專利名稱：激光加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將由激光振蕩器引入到加工頭內(nèi)的激光束通過加工頭的聚光透鏡聚焦，同時引入到金屬板、塑料板等被加工件上進(jìn)行被加工件的切割、焊接等加工的激光加工機(jī)。
本申請以2004年5月7日申請的日本特愿2004-138324號為基礎(chǔ)主張優(yōu)先權(quán)，所以在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，熟知的激光加工機(jī)一般是利用激光束對被加工件進(jìn)行切割、焊接等加工，從而使之形成期望形狀。
在此，鑒于激光束的直徑會因?yàn)閺募す庹袷幤鞯郊庸ゎ^的光路長度不同而發(fā)生變化，即，激光束的直徑隨著光路長度變長而變大，所以從激光振蕩器到加工頭的光路長度對激光加工時的加工性能有很大影響。另外，根據(jù)輔助氣體使用氮?dú)膺€是氧氣，是否坡口加工，加工方法是否為在聚光透鏡下面設(shè)置反射鏡的立體三維加工等，被加工件的材質(zhì)是鐵等低碳鋼還是不銹鋼等，被加工件的厚度等決定的光路長度有所不同。
因此，根據(jù)被加工件的加工方法、材質(zhì)、厚度等，必須要有較長的光路長度。
但是，在激光加工機(jī)中，為防止激光加工機(jī)的大型化，一般使用大小與被加工件的大小相應(yīng)的小型激光加工機(jī)，此時很難得到較長的光路長度。
為解決這個問題，以獲得較長的光路長度，現(xiàn)有技術(shù)中，一種具有激光反轉(zhuǎn)器的激光加工裝置為人們所熟知，該激光反轉(zhuǎn)器將來自激光振蕩器的激光反轉(zhuǎn)后入射至加工頭(參照專利文獻(xiàn)1日本特公平1-55076號公報(bào))。
但是，在該激光加工裝置中，只不過是將來自激光振蕩器的激光進(jìn)行一次反轉(zhuǎn)后入射至加工頭，所以光路長度受限于激光加工裝置的有效加工寬度，因而延長光路長度受到限制。
由此，根據(jù)被加工件的加工方法、材質(zhì)、厚度等不能得到良好的加工性能，為了以較短的光路長度能得到良好的加工性能，例如在加工薄板時必須使用焦距較短的聚光透鏡，必須使聚光透鏡靠近薄板，這樣會出現(xiàn)加工時飛濺的熔珠(熔融的被加工件)或熔渣(一旦熔融后就發(fā)生凝固的被加工件)附著到聚光透鏡上的問題。
另外，為了延長光路長度，現(xiàn)有技術(shù)中，一種在主機(jī)架內(nèi)配置激光振蕩器與反轉(zhuǎn)鏡體的激光加工機(jī)為人們所熟知，通過使反轉(zhuǎn)鏡體在主機(jī)架內(nèi)移動來調(diào)整主機(jī)架內(nèi)的光路長度，從而可將從激光振蕩器到加工頭的光路長度設(shè)定變更為與被加工件的壁厚、材質(zhì)變化對應(yīng)的適當(dāng)?shù)墓饴烽L度(例如參照專利文獻(xiàn)2日本特許第3084780號公報(bào))。
另外，還有一種熟知的激光加工機(jī)，其將從激光振蕩器射出的激光通過第一折射元件向?qū)к変佋O(shè)方向折射，然后通過反轉(zhuǎn)裝置反轉(zhuǎn)折射成與導(dǎo)軌平行，再通過第二折射元件向焊槍的方向折射，利用設(shè)置于焊槍上的反射鏡，通過透鏡聚焦后照射到被加工件上，通過使反轉(zhuǎn)裝置在導(dǎo)軌鋪設(shè)方向上移動，由此可設(shè)定變更光路長度(例如參照專利文獻(xiàn)3日本特公平5-49396號公報(bào))。
但是，在現(xiàn)有技術(shù)的通過在主機(jī)架內(nèi)移動反轉(zhuǎn)鏡體來調(diào)整主機(jī)架內(nèi)的光路長度的激光加工機(jī)中，為了延長、調(diào)整光路長度，必須在設(shè)有激光振蕩器的主機(jī)架內(nèi)設(shè)置具有多個反射鏡的反轉(zhuǎn)鏡體，另外，還必須設(shè)置使反轉(zhuǎn)鏡體移動的機(jī)構(gòu)，這樣就會使激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化、大型化。尤其是為了確實(shí)防止激光所帶來的危險(xiǎn)，對反轉(zhuǎn)鏡體的結(jié)構(gòu)、反轉(zhuǎn)鏡體的移動機(jī)構(gòu)的精度要求極高，從而使得結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。另外，在該激光加工機(jī)中，從激光振蕩器射出的激光在中途向垂直方向偏轉(zhuǎn)后再入射至加工頭，從而使得裝置大型化。
另外，在現(xiàn)有技術(shù)的將從激光振蕩器射出的激光通過第一折射元件、反轉(zhuǎn)裝置及第二折射元件后入射至焊槍，并且為改變光路長度而使反轉(zhuǎn)裝置在導(dǎo)軌鋪設(shè)方向上移動的激光加工機(jī)中，必須在激光振蕩器的后方設(shè)置第一折射元件，并且為了移動第一折射元件，必須設(shè)置沿著焊槍的移動方向和垂直方向延伸的機(jī)架、導(dǎo)軌等，這樣就會使激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化、大型化。尤其是為了確實(shí)防止激光所帶來的危險(xiǎn)，對第一折射元件的結(jié)構(gòu)、第一折射元件的機(jī)架、導(dǎo)軌等的精度要求極高，從而使得結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。另外，在第一折射元件的下方不能配置被加工件，所以產(chǎn)生激光加工機(jī)的有效加工寬度變窄的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可得到不受有效加工寬度限制的較長光路長度、可簡化結(jié)構(gòu)、防止大型化的激光加工機(jī)。
根據(jù)本發(fā)明的激光加工機(jī)，其將由激光振蕩器引入到加工頭內(nèi)的激光束通過加工頭的聚光透鏡聚焦，同時引入到被加工件上，從而進(jìn)行被加工件的加工，該激光加工機(jī)包括使來自激光振蕩器的激光束反轉(zhuǎn)的第一激光束反轉(zhuǎn)裝置以及使由第一激光束反轉(zhuǎn)裝置反轉(zhuǎn)后的激光束反轉(zhuǎn)、并引入到加工頭內(nèi)的第二激光束反轉(zhuǎn)裝置；從激光振蕩器向第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的第一激光光路、從第一激光束反轉(zhuǎn)裝置向第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的第二激光光路及從第二激光束反轉(zhuǎn)裝置向加工頭的第三激光光路相互平行。
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)榘ǖ谝患す馐崔D(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置，所以，不必在激光振蕩器的框體內(nèi)設(shè)置用于延長光路長度的反射鏡等，只通過簡單的結(jié)構(gòu)，就可以得到不受激光加工機(jī)的有效加工寬度限制的光路長度，并且可以得到與被加工件的板厚、材質(zhì)、加工方法等相應(yīng)的適當(dāng)?shù)墓饴烽L度。
因?yàn)榈谝患す夤饴?、第二激光光路及第三激光光路相互平行，所以加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置可沿著相同方向設(shè)置，例如可將加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置設(shè)置在同一機(jī)架上，這樣可防止激光加工機(jī)大型化、復(fù)雜化。
另外，在本發(fā)明中，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束0轉(zhuǎn)裝置相對于第一激光光路平行移動，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于加工頭的位置可任意設(shè)定，在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于加工頭的位置設(shè)定后，在加工頭移動的同時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭移動方向相同的方向上以加工頭的1/2的速度移動，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭移動方向相同的方向上以與加工頭相同的速度移動。
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)橄鄬τ诩庸ゎ^的第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的位置可任意設(shè)定，所以，可根據(jù)被加工件的板厚、材質(zhì)、加工方法等變更光路長度，可根據(jù)被加工件的板厚等準(zhǔn)備多個聚光透鏡，從而避免更換時浪費(fèi)時間。
另外，因?yàn)樵诩庸ゎ^移動的同時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭移動方向相同的方向上以1/2的速度移動，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭移動方向相同的方向上以相同的速度移動，所以即使在移動加工頭且繼續(xù)被加工件的加工時也可以保持規(guī)定的光路長度。
另外，在本發(fā)明中，當(dāng)?shù)诙す馐崔D(zhuǎn)裝置到達(dá)第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動界限時，在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置維持靜止?fàn)顟B(tài)的同時，繼續(xù)移動加工頭，使第一激光束反轉(zhuǎn)裝置沿著與加工頭移動方向相反的方向以加工頭的1/2的速度移動。
根據(jù)本發(fā)明，即使在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置到達(dá)第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動界限時，也可以維持相同的光路長度，并可以繼續(xù)利用加工頭對被加工件進(jìn)行加工，從而可保證被加工件的加工質(zhì)量，并能增大有效加工寬度。
另外，在本發(fā)明中，當(dāng)?shù)谝患す馐崔D(zhuǎn)裝置到達(dá)第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動界限時，在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置維持靜止?fàn)顟B(tài)的同時，繼續(xù)移動加工頭，使第二激光束反轉(zhuǎn)裝置沿著與加工頭移動方向相同的方向以加工頭的1/2的速度移動。
根據(jù)本發(fā)明，即使在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置到達(dá)第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動界限時，也可維持相同的光路長度，并可繼續(xù)利用加工頭對被加工件進(jìn)行加工，從而可保證被加工件的加工質(zhì)量，并能增大有效加工寬度。
另外，在本發(fā)明中，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于第一激光光路平行移動，在加工頭的全部有效加工寬度上，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置維持相同的光路長度，并以相同的速度比移動。
根據(jù)本發(fā)明，在加工頭在相同方向上移動的途中，例如，即使加工頭接近其移動界限，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動方向、移動速度也不會改變，并且維持相同的光路長度，所以，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動動作相對于加工頭的移動動作不會產(chǎn)生誤差，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動動作可對加工頭的移動動作進(jìn)行正確跟蹤，并且可總是確保規(guī)定的光路長度，因而可以保證被加工件的加工質(zhì)量。
另外，在本發(fā)明中，在加工頭的移動速度為V0，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動速度為V1，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動速度為V2，加工頭的有效加工寬度為LM，任意設(shè)定的光路長度為L，可設(shè)定的最小光路長度為Lm，L-Lm設(shè)為L′時，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動速度比滿足下式V0∶V1∶V2＝1∶(1-L′/LM)/2∶(1-L′/2LM)。
根據(jù)本發(fā)明，通過設(shè)定所述的移動速度比，在加工頭的全部有效加工寬度上，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置可維持相同的光路長度，并且以相同的速度比移動。因此，在加工頭在相同方向上移動的途中，例如，即使加工頭接近其移動界限，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動方向、移動速度也不會改變，并且維持相同的光路長度，所以，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動動作相對于加工頭的移動動作不會產(chǎn)生誤差，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動動作可對加工頭的移動動作進(jìn)行正確跟蹤，并且可總是確保預(yù)定的光路長度，因而可以保證被加工件的加工質(zhì)量。
根據(jù)本發(fā)明，因?yàn)榘ǖ谝患す馐崔D(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置，所以，不必在激光振蕩器的框體內(nèi)設(shè)置用于延長光路長度的反射鏡等，只通過簡單的結(jié)構(gòu)，就可以得到不受激光加工機(jī)的有效加工寬度限制的光路長度，并可以得到與被加工件的板厚、材質(zhì)、加工方法等相應(yīng)的適當(dāng)?shù)墓饴烽L度。
因?yàn)榈谝患す夤饴贰⒌诙す夤饴芳暗谌す夤饴废嗷テ叫?，所以可沿著相同方向設(shè)置加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置，例如可將加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置設(shè)置在同一機(jī)架上等，由此可防止激光加工機(jī)大型化、復(fù)雜化。


圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的激光加工機(jī)的立體圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的激光加工機(jī)的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光加工機(jī)1進(jìn)行說明。
另外，在本發(fā)明的實(shí)施例中以激光切割機(jī)為例進(jìn)行說明，但本發(fā)明的激光加工機(jī)1不僅適用于激光切割機(jī)，例如，也可適用于通過反射鏡等傳輸二氧化碳激光的激光焊接機(jī)。
圖1表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的激光切割機(jī)1。
根據(jù)本實(shí)施例的激光切割機(jī)1包括一對導(dǎo)軌2、機(jī)體框架3、激光振蕩器4、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6、加工頭7。
一對導(dǎo)軌2互相間隔規(guī)定距離，沿著X軸方向平行延伸。
機(jī)體框架3沿著一對導(dǎo)軌2在X軸方向上移動。機(jī)體框架3包括一對導(dǎo)軌連接部8，分別與一對導(dǎo)軌2連接；機(jī)架9，架設(shè)在一對導(dǎo)軌連接部8之間，并沿著Y軸方向延伸。
激光振蕩器4沿著Y軸方向射出激光束。激光振蕩器4固定于機(jī)體框架3的一對導(dǎo)軌連接部8中的一個導(dǎo)軌連接部8上，在機(jī)體框架3在X軸方向上移動的同時，也在X軸方向上移動。
第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5使從激光振蕩器4射出的激光束反轉(zhuǎn)，并導(dǎo)向Y軸方向。
第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5包括第一反轉(zhuǎn)裝置框體10；第一反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡11及第一反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡12，設(shè)于第一反轉(zhuǎn)裝置框體10內(nèi)；第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)13及第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器(未圖示)，設(shè)于第一反轉(zhuǎn)裝置框體10上。
第一反轉(zhuǎn)裝置框體10設(shè)于機(jī)架9上，可沿著機(jī)架9在Y軸方向上移動。
第一反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡11使從激光振蕩器4射出的激光束向Z軸方向(下方)偏轉(zhuǎn)。第一反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡12使通過第一反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡11偏轉(zhuǎn)后的激光束向Y軸方向(激光振蕩器4方向)偏轉(zhuǎn)。
第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)13及第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器控制第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5在Y軸方向上的移動方向、移動量、移動速度。
第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5在Y軸方向上、與機(jī)架9的激光振蕩器4側(cè)相反的一側(cè)具有移動界限。
第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6使來自第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的激光束反轉(zhuǎn)，并導(dǎo)入加工頭7內(nèi)。
第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6包括第二反轉(zhuǎn)裝置框體14；第二反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡15及第二反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡16，設(shè)于第二反轉(zhuǎn)裝置框體14內(nèi)；第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)17及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器(未圖示)，設(shè)于第二反轉(zhuǎn)裝置框體14上。
第二反轉(zhuǎn)裝置框體14設(shè)于機(jī)架9上，可沿著機(jī)架9在Y軸方向上移動。
第二反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡15使來自第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的激光束向Z軸方向(上方)偏轉(zhuǎn)。第二反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡16使通過第二反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡15偏轉(zhuǎn)的激光束向Y軸方向(與激光振蕩器方向相反的方向)偏轉(zhuǎn)。
第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)17及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器控制第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在Y軸方向上的移動方向、移動量、移動速度。
第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在Y軸方向上、機(jī)架9的激光振蕩器4側(cè)具有移動界限。
另外，在圖1中，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在上下方向(Z軸方向)上較長，在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5中，在第一反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡11的下方放置有第一反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡12，在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6中，在第二反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡15的上方放置有第二反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡16。但是，代替圖1的結(jié)構(gòu)，也可以使第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在水平方向(X軸方向)上較長。此時，在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5中，沿著X軸方向配置第一反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡11及第一反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡12，在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6中，沿著X軸方向配置第二反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡15及第二反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡16。
此時也與圖1的結(jié)構(gòu)相同，從激光振蕩器4射出的激光束依次經(jīng)過第一反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡11、第一反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡12、第二反轉(zhuǎn)裝置第一反射鏡15、第二反轉(zhuǎn)裝置第二反射鏡16，最后到達(dá)加工頭反射鏡19。
加工頭7將來自第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的激光束引到被加工件(被加工材料)35上，于是進(jìn)行被加工件35的加工。加工頭7設(shè)置于機(jī)架9上，并設(shè)于第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5與第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6之間。
加工頭7包括加工頭框體18；加工頭反射鏡19及聚光透鏡20，設(shè)于加工頭框體18內(nèi)；加工頭伺服電動機(jī)21及加工頭伺服放大器(未圖示)，設(shè)于加工頭18上。
加工頭框體18設(shè)置于機(jī)架9上，可沿著機(jī)架9在Y軸方向上移動。加工頭反射鏡19使來自第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的激光束偏轉(zhuǎn)，并導(dǎo)向Z軸方向(下方)。聚光透鏡20使通過加工頭反射鏡19偏轉(zhuǎn)的激光束聚焦，并引到被加工件35上。加工頭伺服電動機(jī)21及加工頭伺服放大器控制加工頭7在Y軸方向上的移動方向、移動量、移動速度。
根據(jù)以上構(gòu)成，在本發(fā)明的實(shí)施例中，從激光振蕩器4向第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的第一激光光路、從第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5向第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的第二激光光路、以及從第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6向加工頭7的第三激光光路相互平行。
下面，對根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的激光加工機(jī)1的動作進(jìn)行說明。
首先，使機(jī)體框架3沿著一對導(dǎo)軌2移動，調(diào)整X軸方向的位置，同時，通過控制加工頭伺服電動機(jī)21及加工頭伺服放大器使機(jī)架9上的加工頭7移動，調(diào)整Y軸方向的位置，使加工頭7停在與被加工件35相對的加工開始位置。
然后，在機(jī)架9上，通過控制第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)17及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器來調(diào)節(jié)第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6相對于加工頭7的位置，根據(jù)具體情況，有時也通過控制第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)13及第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器來調(diào)節(jié)第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5相對于加工頭7的位置，從而調(diào)整光路長度。此時，在圖2中，加工頭7位于Y0，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5位于Y1，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6位于Y2。
其次，利用激光加工機(jī)1的激光束開始進(jìn)行被加工件35的加工。
被加工件35的X軸方向的加工是通過使機(jī)體框架3沿著一對導(dǎo)軌2移動來調(diào)整X軸方向位置，以使加工頭7在X軸方向上移動而進(jìn)行的。
被加工件35的Y軸方向的加工是通過控制加工頭伺服電動機(jī)21及加工頭伺服放大器，以使加工頭7相對于機(jī)架9移動而進(jìn)行的。在加工頭7相對于機(jī)架9移動的同時，通過控制第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)13及第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器，從而使第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5在與加工頭7的移動方向相同的方向上以1/2速度移動，通過控制第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)17及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器，從而使第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在與加工頭7的移動方向相同的方向上以相同速度移動。
使加工頭7向激光振蕩器4移動，當(dāng)?shù)诙す馐崔D(zhuǎn)裝置6到達(dá)第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動界限(圖2中的Y+位置)時，停止第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動，維持靜止?fàn)顟B(tài)。此時，加工頭7繼續(xù)移動，同時通過控制第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)13及第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器，使第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5在與加工頭7的移動方向相反的方向上以1/2速度移動。
另外，使加工頭7向遠(yuǎn)離激光振蕩器4的方向移動，當(dāng)?shù)谝患す馐崔D(zhuǎn)裝置5到達(dá)第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動界限時，停止第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動，維持靜止?fàn)顟B(tài)。此時，加工頭7繼續(xù)移動，同時通過控制第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)17及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器，使第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在與加工頭7的移動方向相同的方向(遠(yuǎn)離激光振蕩器4的方向)上以1/2速度移動。
下面，對根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的激光加工機(jī)的動作進(jìn)行說明。
在本實(shí)施例中，激光加工機(jī)1的機(jī)械結(jié)構(gòu)與圖1所示相同。
在該激光加工機(jī)1的動作中，在加工頭7的全部有效加工寬度上，加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6維持相同的光路長度，并且總是以相同的速度比移動。
由此，與前面所述的第一實(shí)施例相比，在加工頭7沿相同方向移動的途中，例如，即使加工頭7接近其移動界限，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動方向、移動速度也不會改變，并且維持相同光路長度，所以，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動動作相對于加工頭7的移動動作不會產(chǎn)生誤差，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動動作可相對加工頭7的移動動作進(jìn)行正確跟蹤，并總是確保規(guī)定的光路長度，從而可以保證被加工件35的加工質(zhì)量。
如圖3至圖7所示，對在加工頭7的全部有效加工寬度上，加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6總是以相同的速度比移動的情況進(jìn)行說明。
在此，首先參照圖3，對圖4至圖7中使用的符號的定義進(jìn)行說明。
La第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5與加工頭7之間的距離
Lam第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5與加工頭7之間距離的最小值(第一反轉(zhuǎn)裝置框體10與加工頭框體18相接觸時的距離)Lb第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6與加工頭7之間的距離Lbm第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6與加工頭7之間距離的最小值(第二反轉(zhuǎn)裝置框體14與加工頭框體18相接觸時的距離)Y0加工頭7的Y坐標(biāo)位置Y0-加工頭7的-Y(Y軸的負(fù)方向)移動界限位置Y0+加工頭7的+Y(Y軸的正方向)移動界限位置LM(＝Y(jié)0+-Y0-)加工頭7的有效加工寬度V0加工頭7的移動速度Y1第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的Y坐標(biāo)位置V1第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動速度Y2第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的Y坐標(biāo)位置V2第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動速度L任意設(shè)定的光路長度(根據(jù)第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6相對于加工頭7的最初設(shè)定位置而決定)
Lm可設(shè)定的最小光路長度(最初設(shè)定為Lb＝Lbm時)L′L與Lm的差(L-Lm)綜上所述，按照V0∶V1∶V2＝1∶(1-L′/LM)/2∶(1-L′/2LM)的速度比設(shè)定激光加工機(jī)1后，在加工頭7的全部有效加工寬度上，加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6總是以相同的速度比移動。
另外，此時，加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的坐標(biāo)位置如下[Y0、Y1、Y2]＝[Y0、{1-L′/LM}Y0/2+{1+L′/LM}Y0-/2-Lam、{1-L′/(2LM)}Y0+L′Y0-/(2LM)+Lbm+L′/2]下面，詳細(xì)說明在速度比為V0∶V1∶V2＝1∶(1-L′/LM)/2∶(1-L′/2LM)時，在加工頭7的全部有效加工寬度上，加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6總是以相同的速度比移動的原因。
在以下敘述中，為便于說明，以第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的+Y方向移動界限位置與激光振蕩器4的位置相同時的情況為例進(jìn)行說明。但是，即使第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的+Y方向移動界限位置位于激光振蕩器4的位置的-Y方向側(cè)時，下面的說明也成立。
圖4及圖5表示L＝Lm(在最初設(shè)定為第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6位于最接近加工頭7的位置時，第二反轉(zhuǎn)裝置框體14與加工頭框體18相接觸的狀態(tài))。
圖4表示Y0＝Y(jié)0-時的情況(加工頭7位于-Y移動界限時的情況)。圖5表示加工頭7從圖4的狀態(tài)向+Y方向移動全部有效加工寬度的長度，最后到達(dá)+Y方向移動界限時的情況。因?yàn)榧庸ゎ^7與第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6之間距離在加工頭框體18與第二反轉(zhuǎn)裝置框體14相接觸時為最小值，所以，在圖4的狀態(tài)與圖5的狀態(tài)中，加工頭7與第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6之間的距離相同。即，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6相對于加工頭7的最小距離的最初位置通過第二反轉(zhuǎn)裝置框體14與加工頭框體18相接觸來決定。另外，在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6與加工頭7相接觸的狀態(tài)下，通過第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6到達(dá)+Y方向移動界限的同時，加工頭7也到達(dá)+Y方向移動界限，由此確定加工頭7的+Y方向移動界限。
這樣，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6與加工頭7在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6與加工頭7之間的距離Lb維持其最小值Lbm的狀態(tài)下，從圖4的狀態(tài)移動到圖5的狀態(tài)，到達(dá)二者的+Y方向移動界限。
在圖4中，第一激光光路的距離為LM+Lbm+Lam。因?yàn)榈诙す馐崔D(zhuǎn)裝置6的+Y方向移動界限位置與激光振蕩器4的位置相同，所以，在圖4中，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6從激光振蕩器4離開LM，另外，加工頭7的-Y方向的界限位置通過加工頭框體18與位于-Y方向的界限位置的第一反轉(zhuǎn)裝置框體10相接觸來決定。第二激光光路的距離為Lbm+Lam，第三激光光路的距離為Lbm。
如上所述，圖4狀態(tài)下的光路長度為第一激光光路+第二激光光路+第三激光光路，即為(LM+Lbm+Lam)+(Lbm+Lam)+Lbm＝LM+2Lam+3Lbm。
本發(fā)明鑒于無論加工頭7在什么位置都維持相同的光路長度，所以圖5的狀態(tài)下與圖4的狀態(tài)下的光路長度相同。
在此，圖5中的第三激光光路的距離為Lbm，另外，第一激光光路的距離與第二激光光路的距離相同，將其規(guī)定為N。
因此，圖6中的光路長度為LM+2Lam+3Lbm＝2N+Lbm，即N＝1/2LM+Lam+Lbm。鑒于圖4和圖5中的第一激光光路，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動距離為(LM+Lbm+Lam)-N＝1/2LM。
圖6及圖7表示L＞Lm時的情況(最初設(shè)定為Lb＞Lbm時的情況)。
圖6表示Y0＝Y(jié)0-時的情況(加工頭7位于-Y移動界限時的情況)。圖7表示加工頭7從圖6的狀態(tài)向+Y方向移動全部有效加工寬度的長度，最后到達(dá)+Y方向移動界限時的情況。
圖6與前面所述的圖4的情況相比，將光路長度延長了L′，所以，鑒于在這些情況下第一激光光路的距離相同，從而第二激光光路與第三激光光路延長了相同距離，圖6與圖4時相比，必須使第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6從激光振蕩器4離開L′/2(此時，加工頭7與第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6之間的距離為Lbm+L′/2。)。另外，在圖6中，加工頭7與第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的位置與圖4時相同。
在圖6中，開始加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動，然后這些同時變成圖7所示的狀態(tài)，但是，在本發(fā)明中，圖6的光路長度與圖7的光路長度相同。
從圖6的狀態(tài)移動到圖7的狀態(tài)時，加工頭7的移動距離為LM。
從圖6的狀態(tài)移動到圖7的狀態(tài)時，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的移動距離比圖4及圖5中的L＝Lm時(Lb＝Lbm時)的移動距離(LM)短L′/2，為LM-L′/2。
從圖6的狀態(tài)移動到圖7的狀態(tài)時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動距離如下所述。
即，圖7的狀態(tài)與圖5的狀態(tài)相比，光路長度長L′。在圖5的狀態(tài)與圖7的狀態(tài)下，第三激光光路的距離相同(Lbm)。
因此，圖7的狀態(tài)與圖5的狀態(tài)相比，第一激光光路的距離與第二激光光路的距離的延長相同，圖7狀態(tài)下的第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的位置比圖5狀態(tài)下的第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的位置向-Y方向移動了L′/2。因此，從圖6的狀態(tài)移動到圖7的狀態(tài)時的第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動距離比從圖4的狀態(tài)移動到圖5的狀態(tài)時的第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動距離少L′/2。
由此，從圖6狀態(tài)移動到圖7狀態(tài)時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的移動距離為1/2LM-L′/2。
由以上說明可知，加工頭7從-Y端部向+Y端部移動時(在全部有效加工寬度上移動時)，加工頭7移動LM，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5移動1/2LM-L′/2，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6移動LM-L′/2。因?yàn)檫@些移動的開始時間及結(jié)束時間相同，所以為V0∶V1∶V2＝1∶(1-L′/LM)/2∶(1-L′/2LM)的速度比。
即，當(dāng)根據(jù)該速度比移動加工頭7、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6時，在加工頭7的全部有效加工寬度上總是維持規(guī)定的光路長度。
下面，參照圖8對根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的激光加工機(jī)1進(jìn)行說明。
根據(jù)本實(shí)施例的激光加工機(jī)1與根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的激光加工機(jī)1不同的地方如下所述。
即，在本實(shí)施例的激光加工機(jī)1中，不包括本發(fā)明第一實(shí)施例的激光加工機(jī)1中的加工頭伺服電動機(jī)21及加工頭伺服放大器、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)13及第一激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器、以及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服電動機(jī)17及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置用伺服放大器。取代這些，本實(shí)施例的激光加工機(jī)1包括第一無接頭帶22、第二無接頭帶23、一對第一支撐軸24、一對第二支撐軸25、設(shè)置于第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5上的第一夾緊體26及第一固定夾緊部36、設(shè)置于第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6上的第二夾緊體27及第二固定夾緊部37。
第一無接頭帶(第一傳送元件)22架設(shè)在一對第一支撐軸24上，沿著Y軸方向延伸，隨著一對第一支撐軸24向一個方向及其相反方向旋轉(zhuǎn)，可在一個方向及其相反方向上轉(zhuǎn)動。一對第一支撐軸24支撐于機(jī)架9上。
第二無接頭帶(第二傳送元件)23架設(shè)在一對第二支撐軸25上，沿著Y軸方向延伸，隨著一對第二支撐軸25向一個方向及其相反方向旋轉(zhuǎn)，可在一個方向及其相反方向上轉(zhuǎn)動。一對第二支撐軸25支撐于機(jī)架9上。第二無接頭帶23以第一無接頭帶22的1/2速度旋轉(zhuǎn)。第二無接頭帶23包括作為上側(cè)移動部的一方向移動部28與作為下側(cè)移動部的相反方向移動部29。
一個第一支撐軸24與一個第二支撐軸25一體成型，作為一個整體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，另一個第一支撐軸24與另一個第二支撐軸25一體成型，作為一個整體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。一對第一支撐軸24的直徑分別比一對第二支撐軸25的直徑大，由此，第一無接頭帶22以第二無接頭帶23的兩倍速度進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
加工頭7與第一無接頭帶22的上側(cè)移動部30連接并固定。
設(shè)置于第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5上的第一夾緊體26包括第一夾緊體上側(cè)夾緊部31，與第二無接頭帶23的一方向移動部28連接；第一夾緊體下側(cè)夾緊部32，與相反方向移動部29連接；從而控制為與第二無接頭帶23的一方向移動部28連接的狀態(tài)、與相反方向移動部29連接的狀態(tài)、以及與第一無接頭帶22及第二無接頭帶23均不連接的狀態(tài)中的任意一種狀態(tài)。第一固定夾緊部36相對于第一夾緊體26垂直，設(shè)置于第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5上，在第一夾緊體26變成與第一無接頭帶22及第二無接頭帶23均不連接的狀態(tài)的同時，與安裝于機(jī)架9上的第一固定件38連接。通過該連接，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5相對于機(jī)架9的位置保持固定狀態(tài)。
設(shè)置于第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6上的第二夾緊體27包括第二夾緊體上側(cè)夾緊部33，與第一無接頭帶22的上側(cè)移動部30連接；第二夾緊體下側(cè)夾緊部34，與第二無接頭帶23的一方向移動部28連接；從而控制為與第一無接頭帶22的上側(cè)移動部30連接的狀態(tài)、與第二無接頭帶23的一方向移動部28連接的狀態(tài)、以及與第一無接頭帶22及第二無接頭帶23均不連接的狀態(tài)中的任意一種狀態(tài)。第二固定夾緊部37相對于第二夾緊體27垂直，設(shè)置于第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6上，在第二夾緊體27變成與第一無接頭帶22及第二無接頭帶23均不連接的狀態(tài)的同時，與安裝于機(jī)架9上的第二固定件39連接。通過該連接，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6相對于機(jī)架9的位置保持固定狀態(tài)。
設(shè)置于第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6上的第二夾緊體27相對于第一無接頭帶22的Y軸方向的連接位置，可以通過未圖示的操作部的操作來任意設(shè)定。
對根據(jù)本實(shí)施例的激光加工機(jī)1進(jìn)行如下所述的控制。
即，在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6沒有到達(dá)其移動界限時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的第一夾緊體上側(cè)夾緊部31與一方向移動部28連接，同時第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的第二夾緊體上側(cè)夾緊部33與第一無接頭帶22的上側(cè)移動部30連接。
在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6到達(dá)其移動界限時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的第一夾緊體上側(cè)夾緊部31解除連接，同時第一夾緊體下側(cè)夾緊部32與相反方向移動部29連接。另外，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在變成與第一無接頭帶22及第二無接頭帶23均不連接的狀態(tài)的同時，第二固定夾緊部37與第二固定件39連接，由此，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的位置保持穩(wěn)定狀態(tài)。加工頭7繼續(xù)向激光振蕩器4方向移動。
在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5到達(dá)其移動界限時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5在變成與第一無接頭帶22及第二無接頭帶23均不連接的狀態(tài)的同時，第一固定夾緊部36與第一固定件38連接，由此，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5的位置保持固定狀態(tài)。第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6的第二夾緊體27與一方向移動部28連接。加工頭7繼續(xù)向與激光振蕩器4方向相同的方向移動。
另外，在本發(fā)明的實(shí)施例中，以第一激光光路、第二激光光路及第三激光光路沿著Y軸方向延伸，激光振蕩器4、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在Y軸方向移動的激光加工機(jī)1為例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明也適用于激光光路不沿著Y軸方向，而沿著X軸方向或Z軸方向延伸，激光振蕩器4、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置5及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置6在X軸方向或Z軸方向上移動的激光加工機(jī)1。
以上對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，可以對這些結(jié)構(gòu)進(jìn)行添加、省略、置換及其他變更。本發(fā)明不限于前面所述說明，僅通過權(quán)利要求來加以限定。
權(quán)利要求
1.一種激光加工機(jī)，其將從激光振蕩器引入到加工頭內(nèi)的激光束通過加工頭的聚光透鏡聚焦，同時引入到被加工件上，從而進(jìn)行被加工件的加工，其中包括第一激光束反轉(zhuǎn)裝置，使來自激光振蕩器的激光束反轉(zhuǎn)；以及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置，使通過第一激光束反轉(zhuǎn)裝置反轉(zhuǎn)后的激光束反轉(zhuǎn)，并引入到加工頭內(nèi)；從激光振蕩器向第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的第一激光光路、從第一激光束反轉(zhuǎn)裝置向第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的第二激光光路、以及從第二激光束反轉(zhuǎn)裝置向加工頭的第三激光光路相互平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工機(jī)，其中所述加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于第一激光光路平行移動；可任意設(shè)定第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于加工頭的位置；在設(shè)定了第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于加工頭的位置的狀態(tài)下，在加工頭移動的同時，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭的移動方向相同的方向上以加工頭的1/2的速度移動，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭的移動方向相同的方向上以與加工頭相同的速度移動；當(dāng)?shù)诙す馐崔D(zhuǎn)裝置到達(dá)了第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動界限時，在第二激光束反轉(zhuǎn)裝置維持靜止?fàn)顟B(tài)的同時，繼續(xù)移動加工頭，并使第一激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭的移動方向相反的方向上以加工頭的1/2的速度移動；當(dāng)?shù)谝患す馐崔D(zhuǎn)裝置到達(dá)了第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動界限時，在第一激光束反轉(zhuǎn)裝置維持靜止?fàn)顟B(tài)的同時，繼續(xù)移動加工頭，使第二激光束反轉(zhuǎn)裝置在與加工頭的移動方向相同的方向上以加工頭的1/2的速度移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工機(jī)，其中所述加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于第一激光光路平行移動；在加工頭的全部有效加工寬度上，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置維持相同的光路長度，并且以相同的速度比移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工機(jī)，其中所述加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置相對于第一激光光路平行移動；在加工頭的移動速度為V0，第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動速度為V1，第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動速度為V2，加工頭的有效加工寬度為LM，任意設(shè)定的光路長度為L，可設(shè)定的最小光路長度為Lm，L-Lm為L′時，加工頭、第一激光束反轉(zhuǎn)裝置、第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的移動速度比滿足下式V0∶V1∶V2＝1∶(1-L′/LM)/2∶(1-L′/2LM)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種激光加工機(jī)，其包括第一激光束反轉(zhuǎn)裝置，使來自激光振蕩器的激光束反轉(zhuǎn)；以及第二激光束反轉(zhuǎn)裝置，使通過第一激光束反轉(zhuǎn)裝置反轉(zhuǎn)后的激光束反轉(zhuǎn)、并引入到加工頭內(nèi)。從激光振蕩器向第一激光束反轉(zhuǎn)裝置的第一激光光路、從第一激光束反轉(zhuǎn)裝置向第二激光束反轉(zhuǎn)裝置的第二激光光路、以及從第二激光束反轉(zhuǎn)裝置向加工頭的第三激光光路相互平行。
文檔編號B23K26/06GK1693027SQ20051006995
公開日2005年11月9日 申請日期2005年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月7日
發(fā)明者川北雅人, 石井幸二, 沼田慎治, 廣橋和也 申請人:日酸田中株式會社