專利名稱：移動式xy載物臺的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于對平面構造物進行局部處理的裝置的移動式XY載物臺，特別涉及用于液晶顯示器的激光修復裝置、液晶掩模的激光修復裝置、太陽電池板的圖案形成(パタ一ニング)裝置、液晶顯示器的缺陷檢查裝置、半導體裝置的缺陷檢查裝置等的移動式XY載物臺。
背景技術：
在修復液晶顯示器的TFT(薄膜晶體管)基板的制造缺陷的激光修復裝置上，設置作為主要的構成單元的移動式XY載物臺。移動式XY載物臺由作為固定部分的基臺部、和作為設置于該基臺部上的可動部分的移動部構成。在基臺部設置使上表面為水平的載物臺面的石制固定平臺。此外，在移動部設置配置于石制固定平臺上可沿一個方向(Y方向)移動的一對支柱和架于該一對支柱的上端部之間的橫梁(梁材)。并且，在該橫梁上搭載激光光學單元，使之可沿垂直于所述一個方向的方向(X方向)移動。另外，這種技術被公開于株式會社SIGMA的主頁(http//www.sigma-fa.co.Jp/2_3.html)[平成16年7月28日檢索]和住友重機械工業(yè)株式會社的主頁(http//www.shi.co.jp/stage/prellys/20030318.htm)[平成16年7月28日檢索]。
由這種構成，在基臺部的石制固定平臺上，放置作為修復對象的液晶顯示器，移動部使激光光學單元移動，通過使該單元位于液晶顯示器的缺陷部分的正上方，激光光學單元對該缺陷部分照射激光，可以修復缺陷部分。
對用于這種液晶顯示器的激光修復裝置等的移動式XY載物臺，要求誤差為10μm以內(nèi)的極高的形狀精度。因此，石制固定平臺由一個大的花崗巖精密加工制造而成。此外，構成移動部的支柱以及橫梁也要求極高的形狀精度。因此，在現(xiàn)有的移動式XY載物臺中，研磨加工鐵或鐵合金的鑄造品(以下總稱為鐵鑄品)形成移動部的支柱以及橫梁。這是因為，若由例如軋制鋼材等鍛造品形成移動部，則會不可避免的產(chǎn)生軋制方向的彎曲，不能得到足夠的形狀精度。此外，若由鐵鑄品形成支柱以及橫梁，由于鐵的楊氏模量為206Gpa剛性很高，可以抑制由自重產(chǎn)生的扭曲以及伴隨移動的扭轉(zhuǎn)等的變形，維持高的形狀精度。
但是，在上述現(xiàn)有的技術中，存在以下的問題。一般來說，當制造液晶顯示器的TFT基板時，進行在一張素玻璃上同時形成多個TFT基板的多面處理。并且最近，為了減低液晶顯示器的制造成本，有使在一張素玻璃上形成的TFT基板的數(shù)量增加的趨勢。因此，素玻璃的尺寸逐年大型化，隨之用于液晶顯示器的激光修復裝置的移動式XY載物臺也大型化。因此，移動部的質(zhì)量增大，且其移動距離也變長。
其結果，若使移動部高速移動，則由于該移動的轉(zhuǎn)矩，基臺部的石制固定平臺振動，該振動傳遞到安裝于移動部的激光加工單元。由此，在觀察作為修復對象的液晶顯示器的圖像上產(chǎn)生晃動。并且，由于在吸收該晃動之前不進行加工，因此每一張液晶顯示器的處理時間變長。此外，若使移動部低速移動，雖然可以抑制晃動的產(chǎn)生，但每一張液晶顯示器的處理時間仍然變長。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上問題作成，其目的是，提供一種隨著移動部的移動的晃動少的移動式XY載物臺。
本發(fā)明的移動式XY載物臺，包括固定平臺；一對支柱，由楊氏模量為200Gpa以上的第一復合材料構成，設置于上述固定平臺上，使之在平行于上述固定平臺的上表面的第一方向上相互間隔，在交叉于上述第一方向的第二方向上可以移動；橫梁，由楊氏模量為200GPa以上的第二復合材料構成，架于上述一對支柱之間；以及移動基座，被設置得相對該橫梁可以沿上述第一方向移動。
在本發(fā)明中，由于由楊氏模量為200Gpa以上的復合材料形成支柱以及橫梁，因此可以在維持著支柱以及橫梁的剛性的狀態(tài)下，使其輕量化。由此，使支柱以及橫梁在第二方向上移動時，施加于固定平臺的反作用力變小，抑制了由該反作用力產(chǎn)生的晃動，其結果，可以抑制支柱以及橫梁的晃動。因此，可以縮短吸收晃動前的穩(wěn)定時間，同時可以以很大的加減速使支柱以及橫梁高速移動。
此外，優(yōu)選的是，上述第一以及第二復合材料中至少有一種材料為碳纖維強化塑料。碳纖維強化塑料的振動吸收性高，制振效果好，因此可以更為有效的抑制支柱以及橫梁的晃動。
進而，優(yōu)選的是，上述橫梁為由在其上表面形成第一孔的外殼構成的中空體，包括平移式導向軸承，由金屬或合金構成，配置于上述橫梁的上表面，在與上述第一孔匹配的位置形成第二孔，引導上述移動基座的移動；墊板，由金屬或合金構成，夾住上述橫梁的內(nèi)部的上述外殼，配置在與上述平移式導向軸承相向的位置，在與上述第一孔匹配的位置形成第三孔；以及固定部件，插通上述第二孔、上述第一孔以及上述第三孔，把上述平移式導向軸承固定于上述橫梁。
通過使橫梁中空，可以減少構成橫梁的復合材料的使用量。由此，可以減低材料的成本，同時可以使橫梁更加輕量化。此外，通過使用由金屬或合金構成的墊板，把平移式導向軸承固定于橫梁，可以防止該固定部分顛簸。由此，可以抑制平移式導向軸承的形狀精度隨時間而低劣化。
此時，優(yōu)選的是，在上述橫梁的內(nèi)部，設置由上述第二復合材料構成、向垂直方向延伸的支撐件。由此，該支撐件抵抗由橫梁的自重產(chǎn)生的撓曲，以及隨著支柱及橫梁的移動產(chǎn)生的扭曲，因此可以使外殼的厚度變薄，可以使橫梁更加輕量化。
進而，優(yōu)選的是，在把上述橫梁焊接于上述支柱后，研磨加工上述橫梁的上表面以及上述支柱的下表面。由此，可以更為嚴密的規(guī)定橫梁的上表面和支柱的下表面之間的距離。
進而，本發(fā)明的移動式XY載物臺，可以是搭載于液晶顯示器的缺陷檢查裝置或半導體裝置的缺陷檢查裝置，或者可以是具有固定于上述移動基座的激光照射裝置，搭載于液晶顯示器的激光修復裝置、液晶掩模的激光修復裝置或太陽電池板的圖案形成裝置。另外，液晶掩模就是制作液晶顯示器的TFT基板時作為原版的掩模。
以下參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行具體的說明。


圖1為表示本發(fā)明的一個實施方式的移動式XY載物臺的透視圖。
圖2為表示圖1所示的移動式XY載物臺的橫梁及其周邊的剖面圖。
圖3A～圖3D為隨著時間表示圖1所示的移動式XY載物臺的操作的側(cè)面圖。
具體實施例方式
本實施方式的移動式XY載物臺，搭載于修復液晶顯示器的TFT基板的制造缺陷的激光修復裝置。如圖1所示，本實施方式的移動式XY載物臺1中，設置有作為固定部分的基臺部2和作為配置于基臺部2上的可動部分的移動部3。
在基臺部2中，設置有支撐移動式XY載物臺1的整體的架臺4。架臺4由三行三列等間隔設置的九根支柱4a和將鄰接的支柱4a彼此連接的梁4b構成。支柱4a以及梁4b例如由JIS G3466所記載的一般構造用的方形鋼管形成。此外，在架臺4的各支柱4a上各設有一個消振支架5。即，共設有九個消振支架5。消振支架5例如由氣墊構成。在各消振支架5處設有機械傳感器(未圖示)，自動的被動控制其高度。另外，在消振支架5上還設有電子傳感器，也可以主動控制其高度。
進而，在該九個消振支架5上設置例如由一個花崗巖構成的石制固定平臺6。石制固定平臺6的形狀為矩形的板狀，其上表面平坦。以下，如圖1所示，在平行于石制固定平臺6的上表面的方向中，把所述上表面的一對邊延伸的方向叫做X方向，另外一對邊延伸的方向叫做Y方向。X方向和Y方向互相垂直。石制固定平臺6的X方向的長度例如為3.0m，Y方向的長度例如為3.5m。并且，在沿石制固定平臺6的上表面的Y方向延伸的兩個端部固定一對導向基座7。導向基座7例如由鑄鐵構成，為沿Y方向延伸的柱狀的部件。石制固定平臺6的上表面的導向基座7之間的區(qū)域為載物臺面8。
此外，在各導向基座7的上表面設有沿Y方向延伸的一對平移式導向軸承9。平移式導向軸承9例如由碳素鋼形成。平移式導向軸承9引導移動部3的Y方向的移動。此外，在導向基座7的上表面的平移式導向軸承9之間的區(qū)域上，設有檢測移動部3的Y方向的位置的線性刻度尺10。進而，在沿導向基座7的Y方向延伸的側(cè)面中、不與另一個導向基座7相對側(cè)的側(cè)面上，安裝線性電動機定子11。線性電動機定子11沿Y方向延伸，形成上方開口的溝槽。即，垂直于線性電動機定子11的Y方向的剖面呈コ字形狀。由架臺4、消振支架5、石制固定平臺6、導向基座7、平移式導向軸承9、線性刻度尺10以及線性電動機定子11構成基臺部2。
此外，在移動部3中設有由楊氏模量為200GPa以上的復合材料，例如CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics，碳纖維強化塑料)構成的一對支柱12。CFRP的楊氏模量為200至600GPa，比重例如為1.6。并且，在各支柱12的下部固定有線性電動機可動元件13，線性電動機可動元件13位于線性電動機定子11的溝槽內(nèi)。并且，借助線性電動機定子11和線性電動機可動元件13之間的磁力的相互作用，使移動部3沿Y方向移動。
此外，在一對支柱12之間，架有由楊氏模量為200GPa以上的復合材料例如CFRP構成的橫梁14。即，橫梁14為沿X方向延伸的梁狀的部件，其兩個端部連接于一對支柱12的上表面，橫跨載物臺面8。橫梁14由長方體形狀的主體部分14a和從該主體部分14a的下部沿Y方向伸出的伸出部分14b構成。由此，垂直于橫梁14的X方向的剖面的形狀為L字形狀。另外，橫梁14的X方向的長度例如為208m。并且，橫梁14通過粘接劑與支柱12接合，在橫梁14與支柱12接合后，研磨加工橫梁14的上表面和支柱12的下表面。該研磨加工，首先由大型的研磨裝置研磨支柱12及橫梁14，其后，一邊由測定器測定形狀，一邊手工進行精拋光。
并且，總共設有三個平移式導向軸承15，其中在橫梁14的主體部分14a的上表面設置兩個，伸出部分14b的上表面設置一個。平移式導向軸承15例如由碳素鋼形成，沿X方向延伸。此外，在主體部分14a的上表面的兩個平移式導向軸承15之間的區(qū)域，設有沿X方向延伸的線性電動機定子16。在線性電動機定子16上形成側(cè)方開口的溝槽(參照圖2)，垂直于X方向的剖面形狀為コ字形狀。進而，在主體部分14a的側(cè)面的伸出部分14b的上方，安裝有沿X方向延伸的線性刻度尺17。
進而，設置例如由鐵板構成的移動基座18，使其可相對橫梁14沿X方向移動。垂直于移動基座18的X方向的剖面的形狀，為覆蓋橫梁14的上方以及設置平移式導向軸承15側(cè)的側(cè)方的倒L字形狀。此外，移動基座18的X方向的長度，比橫梁14的X方向的長度短。并且，在移動基座18的下表面安裝線性電動機可動元件19，使之位于線性電動機定子的溝槽內(nèi)。由此，移動基座18借助線性電動機可動元件19和線性電動機定子16之間的磁力的相互作用，沿平移式導向軸承沿X方向移動。并且，移動基座18的X方向的位置可以通過線性刻度尺17檢測出。
進而，在移動基座18的上表面以及不與橫梁14相對側(cè)的側(cè)面，搭載激光光學單元20。激光光學單元20為覆蓋移動基座18的外側(cè)面的倒L字形狀，向外部輸出放置于載物臺面8上的修復對象物的擴大圖像，同時向該修復對象物照射激光。由支柱12、線性電動機可動元件13、橫梁14、平移式導向軸承15、線性電動機定子16、線性刻度尺17、移動基座18、線性電動機可動元件19及激光光學單元20，構成移動部3。
以下，詳細說明橫梁14的構成。圖2表示垂直于橫梁14的長度方向(X方向)的剖面。如圖2所示，橫梁14為中空體，設有構成其外表面的外殼21。并且，設置沿垂直方向延伸的板狀的支撐部件22a，以互相區(qū)劃主體部分14a和伸出部分14b。此外，在主體部分14a內(nèi)設有沿垂直方向延伸的兩個支撐部件22b及22c。進而，在主體部分14a內(nèi)，以和沿垂直方向延伸的兩個支撐部件22b及22c垂直的方式設置沿水平方向延伸的一個板狀的支撐部件22d。由此，主體部分14a的內(nèi)部由支撐部件22b、22c、22d區(qū)劃為六個室。此外，伸出部分14b的內(nèi)部為由支撐部件22a與主體部分14a區(qū)劃的一個室。即，外殼21的內(nèi)部由板狀的支撐部件22a至22d區(qū)劃為七個室。
此外，在外殼21內(nèi)部的外殼21的上表面部分的內(nèi)側(cè)、夾住外殼21與平移式導軌15相向的位置，分別設置墊板23。墊板23由金屬或合金例如碳素鋼構成，為沿X方向延伸的帶狀的板材。并且，在平移式導軌15上沿X方向一排的形成多個孔24，在橫梁14的外殼21的上表面部分與孔24匹配的位置，分別形成孔25。此外，在墊板23與孔24及25匹配的位置形成螺紋孔26。并且，設置由金屬或合金構成的螺栓29，插通孔24及25，與螺紋孔26螺合。由此，把平移式導軌15固定于橫梁14上。
同樣的，在外殼21的上表面部分的內(nèi)側(cè)、夾住外殼21與線性電動機定子16相向的位置，也設置墊板23。此外，在線性電動機定子16上形成排列于X方向的多個孔28，在外殼21與孔28匹配的位置形成孔25，在墊板23上與孔28及25匹配的位置形成螺紋孔26。并且，設置螺栓29以插通孔24及25，與螺紋孔26螺合。由此，把線性電動機定子16固定于橫梁14上。另外，孔25也可以為設置了金屬或合金制成的螺紋襯套的螺紋孔。
移動式XY載物臺1被組裝到液晶顯示器的修復裝置上。在該修復裝置上設置移動控制裝置(未圖示)，驅(qū)動線性電動機定子11以及線性電動機可動元件13，使移動部3沿Y方向移動，同時驅(qū)動線性電動機定子16以及線性電動機可動元件19，使移動基座18相對橫梁14沿X方向移動。此外，在該修復裝置中設置激光控制裝置(未圖示)，驅(qū)動激光光學單元20得到修復對象物的圖像，同時還對修復對象物照射激光。進而，再設置顯示從激光光學單元20輸出的圖像的顯示裝置(未圖示)。
接下來，對如上所述構成的本實施方式的移動式XY載物臺1的操作進行說明。如圖1所示，首先，把形成多個作為修復對象的液晶顯示器的TFT基板的素玻璃(未圖示)放置到載物臺面8上。然后，驅(qū)動線性電動機定子11以及線性電動機可動元件13，使移動部3沿Y方向移動，同時驅(qū)動線性電動機定子16以及線性電動機可動元件19，使移動基座18相對橫梁14沿X方向移動，使激光光學單元20位于與TFT基板的修復部分相當?shù)奈恢谩Ｈ缓?，激光光學單元20對該修復部分照射激光，進行修理。并且，通過反復這種操作，進行多處的修理，修理在該素玻璃上形成的TFT基板的全部的修復部分。其后，把該素玻璃從載物臺面8上取出，把下一個素玻璃放到載物臺面8上，進行修理。
以下，說明使移動部3沿Y方向移動時的移動式XY載物臺1的動作。圖3A表示移動部3開始移動前的狀態(tài)。另外，從圖3A至圖3D，為了簡化圖，把移動部3及架臺4分別簡單的用矩形表示。此外，除移動部3、架臺4、消振支架5以及石制固定平臺6以外的構成要素，在圖示中省略。如圖3A所示，在移動部3開始移動前，移動式XY載物臺1處于穩(wěn)定狀態(tài)，石制固定平臺6的上表面通過消振支架5保持水平。即，所有的消振支架5的高度均相等，位于移動部3的移動開始側(cè)的消振支架5a的高度，等于位于移動結束側(cè)的消振支架5b的高度。
圖3B表示移動部3開始加速移動時的狀態(tài)。如圖3B所示，若移動部3沿方向31開始加速移動，則其反作用力32施加到石制固定平臺6上，由此在垂直方向壓縮消振支架5a，石制固定平臺6下沉，設此時的下沉量為下沉量33。
圖3C表示移動部3減速的狀態(tài)。如圖3C所示，在圖3B所示的加速期間受到反作用力壓縮的消振支架5a，在圖3C所示的減速期間，欲使石制固定平臺6的位置返回基準位置，石制固定平臺6提升。但是，在此時刻，移動部3從消振支架5a的正上方區(qū)域移動，移動部3施加到消振支架5a的載重量降低，因此石制固定平臺6提升過高，而越過。即，此時的提升量34比下沉量33大。其后，消振支架5降低石制固定平臺6的消振支架5a側(cè)的端部。此時的下沉量35和上述下沉量33之和等于提升量34。
另一方面，向位于移動部3的移動結束側(cè)的消振支架5b緩緩施加移動部3的載重量，若移動部3的移動速度很快，則其載重量的變動劇烈，消振支架5b的機械傳感器的控制不能跟上該載重量的變動。其結果，消振支架5b不能使石制固定平臺6的高度保持在基準位置，石制固定平臺6的消振支架5b側(cè)的端部下沉。此時的下沉量為如圖3C所示的下沉量37。此外，移動部3開始減速停止時，其反作用力36通過石制固定平臺6施加到消振支架5b上，進一步壓縮消振支架5b，石制固定平臺6的消振支架5b側(cè)端部進一步下沉。設該下沉量為下沉量38。其后，消振支架5b欲使石制固定平臺6的位置返回到原來的基準位置，石制固定平臺6提升。此時的提升量39等于上述下沉量37與38之和。
圖3D表示移動部3的移動結束時的狀態(tài)。如圖3D所述，在該狀態(tài)消振支架5使石制固定平臺6的高度返回到基準位置，石制固定平臺6的上表面恢復為水平。即，移動式XY載物臺1返回到穩(wěn)定狀態(tài)。
接下來，就本實施方式的效果進行說明。如上所述，隨著移動部3的移動，消振支架5如圖3A至圖3D所示操作，石制固定平臺6向移動部3的移動方向(Y方向)晃動。并且，該晃動通過支柱12以及橫梁14傳遞到激光光學單元20，使激光光學單元20晃動。因此，如上所述，在該激光光學單元20的晃動停止之前，不能進行修理，作業(yè)效率低下。
設移動部3的質(zhì)量為Mc，石制固定平臺6的質(zhì)量為Ms，則(Mc/Ms)的值越小該晃動量越小。此外，設加減速度為α，則移動部3加速時的反作用力32以及減速時的反作用力36為(Mc×α)，該值越小石制固定平臺6的晃動量越小。并且，晃動量越小，晃動停止的時間就越短。
在本實施方式中，由CFRP形成移動部3的支柱12以及橫梁14，因此與現(xiàn)有的由鐵鑄品形成支柱12以及橫梁14的移動式XY載物臺相比，移動部3大幅度輕量化。即，所述Mc的值變小。由此，上述(Mc/Ms)的值變小，石制固定平臺6的晃動量可以變小。其結果，可以抑制由從石制固定平臺傳遞而來的激光光學單元的晃動引起的觀察圖像的晃動，且可以縮短晃動停止前的穩(wěn)定時間，可以縮短修復處理時間。此外，可以通過比現(xiàn)有技術更大的加減速度使移動部移動，可以以高速移動移動部。由此，縮短激光光學單元20的定位時間，可以使修復作業(yè)更為有效。此外，CFRP的振動吸收性好，制振效果高，可以更為有效的穩(wěn)定石制固定平臺的晃動。
另外，若僅為求得移動部的輕量化，可以考慮由一般的樹脂材料形成支柱12以及橫梁14。但是，若由一般的樹脂材料形成支柱12以及橫梁14，則不能得到這些零件所必需的形狀精度。為了高精度的控制激光光學單元20的位置，必須嚴格的確定橫梁14的上表面的高度，其最大容許誤差為10μm。但是，由一般的樹脂例如丙烯樹脂形成支柱12以及橫梁14時，雖然丙烯樹脂的比重為1.2，比鐵鑄品輕，但由于其楊氏模量僅為3GPa，因此由于支柱12與橫梁14的自重以及激光光學單元20等的質(zhì)量而彎曲。此外，用于使移動部3移動的一對線性電動機(線性電動機定子11以及線性電動機可動元件13)的操作發(fā)生偏差時，橫梁14彎曲。其結果，橫梁14的上表面的高度不能保持穩(wěn)定。
對此，在本實施方式中，為了使支柱12以及橫梁14的形狀精度保持在鐵鑄品的同等水準以上，且使這些零件輕量化，由CFRP形成支柱12以及橫梁14。CFRP的楊氏模量為200至600GPa，剛性足夠高，因此可以充分的實現(xiàn)要求的形狀精度。另外，支柱12以及橫梁14的材料并不限于CFRP，但是為了得到需要的形狀精度，必須使用楊氏模量為200GPa以上的材料。
此外，在本實施方式中，為了進一步降低移動部3的質(zhì)量，進一步提高形狀精度，如上所述由楊氏模量200GPa以上的材料形成支柱12以及橫梁14之外，還要花費一些心思。首先，把橫梁14做成中空體。由此，橫梁14更為輕量化，同時減少了高價的CFRP的使用量，降低了成本。此外，在橫梁14的外殼21的內(nèi)部設置板狀的支撐部件22a～22d。由此，可以提高橫梁14的剛性，另外，可以使外殼21變薄。其結果，橫梁14進一步輕量化，可以減少CFRP的使用量。另外，在本實施方式中，表示了由四個支撐部件22a～22d把外殼21的內(nèi)部區(qū)劃為七個室的例子，但至少存在一個沿垂直方向延伸的板狀或棒狀的支撐部件時，可以獲得提高橫梁14的剛性的效果。
進而，在外殼21的上表面部分的內(nèi)側(cè)設置墊板23，通過使螺栓27插通平移式導向軸承15的孔24以及外殼21的孔25，并與墊板23的螺紋孔26螺合，把平移式導向軸承固定于橫梁14。由此，在CFRP制成的外殼21上形成螺紋孔，在把金屬制成的螺栓直接螺合在該螺紋孔的情況相比，通過螺栓削螺紋孔，由此可以防止螺栓振動，抑制移動部3的形狀精度隨時間而低劣化。此外，孔25為螺紋孔時，通過在該螺紋孔的內(nèi)表面設置金屬或合金制成的螺紋襯套，可以獲得相同的效果。
進而，在制作移動部3時，首先，通過粘接劑把橫梁14與支柱12接合一體化，其后，研磨加工橫梁14的上表面以及支柱12的下表面。由此，可以嚴格的確定橫梁14的上表面和支柱12的下表面之間的距離，可以使橫梁14的上表面的高度更精確一致。此外，該研磨工程依次實施以下工序由大型的研磨裝置研磨加工由支柱12以及橫梁14構成的一體構成物的工序；一邊使用測定器測定形狀，一邊由手工進行精拋光的工序。由此，可以以極高的精度加工移動部3。
以下，列舉具體的數(shù)值，將本實施方式的移動式XY載物臺與現(xiàn)有的支柱以及橫梁由鐵鑄品構成的移動式XY載物臺進行比較。首先，相對于7.9的鐵的比重，CFRP的比重僅為1.6，大致為鐵的20％。因此，相對于由鐵鑄品形成的支柱以及橫梁的總質(zhì)量600kg，由CFRP形成的支柱以及橫梁的總質(zhì)量僅為120kg。此外，石制固定平臺6的質(zhì)量例如為10ton。因此，上述(Mc/Ms)的值，相對于在現(xiàn)有的支柱以及橫梁使用鐵鑄品的XY載物臺中的11％，在本實施方式的支柱以及橫梁使用CFRP的XY載物臺中僅為6％。由此，在現(xiàn)有的XY載物臺中，晃動的大小最大例如為5mm，可以開始修復作業(yè)之前的晃動的穩(wěn)定時間最大例如為5秒，相對于此，在本實施方式中，晃動的大小最大例如為2mm，晃動的穩(wěn)定時間最大為2秒，可以大幅度的縮短。此外，在現(xiàn)有的移動式XY載物臺中，移動部的移動速度最大也僅僅可以實現(xiàn)800mm/sec左右，但在本實施方式的移動式XY載物臺中，移動部的移動速度可以高達1600mm/sec。
進而，伴隨著最近移動式XY載物臺的大型化，移動部的質(zhì)量增加，需要更大推力的線性電動機，但根據(jù)本實施方式，可以使移動部輕量化，因此可以抑制使移動部移動的線性電動機的推力，可以抑制移動式XY載物臺的成本的增大。
另外，在本實施方式中，雖表示了在石制固定平臺6上設置一對導向基座7的例子，但本發(fā)明并不限于此，還可以不設置導向基座，在石制固定平臺6直接安裝平移式導向軸承9以及線性刻度尺10，或者直接在石制固定平臺6的側(cè)面安裝線性電動機定子11。此時，只需要比本實施方式的支柱12的高度高出導向基座7的高度。
此外，在本實施方式中，表示了在基臺部2上設置一組移動部3，在一組移動部3設置一個移動基座18的例子，但本發(fā)明并不限于此，也可以在一個基臺部上設置沿Y方向移動的多組移動部，此外，也可以在一組移動部上設置沿X方向移動的多個移動基座18，在各移動基座18上分別搭載激光光學單元20。由此，可以同時進行多處的修復。
進而，在本實施方式中，表示了把移動式XY載物臺組裝到液晶顯示器的修復裝置的例子，但本發(fā)明并不限于此，本發(fā)明的移動式XY載物臺，可以適用于對大型的平面構造物進行任一局部的處理的裝置，例如，可以組裝到液晶掩模的激光修復裝置、太陽電池板的圖案形成裝置、液晶顯示器的缺陷檢查裝置、半導體裝置的缺陷檢查裝置等。另外，當組裝到液晶顯示器或半導體裝置等的缺陷檢查裝置時，可以搭載顯微鏡單元來代替激光光學單元。
本發(fā)明的移動式XY載物臺可以適用于對大型的平面構造物進行任一局部的處理的裝置，例如，液晶顯示器的修復裝置、液晶掩模的激光修復裝置、太陽電池板的圖案形成裝置、液晶顯示器的缺陷檢查裝置、半導體裝置的缺陷檢查裝置等。
權利要求
1.一種移動式XY載物臺，包括固定平臺；一對支柱，由楊氏模量為200Gpa以上的第一復合材料構成，設置于所述固定平臺上使之在平行于所述固定平臺的上表面的第一方向上相互間隔，在交叉于所述第一方向的第二方向上可以移動；橫梁，由楊氏模量為200GPa以上的第二復合材料構成，架于所述一對支柱之間；以及移動基座，被設置得相對該橫梁可以沿所述第一方向移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的移動式XY載物臺，所述第一以及第二復合材料中至少有一種材料為碳纖維強化塑料。
3.根據(jù)權利要求1所述的移動式XY載物臺，所述橫梁為由在其上表面形成第一孔的外殼構成的中空體，包括平移式導向軸承，引導所述移動基座的移動，由金屬或合金構成，配置于所述橫梁的上表面，在與所述第一孔匹配的位置形成第二孔；墊板，由金屬或合金構成，夾住所述橫梁的內(nèi)部的所述外殼，配置在與所述平移式導向軸承相向的位置，在與所述第一孔匹配的位置形成第三孔；以及固定部件，插通所述第二孔、所述第一孔以及所述第三孔，把所述平移式導向軸承固定于所述橫梁。
4.根據(jù)權利要求3所述的移動式XY載物臺，所述第三孔為螺紋孔，所述固定部件為螺合于所述螺紋孔的螺栓。
5.根據(jù)權利要求3所述的移動式XY載物臺，在所述橫梁的內(nèi)部設置由所述第二復合材料構成、向垂直方向延伸的支撐件。
6.根據(jù)權利要求1所述的移動式XY載物臺，在把所述橫梁接合于所述支柱后研磨加工所述橫梁的上表面以及所述支柱的下表面。
7.根據(jù)權利要求1所述的移動式XY載物臺，搭載于液晶顯示器的缺陷檢查裝置。
8.根據(jù)權利要求1所述的移動式XY載物臺，搭載于半導體裝置的缺陷檢查裝置。
9.根據(jù)權利要求1所述的移動式XY載物臺，具有固定于所述移動基座的激光照射裝置。
10.根據(jù)權利要求9所述的移動式XY載物臺，搭載于液晶顯示器的激光修復裝置。
11.根據(jù)權利要求9所述的移動式XY載物臺，搭載于液晶掩模的激光修復裝置。
12.根據(jù)權利要求9所述的移動式XY載物臺，搭載于太陽電池板的圖案形成裝置。
全文摘要
在架臺上設置九個消振支架，在其上設置石制固定平臺。并且，在石制固定平臺上設置一對導向基座，在其上設置可以相對于石制固定平臺沿Y方向移動的、由CFRP構成的一對支柱。此外，在一對支柱之間架有由CFRP構成的橫梁。進而，設置可以相對橫梁沿X方向移動的移動基座，在移動基座上搭載激光光學單元。
文檔編號B23K26/08GK1727970SQ20041009014
公開日2006年2月1日 申請日期2004年10月29日 優(yōu)先權日2004年7月30日
發(fā)明者巖永康志, 水戶部和彥 申請人:激光先進技術股份公司