專利名稱：一種釬焊結(jié)合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及焊接領(lǐng)域，特別是一種靶材釬焊用的釬焊結(jié)合裝置。
技術(shù)背景常規(guī)用釬焊方法制備濺射靶材組件的一個(gè)步驟過程是首先，將靶材組件加熱到一 定溫度，該溫度需高于釬料熔化溫度而低于靶材的再結(jié)晶溫度；然后，施于靶材組件以 一定的壓力，促使靶材組件中釬料流動(dòng)，進(jìn)而促進(jìn)釬料分布均勻；最后，室溫自然冷卻 靶材組件，完成焊接。該常規(guī)方法的一個(gè)缺點(diǎn)是把靶材組件加熱到一個(gè)較低的溫度， 導(dǎo)致了釬料流動(dòng)性能下降，從而影響耙材組件最終的結(jié)合率下降。要提高耙材組件的結(jié)合率，則必須改善釬焊時(shí)釬料的流動(dòng)性能，為此，必須提高釬 料的溫度，亦即釬焊時(shí)靶材組件所需要加熱的溫度，然而，當(dāng)為了提高釬料溫度而將靶 材組件加熱到較高溫度時(shí)，靶材內(nèi)部有可能發(fā)生再結(jié)晶，靶材內(nèi)部組織的晶粒大小，晶 粒取向等發(fā)生變化，從而影響其濺射性能。根據(jù)大量實(shí)驗(yàn)表明，如果將靶材組件加熱到較高溫度，但嚴(yán)格控制該高溫狀態(tài)的時(shí) 間，觀察不到靶材內(nèi)部晶粒大小和取向的明顯變化。本實(shí)用新型即可提供一種滿足這樣 條件的裝置，利用本實(shí)用新型裝置釬焊能獲得焊接結(jié)合率高，但又不影響濺射性能的靶 材。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)現(xiàn)狀而提供一種能有效提高 耙材組件的溫度，并能嚴(yán)格控制該溫度狀態(tài)時(shí)間的釬焊結(jié)合裝置。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為該釬焊結(jié)合裝置，其包括上、 下疊置的上支架和下支架，其特征在于所述下支架上設(shè)置有加熱平板，在加熱平板下 端面固定有冷卻箱，冷卻箱的一端設(shè)有進(jìn)水管，另一端設(shè)有出水管，所述上支架固定有 氣缸基座，在氣缸基座上固定有氣缸，所述氣缸的位于活塞兩側(cè)的兩個(gè)氣室分別連通到 兩根上、下氣管，氣缸活塞連接有頂桿，所述頂桿的另一端穿過氣缸基座和上支架并連 接有壓頭。為給加熱平板快速均勻的加熱，并實(shí)時(shí)獲得加熱平板的溫度，所述加熱平板內(nèi)部可嵌有加熱管和熱電偶。為避免頂桿和壓頭落下時(shí)靶材組件突然受力而產(chǎn)生壓痕，所述氣缸基座和上支架之 間的氣缸頂桿上可固定有一壓板，所述壓板的兩端之下分別設(shè)置有彈簧，彈簧的下端與 上支架相抵，這樣的方式取代常規(guī)的剛性連接，起到緩沖作用。為了保持氣缸干燥與調(diào)節(jié)氣體壓力和方向的方便，在所述氣缸的進(jìn)氣管路上依次設(shè) 置有水汽過濾器、壓力調(diào)節(jié)閥、壓力表和雙向電磁閥。為了促進(jìn)冷卻水的流動(dòng)速度，加速靶材組件的冷卻，所述冷卻箱的進(jìn)水管上還可加 設(shè)一進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管上設(shè)有帶簧單向閥，防止進(jìn)水管中的冷卻水回流至氣閥。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于通過加熱平板內(nèi)部的加熱管把耙材組件加 熱到較高溫度，提高靶材組件之間釬料的流動(dòng)性能，從而提高最終的焊接結(jié)合率，并且 通過緊貼于加熱平板下端面的冷卻箱迅速冷卻被加熱到高溫的組件，嚴(yán)格控制該高溫狀 態(tài)的時(shí)間，防止因再結(jié)晶而影響靶材的濺射性能。


圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1中加熱平板和水箱的側(cè)視圖； 圖3為圖2的俯視圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。如圖l一3所示為本實(shí)用新型實(shí)施例一種濺射靶材釬焊用結(jié)合裝置，其包括有兩個(gè) 上下疊置的上支架1和下支架2,在下支架2上固定有內(nèi)部均勻嵌設(shè)二十四根加熱管32 的加熱平板3，在加熱管32上方的接近于加熱平板3上端面的位置處插有一根熱電偶 31，用于實(shí)時(shí)測(cè)量加熱平板3的溫度，當(dāng)給加熱管32通以電源，并且把熱電偶31的信 號(hào)反饋到控制箱，這樣就構(gòu)成了釬焊結(jié)合裝置的加熱系統(tǒng)；緊貼加熱平板3的下端面是一冷卻箱4，其左端有一進(jìn)水管41用于冷卻水進(jìn)入，右 端有一出水管44用于經(jīng)過冷卻箱4的冷卻水排出，并且在進(jìn)水管41進(jìn)入冷卻箱4之前 還加設(shè)有一帶帶簧單向閥42的進(jìn)氣管43，通過來自該進(jìn)氣管43的氣體加速冷卻箱4 內(nèi)的水流速度，從而迅速降低加熱平板3的溫度，此即釬焊結(jié)合裝置的冷卻系統(tǒng)；在下支架2上架設(shè)了上支架1，上支架1上固定有用于支撐氣缸5的氣缸基座51， 該氣缸5通過活塞分為上、下兩氣室，分別有上氣管52和下氣管53連通到上、下兩氣 室，在壓縮氣體進(jìn)入上、下氣管前還依次經(jīng)過了水汽過濾器57、壓力調(diào)節(jié)閥56、壓力 表55和雙向電磁閥54，水汽過濾器57用于干燥進(jìn)入氣缸的壓縮氣體，壓力調(diào)節(jié)閥56 和壓力表55用于調(diào)節(jié)和顯示進(jìn)入氣缸5的壓力，雙向電磁閥54主要用于氣流換向，保 證上氣管52的進(jìn)氣和下氣管53的排氣；氣缸活塞連接到頂桿7上，該頂桿7穿過氣缸 基座51和上支架1，在其末端固定有一壓頭8，在氣缸基座51和上支架1之間的一段 頂桿7上固定有一壓板6，壓板6左、右兩端頭分別連接于兩根彈簧61的兩端，彈簧 61的另兩端固定于上支架l上，這樣的方式取代常規(guī)的剛性連接，起到緩沖作用，避免 頂桿和壓頭落下時(shí)靶材組件突然受力而產(chǎn)生壓痕，這樣構(gòu)成了釬焊結(jié)合裝置的氣缸壓力 系統(tǒng)；當(dāng)使用該裝置時(shí)，可以將載物臺(tái)10放到加熱平板3上，然后將工件或試樣9放置 在載物臺(tái)10上，開啟裝置電源，該裝置的加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)和氣缸壓力系統(tǒng)即會(huì)在 可編程控制器PLC的控制下自動(dòng)工作，自動(dòng)完成對(duì)被焊工件的加熱、施壓和冷卻。
權(quán)利要求1、 一種釬焊結(jié)合裝置，其包括上、下疊置的上支架(1)和下支架(2)，其特征在于:所述下支架(2)上設(shè)置有加熱平板(3)，在加熱平板(3)下端面固定有冷卻箱(4)，冷卻箱 (4)的一端設(shè)有進(jìn)水管(41)，另一端設(shè)有出水管(44),所述上支架(l)固定有氣缸基座 (51)，在氣缸基座(51)上固定有氣缸(5)，所述氣缸(5)的位于活塞兩側(cè)的兩個(gè)氣室分別 連通到兩根上、下氣管(52)和(53)，氣缸活塞連接有頂桿(7)，所述頂桿(7)的另一端穿 過氣缸基座(51)和上支架(1)并連接有壓頭(8)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的釬焊結(jié)合裝置，其特征在于所述加熱平板(3)內(nèi)部嵌有 加熱管(32)和熱電偶(31)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的釬焊結(jié)合裝置，其特征在于所述氣缸基座(51)和上支 架(1)之間的氣缸頂桿(7)上固定有一壓板(6)，所述壓板(6)的兩端之下分別設(shè)置有彈簧 (61)，彈簧(61)的下端與上支架(1)相抵。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的釬焊結(jié)合裝置，其特征在于在所述氣缸(5)的進(jìn)氣管路 上依次設(shè)置有水汽過濾器(57)、壓力調(diào)節(jié)閥(56)、壓力表(55)和雙向電磁閥(54)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的釬焊結(jié)合裝置，其特征在于所述 冷卻箱(4)的進(jìn)水管(41)上還加設(shè)有一進(jìn)氣管(43)，所述進(jìn)氣管(43)上設(shè)有帶簧單向閥 (42)。
專利摘要一種釬焊結(jié)合裝置，包括上支架和下支架，其特征在于所述下支架上設(shè)置有加熱平板，在加熱平板下端面固定有冷卻箱，冷卻箱的一端設(shè)有進(jìn)水管，另一端設(shè)有出水管，所述上支架固定有氣缸基座，在氣缸基座上固定有氣缸，所述氣缸的位于活塞兩側(cè)的兩個(gè)氣室分別連通到兩根上、下氣管，氣缸活塞連接有頂桿，所述頂桿的另一端穿過氣缸基座和上支架并連接有壓頭。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于通過加熱平板內(nèi)部的加熱管把靶材組件加熱到較高溫度，提高靶材組件之間釬料的流動(dòng)性能，從而提高最終的焊接結(jié)合率，并且通過緊貼于加熱平板下端面的冷卻箱迅速冷卻被加熱到高溫的組件，嚴(yán)格控制該高溫狀態(tài)的時(shí)間，防止因再結(jié)晶而影響靶材的濺射性能。
文檔編號(hào)B23K3/04GK201020584SQ20062014094
公開日2008年2月13日 申請(qǐng)日期2006年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月12日
發(fā)明者姚力軍, 杰 潘 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司