專利名稱：銑刀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種銑刀，更具體地說，涉及一種在銑磨面設(shè)有螺旋槽的銑刀。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體在制作過程中，晶圓表面的平整化是重要的一道工序。為了在更小的面積上堆積更密集的線路，晶圓每層的厚度與平整度都有嚴格要求，平整化過程有賴于拋光磨平，而此一制程又有賴于銑床。
銑床根據(jù)加工材質(zhì)的種類來交換使用銑刀，如前述的晶圓外，石英、鎢鋼、石材、寶石、氧化鋯、氧化硼、氧化硅、陶瓷等均屬于硬質(zhì)材料，在進一步加工需要研磨、鉆孔、銑磨等作業(yè)，需要具有耐高溫、耐磨特性的銑刀才足以負荷，并且于銑刀的銑磨表面部位鍍上一層鉆石膜，以達到銑磨工具的材質(zhì)硬度。
如圖1所示，銑刀10具有一呈圓柱體的銑磨刀頭11，其上設(shè)有一刀桿12，用于與銑床結(jié)合(圖中未示出)，該刀頭11表面設(shè)有一層鍍鉆膜13。該銑刀10于銑磨作業(yè)時，由于銑床高速旋轉(zhuǎn)而帶動銑刀10于物品上銑磨，兩者相互摩擦產(chǎn)生的溫度極高，必須在銑磨過程中施以水或冷卻液降溫，以防止銑刀10崩裂。但用于銑磨的刀尖11的圓柱體斷面為一平面，且與物品緊密接觸，冷卻液體無法進入而有效降溫，則需停止作業(yè)待降溫后再進行銑磨，否則崩裂的情況將不因冷卻液體而改善，存在使用壽命較短的缺點。
如圖2所示，銑刀20具有一呈圓柱體的刀頭21，其上設(shè)有一刀桿22，用于與銑床結(jié)合(圖中未示出)，該刀頭21表面設(shè)有一層鍍鉆膜23，并自刀頭21緣邊向內(nèi)挖設(shè)有一具開口的溝槽24，除提供冷卻液體自溝槽24進入刀頭21內(nèi)部加以冷卻外，還有利于鈷孔作業(yè)，但由于銑刀20為高速旋轉(zhuǎn)運動，溝槽24為直線型，冷卻液體不易于在旋轉(zhuǎn)動作中進入溝槽24，同時已進入溝槽24的冷卻液體也不易隨著旋轉(zhuǎn)動作而排出，產(chǎn)生冷卸液體滯留于溝槽24內(nèi)，致使冷卻效果不佳，同樣存在有崩裂及使用壽命較短的缺點。
發(fā)明目的本發(fā)明的主要目的在于提供一種能使冷卻液充分冷卻銑刀，從而延長使用壽命的銑刀。
本發(fā)明中銑刀的斷面表面自銑刀緣邊以非同心圓方式向斷面中心設(shè)有適當深度的螺旋槽，該螺旋槽依據(jù)銑床的旋轉(zhuǎn)方向而設(shè)，使冷卻液體能隨著旋轉(zhuǎn)動作進入螺旋槽中，且隨著旋轉(zhuǎn)動作被帶離螺旋槽，不滯留于螺旋槽內(nèi)，延長使用壽命。
本發(fā)明的另一目在于提供一種具有多用途的銑刀。
本發(fā)明中的銑刀在斷面表面、外緣面及螺旋槽兩側(cè)面通過鍍鉆或鑄鉆處理，而使其具有表面研磨、鉆孔、銑磨、加工切削等用途。
本發(fā)明的又一目在于提供一種能增進加工速率與精密度的銑刀。
本發(fā)明中的銑刀在研磨、銑磨或加工切削的刀面，呈現(xiàn)螺旋圓周線面，較傳統(tǒng)銑刀所呈現(xiàn)的圓周面大，能增進加工速率與精密度。


下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明中的具體實施例作進一步詳細說明。
圖1是第一種傳統(tǒng)鍍鉆石膜銑刀的立體圖；圖2是第二種傳統(tǒng)鍍鉆石膜銑刀的立體圖；圖3是本發(fā)明中銑刀的立體圖；圖4是本發(fā)明中銑刀另一角度的立體圖；圖5是本發(fā)明中螺旋槽的局部放大剖視圖。
具體實施例方式
如圖3所示，本發(fā)明中的銑刀30包括有刀頭部31與刀桿部32，刀桿部32供車床挾持并受其控制而轉(zhuǎn)動；刀頭部31的緣邊設(shè)有一開口33。
如圖4所示，刀頭部31的斷面表面自開口33以非同心圓方式向斷面中心設(shè)有適當深度的螺旋槽34，并于刀頭部31的斷面表面、螺旋槽34兩側(cè)面及于外圍表面通過鍍鉆或鑄鉆處理，形成有一層鍍鉆膜35，同時，于刀頭外緣鍍鉆或鑄鉆有一適當寬度的鍍鉆膜。
如圖5所示，螺旋槽34的兩側(cè)頂緣形成有切面341，該切面341與螺旋槽34的垂直面呈一銳角型式，以提供銑刀30具有研磨、銑磨、鉆孔等多種用途。
在進行研磨、鉆孔或銑磨并用水或冷卻液體冷卻時，冷卻液體隨著銑刀30轉(zhuǎn)動，自開口33流入螺旋槽34中，并依循螺旋槽34的路徑而流動至螺旋槽34的末端(即刀頭部31斷面的中心點)，而流入的冷卻液體即因已非同心圓方式設(shè)計的螺旋槽34旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力帶出，使冷卻液易于螺旋槽34內(nèi)形成流動狀，能充分冷卻銑刀30的每一角落，具有良好的冷卻效果，解決傳統(tǒng)銑刀熱崩裂的缺點，延長銑刀的使用奉命。
另外，本發(fā)明中的銑刀30在加工切削刀面呈現(xiàn)出螺旋圓周線面，比一般傳統(tǒng)銑刀所呈現(xiàn)的圓周面更大，具有加工速度更快且更精密的特點。
綜上所述，本發(fā)明中的銑刀能有效解決現(xiàn)有銑刀因銑磨硬質(zhì)材料產(chǎn)生的高溫崩裂、加工速度慢等缺點，進而提升銑刀的使用奉命、加工速度與精密度。
另外，上述雖然對本發(fā)明中的較佳實施例作了詳細說明，但其并不是本發(fā)明的保護范圍，基于上述說明可對本發(fā)明的具體實施例加以修改或變化，因此，凡是在不脫離本發(fā)明的設(shè)計精神而所作出的變化與修飾，均應(yīng)認為落入本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種銑刀，其特征在于該銑刀的刀頭斷面表面自銑刀緣邊以非同心圓方式向斷面中心設(shè)有適當深度的螺旋槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的銑刀，其特征在于所述銑刀的斷面表面及螺旋槽兩側(cè)面通過鍍鉆或鑄鉆處理，形成一鍍鉆膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的銑刀，其特征在于所述銑刀的刀頭外緣鍍鉆或鑄鉆有一適當寬度的鍍鉆膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的銑刀，其特征在于所述銑刀在加工切削刀面呈現(xiàn)出螺旋圓周線面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的銑刀，其特征在于所述螺旋槽的兩側(cè)頂緣設(shè)有切面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5中所述的銑刀，其特征在于所述切面與螺旋槽的垂直面呈銳角。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種銑刀，其主要是在銑刀的斷面表面自銑刀緣邊以非同心圓方式向斷面中心設(shè)有適當深度的螺旋槽，并于銑刀的斷面表面、外緣面及螺旋槽兩側(cè)面通過鍍鉆或鑄鉆處理，在進行研磨、鉆孔或銑磨過程中用冷卻液體冷卻時，冷卻液體能隨著銑刀轉(zhuǎn)動而快速流進螺旋槽并充斥于內(nèi)及快速排出，不滯留于螺旋槽內(nèi)，能從事硬材質(zhì)的加工，延長銑刀的使用壽命。
文檔編號B23C5/16GK1597205SQ0315715
公開日2005年3月23日 申請日期2003年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月16日
發(fā)明者李玉枝, 吳達偉 申請人:李玉枝, 吳達偉