專利名稱：激光加工設(shè)備和激光加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光加工設(shè)備及激光加工方法，尤其涉及一種設(shè)計成主要用于孔加工工藝且改進(jìn)以提高其加工速度的激光加工設(shè)備和激光加工方法。
背景技術(shù)：
在如蜂窩電話、數(shù)字視頻攝象機(jī)，私人電腦等的電子裝置中，使用高密度多層布線板。高密度多層布線板是由多個層板構(gòu)成。在高密度多層布線板的制造過程中，為了將信號導(dǎo)線通過內(nèi)層板和外層板之間，需要在每個層板上加工出稱作通孔的通過孔。尤其是，為了獲得高密度的布線，需要減小通孔的直徑。
高密度多層布線板是通過以信號母板上取出多層而制造的，特別是，許多具有預(yù)定尺寸的用以加工高密度多層布線板的加工區(qū)以矩陣方式設(shè)置在母板上。然后，在每個預(yù)定的尺寸加工區(qū)的多個預(yù)定的位置上加工孔。將母板稱作工件。
近年來，主要采用激光加工設(shè)備用于加工微孔。主要設(shè)計成用于孔加工的激光加工設(shè)備通常裝有X-Y臺。在X-Y臺上，安裝上工件且工件能在X-軸和Y-軸方向水平移動。在激光加工設(shè)備中，通過移動X-Y臺上的工件，用脈沖激光束進(jìn)行加工的位置也需改變。為了這個目的，通過X-Y臺的定位會耗費時間。處理的速度也受到限制。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種激光加工設(shè)備和激光加工方法，它能大大地提高加工速度。
為了達(dá)到這個及其它的目的，本發(fā)明提供一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，并通過所述多個電掃描系統(tǒng)對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工，其特征在于從所述多個X-Y掃描儀發(fā)射出的每個激光束被輻射到單個工件的加工區(qū)表面。
一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工的激光加工方法，其中每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，其特征在于通過將從所述多個X-Y掃描儀發(fā)射出的每個所述激光束輻射到單個工件的加工區(qū)而進(jìn)行加工。
一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，所述多個X-Y掃描儀中的相鄰的兩個對稱設(shè)置，所述激光加工設(shè)備還包含控制裝置，該裝置用于控制所述兩個相鄰X-Y掃描儀以便所述兩個相鄰X-Y掃描儀的掃描順序彼此相反，從而對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工處理。
一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工處理的的激光加工方法，其中所述每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，通過所述多個X-Y掃描儀中的對稱設(shè)置的兩個相鄰的且掃描順序彼此相反的X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工處理。
一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，并通過所述多個X-Y掃描儀對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工，其特征在于所述激光加工設(shè)備還包含一個驅(qū)動裝置，其用于水平移動所述多個X-Y掃描儀中的至少一個，從而至少兩個X-Y掃描儀之間的距離是可變的。
一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工的激光加工方法，其中每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，所述多個X-Y掃描儀中的至少一個被水平移動。
一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，并通過所述多個X-Y掃描儀對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工，其特征在于所述激光加工設(shè)備還包含一個驅(qū)動裝置，其在與所述工件垂直的方向上移動所述多個X-Y掃描儀。
一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工的激光加工方法，其中每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，所述多個X-Y掃描儀在與所述工件垂直的方向上移動。
一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，并通過所述多個X-Y掃描儀對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工，其特征在于所述激光加工設(shè)備還包含一個驅(qū)動裝置，其水平移動所述多個X-Y掃描儀中的至少一個，從而至少兩個電掃描系統(tǒng)之間的距離是可變的，另外一個驅(qū)動裝置用于在與所述工件垂直的方向上移動所述多個X-Y掃描儀。
一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工的激光加工方法，其中每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，所述多個X-Y掃描儀中的至少一個被水平移動，及所述多個X-Y掃描儀在與工件垂直的方向上移動。


圖1顯示使用電掃描儀的常規(guī)激光加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)和草圖；圖2顯示X-Y掃描儀的結(jié)構(gòu)的草圖；圖3顯示了按本發(fā)明的激光加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)；圖4顯示了由本發(fā)明的激光加工設(shè)備加工的工件加工區(qū)域的示意圖；圖5是按本發(fā)明的第一實施例的激光加工設(shè)備的正視圖；圖6是如圖5所示的激光加工設(shè)備的平面圖；圖7是如圖5所示的激光加工設(shè)備的側(cè)視圖；圖8是具有由本發(fā)明的激光加工設(shè)備進(jìn)行加工的加工區(qū)的工件的另一個實施例示意圖；圖9顯示了按本發(fā)明的第二實施例的激光加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)；圖10是圖9中所示的激光加工設(shè)備中使用的光束斬波器中旋轉(zhuǎn)體的結(jié)構(gòu)的正視圖；圖11是沿圖10中的A-A′線的剖視圖；及圖12是被圖10中所示的光束斬波器分離的脈沖激光光束的示意圖。
具體實施例方式
為了便于了解本發(fā)明，將參照圖1對使用電掃描儀的常規(guī)激光加工設(shè)備進(jìn)行描述。在圖1中，從激光振蕩儀1發(fā)射出的脈沖激光束經(jīng)過反射鏡2被導(dǎo)入掩模3。通過掩模3的脈沖激光束通過反射鏡4向下反射，將由反射鏡4反射的激光束通過X-Y掃描儀5在工件6的X-軸方向和Y-軸方向擺動。如后面詳細(xì)描述的X-Y掃描儀5包括一第一電反射鏡5-1及一第二電反射鏡5-2。電反射鏡能在工作頻率為200到800Hz的范圍內(nèi)起作用。由X-Y掃描儀5轉(zhuǎn)動的激光光束通過工作透鏡7輻射到設(shè)置在工件6上的加工區(qū)6a。工作透鏡7通常稱作fθ透鏡。
另外，工件6安裝在X-Y臺8上。這里省略掉了X-Y臺8中的驅(qū)動系統(tǒng)的繪制和描述。而且，在反射鏡4的上部裝有校準(zhǔn)系統(tǒng)從而通過使用透鏡9a和CCD攝象機(jī)9b來完成工件6的定位。也省略掉了對校準(zhǔn)系統(tǒng)的描述。
下面將參照圖2描述X-Y掃描儀5。稱作電—掃描儀的X-Y掃描儀5是由第一和第二電反射鏡5-1和5-2。正如眾所周知的，第一電反射鏡5-1是由反射鏡5-1a和用以旋轉(zhuǎn)反射鏡5-1a的驅(qū)動裝置5-1b構(gòu)成。同樣地，第二電反射鏡5-2是由反射鏡5-2a和用以旋轉(zhuǎn)反射鏡5-2a的驅(qū)動裝置5-2b組成。通過按照電流計的操作原理。單獨地旋轉(zhuǎn)兩個反射鏡5-1a和5-2a，激光束LB可以通過工作透鏡7連續(xù)輻射到工件6上多個預(yù)期的位置上。
在激光加工設(shè)備中，通過相對于工件6的加工區(qū)6a旋轉(zhuǎn)激光束以完成加工。當(dāng)加工區(qū)6a的加工完成后，通過X-Y臺8移動工件6并使下一個加工區(qū)正好定位于工作透鏡7之下。
通過X-Y掃描儀5和X-Y臺8的組合，與前面描述的激光加工設(shè)備相比，該激光加工設(shè)備的加工速度提高了。
關(guān)于工件6的尺寸，工件6是一正方形其每個邊約為300到600毫米。為了從工件6上取下多個層片，通常需以矩陣方式預(yù)置十個或更多的加工區(qū)。另一方面，通過電反射鏡掃描的區(qū)域通常是具有每個邊約為50mm的正方形。因此，激光加工設(shè)備需要相當(dāng)長的一段時間來加工單一工件的所有加工區(qū)域。
將參照圖3對按本發(fā)明的激光加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)進(jìn)行描述。
在圖3中，來自激光振蕩器10的脈沖激光束經(jīng)過反射鏡11和12被導(dǎo)入光束分離器13。另外，將掩模(圖中未顯示)用上圖1中所示的相同的方式安置在光束分離器13之前。激光光束因此形成預(yù)定的光束尺寸。光束分離器13將入射激光束分離成兩束。可以使用棱鏡，半反射鏡或另一種光學(xué)元件替代光束分離器13。分離的激光光束中的一束被引入第一X-Y掃描儀14。另一束分離的激光束經(jīng)過反射鏡15被導(dǎo)入第二X-Y掃描儀16。X-Y掃描儀具有與圖2所示的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)。從第一和第二X-Y掃描儀14和16發(fā)出的激光通過工作透鏡17和18被輻射到工件20上。工件20安裝在可在X-軸和Y-軸方向水平移動的X-Y臺21上。
另外，工作透鏡17或18用于按已有的方法對激光束聚焦，且工作透鏡17和18也稱作fθ透鏡。每一個工作透鏡17和18是由放置圓柱形殼體中的許多凸透鏡和凹透鏡的組合構(gòu)成。該組合稱作fθ透鏡組件。在圖3中，為方便起見，fθ透鏡裝置用一單一工作透鏡表示。另外，前述的構(gòu)成元件由控制裝置來控制(圖中未顯示)?？刂蒲b置是數(shù)據(jù)輸入裝置用以輸入如數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的必要的加工條件。
對于激光振蕩器10，可以使用二氧化碳?xì)怏w激光振蕩器，YAG高諧波激光振蕩器，準(zhǔn)分子激光振蕩器等。從激光振蕩器，可以獲得幾十到幾百瓦(W)的輸出功率。然而，在印刷電路板或另一種樹脂板上加工孔所需的輸出功率通常為10瓦或更少。因此，即使以激光振蕩器10得到的激光光束分離成兩束時，對加工也是沒有問題的。
圖4顯示了預(yù)置在可以其上取出多層片的工件20上的多個加工區(qū)。這里，16(4×4＝16)加工區(qū)20-1以矩陣方式設(shè)置。每個加工區(qū)20-1的尺寸與成品板的尺寸相同。這是由實際安裝該成品的電子裝置的尺寸決定的。在另一種情況下，當(dāng)圖4顯示的工件20被激光加工以在其上加工孔時，半個區(qū)域A由第一X-Y掃描儀14和工作透鏡17加工。另半個區(qū)域B是被第二X-Y掃描儀16和工作透鏡18加工。例如，當(dāng)?shù)谝籜-Y掃描儀14和工作透鏡17從如圖4所示的加工區(qū)20-1a的左角開始加工，第二X-Y掃描儀16和工作透鏡18也開始從圖4所示的加工區(qū)20-1b的左角開始加工。其結(jié)果，當(dāng)完成加工時，可以獲得相同的加工模式。接著，通過在X-軸和Y-軸方向移動X-Y臺21，很明顯，通過X-Y掃描儀和工作透鏡的組合可以按圖4中箭頭線的順序完成相同加工模式的激光加工。在這種情況下，距離D是工作透鏡17和18的中心點之間的距離。
另外，工件20的尺寸隨最終產(chǎn)品的板的尺寸而變化。工件20每邊為300到600毫米。因此，工作透鏡17和18的中心點之間的距離需在150毫米＜D＜300毫米的范圍內(nèi)變化。為了達(dá)到這個目的，第一X-Y掃描儀14和工作透鏡17的組合和第二X-Y掃描儀和工作透鏡的組合中的至少一個組合需要在水平方向移動。這點在下面進(jìn)行描述。
通過手工或自動工件移位裝置將工件20放置在X-Y臺21上的板上。該板(圖中未顯示)以真空方式支撐住工件。另外，與如圖1中同樣的方式，由一圖象加工裝置(圖中未顯示)組成的校準(zhǔn)系統(tǒng)安裝于圖3所示的光束分離器13和反射鏡15之上。在校準(zhǔn)系統(tǒng)中，在確認(rèn)了預(yù)先放置在工件20上的參考位置標(biāo)記之后(通常指標(biāo)準(zhǔn)掩模)，測得的工件20的設(shè)定位置的精確度為10μm或更少。加工區(qū)20-1也是這樣確定的。在這種情況下，操作者借助數(shù)據(jù)輸入裝置事先輸入加工區(qū)20-1的尺寸，間隙等等?？刂蒲b置根據(jù)輸入數(shù)據(jù)確定最優(yōu)距離D。根據(jù)距離D，安置第一X-Y掃描儀14和工作透鏡17的組合和第二X-Y掃描儀16和工作透鏡18的組合，同時設(shè)定了加工區(qū)20-1。
下面將參照圖5至圖7對按本發(fā)明的第一實施例的激光加工設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。在圖5中激光加工設(shè)備具有一第一掃描系統(tǒng)31，在其中可整體安裝第一X-Y掃描儀14和工作透鏡17，而第二掃描系統(tǒng)32中可整體安裝第二X-Y掃描儀16和工作透鏡18。第一X-Y掃描儀14具有第一和第二電反射鏡14-1和14-2。第二X-Y掃描儀16具有第一和第二電反射鏡16-1及16-2。第一掃描系統(tǒng)31安裝在可以在Z軸方向(垂直于工件)操作的第一Z-軸臺33上，第一Z-軸臺33安裝在可以在和工件20表面平行的L-軸方向操作的L軸臺34上。L-軸臺34與基架35相固定。另一方面，第二掃描系統(tǒng)32安裝在可以在Z-軸方向操作的第二Z-軸臺上。第二Z軸臺36與基架35相固定。因此，第一掃描系統(tǒng)31可以在Z-軸方向和L-軸方向移動，而第二掃描系統(tǒng)32可以只在Z-軸方向移動。
本實施例的激光加工設(shè)備和圖3中所示的基本結(jié)構(gòu)不同，其區(qū)別在于第一和第二掃描系統(tǒng)31和32以第一和第二X-Y掃描儀14和16對稱的方式安置。第一和第二工作透鏡17和18的中心點之間的距離Da因此減小。相反，如在圖5中，當(dāng)?shù)诙-Y掃描儀16中的第一和第二電反射鏡16-1和16-2與在第一X-Y掃描儀14中的第一和第二電反射鏡14-1和14-2取向相同時，如在圖5中所示，第一和第二電反射鏡16-1和16-2的光軸向右偏離。在這種情況下不得不增加距離Da。
這里，用以接收分離的激光光束的反射鏡37和38反向放置以接收來自相反方向的分離的光束。由反射鏡38反射的激光光束通過反射鏡39導(dǎo)入第二X-Y掃描儀16。同樣地，來自反射鏡37的激光束通過一反射鏡(圖中未顯示)導(dǎo)入第一X-Y掃描儀14。
在這種結(jié)構(gòu)中，通過第一和第二掃描系統(tǒng)31和32可以對稱地進(jìn)行加工。例如，當(dāng)?shù)谝粧呙柘到y(tǒng)31從圖4可見的加工區(qū)20-1a的左角開始加工時，第二掃描系統(tǒng)32從圖4可見的加工區(qū)20-1b的右角開始加工。然而，當(dāng)完成加工時，可以獲得相同的加工模式。在加工過程中，第二X-Y掃描儀16的掃描順序可以和第一X-Y掃描儀14的掃描順序相反。為了這個目的，提供到第二X-Y掃描儀16的掃描操作信號可以和提供第一X-Y掃描儀14的掃描操作信號相反。當(dāng)然，這是在控制裝置中完成的。另外，用和圖4中所示的相同的方法通過操作和控制X-Y臺21可按順序移動加工區(qū)。
同樣在本實施例中，按照工件的尺寸和加工區(qū)的尺寸，第一掃描系統(tǒng)31在L-軸方向移動以改變第一和第二工作透鏡17和18的中心點之間的距離Da。另外，通過與L-軸臺34相似的L-軸臺，第二掃描系統(tǒng)32可以在與第一掃描系統(tǒng)31移動的方向相反的方向移動。
如前面提到的，通過控制裝置操作和控制第一和第二X-Y掃描儀14和16。在一定數(shù)目的加工區(qū)的激光加工完成之后，通過控制裝置操作X-Y臺21來移動工件20到下一個加工區(qū)。X-Y臺21在X-軸和Y-軸方向水平移動。
相對于加工區(qū)20-1上的加工位置是控制裝置給出到每個X-Y掃描儀的旋轉(zhuǎn)角度的指令值來確定的。不僅可加工規(guī)則設(shè)置的孔而且可加工不規(guī)則設(shè)置的孔。
該激光加工設(shè)備可以以兩倍于圖1所示的激光加工設(shè)備的加工速度完成加工。
如圖8中所示，當(dāng)加工區(qū)20-1的總數(shù)不能被分離成兩部分時，工件20′被用如下方法加工首先，和加工區(qū)20-1具有相同數(shù)目的分離的區(qū)域A和B被同時加工。對存留區(qū)域C，例如，通過在來自第一掃描系統(tǒng)31的激光光束的通路上安置光束斷路器，激光光束被切斷。于是，區(qū)域C由第二掃描系統(tǒng)32來加工。
將參照圖9至圖12描述按本發(fā)明第二實施例的激光加工設(shè)備。在圖9中，和圖3中相同的部分用相同的參照數(shù)碼代表，且省略掉對它的描述。在第二實施例中，用機(jī)械分離器或所謂的光束斬波器來替代如上述的光學(xué)元件以分離激光光束。如圖9至圖11所示，光束斬波器包括一旋轉(zhuǎn)體60。旋轉(zhuǎn)體60是通過圍繞旋轉(zhuǎn)軸61在相等的區(qū)域內(nèi)交替地設(shè)置激光光束反射鏡62和穿透部分63而構(gòu)成的。光束斬波器由含有一用來旋轉(zhuǎn)和操作旋轉(zhuǎn)體60的電機(jī)的驅(qū)動裝置64和用于控制驅(qū)動裝置64一同步控制器65構(gòu)成。同步控制器65以將來自激光振蕩器10的脈沖激光束重復(fù)反射和穿透的方式控制驅(qū)動裝置64。在本實施例中，旋轉(zhuǎn)體60通過將四個反射鏡62以相對于激光束入射方向成45度角度的方式安裝到環(huán)形架66上。
同步控制器65發(fā)射觸發(fā)脈沖到激光振蕩器10以確定脈沖激光束的輸出間隔。和輸出間隔相同步，同步控制器65以連續(xù)的脈沖激光束交替反射和穿透的方式控制驅(qū)動裝置64的電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度，其結(jié)果，如圖12顯示，由螺紋線所示的脈沖激光束通過光束斬波器到達(dá)反射鏡15(圖9)。不帶螺紋線的脈沖激光束由反射鏡62反射以到達(dá)第一X-Y掃描儀14(圖9)。
當(dāng)使用不同于圖3所示的由光學(xué)元件構(gòu)成的分離器的光束斬波器時，在加工表面上的激光束的每脈沖能量密度不能減少。換句話說，在圖3的實施例中，例如，當(dāng)使用具有50％穿透作用的光束分離器13時，在加工表面上的每脈沖激光束的能量密度減少到一半。因此，按照本實施例，本發(fā)明可以適用于具有低脈沖能量的激光振蕩器。例如，當(dāng)在印制板上加工通孔時，在加工表面的激光能量密度最好為10焦耳/厘米2或更多，它隨著印制板的材料而變化。然而，在激光振蕩器具有低脈沖能量的情況下，由于能量密度降低，難于通過光學(xué)元件的分離在印制板上加工孔。然而，通過使用按本實施例的光束斬波器，可用所需的能量密度來加工通孔。
如上所述，對本發(fā)明的兩個實施例進(jìn)行了描述。然而，本發(fā)明不只限于實施例且可以作各種各樣的改變。例如，實施例中所使用的兩套X-Y掃描儀和工作透鏡。也可以使用三套或更多套的X-Y掃描儀和工作透鏡。另外，不僅是印制板而且別的材料也可以打孔或加工。
權(quán)利要求
1.一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，并通過所述多個電掃描系統(tǒng)對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工，其特征在于從所述多個X-Y掃描儀發(fā)射出的每個激光束被輻射到單個工件的加工區(qū)表面。
2.一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工的激光加工方法，其中每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，其特征在于通過將從所述多個X-Y掃描儀發(fā)射出的每個所述激光束輻射到單個工件的加工區(qū)而進(jìn)行加工。
3.一種激光加工設(shè)備，其包含多個X-Y掃描儀，每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，所述多個X-Y掃描儀中的相鄰的兩個對稱設(shè)置，所述激光加工設(shè)備還包含控制裝置，該裝置用于控制所述兩個相鄰X-Y掃描儀以便所述兩個相鄰X-Y掃描儀的掃描順序彼此相反，從而對所述工件的加工區(qū)進(jìn)行加工處理。
4.一種通過使用多個X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工處理的的激光加工方法，其中所述每個X-Y掃描儀用于通過一個fθ透鏡在工件表面的X軸方向和Y軸方向上擺動激光束，通過所述多個X-Y掃描儀中的對稱設(shè)置的兩個相鄰的且掃描順序彼此相反的X-Y掃描儀對工件的加工區(qū)進(jìn)行加工處理。
5.如權(quán)利要求1所述的激光加工設(shè)備，其特征在于所述激光加工設(shè)備還包含一個驅(qū)動裝置，其在與所述工件垂直的方向上移動所述多個X-Y掃描儀。
6.如權(quán)利要求2所述的激光加工方法，其特征在于所述多個X-Y掃描儀在與所述工件垂直的方向上移動。
全文摘要
一種激光加工設(shè)備和激光加工方法，其中來自激光振蕩器10的脈沖激光束由光束分離器13分離成兩束。分離的激光束由X－Y掃描儀14和16通過工作透鏡17和18輻射到工件20上。另外，在工件上，激光光束在X－軸和Y－軸方向擺動。這些X－Y掃描儀同時加工多個被分離并設(shè)置在工件上的加工區(qū)。
文檔編號B23K26/06GK1519075SQ20031010130
公開日2004年8月11日 申請日期1998年3月20日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月21日
發(fā)明者礒圭二, 圭二 申請人:住友重機(jī)械工業(yè)株式會社