專利名稱：導(dǎo)線放電加工方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在導(dǎo)線電極和被加工物電極間隙之間發(fā)生放電對被加工物進(jìn)行加工的導(dǎo)線放電加工方法和裝置的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
放電加工作為模具等的加工技術(shù)確立了牢固的地位，并廣泛應(yīng)用在汽車產(chǎn)業(yè)、家電產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等的模具加工領(lǐng)域中。
圖4是放電加工的機(jī)械學(xué)說明圖，圖中1是電極、2是被加工物、3是電弧柱、4是加工液、5是放電加工生成的加工屑。重復(fù)以下(a)至(e)的周期(對應(yīng)圖4(a)至(e))，由被加工物的放電進(jìn)行去除加工。也就是說，(a)由放電發(fā)生的電弧柱3的形成，(b)由放電的熱能的局部溶融及加工液4的汽化，(c)加工液4的汽化爆發(fā)力的發(fā)生、(d)溶融部(加工屑5)的飛散、(e)由加工液冷卻、凝固電極間的絕緣恢復(fù)。
本發(fā)明是關(guān)于在放電加工中，剜加工、切割斷加工等使用的導(dǎo)線放電加工。導(dǎo)線放電加工尤其對高精度化要求高，例如使用于半導(dǎo)體業(yè)界等的高精度模具加工，要求1~2μm程度的高加工精度。
圖5是顯示導(dǎo)線放電加工的加工序序例子的說明圖。在圖中，1a是導(dǎo)線電極、2是被加工物、4a是加工液水、6是起始孔、圖5的(a)是粗加工的第一切割、圖5的(b)是粗加工后精加工的第二切割、圖5的(c)最終精加工的第三切割。
圖5的(a)中的第一切割加工例，示出了在起始孔6中通過導(dǎo)線電極1a、剜被加工物2的加工。因為在后加工時要做好表面光潔度和精度，所以在這樣的第一切割時，不要求怎么樣的表面光潔度和精度，這對于提高生產(chǎn)力特別是提高加工速度很重要。在導(dǎo)線放電加工中，為提高加工速度，和有效地進(jìn)行電極間的加工屑排出，要向電極間強(qiáng)力吹進(jìn)水4a。然后，除去水4a的水斑，為防止電極1a的斷線，采用在圖中沒有表示的加工槽里積累水4a浸漬被加工物2的方法。
在前述以往的導(dǎo)線放電加工中，第一切割(圖5的(a))后的第二切割(圖5的(b))以及第三切割(圖5的(c))等的加工都在加工液的水4a中進(jìn)行。
在導(dǎo)線電極1a和被加工物2的電極間加電壓，因為正極和負(fù)極互相有吸引力，所以由于這種靜電力，韌性小的導(dǎo)線電極1a被拉到被加工物2一側(cè)。這就成為導(dǎo)線電極1a振動的原因，存在由于這種振動使高精度加工變得困難的問題。
又，在由于放電能量發(fā)生加工液的汽化爆發(fā)力狀態(tài)下(例如圖4的(c))，導(dǎo)線電極1a，由于加工液的汽化爆發(fā)力向被加工物的反方向大力作用，產(chǎn)生振動。由于這種振動，在被加工物2的形狀中產(chǎn)生凹凸，有導(dǎo)致精度惡化的問題。
在作為導(dǎo)線放電加工的利用領(lǐng)域半導(dǎo)體業(yè)界中，例如IC引線框的模具等的加工，對于形狀精度1μm、表面光潔度1μmRma*以下的被加工物要求相當(dāng)?shù)母呔群头浅９饣谋砻娴耐瑫r需提高生產(chǎn)力增加必要的用途，尤其在這種用途中，因為上述導(dǎo)線電極的振動產(chǎn)生的問題更為顯著。
作為在這種液體中解決導(dǎo)線放電加工的問題的方法，在電極間不介入加工液，而在大氣中進(jìn)行導(dǎo)線放電加工，關(guān)于大氣中導(dǎo)線放電加工的技術(shù)揭示在(東京農(nóng)工大學(xué)安達(dá)他「根據(jù)大氣中放電加工的二切割的高精度化」、型技術(shù)、第14卷、第7號、1999年、154頁、日刊工業(yè)新聞社)。這個技術(shù)揭示了根據(jù)在大氣中導(dǎo)線的放電加工可以提高被加工物的垂直精度，雖然在高精度的觀點方面意義重大，但與在加工液中的加工相比容易發(fā)生導(dǎo)線電極和被加工物之間的短路，存在加工安定性及加工速度方面的問題、實用化方面有困難。
發(fā)明概述本發(fā)明的目的是能獲得實現(xiàn)導(dǎo)線放電加工的高精度化、高品質(zhì)化和生產(chǎn)力的提高的導(dǎo)線放電加工的方法及裝置。
本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工方法，在導(dǎo)線電極和被加工物的電極之間發(fā)生放電對所述被加工物進(jìn)行加工，包括在加工液中進(jìn)行粗加工的第1工序，在大氣中進(jìn)行精加工的第2工序，在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述第2工序中的導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度是一定的。
此外，本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工方法，在導(dǎo)線電極和被加工物的電極之間發(fā)生放電對所述被加工物進(jìn)行加工，包括在加工液中進(jìn)行粗加工的第1工序，在大氣中進(jìn)行精加工的第2工序，在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述第2工序中的導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度是可變的。
此外，本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工方法，上述可變的相對移動速度由單位時間內(nèi)正常脈沖數(shù)多時速度增加，單位時間內(nèi)正常脈沖數(shù)少時速度降低來控制。
此外，關(guān)于本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工方法，對所述短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度和放電集中發(fā)生頻率對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的頻率以下的規(guī)定速度進(jìn)行比較，控制所述相對移動速度，以便達(dá)到快的速度以上。
本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工裝置，由加工電力供給裝置向?qū)Ь€電極和被加工物的電極之間供給放電能量，由位置決定裝置使所述導(dǎo)線電極和被加工物相對移動，在大氣中對所述被加工物進(jìn)行加工，包括控制裝置，控制所述位置決定裝置，以便在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述導(dǎo)線電極和所述被加工物的相對移動速度是一定的。
此外，本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工裝置，由加工電力供給裝置向?qū)Ь€電極和被加工物的電極之間供給放電能量，由位置決定裝置使所述導(dǎo)線電極和被加工物相對移動，在大氣中對所述被加工物進(jìn)行加工，包括在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述導(dǎo)線電極和所述被加工物的相對移動速度是可變的。
此外，本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工裝置，包括控制裝置，控制所述可變的相對移動速度，以便在單位時間內(nèi)正常放電脈沖數(shù)多的場合速度增加，在單位時間內(nèi)正常放電脈沖數(shù)少的場合速度降低此外，本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工裝置，包括控制裝置，控制所述所述位置決定裝置，對所述短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度和放電集中發(fā)生頻率對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的頻率以下的規(guī)定速度進(jìn)行比較，使所述相對移動速度達(dá)到快的速度以上。
與本發(fā)明相關(guān)的導(dǎo)線放電加工方法和裝置因為有了上述結(jié)構(gòu)，所以能提高在大氣中導(dǎo)線放電加工的安定性和加工速度，從而達(dá)到實現(xiàn)導(dǎo)線放電加工的高精度化和高品質(zhì)化并同時提高生產(chǎn)力的效果。
圖面簡要說明

圖1表示與本發(fā)明實施形態(tài)相關(guān)的導(dǎo)線放電加工方法的一個例子的說明圖。
圖2表示與本發(fā)明實施形態(tài)相關(guān)的導(dǎo)線放電加工裝置構(gòu)成的說明圖。
圖3表示導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度與放電集中發(fā)生頻率的關(guān)系的圖。
圖4表示放電加工的機(jī)械學(xué)說明圖。
圖5表示導(dǎo)線放電加工的加工工序例子的說明圖。
實施發(fā)明的最佳形態(tài)圖1表示與本發(fā)明實施形態(tài)相關(guān)的導(dǎo)線放電加工方法的一個例子的說明圖，在圖中，1a是導(dǎo)線電極、2是被加工物、4a是作為加工液的水、6是起始孔、7是空氣等氣體、圖1的(a)是粗加工的第一切割、圖1的(b)是粗加工后精加工的第二切割。第一切割和第二切割的名稱是為了便利，導(dǎo)線放電加工未必要由二次加工結(jié)束。對于精度要求高的被加工物的加工，有時也可進(jìn)行7次8次加工。
其次，對加工方法的概要地進(jìn)行說明。圖1的(a)的第一切割，是在起始孔6上通導(dǎo)線電極1a，剜出被加工物的加工。在第一切割中，因為會在后加工中完成表面光潔度和精度的提高，所以不要求很嚴(yán)格的表面光潔度和精度，重要的是為了提高生產(chǎn)力尤其是加工速度，與背景技術(shù)的圖5相同，在電極間介入作為加工液的水4a進(jìn)行加工。
通常的導(dǎo)線放電加工，在第一切割以后，加工也在加工液中進(jìn)行，如在背景技術(shù)中顯示的，因為存在導(dǎo)線電極的振動等問題，不適合高精度的加工。本發(fā)明，在精加工中，電極間不介入加工液進(jìn)行加工，可改善被加工物的形狀精度和表面光潔度。
在圖1的精加工的第二切割中，為抑制導(dǎo)線電極1a的振動改善加工精度，不在加工液4a中加工，而在氣體7中進(jìn)行加工。因為氣體中的導(dǎo)線放電加工，如下所示可抑制導(dǎo)線電極1a的振動。
也就是說，在電極間加電壓時，因為作用于導(dǎo)線電極1a和被加工物2間的靜電力與電極間的導(dǎo)電率成比例，以相同的電極間的距離來計算，相比電極間的介質(zhì)為4a，電極間的介質(zhì)為氣體7時，上述靜電力為數(shù)十分之一(例如，感應(yīng)率在真空中最小，在水中約是真空的80倍)。此外，由于放電，氣化爆發(fā)力會在介入于電極間的液體中產(chǎn)生，而電極間只有氣體7的時候，導(dǎo)線電極1a幾乎不會受到氣化爆發(fā)力的影響。所以，可以抑制導(dǎo)線電極1a的振動等。
圖2表示與本發(fā)明實施形態(tài)相關(guān)的導(dǎo)線放電加工裝置的構(gòu)成的說明圖，圖1(b)所示的是氣體中實現(xiàn)導(dǎo)線放電加工的結(jié)構(gòu)例子。在圖2中，1a是導(dǎo)線電極、2是被加工物、7是例如空氣、氧氣、氮氣或惰性氣體等的氣體、8是線圈架、9a和9b是向?qū)Ь€電極1a和被加工物2的電極間供給氣體7的氣體供給裝置、10是輸帶輥、11是緊帶輪、12是為進(jìn)行被加工物2的水平方向(X方向)驅(qū)動的X工作臺，13是為進(jìn)行被加工物2的水平方向(Y方向)驅(qū)動的Y工作臺，14是控制驅(qū)動X工作臺的圖示中沒有的驅(qū)動馬達(dá)的X軸伺服放大器、15是控制驅(qū)動Y工作臺的圖示中沒有的驅(qū)動馬達(dá)的Y軸伺服放大器、16是加工電力供給裝置、17是控制裝置。
接著對動作進(jìn)行說明。用輸帶輥10和緊帶輪11夾住導(dǎo)線電極1a并牽引導(dǎo)線電極1a行駛、使導(dǎo)線電極1a與被加工物2相對、由氣體供給裝置9a和9b向?qū)Ь€電極1a和被加工物2電極間供給氣體7，向上述電極間由加工電力的裝置16供給放電能量的加工電力，由作為位置控制裝置的X工作臺12和Y工作臺13等使導(dǎo)線電極1a和被加工物2相對移動進(jìn)行被加工物2的精加工。包括了依照上述位置決定裝置的導(dǎo)線電極1a和被加工物2相對位置的決定控制及控制電加工條件等的控制裝置。氣體供給裝置9a和9b，可實現(xiàn)例如在導(dǎo)線電極1a周圍形成噴嘴的壓力氣體的供給等。這樣的將壓力氣體供給電極間，可防止由放電被除去的加工屑附著于導(dǎo)線電極和被加工物的表面。大氣中的放電加工也可不用這樣的氣體供給裝置9a和9b，在大氣中進(jìn)行。
如圖1(b)說明所示，因為大氣中的導(dǎo)線放電加工可抑制導(dǎo)線電極的振動等，所以可提高被加工物的形狀精度和表面光潔度，但是卻存在大氣中放電特有的問題。最大的問題是電極間距離狹窄。通常在加工液中的導(dǎo)線放電加工，由于電極間介入的加工屑等的影響，在發(fā)生放電時電極間的距離擴(kuò)大，而在大氣中導(dǎo)線放電加工時，因為加工屑幾乎不滯留在電極間，電極間距離變得狹窄。電極間距離狹窄一方面有優(yōu)化加工精度的好處，另一方面如背景技術(shù)中所示，有在導(dǎo)線電極和被加工物間容易短路的問題，短路的發(fā)生和繼續(xù)會導(dǎo)致加工面發(fā)生痕道和加工速度低下等。
也就是說，在大氣中導(dǎo)線放電加工時，一旦發(fā)生短路，大多會重復(fù)從同一場所進(jìn)去和出來，短路無法消除而導(dǎo)致在加工面上留下痕道。
必須要查明這種現(xiàn)象的原因，可以考慮以下①至③條推測原因。
①短路發(fā)生時不能加工，到短路剛發(fā)生前加工部分相對塌陷，短路的部分成為凸的形狀在加工面形成凹凸。因為短路電極倒轉(zhuǎn)，由電極間的平均電壓控制導(dǎo)線電極和被加工物的電極間距離即進(jìn)行電極間隨動時，因為上回剛短路前的部分被加工，所以電極間平均電壓變高上述相對移動速度變快。這種狀態(tài)一直到上回短路的部分，上述相對移動速度不能急劇降低而又發(fā)生短路。因為這種現(xiàn)象的重復(fù)所以在同一地點重復(fù)了短路。
②短路發(fā)生時，導(dǎo)線電極會溶化到被加工物上，把這種溶化部分拉開的話，在導(dǎo)線電極的行進(jìn)方向和垂直方向上導(dǎo)線電極會振動，因為這種振動無法減退，所以被加工物表面的凹凸和導(dǎo)線電極的短路會繼續(xù)。
③由于被加工物和導(dǎo)線電極的組合，被加工物因為放電加工被磁化，因為和導(dǎo)線電極吸引，短路無法解除。
可以考慮這樣的推測原因，無論如何，一定的場所導(dǎo)線電極停留一定的時間以上可以說是問題。
所以，關(guān)于本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工方法，在大氣中的放電加工中，使導(dǎo)線電極和被加工物在短路根據(jù)要求表面精度等的要求規(guī)格在預(yù)先設(shè)定時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上不相對移動來進(jìn)行加工。此外，這時的控制不啟動電極間的伺服，使導(dǎo)線電極和被加工物在上述規(guī)定速度以上經(jīng)常相對移動。
上述規(guī)定速度由被加工物的材質(zhì)和板厚、導(dǎo)線電極的材質(zhì)和直徑以及放電加工的電力條件等加工條件決定，被加工物的板厚越厚、導(dǎo)線電極的直徑越小、此外由放電加工的電力條件放電能量越小、有必要快，要根據(jù)被加工物的材質(zhì)和板厚、導(dǎo)線電極的材質(zhì)和直徑和放電加工的電力條件等加條件預(yù)先由實驗決定。
此外，導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度即可加工成上述規(guī)定速度以上的一定速度，也可成上述規(guī)定速度以上可變。上述相對移動速度在上述規(guī)定速度以上可變時，例如在每單位時間正常放電脈沖數(shù)多時速度上升，在每單位時間正常放電脈沖數(shù)少時速度下降，維持上述規(guī)定速度以上的上述相對移動速度如圖2控制裝置17來進(jìn)行控制。
此外，尤其是被加工物板厚厚時，被加工物的上端或下端容易發(fā)生集中放電。這主要有以下①至③理由。
①因為被加工物的上端或下端的邊緣容易發(fā)生放電，所以容易集中放電。
②大氣中的放電，在同一位置集中放電的話，會發(fā)現(xiàn)導(dǎo)線電極材料附著于被加工物的現(xiàn)象，這種導(dǎo)線電極對被加工物的附著會導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度。
③被加工物板厚厚時，因大多要設(shè)定導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度小，而助長了放電集中。
所以，為抑制被加工物板厚厚時放電集中，進(jìn)行讓導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度變化的實驗。圖3是顯示了被加工物板厚為100mm的鋼材時，導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度與放電集中發(fā)生頻率的關(guān)系圖，導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度加快時，在某一速度下放電集中發(fā)生頻率急劇下降，上述相對移動速度再加快，放電集中發(fā)生頻率到零，即可知道不再發(fā)生放電集中。
也就是說，被加工物板厚為100mm的鋼材時，在加工液中由放電加工的精加工通常使用導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度1mm/min，在大氣中由導(dǎo)線放電進(jìn)行的精加工時，幾乎確實在被加工物的上端或下端發(fā)生放電集中，提速上述相對移動速度到10mm/min時基本上看不到放電集中，進(jìn)一步提速上述相對移動速度到30mm/min時就完全看不到放電集中了。
這樣的放電集中頻率根據(jù)要求規(guī)格在預(yù)先設(shè)定的頻率以下的規(guī)定速度，參照加工條件預(yù)先由實驗求得，比較這個規(guī)定速度和上述短路根據(jù)要求規(guī)格在預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度，要到快的速度以上，可以由圖2的控制裝置17來控制導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度。
這樣，在大氣中的導(dǎo)線放電加工，上述相對移動速度到上述規(guī)定速度以上時，相比上述相對移動速度慢的時，為減小加工去除量有必要增加加工次數(shù)，而上述相對移動速度快時，加工時間不可能整體變慢。
工業(yè)上的實用性如上所述，關(guān)于本發(fā)明的導(dǎo)線放電加工方法和裝置，特別適于用在高精度導(dǎo)線放電加工作業(yè)中。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)線放電加工方法，在導(dǎo)線電極和被加工物的電極之間發(fā)生放電對所述被加工物進(jìn)行加工，其特征在于，包括在加工液中進(jìn)行粗加工的第1工序，在大氣中進(jìn)行精加工的第2工序，在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述第2工序中的導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度是一定的。
2.種導(dǎo)線放電加工方法，在導(dǎo)線電極和被加工物的電極之間發(fā)生放電對所述被加工物進(jìn)行加工，其特征在于，包括在加工液中進(jìn)行粗加工的第1工序，在大氣中進(jìn)行精加工的第2工序，在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述第2工序中的導(dǎo)線電極和被加工物的相對移動速度是可變的。
3.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)線放電加工方法，其特征在于，控制所述可變的相對移動速度，以便在單位時間內(nèi)正常放電脈沖數(shù)多的場合速度增加，在單位時間內(nèi)正常放電脈沖數(shù)少的場合速度降低。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的導(dǎo)線放電加工方法，其特征在于，對所述短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度和放電集中發(fā)生頻率對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的頻率以下的規(guī)定速度進(jìn)行比較，控制所述相對移動速度，以便達(dá)到快的速度以上。
5.一種導(dǎo)線放電加工裝置，由加工電力供給裝置向?qū)Ь€電極和被加工物的電極之間供給放電能量，由位置決定裝置使所述導(dǎo)線電極和被加工物相對移動，在大氣中對所述被加工物進(jìn)行加工，其特征在于，包括控制裝置，控制所述位置決定裝置，以便在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述導(dǎo)線電極和所述被加工物的相對移動速度是一定的。
6.一種導(dǎo)線放電加工裝置，由加工電力供給裝置向?qū)Ь€電極和被加工物的電極之間供給放電能量，由位置決定裝置使所述導(dǎo)線電極和被加工物相對移動，在大氣中對所述被加工物進(jìn)行加工，其特征在于，包括在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述導(dǎo)線電極和所述被加工物的相對移動速度是可變的。
7.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)線放電加工裝置，其特征在于，包括控制裝置，控制所述可變的相對移動速度，以便在單位時間內(nèi)正常放電脈沖數(shù)多的場合速度增加，在單位時間內(nèi)正常放電脈沖數(shù)少的場合速度降低。
8. 如權(quán)利要求5至7中任一項所述的導(dǎo)線放電加工裝置，其特征在于，包括控制裝置，控制所述所述位置決定裝置，對所述短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度和放電集中發(fā)生頻率對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的頻率以下的規(guī)定速度進(jìn)行比較，使所述相對移動速度達(dá)到快的速度以上。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種導(dǎo)線放電加工方法及裝置，由加工電力供給裝置(16)向?qū)Ь€電極(1a)和被加工物(2)的電極間供給放電能量，由位置決定裝置使上述導(dǎo)線電極(1a)和被加工物(2)相對移動，對被加工物(2)進(jìn)行加工，包括在加工液(4a)中進(jìn)行粗加工的第1工序和在空氣、氧氣、氮氣或惰性氣體等氣體(7)中進(jìn)行精加工的第2工序，在上述第2工序中，利用控制裝置(17)來控制位置決定裝置，使得在所述電極間短路對應(yīng)于要求規(guī)格預(yù)先設(shè)定的時間以上不繼續(xù)的規(guī)定速度以上，所述第2工序中的導(dǎo)線電極(1a)和被加工物(2)的相對移動速度是一定的。能夠?qū)崿F(xiàn)導(dǎo)線放電加工的高精度化和高品質(zhì)化和生產(chǎn)力提高。
文檔編號B23H7/04GK1424951SQ00818505
公開日2003年6月18日 申請日期2000年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月20日
發(fā)明者后藤昭弘 申請人:三菱電機(jī)株式會社