專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種照射激光來對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行加工的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
作為以往的激光加工裝置，有專利文獻(xiàn)1所記載的。記載于該專利文獻(xiàn)1的激光加工裝置，在載物臺(tái)的上方設(shè)置有激光頭，以使從激光頭放射激光的放射方向相對(duì)于承載加工對(duì)象物的載物臺(tái)垂直。
采用如上所述結(jié)構(gòu)是因?yàn)?，?dāng)設(shè)置激光頭，以使激光的放射方向相對(duì)于載物臺(tái)平行時(shí)，為使激光相對(duì)于載物臺(tái)垂直照射，就必需使用反射鏡，導(dǎo)致構(gòu)造復(fù)雜化。另外，由于反射鏡受激光照射，在反射鏡上產(chǎn)生熱變形，由于其變形，存在使激光特性發(fā)生改變的問題。
專利文獻(xiàn)1日本專利特開平5-245675號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在如上所述激光加工裝置中，存在有以下問題。即，從激光頭放射的激光的放射方向，因每個(gè)激光頭而產(chǎn)生偏差。因而，由于激光頭的損傷等原因而更換激光頭時(shí)，存在因每一激光頭放射激光方向的偏差而使激光的放射方向從激光加工裝置本體的光軸偏離的問題。上述激光放射方向的偏離，使在利用照射激光對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行精密加工時(shí)產(chǎn)生特別大的問題。
本發(fā)明正是為解決上述問題，其目的在于提供一種可校正每個(gè)激光頭放射激光方向的偏差的激光加工裝置。
關(guān)于本發(fā)明激光加工裝置是，向加工對(duì)象物照射激光來對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行加工的激光加工裝置，其特征在于，具有放射激光的激光頭；保持激光頭并冷卻激光頭的冷卻套；將從激光頭放射的激光調(diào)整至規(guī)定特性的光學(xué)系本體部；和配置在冷卻套和光學(xué)系本體部之間，調(diào)整冷卻套相對(duì)于光學(xué)系本體部的位置和傾斜的調(diào)整部。
在該激光加工裝置中，由于利用冷卻套保持并冷卻激光頭，所以可使激光頭穩(wěn)定的動(dòng)作。而且，在該激光加工裝置中，在因激光頭損傷等而更換激光頭時(shí)，即使激光的放射方向偏差，也可利用調(diào)整部調(diào)整冷卻套相對(duì)于光學(xué)系本體部的位置和傾斜，由此使激光的放射方向與光學(xué)系本體部的光軸一致。如此，可利用該激光加工裝置容易地校正每個(gè)激光頭的激光放射方向的偏差。
而且，冷卻套優(yōu)選為，保持有開閉從激光頭放射的激光光路的光閘單元，同時(shí)冷卻光閘單元。利用該結(jié)構(gòu)，可利用用于冷卻激光頭的冷卻套，冷卻因開閉激光光路而發(fā)熱的光閘單元。如此，利用共用的冷卻套，可高效地冷卻激光頭和光閘單元雙方，并可實(shí)現(xiàn)激光加工裝置的小型化。
另外，光學(xué)系本體部優(yōu)選具有，調(diào)整從激光頭放射的激光的光束尺寸的光擴(kuò)束器(beam expander)；用于觀察加工對(duì)象物的加工對(duì)象物觀察光學(xué)系；和使激光聚光于加工對(duì)象物的加工用物鏡。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可利用光擴(kuò)束器調(diào)整從激光頭放射的激光的光束尺寸，可利用加工對(duì)象物觀察光學(xué)系觀察加工對(duì)象物，還可利用加工用物鏡使激光聚光于加工對(duì)象物，對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行加工。
根據(jù)本發(fā)明，可校正每個(gè)激光頭的激光發(fā)射方向的偏差。


圖1表示本發(fā)明涉及的激光加工裝置的一個(gè)實(shí)施方式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。
圖2為圖1所示激光加工裝置的激光頭單元的立體圖。
圖3為圖2所示調(diào)整部的分解立體圖。
圖4為Y軸校正機(jī)構(gòu)的橫剖面圖。
圖5為X軸校正機(jī)構(gòu)的橫剖面圖。
圖6為圖2所示傾斜校正支點(diǎn)機(jī)構(gòu)的縱剖面圖。
圖7為圖2所示傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)的縱剖面圖。
圖8為圖7所示在傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)中，將板狀部件傾斜的狀態(tài)的縱剖面圖。
符號(hào)說明1激光加工裝置
4光學(xué)系本體部11 冷卻套13 激光頭14 光閘單元15 調(diào)整部22 光擴(kuò)束器42 加工用物鏡L激光S加工對(duì)象物具體實(shí)施方式
下面，參照附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明涉及的激光加工裝置的合適的圖1表示本發(fā)明涉及的激光加工裝置1的一個(gè)實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。如圖1所示，激光加工裝置1是，將聚光點(diǎn)P調(diào)整到載置在載物臺(tái)2上的平板狀加工對(duì)象物S的內(nèi)部，照射激光L，在加工對(duì)象物S內(nèi)部形成由于多光子吸收的改質(zhì)區(qū)域R的裝置。載物臺(tái)2在上下方向和左右方向上移動(dòng)并可旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，在該載物臺(tái)2的上方配置有，主要由激光頭單元3、光學(xué)系本體部4和物鏡單元5構(gòu)成的激光輸出裝置6。
激光頭單元3，裝卸自如地安裝在光學(xué)系本體部4的上端部。該激光頭單元3具有L字型的冷卻套11，在該冷卻套11的縱壁11a內(nèi)，以蛇行狀態(tài)埋設(shè)有流通冷卻水的冷卻管12。在該縱壁11a的前面，利用螺絲裝卸自如地安裝有，使激光L向下方放射的激光頭13，和選擇地實(shí)行開放及閉鎖從該激光頭13放射的激光L的光路的光閘單元14。因而，當(dāng)激光頭13損傷時(shí)，可更換激光頭13。另外，可利用共用的冷卻套11高效地對(duì)因驅(qū)動(dòng)而發(fā)熱的激光頭13，和因閉鎖激光L光路而發(fā)熱的光閘單元14，并可實(shí)現(xiàn)激光加工裝置1的小型化。而且，激光頭13是使用例如NdYAG(Neodymium doped yttrium Aluminum Garnet參釹鐿鋁石榴石)激光的，作為激光L放射脈沖寬度1μs以下的脈沖激光。
而且，在激光頭單元3中，在冷卻套11底壁11b的下面，安裝有用于調(diào)整冷卻套11的位置和傾斜的調(diào)整部15。該調(diào)整部15用于使從激光頭13放射的激光L光軸α與由光學(xué)系本體部4和物鏡單元5設(shè)定的光軸β一致，以使其在上下方向上延伸。即，激光頭單元3的冷卻套11通過調(diào)整部15安裝于光學(xué)系本體部4。其后，由調(diào)整部15調(diào)整冷卻套11的位置和傾斜時(shí)，根據(jù)冷卻套11動(dòng)作調(diào)整激光頭13位置和傾斜。由此，使激光L在其光軸α與光軸β一致的狀態(tài)下在光學(xué)系本體部4內(nèi)行進(jìn)。而且，在冷卻套11的底壁11b、調(diào)整部15和光學(xué)系本體部4的框體21上，形成有通過激光L的貫通孔。
另外，在光學(xué)系本體部4的框體21內(nèi)的光軸β上，從上至下依次配置有擴(kuò)大從激光頭13放射的激光L的光束尺寸的光擴(kuò)束器22；調(diào)整激光L輸出的光衰減器(attenuator)23；觀察由光衰減器23調(diào)整后的激光L輸出的輸出觀察光學(xué)系24；調(diào)整激光L偏光的偏光調(diào)整光學(xué)系25。而且，在光衰減器23上安裝有吸收去除激光的光束阻尼器26，該光束阻尼器26通過熱管(heat pipe)27連接到冷卻套11。由此，可防止吸收激光的光束阻尼器26過熱。如上所述，將從激光頭13放射的激光L，在光學(xué)系本體部4中調(diào)整至規(guī)定的特性。
而且，為了觀察承載在載物臺(tái)2上的加工對(duì)象物S，在光學(xué)系本體部4的框體21上安裝有引導(dǎo)觀察用可視光的導(dǎo)光管(light guide)28，在框體21內(nèi)配置有CCD(Charge Coupled Devices電荷耦合器件)照相機(jī)29。利用導(dǎo)光管28將觀察用可視光引導(dǎo)至框體21內(nèi)，依次通過視野光圈31、標(biāo)度線(reticule)32、二向色鏡(dichroic mirror)33等之后，由配置在光軸β上的二向色鏡34來反射。所反射的觀察用可視光，沿光軸β向下方行進(jìn)，照射在加工對(duì)象物S上。而且，激光L透過二向色鏡34。
然后，在加工對(duì)象物S表面反射的觀察用可視光的反射光，沿光軸β向上方行進(jìn)，由二向色鏡34反射。由該二向色鏡34反射的反射光，再次由二向色鏡33反射通過成像鏡35等，入射到CCD照相機(jī)29。將由該CCD照相機(jī)29攝影的加工對(duì)象物S的圖像顯示在監(jiān)視器(未圖示)上。如上所述，由導(dǎo)光管28、CCD照相機(jī)29、視野光圈31、標(biāo)度線32、二向色鏡33、34、成像鏡35構(gòu)成加工對(duì)象物觀察光學(xué)系。
另外，物鏡單元5裝卸自如地安裝在光學(xué)系本體部4的下端部。由于物鏡單元5利用多個(gè)定位銷相對(duì)于光學(xué)系本體部4的下端部進(jìn)行定位，所以可容易地使設(shè)定在光學(xué)系本體部4中的光軸β與設(shè)定在物鏡單元5中的光軸β一致。在該物鏡單元5框體41下端，間隔設(shè)置有使用壓電(piezo)元件的制動(dòng)器(actuator)43，在與光軸β一致的狀態(tài)下安裝加工用物鏡42。而且，在光學(xué)系本體部4的框體21和物鏡單元5的框體41上，形成有通過激光L的貫通孔。另外，由加工用物鏡42聚光的激光L的聚光點(diǎn)P上的峰值功率密度為1×108(W/cm2)以上。
而且，在物鏡單元5的框體41內(nèi)，為使激光L的聚光點(diǎn)P位于從加工對(duì)象物S的表面規(guī)定的深度，配置有放射測(cè)量用激光的激光二極管44和受光部45。從激光二極管44放射測(cè)量用激光，依次由反光鏡46、半反光鏡47反射后，由配置在光軸β上的二向色鏡48反射。反射的測(cè)量用激光，沿光軸β向下方行進(jìn)，通過加工用物鏡42照射在加工對(duì)象物S上。而且，激光L透過二向色鏡48。
然后，使在加工對(duì)象物S表面反射的測(cè)量用激光的反射光，再次入射到加工用物鏡42沿光軸β向上方進(jìn)行，由二向色鏡48反射。由該二向色鏡48反射的測(cè)量用激光的反射光，通過半反光鏡47入射到受光部45內(nèi)，聚光在4等分光敏二極管所構(gòu)成的4分割位置檢測(cè)元件上。根據(jù)聚光在該4分割位置檢測(cè)元件上的測(cè)量用激光的反射光的聚光像圖案，可檢測(cè)出由加工用物鏡42的測(cè)量用激光的聚光點(diǎn)，相對(duì)于加工對(duì)象物S的表面處在哪個(gè)位置上。
下面，參照?qǐng)D2～圖7進(jìn)一步詳細(xì)說明配置在冷卻套11和光學(xué)系本體部4之間的調(diào)整部15。在此，以冷卻套11的左右方向?yàn)閄軸方向，前后方向?yàn)閅軸方向，上下方向?yàn)閆軸方向。
如圖2及圖3所示，調(diào)整部15由，相對(duì)于光學(xué)系本體部4使冷卻套11在X-Y方向上移動(dòng)的X-Y方向校正機(jī)構(gòu)50，和相對(duì)于光學(xué)系本體部4調(diào)整冷卻套11傾斜的傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51構(gòu)成。X-Y方向校正機(jī)構(gòu)50由Y軸校正機(jī)構(gòu)52和X軸校正機(jī)構(gòu)53構(gòu)成，傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51設(shè)置在X-Y方向校正機(jī)構(gòu)50上。
Y軸校正機(jī)構(gòu)52具有長方形狀的板狀部件54；形成在框體21的頂板21a上的前側(cè)緣部的螺栓保持部56；由該螺栓保持部56在Y軸方向上進(jìn)行保持的進(jìn)給螺栓57；和直立設(shè)置在頂板21a上的一對(duì)銷58、59。在板狀部件54的前側(cè)側(cè)面上形成螺栓孔61，在板狀部件54的后側(cè)緣部形成有在Y軸方向上延伸的一對(duì)切口62、63。
如圖3和圖4所示，板狀部件54，在切口62內(nèi)配置銷58，且在使切口63內(nèi)配置有銷59的狀態(tài)下承載在頂板21a上，進(jìn)給螺栓57螺合在螺栓孔61。而且，在頂板21a的中央，形成有使從激光頭13放射的激光L通過的貫通孔21b，在板狀部件54的中央，同樣也形成有使激光L通過的貫通孔64。
X軸校正機(jī)構(gòu)53具有長方形的板狀部件66；形成在板狀部件54上的左側(cè)緣部的螺栓保持部67；由該螺栓保持部67沿X軸方向上進(jìn)行保持的進(jìn)給螺栓68；和直立設(shè)置在板狀部件54上的銷69。在板狀部件66的左側(cè)側(cè)面上形成有螺栓孔71，在板狀部件66的右側(cè)緣部形成有在X軸方向上延伸的切口72。
如圖3和圖5所示，板狀部件66，在使切口72內(nèi)配置有銷69的狀態(tài)下承載在板狀部件54上，進(jìn)給螺栓68螺合于螺栓孔71。而且，在板狀部件66中央，形成有使從激光頭13放射的激光L通過的貫通孔73。
另外，如圖3所示，傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51由，板狀部件66；長方形的板狀部件74；在四角處連結(jié)這些板狀部件66和板狀部件74的1個(gè)傾斜校正支點(diǎn)機(jī)構(gòu)77；和3個(gè)傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)78構(gòu)成。而且，在板狀部件74中央，形成有使從激光頭13放射的激光L通過的貫通孔79。
如圖3和圖6所示，傾斜校正支點(diǎn)機(jī)構(gòu)77具有支持螺栓81，在該支持螺栓81的前端形成有小徑螺栓部82。支持螺栓81貫穿板狀部件74的螺栓插通孔83，小徑螺栓部82螺合在形成于板狀部件66上面的螺栓孔84。另外，從板狀部件66的側(cè)面形成螺栓孔86，以使其貫穿于該螺栓孔84。然后，在使支持螺栓81的小徑螺栓部82螺合在螺栓孔84的狀態(tài)下，將固定螺栓87螺合在螺栓孔86中，由于在固定螺栓87的前端壓緊有小徑螺栓部82，使支持螺栓81牢固地固定于板狀部件66。
另外，在板狀部件74和板狀部件66之間，配置有使支持螺栓81貫穿的球體88和球面墊圈89、91，形成以各凹狀球面墊圈89、91的球面夾住球體88的狀態(tài)。
而且，在板狀部件74上，以相互嵌合的狀態(tài)配置有使支持螺栓81貫穿的凹狀球面墊圈92和凸?fàn)钋蛎鎵|圈93，在這些凹狀球面墊圈92和凸?fàn)钋蛎鎵|圈93的上側(cè)，在支持螺栓81上螺合螺母94。
另外，如圖3和圖7所示，傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)78也具有支持螺栓81，支持螺栓81貫穿板狀部件74的螺栓插通孔83，小徑螺栓部82螺合于形成在板狀部件66上面的螺栓孔84。而且，在使支持螺栓81的小徑螺栓部82螺合在螺栓孔84的狀態(tài)下，使固定螺栓87螺合于形成在板狀部件66側(cè)面上的螺栓孔86，在固定螺栓87的前端壓緊小徑螺栓部82，使支持螺栓81牢固地固定于板狀部件66。
在板狀部件74與板狀部件66之間，在相互嵌合的狀態(tài)下配置有使支持螺栓81貫穿的凹狀球面墊圈96和凸?fàn)钋蛎鎵|圈97。而且，在這些凹狀球面墊圈96和凸?fàn)钋蛎鎵|圈97的下側(cè)，在支持螺栓81上螺合螺母98。
另外，在板狀部件74上，在相互嵌合的狀態(tài)下配置有使支持螺栓81貫穿的凹狀球面墊圈99和凸?fàn)钋蛎鎵|圈101，而且，在這些凹狀球面墊圈99和凸?fàn)钋蛎鎵|圈101的上側(cè)，在支持螺栓81上螺合螺母102。
說明如以上結(jié)構(gòu)的調(diào)整部15的使用方法一個(gè)實(shí)例。該調(diào)整部15用在激光頭13更換等情況下。
如圖4所示，當(dāng)正轉(zhuǎn)或逆轉(zhuǎn)Y軸校正機(jī)構(gòu)52的進(jìn)給螺栓57時(shí)，板狀部件54由銷58和銷59導(dǎo)引在Y軸方向上移動(dòng)。隨著該移動(dòng)，位于板狀部件54上方的X軸校正機(jī)構(gòu)53、傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51、和冷卻套11則相對(duì)于頂板21a在Y軸方向上移動(dòng)，從而可使激光頭13的光軸α與光學(xué)系本體部4的光軸β，在X軸方向上一致。
接著，如圖5所示，當(dāng)正轉(zhuǎn)或逆轉(zhuǎn)X軸校正機(jī)構(gòu)53的進(jìn)給螺栓68時(shí)，板狀部件66由銷69導(dǎo)引在X軸方向上移動(dòng)。隨著該移動(dòng)，位于板狀部件66上方的傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51和冷卻套11，則相對(duì)于頂板21a在X軸方向上移動(dòng)，從而可使激光頭13的光軸α與光學(xué)系本體部4的光軸β在Y軸方向上一致。
另外，在傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51中，松開傾斜校正支點(diǎn)機(jī)構(gòu)77的螺母94，和各傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)78的螺母98、102(參照?qǐng)D6和圖7)。然后，使固定有冷卻套11的板狀部件74傾斜，以使激光頭13的光軸α與光學(xué)系本體部4的光軸β一致。此時(shí)，在傾斜校正支點(diǎn)機(jī)構(gòu)77中，凹狀球面墊圈89、91的各凹狀球面相對(duì)于球體88的球面滑動(dòng)，凹狀球面墊圈92的凹狀球面與凸?fàn)钋蛎鎵|圈93的凸?fàn)钋蛎婊瑒?dòng)，同時(shí)使板狀部件74傾斜。另外，在各傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)78中，如圖8所示，凸?fàn)钋蛎鎵|圈97的凸?fàn)钋蛎媾c凹狀球面墊圈96的凹狀球面滑動(dòng)，凹狀球面墊圈99的凹狀球面與凸?fàn)钋蛎鎵|圈101的凸?fàn)钋蛎婊瑒?dòng)。然后，在使板狀部件74的傾斜達(dá)到最合適狀態(tài)下，將傾斜校正支點(diǎn)機(jī)構(gòu)77的螺母94在下方鎖緊，同時(shí)使各傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)78的螺母98和螺母102從兩側(cè)向板狀部件74鎖緊，固定板狀部件74。
如此，通過使用傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51，可調(diào)整板狀部件74的傾斜。在此，在板狀部件74上安裝有冷卻套11，在該冷卻套11上安裝有激光頭13。因而，可通過傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51來調(diào)整板狀部件74的傾斜，并由此調(diào)整激光頭13的傾斜。
如上所述，用X-Y方向校正機(jī)構(gòu)50和傾斜調(diào)整機(jī)構(gòu)51，調(diào)整激光頭13相對(duì)于光學(xué)系本體部4的位置和傾斜，由此，可使激光頭13的光軸α與光學(xué)系本體部4的光軸β一致。因而，即使每個(gè)激光頭的激光L的放射方向發(fā)生偏差時(shí)，在每次的更換激光頭13時(shí)，利用調(diào)整部15可容易地校正每個(gè)激光頭13的激光放射L方向的偏差。而且，利用該調(diào)整部15的光軸調(diào)整，也可用在使激光頭13以每個(gè)冷卻套11來更換的情況。
以上，基于實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了具體說明，但本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式。例如，亦可設(shè)置馬達(dá)，以利用電動(dòng)來旋轉(zhuǎn)Y軸校正機(jī)構(gòu)52的進(jìn)給螺栓57或X軸校正機(jī)構(gòu)53的進(jìn)給螺栓68。另外，在上述實(shí)施方式中，在使板狀部件74和板狀部件66連結(jié)的四個(gè)角中，在三個(gè)角的位置上設(shè)置了傾斜校正動(dòng)點(diǎn)機(jī)構(gòu)96，但也可設(shè)于任意的二角處，穩(wěn)定地連結(jié)板狀部件74和板狀部件66。另外，在上述實(shí)施方式中，光學(xué)系本體部4與物鏡單元5獨(dú)立設(shè)置，但并不限定于此，只要激光加工裝置是可在光學(xué)系本體部4中安裝物鏡單元5的構(gòu)造即可。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性根據(jù)本發(fā)明，可校正每個(gè)激光頭的激光的放射方向的偏差。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，是向加工對(duì)象物照射激光，對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行加工的激光加工裝置，其特征在于，具有放射激光的激光頭；保持所述激光頭并冷卻所述激光頭的冷卻套；將從所述激光頭放射的激光調(diào)整至規(guī)定特性的光學(xué)系本體部；和配置在所述冷卻套和所述光學(xué)系本體部之間，調(diào)整所述冷卻套相對(duì)于所述光學(xué)系本體部的位置和傾斜的調(diào)整部。
2.如權(quán)利要求1所述激光加工裝置，其特征在于所述冷卻套，保持使從所述激光頭放射的激光光路開閉的光閘單元，同時(shí)冷卻所述光閘單元。
3.如權(quán)利要求1所述激光加工裝置，其特征在于，所述光學(xué)系本體部具有調(diào)整從所述激光頭放射的所述激光的光束尺寸的光擴(kuò)束器；用于觀察所述加工對(duì)象物的加工對(duì)象物觀察光學(xué)系；和將所述激光聚光于所述加工對(duì)象物的加工用物鏡。
全文摘要
本發(fā)明提供一種激光加工裝置，可校正每個(gè)激光頭的激光的放射方向的偏差。在激光加工裝置(1)中，由于利用冷卻套(11)保持并冷卻激光頭(13)，所以可使激光頭(13)穩(wěn)定動(dòng)作。而且在激光加工裝置(1)中，在因激光頭(13)的損傷等而更換激光頭(13)時(shí)，即使激光(L)的放射方向發(fā)生偏差，也可利用調(diào)整部(15)調(diào)整冷卻套(11)相對(duì)于光學(xué)系本體部(4)的位置和傾斜，由此可使激光(L)的放射方向與光學(xué)系本體部(4)的光軸一致。如此，根據(jù)激光加工裝置(1)，可容易地校正每個(gè)激光頭(13)的激光的放射方向的偏差。
文檔編號(hào)B23K26/42GK1890048SQ200480036909
公開日2007年1月3日 申請(qǐng)日期2004年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月12日
發(fā)明者栗田典夫, 內(nèi)山直己 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社