離所述光線擴散燈頭20?28cm處，另一個鎖緊套固定于所述光纖軟管上距離所述光線擴散燈頭45?53cm處。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述緊固件為螺栓組件。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述光源裝置的底座為可旋轉(zhuǎn)式底座。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓顯微鏡光源結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述光纖軟管具有透光孔，所述開光裝置控制所述可旋轉(zhuǎn)式底座進行旋轉(zhuǎn)，使所需發(fā)光源對準所述透光孔，發(fā)光源發(fā)出的光線穿過所述透光孔再沿著所述光纖軟管，照射到待檢晶圓上。
【文檔編號】H01L21/66GK205579258SQ201620386809
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年4月29日
【發(fā)明人】張學(xué)良, 高海林
【申請人】中芯國際集成電路制造(北京)有限公司, 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司