專利名稱：數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅材料加工領(lǐng)域的數(shù)控切割機(jī)床，具體的說是一種采用金剛
石線的多晶硅硅芯多線切割的數(shù)控機(jī)床上的布線導(dǎo)輪組件。
背景技術(shù)：
目前多晶硅線切割的方法如金剛石工具切割法，美國(guó)Diamond WireTechnology公 司研制出采用金剛石線的數(shù)控多晶硅細(xì)長(zhǎng)硅芯多線切割機(jī)床，用于硅芯的制備，見圖1。通 過利用電鍍上金剛石微粒的細(xì)鋼絲線在被加工工件上高速地往復(fù)運(yùn)動(dòng)或單向移動(dòng)，將硅棒 壓在該機(jī)床用金剛石線交叉組成的方形線網(wǎng)上，從而將該硅棒切割成細(xì)長(zhǎng)的硅芯。其優(yōu)點(diǎn) 十分明顯，10-12小時(shí)可以切割出200根左右2米長(zhǎng)的7X7或8X8毫米的方形硅芯，電力 消耗小，加工效率高；其最大缺點(diǎn)主要在于操作不方便，如圖1所示，除需要在地面A操作 外，還需要在距地面3米高的操作平臺(tái)B和距地面5米高的操作平臺(tái)C上下進(jìn)行繞線，操作 難度大，操作人員需上下跑動(dòng)，安全性差， 一旦切割過程中發(fā)生斷線，重新修復(fù)布線時(shí)處理 困難，處理時(shí)間長(zhǎng)，此機(jī)床使用2根金剛石線組成2組線網(wǎng)，需要2套收放線巻繞驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 維護(hù)復(fù)雜，成本高，機(jī)床總高度在6700毫米以上，對(duì)安裝地點(diǎn)的房屋要求高，并且其線網(wǎng)結(jié) 構(gòu)固定，只能切出方形或長(zhǎng)方形的硅芯，無(wú)法切出表面積更大的菱形硅芯，以縮短多晶硅還 原爐的反應(yīng)時(shí)間，提高單位時(shí)間的多晶硅產(chǎn)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，解決應(yīng) 用該導(dǎo)論組件所應(yīng)用的多晶硅硅芯多線切割機(jī)床設(shè)備維護(hù)復(fù)雜、成本高的問題，可以根據(jù) 客戶的需要實(shí)現(xiàn)菱形、方形、長(zhǎng)方形等硅芯形狀的切割。 本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn) 數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，包括切割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪，所述 切割導(dǎo)線輪成對(duì)布置，共兩對(duì)，并在切割工件的位置形成交叉，對(duì)應(yīng)每個(gè)切割導(dǎo)線輪設(shè)有一 組多個(gè)導(dǎo)向?qū)Ь€輪，所述導(dǎo)向?qū)Ь€輪組為雙層設(shè)置，切割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪的軸心水平 并且相對(duì)形成傾斜角度；導(dǎo)向?qū)Ь€輪與切割導(dǎo)線輪相同，也成對(duì)布置，成對(duì)的導(dǎo)向?qū)Ь€輪組 與成對(duì)的切割導(dǎo)線輪通過切割線交錯(cuò)連接形成循環(huán)，最后形成多線并行；該傾斜角度可根 據(jù)所要達(dá)到的硅芯形狀不同，對(duì)于需要切割成方形的硅芯形狀，傾斜角度為45度，對(duì)于需 要切割成菱形的硅芯形狀，傾斜角度可以為30或60度，對(duì)于需要切割成長(zhǎng)方形的硅芯形 狀，可以根據(jù)長(zhǎng)方形的長(zhǎng)寬比來確定。 本發(fā)明創(chuàng)造實(shí)現(xiàn)了由單個(gè)切割硅線達(dá)到多線切割的效果，并且可以實(shí)現(xiàn)方形、長(zhǎng) 方形、菱形等不同形狀的硅芯切割。

下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。[0008] 圖l是美國(guó)Diamond Wire Technology公司硅芯多線切割機(jī)床的工作平臺(tái)示意 圖。 圖2是本實(shí)用新型的數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件的主視圖； 圖3是俯視圖； 圖4是立體圖； 圖5是菱形切割導(dǎo)輪組件的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中1、切割導(dǎo)線輪；2、導(dǎo)向?qū)Ь€輪；3、工件；4、切割線。
具體實(shí)施方式如圖2-4所示，數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，包括切割導(dǎo)線輪1和導(dǎo) 向?qū)Ь€輪2，所述切割導(dǎo)線輪1成對(duì)布置，共兩對(duì)，并在切割工件3的位置形成交叉，對(duì)應(yīng)每 個(gè)切割導(dǎo)線輪1設(shè)有一組多個(gè)導(dǎo)向?qū)Ь€輪2，所述導(dǎo)向?qū)Ь€輪組2為雙層設(shè)置，切割導(dǎo)線輪 1和導(dǎo)向?qū)Ь€輪2的軸心水平并且相對(duì)形成傾斜角度；導(dǎo)向?qū)Ь€輪2與切割導(dǎo)線輪1相同， 也成對(duì)布置，成對(duì)的導(dǎo)向?qū)Ь€輪組2與成對(duì)的切割導(dǎo)線輪1通過切割線4交錯(cuò)連接形成循 環(huán)，最后形成多線并行；該傾斜角度可根據(jù)所要達(dá)到的硅芯形狀不同，對(duì)于需要切割成方形 的硅芯形狀，傾斜角度為45度；如圖5所示，對(duì)于需要切割成菱形的硅芯形狀，傾斜角度可 以為30或60度，對(duì)于需要切割成長(zhǎng)方形的硅芯形狀，可以根據(jù)長(zhǎng)方形的長(zhǎng)寬比來確定布線 的間隔。 本發(fā)明創(chuàng)造實(shí)現(xiàn)了由單根切割硅線達(dá)到多線切割的效果，并且可以實(shí)現(xiàn)方形、長(zhǎng) 方形、菱形等不同形狀的硅芯切割。
權(quán)利要求數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，包括切割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪，其特征在于，所述切割導(dǎo)線輪成對(duì)布置，共兩對(duì)，并在切割工件的位置形成交叉，對(duì)應(yīng)每個(gè)切割導(dǎo)線輪設(shè)有一組多個(gè)導(dǎo)向?qū)Ь€輪，切割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪的軸心水平并且相對(duì)形成傾斜角度；導(dǎo)向?qū)Ь€輪成對(duì)布置，成對(duì)的導(dǎo)向?qū)Ь€輪組與成對(duì)的切割導(dǎo)線輪通過切割線交錯(cuò)連接形成循環(huán)，最后形成多線并行。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，其特征在于，所 述導(dǎo)向?qū)Ь€輪組為雙層設(shè)置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，其特征在于，切 割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪的軸心的形成傾斜角度為45度、30或60度。
專利摘要數(shù)控多晶硅硅芯多線切割機(jī)床的導(dǎo)輪組件，包括切割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪，所述切割導(dǎo)線輪成對(duì)布置，共兩對(duì)，并在切割工件的位置形成交叉，對(duì)應(yīng)每個(gè)切割導(dǎo)線輪設(shè)有一組多個(gè)導(dǎo)向?qū)Ь€輪，所述導(dǎo)向?qū)Ь€輪組為雙層設(shè)置，切割導(dǎo)線輪和導(dǎo)向?qū)Ь€輪的軸心水平并且相對(duì)形成傾斜角度；導(dǎo)向?qū)Ь€輪與切割導(dǎo)線輪相同，也成對(duì)布置，成對(duì)的導(dǎo)向?qū)Ь€輪組與成對(duì)的切割導(dǎo)線輪通過切割線交錯(cuò)連接形成循環(huán)，最后形成多線并行。本實(shí)用新型創(chuàng)造實(shí)現(xiàn)了由單個(gè)切割硅線達(dá)到多線切割的效果，并且可以實(shí)現(xiàn)方形、長(zhǎng)方形、菱形等不同形狀的硅芯切割。
文檔編號(hào)B23H7/02GK201500839SQ200920217729
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月29日
發(fā)明者張新忠 申請(qǐng)人:無(wú)錫市斯達(dá)自控設(shè)備有限公司